JP2000109369A - Firing method for material to be fired - Google Patents
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- C04B35/64—Burning or sintering processes
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミック等の被
焼成物の焼成方法、特に、鉛やビスマス等の揮発成分を
含む被焼成物の焼成方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for firing an object to be fired such as ceramics, and more particularly to a method for firing an object to be fired containing a volatile component such as lead or bismuth.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、電子部品などに用いる鉛やビ
スマス等の揮発性物質を含むセラミック材料の焼成にお
いては、アルミナやジルコニアを材質とする箱状の焼成
用道具材（以下、匣とする）の載置面にセラミック成形
体である被焼成物（以下、ワークとする）を載置して焼
成し、セラミック焼結体を得ている。しかしながら、こ
れら揮発物質を含むセラミック材料の焼成においては、
揮発物質の揮発量を抑制し、匣の劣化や変形を防止する
ため、匣材の高純度化および高密度化を行う必要があ
る。しかしながら、高純度化、高密度化を行った匣を用
いると、ワークと匣との間で反応が生じ、ワークの特性
に悪影響を及ぼすことがあった。2. Description of the Related Art Conventionally, in the firing of ceramic materials containing volatile substances such as lead and bismuth used for electronic parts and the like, box-shaped firing tools made of alumina or zirconia (hereinafter referred to as boxes). A ceramic sintered body (hereinafter, referred to as a work) is mounted on the mounting surface of (1) and fired to obtain a ceramic sintered body. However, in firing ceramic materials containing these volatile substances,
In order to suppress the volatilization amount of volatile substances and prevent deterioration and deformation of the box, it is necessary to purify the box material and to increase the density thereof. However, when a highly purified and high-density box is used, a reaction occurs between the work and the box, which may adversely affect the characteristics of the work.
【０００３】このワークと匣との反応を防ぐため、アル
ミナ粉末やジルコニア粉末を敷粉として匣内に敷き詰
め、その上にワークを載置して焼成を行っていた。[0003] In order to prevent the reaction between the work and the box, alumina powder or zirconia powder was spread as a spread powder in the box, and the work was placed thereon and fired.
【０００４】また、この他の焼成方法としては、敷粉の
代わりに板状焼結体を匣内に敷設し、その上にワークを
載置して焼成を行っていた。[0004] As another firing method, a plate-like sintered body is laid in a box in place of powder, and a work is placed on the sintered body to perform firing.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
敷粉を使ったワークの焼成方法には以下のような問題点
があった。 １．匣内に敷き詰めた粉末量にばらつきがあり、これが
ワークの諸特性のばらつきや外観異常などの不具合を引
き起こす原因となっている。However, the conventional method of firing a work using litter has the following problems. 1. There is variation in the amount of powder spread in the box, which causes problems such as variations in various characteristics of the work and abnormal appearance.
【０００６】２．ワークと匣との反応を防止するために
は、多量の敷粉が必要であり、コストが大きくなる。[0006] 2. In order to prevent the reaction between the work and the box, a large amount of litter is required, which increases the cost.
【０００７】３．ワークを焼成するたびに、匣内に敷粉
を敷き詰めねばならず、ワークの匣へのチャージに手間
と時間がかかる。[0007] 3. Each time the work is fired, the powder must be spread in the box, and it takes time and effort to charge the work into the box.
【０００８】また、板状焼結体を使ったワークの焼成方
法には以下のような問題点があった。 １．板状焼結体は割れやすく、ハンドリング性が悪い。
また、板状焼結体の欠片がワークに付着し、焼き付きを
生じてしまう。[0008] The method for firing a work using a plate-shaped sintered body has the following problems. 1. The plate-shaped sintered body is easily broken and has poor handling properties.
In addition, pieces of the plate-like sintered body adhere to the work, and seizure occurs.
【０００９】２．板状焼結体自体に反りがあるため、板
状焼結体の上で焼成するワークにも反りが生じる。[0009] 2. Since the plate-like sintered body itself has a warp, a work to be fired on the plate-like sintered body also warps.
