JP2000105273A - 磁性検査方法及び装置 - Google Patents
磁性検査方法及び装置Info
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- JP2000105273A JP2000105273A JP10275331A JP27533198A JP2000105273A JP 2000105273 A JP2000105273 A JP 2000105273A JP 10275331 A JP10275331 A JP 10275331A JP 27533198 A JP27533198 A JP 27533198A JP 2000105273 A JP2000105273 A JP 2000105273A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 非磁性から磁性への変化又はその逆への
変化を高い検出感度で容易に検査可能にすること 【解決手段】 磁性検査は、少なくとも１つの磁石及び
磁気的空間を含む磁束通路を備えた磁石手段のＮ極面と
Ｓ極面とを被検査体に対面させ、非検査体を通過する磁
束の少なくとも一部を磁気的空間に配置された磁気検出
素子により検出することにより実行される。これによ
り、非磁性から磁性への変化又はその逆への変化を高い
検出感度で容易に検査可能になる。
変化を高い検出感度で容易に検査可能にすること 【解決手段】 磁性検査は、少なくとも１つの磁石及び
磁気的空間を含む磁束通路を備えた磁石手段のＮ極面と
Ｓ極面とを被検査体に対面させ、非検査体を通過する磁
束の少なくとも一部を磁気的空間に配置された磁気検出
素子により検出することにより実行される。これによ
り、非磁性から磁性への変化又はその逆への変化を高い
検出感度で容易に検査可能になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属材料のような
被検査体の磁性を検査する方法及び装置に関する。
被検査体の磁性を検査する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】オーステナイト組織を有するステンレス
鋼のような金属材料は、いわゆる非磁性であり、その透
磁率が非常に小さいから、磁石に吸着されない。しか
し、オーステナイト組織は、温度、応力又は歪みの影響
を受けて、その一部がマルテンサイト組織に変態する性
質を有する。マルテンサイト組織は強磁性を呈するか
ら、そのような変態が金属材料に起こると、その金属材
料の透磁率は大きくなり、その金属材料は磁石に吸着さ
れるようになる。
鋼のような金属材料は、いわゆる非磁性であり、その透
磁率が非常に小さいから、磁石に吸着されない。しか
し、オーステナイト組織は、温度、応力又は歪みの影響
を受けて、その一部がマルテンサイト組織に変態する性
質を有する。マルテンサイト組織は強磁性を呈するか
ら、そのような変態が金属材料に起こると、その金属材
料の透磁率は大きくなり、その金属材料は磁石に吸着さ
れるようになる。
【０００３】また、ニッケル、クロム、タングステン等
を主成分とする合金で、熱処理設備の配管等に使用され
る材料においても、当初は非磁性であるが、劣化ととも
に、磁性を帯びるものも知られている。
を主成分とする合金で、熱処理設備の配管等に使用され
る材料においても、当初は非磁性であるが、劣化ととも
に、磁性を帯びるものも知られている。
【０００４】上記のように、非磁性から磁性に変化する
材料又はその逆に変化する材料においては、その変化が
材料の疲労や劣化を意味する場合があるので、この変化
の程度を簡単に検査することが重要である。
材料又はその逆に変化する材料においては、その変化が
材料の疲労や劣化を意味する場合があるので、この変化
の程度を簡単に検査することが重要である。
【０００５】この種の磁性検査技術の１つとして、Ｎ極
及びＳ極を有する磁石手段を被検査体から間隔をおいて
配置し、Ｎ極からＳ極に至る磁束のうち、被検査体を通
過しない磁束の一部が通過する位置に磁気検出素子を配
置し、磁束の一部を磁気検出素子で検出するものがある
（特開平１０−１７０６２０号公報）。
及びＳ極を有する磁石手段を被検査体から間隔をおいて
配置し、Ｎ極からＳ極に至る磁束のうち、被検査体を通
過しない磁束の一部が通過する位置に磁気検出素子を配
置し、磁束の一部を磁気検出素子で検出するものがある
（特開平１０−１７０６２０号公報）。
【０００６】
【解決しようとする課題】しかし、このような技術で
は、被検査体を通過しない磁束の一部を検出することに
より、非磁性状態から磁性状態への変化を検出するか
ら、検出感度が低い。検出感度が低いと、被検査体の変
化の状態を正確に知ることができない。
は、被検査体を通過しない磁束の一部を検出することに
より、非磁性状態から磁性状態への変化を検出するか
ら、検出感度が低い。検出感度が低いと、被検査体の変
化の状態を正確に知ることができない。
【０００７】それゆえに、この種の磁性検査技術におい
ては、非磁性から磁性への変化又はその逆への変化を高
い検出感度で容易に検査可能にすることが重要である。
ては、非磁性から磁性への変化又はその逆への変化を高
い検出感度で容易に検査可能にすることが重要である。
【０００８】
【解決手段、作用及び効果】本発明の磁性検査方法は、
少なくとも１つの磁石及び磁気的空間を含む磁束通路を
備えた磁石手段のＮ極面とＳ極面とを被検査体に対面さ
せ、前記磁気的空間に配置された磁気検出素子により前
記磁気的空間の少なくとも一部を通過する磁束を検出す