【００１０】本発明の目的は、ワークの特性ばらつきや
反りを抑えられ、作業効率を向上させることのできる焼
成方法を提供することにある。[0010] An object of the present invention is to provide a firing method capable of suppressing variation in characteristics and warpage of a work and improving work efficiency.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明は上記のような目
的に鑑みてなされたものである。第１の発明のワークの
焼成方法は、載置面を有する焼成用道具材の前記載置面
に、セラミック原料とバインダー成分とからなるセラミ
ックグリーンシートを敷設し、前記セラミックグリーン
シート上にワークを載置して焼成するワークの焼成方法
であって、前記セラミック原料の平均粒径が３０μｍ以
下（ただし、０は含まない）であり、前記セラミックグ
リーンシートの肉厚が３０〜５００μｍであることを特
徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above objects. According to a first aspect of the invention, there is provided a method of firing a work, comprising laying a ceramic green sheet comprising a ceramic raw material and a binder component on the mounting surface of the firing tool material having a mounting surface, and placing the work on the ceramic green sheet. A method for firing a workpiece to be mounted and fired, wherein an average particle diameter of the ceramic raw material is 30 μm or less (however, 0 is not included), and a thickness of the ceramic green sheet is 30 to 500 μm. Features.
【００１２】このようにしてワークを焼成することによ
り、ワークと焼成用道具材との反応を防止でき、ワーク
の反りも低減することができる。すなわち、セラミック
グリーンシートを用いることによって、肉厚が薄くても
ワークと匣との反応を防止でき、セラミック粒子の供給
時のばらつきがないために、特性のばらつきも抑制でき
る。また、セラミックグリーンシートは柔軟性があるた
め、割れ、欠けが生じにくく、作業効率の向上を図るこ
とができる。さらに、セラミックグリーンシートが焼成
時に揮発物質を吸着するために、空気中へ飛散する揮発
物質の量が減り、作業環境の悪化を抑えることができ
る。By firing the work in this way, the reaction between the work and the firing tool material can be prevented, and the warpage of the work can be reduced. That is, by using the ceramic green sheet, the reaction between the workpiece and the box can be prevented even when the thickness is small, and since there is no variation when the ceramic particles are supplied, the variation in characteristics can be suppressed. In addition, since the ceramic green sheet has flexibility, cracking and chipping hardly occur, and the working efficiency can be improved. Furthermore, since the ceramic green sheet adsorbs the volatile substance during firing, the amount of the volatile substance scattered into the air is reduced, and the deterioration of the working environment can be suppressed.
【００１３】また、このようなセラミック原料の平均粒
径およびセラミックグリーンシートの肉厚にすることに
よって、揮発成分を適度に吸収し、ワーク特性のばらつ
きを抑制することができる。また、焼成時に板状に焼結
させることができるため、ワークと匣との反応を効果的
に防止することができる。また、セラミックグリーンシ
ートへ容易に成形することができる。Further, by setting the average particle size of the ceramic raw material and the thickness of the ceramic green sheet as described above, a volatile component can be appropriately absorbed, and variation in work characteristics can be suppressed. In addition, since sintering can be performed in a plate shape during firing, a reaction between the work and the box can be effectively prevented. Further, it can be easily formed into a ceramic green sheet.
【００１４】また、第２の発明のワークの焼成方法にお
いては、前記セラミック原料は、アルミナ、ジルコニ
ア、マグネシアの中から選ばれることが好ましい。In the method for firing a workpiece according to the second aspect of the present invention, the ceramic raw material is preferably selected from alumina, zirconia, and magnesia.
【００１５】このようなセラミック原料にすることによ
って、ワークとの反応が少ないセラミックグリーンシー
トとすることができる。By using such a ceramic raw material, a ceramic green sheet having little reaction with a workpiece can be obtained.
【００１６】また、第３の発明のワークの焼成方法にお
いては、前記セラミックグリーンシートの前記被焼成物
載置面にジルコニア層を形成してなることが好ましい。In the method of firing a workpiece according to the third invention, it is preferable that a zirconia layer is formed on the surface of the ceramic green sheet on which the object to be fired is placed.
【００１７】このような構成にすることによって、ワー
クとセラミックグリーンシートとの溶着を抑制し、かつ
安価なセラミックグリーンシートとすることができる。With this configuration, welding between the workpiece and the ceramic green sheet can be suppressed, and an inexpensive ceramic green sheet can be obtained.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】本発明のワークの焼成方法は、匣
内に、セラミックグリーンシートを敷設し、このセラミ
ックグリーンシート上にワークを載置して焼成するもの
である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the method of firing a work according to the present invention, a ceramic green sheet is laid in a box, and the work is placed on the ceramic green sheet and fired.
【００１９】ここで、上記匣は、耐熱性、耐衝撃性に優
れ、ワークとの反応が少ないアルミナ、ジルコニア等の
材質からなり、ワークからの揮発成分が必要以上に揮発
するのを抑制するために、上部を蓋材によって密閉でき
るようになっている。Here, the box is made of a material such as alumina or zirconia which is excellent in heat resistance and impact resistance and hardly reacts with the work. In order to suppress volatilization of volatile components from the work more than necessary. The upper part can be hermetically closed by a lid material.
【００２０】上記セラミックグリーンシートは、アルミ
ナ、ジルコニア、マグネシアの中から選ばれ、その肉厚
は３０〜５００μｍである。また、セラミックグリーン
シートに用いたセラミック原料の平均粒径は３０μｍ以
下（ただし、０は含まない）である。セラミックグリー
ンシートの肉厚が厚すぎる場合は、ワークからの揮発成
分のシートへの吸着量が多くなり、ワークの電気特性が
変化してしまうため好ましくない。また、肉厚が薄すぎ
る場合は、シート成形が困難になるため好ましくない。
また、セラミック原料の平均粒径が大きすぎる場合は、
シートが焼結せず、ワークと匣との反応を十分に抑制で
きないため好ましくない。The ceramic green sheet is selected from alumina, zirconia and magnesia, and has a thickness of 30 to 500 μm. The average particle size of the ceramic raw material used for the ceramic green sheet is 30 μm or less (however, 0 is not included). If the thickness of the ceramic green sheet is too large, the amount of volatile components adsorbed from the work to the sheet increases, which undesirably changes the electrical characteristics of the work. On the other hand, if the thickness is too small, sheet molding becomes difficult, which is not preferable.
Also, if the average particle size of the ceramic raw material is too large,
This is not preferable because the sheet does not sinter and the reaction between the work and the box cannot be sufficiently suppressed.
【００２１】また、上記セラミックグリーンシートは、
ワークと接触する面にワークと溶着しにくいジルコニア
層を形成してもよい。ジルコニアは他の材質に比べワー
クと溶着しにくいが、その反面高価である。そこで、こ
のような他材質のシートと組み合わせることによって、
その特性を生かしつつコストを下げることができる。The ceramic green sheet is
A zirconia layer that is not easily welded to the work may be formed on the surface in contact with the work. Zirconia is less likely to be welded to a workpiece than other materials, but is expensive. Therefore, by combining with such a sheet of other material,
The cost can be reduced while utilizing the characteristics.
【００２２】次に、本発明を実施例に基づいてさらに詳
しく説明する。Next, the present invention will be described in more detail based on examples.
【００２３】[0023]
【実施例】（実施例１）本発明のワークの焼成方法に用
いるセラミックグリーンシートについて説明する。ま
ず、セラミック原料として純度９９％のＡｌ2Ｏ3を用意
した。このＡｌ2Ｏ3を所定の粒径となるように粉砕した
後、このセラミック原料１００重量部に対して、バイン
ダー成分としてアクリル系水溶性樹脂を１０重量部、分
散剤としてポリカルボン酸アンモニウム塩を０．２重量
部、純水を６重量部それぞれ添加して混合し、スラリー
化せしめてセラミックスラリーとした。EXAMPLES (Example 1) A ceramic green sheet used in the method of firing a work according to the present invention will be described. First, Al 2 O 3 having a purity of 99% was prepared as a ceramic raw material. After pulverizing this Al 2 O 3 to a predetermined particle size, 10 parts by weight of an acrylic water-soluble resin as a binder component and ammonium polycarboxylate as a dispersant are added to 100 parts by weight of the ceramic raw material. 0.2 parts by weight and 6 parts by weight of pure water were added and mixed, and slurried to obtain a ceramic slurry.
【００２４】次に、得られたセラミックスラリーをドク
ターブレード法によりシート状に成形してセラミックグ
リーンシートを得た。Next, the obtained ceramic slurry was formed into a sheet by a doctor blade method to obtain a ceramic green sheet.
【００２５】次に、ワークの焼成工程について説明す
る。図１はワークの焼成状態を表す分解斜視図を示す。
図１のように、上部開口の箱型の匣２内に、上記のよう
にして得られたセラミックグリーンシート１を敷設し、
その上にチタン酸ジルコン酸鉛系原料を主成分とする未
焼成成形体のワーク４を載置した。Next, the firing process of the work will be described. FIG. 1 is an exploded perspective view showing a fired state of a work.
As shown in FIG. 1, a ceramic green sheet 1 obtained as described above is laid in a box-shaped box 2 having an upper opening,
A work 4 of an unfired molded body mainly composed of a lead zirconate titanate-based material was placed thereon.
【００２６】次に、匣２の開口部に蓋材３をセットし、
焼成炉において熱処理を行った。ここで、５００℃でワ
ーク４の脱バインダー処理を行い、その後、１２００℃
で５時間焼成し、ワーク４を焼結させた。Next, the cover 3 is set in the opening of the box 2,
Heat treatment was performed in a firing furnace. Here, the binder removal treatment of the work 4 is performed at 500 ° C., and then 1200 ° C.
For 5 hours, and the work 4 was sintered.
【００２７】（実施例２）実施例１において得られるセ
ラミックグリーンシートに用いるＡｌ2Ｏ3の平均粒径
と、肉厚とを変動させて得られたセラミックグリーンシ
ートを用いて、実施例１に示す焼成工程と同様にワーク
を焼成した。このとき、それぞれのセラミックグリーン
シートについて、成形の可否、焼結の有無を調べた。さ
らに、それぞれのワークについて、匣との反応不良の発
生、機械的品質係数Ｑｍを調べた。その結果を表１に示
す（表中の※印は本発明の範囲外）。なお、機械的品質
係数Ｑｍは４００〜５００の範囲である必要があり、求
め方は以下の通りである。(Example 2) Using a ceramic green sheet obtained by varying the average particle diameter and thickness of Al 2 O 3 used for the ceramic green sheet obtained in Example 1, The workpiece was fired in the same manner as the firing step shown. At this time, for each ceramic green sheet, the possibility of forming and the presence or absence of sintering were examined. Further, for each of the workpieces, the occurrence of a poor reaction with the box and the mechanical quality factor Qm were examined. The results are shown in Table 1 (* in the table is outside the scope of the present invention). It should be noted that the mechanical quality factor Qm needs to be in the range of 400 to 500, and is determined as follows.
【００２８】 Qm=fa2×109／｛2π・fr・Cx・Zr・(fa2−fr2)｝ fr：共振周波数（kHz） fa：反共振周波数（kHz） Cx：容量（pF） Zr：共振抵抗（ohm） また、匣との反応不良については反応不良面積率（％）
を調べ、これが５０％以上のものを「×」、０％を除く
５０％未満のものを「△」、０％のものを「○」とし
た。また、セラミックグリーンシートの代わりにジルコ
ニアの敷粉を用いたものを比較例とした。Qm = fa 2 × 10 9 / {2π · fr · Cx · Zr · (fa 2 −fr 2 )} fr: resonance frequency (kHz) fa: anti-resonance frequency (kHz) Cx: capacitance (pF) Zr : Resonance resistance (ohm) In addition, for the reaction failure with the box, the area ratio of the reaction failure (%)
Were examined, and those with 50% or more were evaluated as "x", those with less than 50% excluding 0% as "Δ", and those with 0% as "o". In addition, a comparative example using zirconia bedding powder instead of the ceramic green sheet was used.
【００２９】[0029]
【表１】 [Table 1]
【００３０】表１に示すように、本発明のようにセラミ
ックグリーンシートを介してワークの焼成を行うことに
よって、セラミックグリーンシートを用いずにワークを
焼成した場合と比べて、匣とワークとの反応を効果的に
抑制できることがわかる。As shown in Table 1, by firing the work through the ceramic green sheet as in the present invention, the work of the box and the work is compared with the case where the work is fired without using the ceramic green sheet. It can be seen that the reaction can be effectively suppressed.
【００３１】ここで、請求項１において、セラミック原
料の平均粒径を３０μｍ以下としたのは、試料番号１の
ように、Ａｌ2Ｏ3の平均粒径が３０μｍより大きい場合
には、セラミックグリーンシートが焼結せず、粉末状と
なるためワークと匣との反応部分面積率が大きくなるう
え、セラミックグリーンシートの匣からの取り出しに手
間がかかり好ましくないからである。Here, in claim 1, the reason why the average particle size of the ceramic raw material is 30 μm or less is that when the average particle size of Al 2 O 3 is larger than 30 μm as in sample No. 1, This is because the sheet does not sinter and is powdery, so that the area ratio of the reaction portion between the work and the box increases, and it takes time and effort to remove the ceramic green sheet from the box.
【００３２】また、請求項１において、セラミックグリ
ーンシートの肉厚を３０〜５００μｍに限定したのは、
試料番号６のように、セラミックグリーンシートの肉厚
が３０μｍより小さい場合には、ピンホールやすじ状の
傷が付き、シート化が困難であり好ましくないからであ
る。一方、試料番号１１のように、セラミックグリーン
シートの肉厚が５００μｍより大きい場合には、ワーク
からのＰｂＯの吸着量が大きくなって機械的品質係数Ｑ
ｍが５００より大きくなり、好ましくないからである。In the first aspect, the thickness of the ceramic green sheet is limited to 30 to 500 μm.
If the thickness of the ceramic green sheet is smaller than 30 μm as in Sample No. 6, pinholes or scratches are formed, making it difficult to form a sheet, which is not preferable. On the other hand, when the thickness of the ceramic green sheet is larger than 500 μm as in Sample No. 11, the amount of PbO adsorbed from the work becomes large and the mechanical quality factor Q
This is because m is larger than 500, which is not preferable.
【００３３】（実施例３）セラミックグリーンシートに
用いるセラミック原料をＡｌ2Ｏ3の代わりに、粒径が３
μｍのＺｒＯ2，ＭｇＯを用い、実施例１と同様の方法
で肉厚が１５０μｍのセラミックグリーンシートを作製
し、このセラミックグリーンシートを用いてワークの焼
成を行った。その結果を表２に示す。Example 3 The ceramic raw material used for the ceramic green sheet was replaced with Al 2 O 3 , and the particle size was 3
A ceramic green sheet having a thickness of 150 μm was prepared in the same manner as in Example 1 using μm of ZrO 2 and MgO, and the workpiece was fired using this ceramic green sheet. Table 2 shows the results.
【００３４】[0034]
【表２】 [Table 2]
【００３５】表２に示すように、上記のセラミック原料
で作製したセラミックグリーンシートを用いても、ワー
クと匣とが反応を起こすことを防止できることがわか
る。As shown in Table 2, it can be seen that a reaction between the work and the box can be prevented even when the ceramic green sheet made of the above ceramic raw material is used.
【００３６】（実施例４）平均粒径が３μｍであり、肉
厚が８０μｍのＡｌ2Ｏ3を用い、実施例１と同様にして
セラミックグリーンシートを作製した。次に、このセラ
ミックグリーンシートの片面にＺｒＯ2スラリーを塗布
した後、乾燥させて、２層構造の多層グリーンシートと
した。この多層グリーンシートのジルコニア層形成面を
上にして匣の載置面に敷設し、その上にワークを載置し
て焼成した。また、比較例としてＺｒＯ2スラリーを塗
布していないものを同様にして焼成した。Example 4 A ceramic green sheet was produced in the same manner as in Example 1 using Al 2 O 3 having an average particle size of 3 μm and a thickness of 80 μm. Next, a ZrO 2 slurry was applied to one surface of the ceramic green sheet, and then dried to obtain a multilayer green sheet having a two-layer structure. The multilayer green sheet was laid on the mounting surface of the box with the zirconia layer-forming surface facing up, and the workpiece was mounted thereon and fired. In addition, as a comparative example, one not coated with the ZrO 2 slurry was similarly fired.
【００３７】ワークの焼成後に、それぞれのシートへの
ワークの溶着率を調べたところ、多層グリーンシートの
溶着率は０％であり、ＺｒＯ2スラリーを塗布していな
いグリーンシートの溶着率は２０％であった。以上の結
果から、ワークの載置面にＺｒＯ2層を形成したセラミ
ックグリーンシートを用いることによって、ワークのセ
ラミックグリーンシートへの溶着率を低下させうること
がわかる。After the work was fired, the rate of deposition of the work on each sheet was examined. The rate of deposition of the multilayer green sheet was 0%, and the rate of deposition of the green sheet not coated with the ZrO 2 slurry was 20%. Met. From the above results, it is understood that the use of the ceramic green sheet having the ZrO 2 layer formed on the work mounting surface can reduce the welding rate of the work to the ceramic green sheet.
【００３８】[0038]
【発明の効果】本発明のワークの焼成方法は、載置面を
有する匣の載置面に、セラミック原料とバインダー成分
とからなるセラミックグリーンシートを敷設し、セラミ
ックグリーンシート上にワークを載置して焼成するもの
であり、セラミック原料の平均粒径が３０μｍ以下（た
だし、０は含まない）とし、前記セラミックグリーンシ
ートの肉厚が３０〜５００μｍとする。According to the method of firing a work of the present invention, a ceramic green sheet comprising a ceramic raw material and a binder component is laid on a mounting surface of a box having a mounting surface, and the work is mounted on the ceramic green sheet. The average particle size of the ceramic raw material is 30 μm or less (however, 0 is not included), and the thickness of the ceramic green sheet is 30 to 500 μm.
【００３９】このようにしてワークを焼成することによ
り、ワークと焼成用道具材との反応を防止でき、ワーク
の反りも低減することができる。また、作業効率の向上
を図り、空気中へ飛散する揮発物質の量を減らし、作業
環境の悪化を抑えることができる。By firing the work in this manner, the reaction between the work and the firing tool material can be prevented, and the warpage of the work can be reduced. Further, the working efficiency can be improved, the amount of volatile substances scattered into the air can be reduced, and the deterioration of the working environment can be suppressed.
【００４０】また、揮発成分を適度に吸収し、かつ焼成
時に板状に焼結させ、匣がワークに対して及ぼす影響を
効果的に抑制することができる。また、セラミックグリ
ーンシートを容易に成形することができる。Further, the volatile component is appropriately absorbed and sintered into a plate shape during firing, so that the influence of the box on the work can be effectively suppressed. Further, the ceramic green sheet can be easily formed.
【００４１】また、セラミック原料を、アルミナ、ジル
コニア、マグネシアの中から選ぶことによって、ワーク
との反応が少ないセラミックグリーンシートとすること
ができる。Further, by selecting the ceramic raw material from among alumina, zirconia, and magnesia, a ceramic green sheet having little reaction with the workpiece can be obtained.
【００４２】また、セラミックグリーンシートのワーク
載置面にジルコニア層を形成することによって、ワーク
とセラミックグリーンシートとの溶着を抑制し、かつ安
価なセラミックグリーンシートとすることができる。Further, by forming a zirconia layer on the work mounting surface of the ceramic green sheet, welding between the work and the ceramic green sheet can be suppressed, and an inexpensive ceramic green sheet can be obtained.
【図１】ワークの焼成状態を表す分解斜視図FIG. 1 is an exploded perspective view showing a firing state of a work.
１ セラミックグリーンシート ２ 匣 ３ 蓋材 ４ ワーク Reference Signs List 1 ceramic green sheet 2 box 3 lid material 4 work
Claims (3)
面に、セラミック原料とバインダー成分とを含むセラミ
ックグリーンシートを敷設し、前記セラミックグリーン
シート上に被焼成物を載置して焼成する被焼成物の焼成
方法であって、前記セラミック原料の平均粒径が３０μ
ｍ以下（ただし、０は含まない）であり、前記セラミッ
クグリーンシートの肉厚が３０〜５００μｍであること
を特徴とする被焼成物の焼成方法。1. A ceramic green sheet containing a ceramic raw material and a binder component is laid on a mounting surface of a firing tool having a mounting surface, and an object to be fired is mounted on the ceramic green sheet. A method for firing an object to be fired, wherein the ceramic material has an average particle size of 30 μm.
m or less (however, 0 is not included), and the thickness of the ceramic green sheet is 30 to 500 μm.
コニア、マグネシアの中から選ばれることを特徴とする
請求項１に記載の被焼成物の焼成方法。2. The method according to claim 1, wherein the ceramic material is selected from alumina, zirconia, and magnesia.
焼成物載置面にジルコニア層を形成してなることを特徴
とする請求項１または請求項２に記載の被焼成物の焼成
方法。3. The firing method for an object to be fired according to claim 1, wherein a zirconia layer is formed on the surface of the ceramic green sheet on which the object to be fired is mounted.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10282655A JP2000109369A (en) | 1998-10-05 | 1998-10-05 | Firing method for material to be fired |
| CN 99121003 CN1250040A (en) | 1998-10-05 | 1999-09-29 | Method for calcining material |
| DE1999147605 DE19947605A1 (en) | 1998-10-05 | 1999-10-04 | Firing, e.g., of volatile substance-containing ceramic workpieces useful in electronic components is carried out using a green ceramic foil between a firing aid and a workpiece |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10282655A JP2000109369A (en) | 1998-10-05 | 1998-10-05 | Firing method for material to be fired |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000109369A true JP2000109369A (en) | 2000-04-18 |
Family
ID=17655347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10282655A Pending JP2000109369A (en) | 1998-10-05 | 1998-10-05 | Firing method for material to be fired |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
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| CN (1) | CN1250040A (en) |
| DE (1) | DE19947605A1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009011210A1 (en) * | 2007-07-19 | 2009-01-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for producing ceramic sintered body |
-
1998
- 1998-10-05 JP JP10282655A patent/JP2000109369A/en active Pending
-
1999
- 1999-09-29 CN CN 99121003 patent/CN1250040A/en active Pending
- 1999-10-04 DE DE1999147605 patent/DE19947605A1/en not_active Ceased
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009011210A1 (en) * | 2007-07-19 | 2009-01-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for producing ceramic sintered body |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1250040A (en) | 2000-04-12 |
| DE19947605A1 (en) | 2000-04-20 |
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