ることを含む。
少なくとも１つの磁石及び磁気的空間を含む磁束通路を
備えた磁石手段のＮ極面とＳ極面とを被検査体に対面さ
せ、前記磁気的空間に配置された磁気検出素子により前
記磁気的空間の少なくとも一部を通過する磁束を検出す
ることを含む。
【０００９】本発明の磁性検査装置は、Ｎ極面、Ｓ極
面、少なくとも１つの磁石、磁気的空間及びそれらを経
る磁束通路を備えた磁石手段と、前記磁気的空間に配置
された磁気検出素子と、前記磁気検出素子の出力信号を
処理する信号処理手段とを含む。
面、少なくとも１つの磁石、磁気的空間及びそれらを経
る磁束通路を備えた磁石手段と、前記磁気的空間に配置
された磁気検出素子と、前記磁気検出素子の出力信号を
処理する信号処理手段とを含む。
【００１０】磁石手段は、そのＮ極面及びＳ極面が被検
査体に対面する状態に配置される。これにより、磁気的
空間を経る磁束の通路と、被検査体を経る磁束の通路が
閉じた磁束通路すなわち磁気回路が形成される。この磁
気回路の磁気抵抗は、被検査体の透磁率の変化に依存し
て変化する。
査体に対面する状態に配置される。これにより、磁気的
空間を経る磁束の通路と、被検査体を経る磁束の通路が
閉じた磁束通路すなわち磁気回路が形成される。この磁
気回路の磁気抵抗は、被検査体の透磁率の変化に依存し
て変化する。
【００１１】例えば、被検査体の透磁率が小さくなる
と、上記磁気回路の磁気抵抗が大きくなりその磁気回路
中に存在している磁石の動作点における発生磁束が少な
くなるから、その磁気回路を通過する磁束も少なくな
る。
と、上記磁気回路の磁気抵抗が大きくなりその磁気回路
中に存在している磁石の動作点における発生磁束が少な
くなるから、その磁気回路を通過する磁束も少なくな
る。
【００１２】また、逆に、被検査体の透磁率が大きくな
ると、上記磁気回路の磁気抵抗が小さくなりその磁気回
路中に存在している磁石の動作点における発生磁束が多
くなるから、その磁気回路を通過する磁束も多くなる。
ると、上記磁気回路の磁気抵抗が小さくなりその磁気回
路中に存在している磁石の動作点における発生磁束が多
くなるから、その磁気回路を通過する磁束も多くなる。
【００１３】それゆえに、磁気回路を通る磁束の変化、
ひいては被検査体を経る磁束の変化を磁気的空間に配置
された磁気検出素子で検出することにより、被検査体の
透磁率の変化、ひいては被検査体の磁性の程度を知るこ
とができる。
ひいては被検査体を経る磁束の変化を磁気的空間に配置
された磁気検出素子で検出することにより、被検査体の
透磁率の変化、ひいては被検査体の磁性の程度を知るこ
とができる。
【００１４】上記のように、被検査体を通る磁束を検出
するならば、被検査体を経ない磁束を検出する場合に比
べ、検出感度が高く、変化の程度をより正確に知ること
ができる。
するならば、被検査体を経ない磁束を検出する場合に比
べ、検出感度が高く、変化の程度をより正確に知ること
ができる。
【００１５】第１の実施例においては、前記磁石手段は
さらにヨークを備え、前記磁束通路は、前記磁石の一方
の極、前記磁気的空間及び前記ヨークの一部の面をその
順に又はその逆に経るように形成されており、前記磁石
の他方の極は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面のいずれか一方を
形成しており、前記ヨークの他の一部は前記Ｎ極及び前
記Ｓ極面の他方を形成している。
さらにヨークを備え、前記磁束通路は、前記磁石の一方
の極、前記磁気的空間及び前記ヨークの一部の面をその
順に又はその逆に経るように形成されており、前記磁石
の他方の極は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面のいずれか一方を
形成しており、前記ヨークの他の一部は前記Ｎ極及び前
記Ｓ極面の他方を形成している。
【００１６】第２の実施例においては、前記磁石手段は
さらに第１及び第２のヨークを備え、前記磁束通路は、
前記磁石の一方の極、前記第１のヨークの一部の面、前
記第１のヨークの他の一部の面、前記磁気的空間及び前
記第２のヨークの一部の面をその順に又はその逆に経る
ように直列的に形成されており、前記磁石の他方の極は
前記Ｎ極及び前記Ｓ極面のいずれか一方を形成してお
り、前記第２のヨークの他の一部は前記Ｎ極及び前記Ｓ
極面の他方を形成している。
さらに第１及び第２のヨークを備え、前記磁束通路は、
前記磁石の一方の極、前記第１のヨークの一部の面、前
記第１のヨークの他の一部の面、前記磁気的空間及び前
記第２のヨークの一部の面をその順に又はその逆に経る
ように直列的に形成されており、前記磁石の他方の極は
前記Ｎ極及び前記Ｓ極面のいずれか一方を形成してお
り、前記第２のヨークの他の一部は前記Ｎ極及び前記Ｓ
極面の他方を形成している。
【００１７】第３の実施例においては、前記磁石手段は
さらに第１及び第２のヨークを備え、前記磁束通路は、
前記第１のヨークの一部の面、前記磁気的空間、前記磁
石の一方の極、前記磁石の他方の極及び前記第２のヨー
クの一部の面をその順に又はその逆に経るように直列的
に形成されており、前記第１のヨークの他の一部は前記
Ｎ極及び前記Ｓ極面のいずれか一方を形成しており、前
記第２のヨークの他の一部は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面の
他方を形成している。
さらに第１及び第２のヨークを備え、前記磁束通路は、
前記第１のヨークの一部の面、前記磁気的空間、前記磁
石の一方の極、前記磁石の他方の極及び前記第２のヨー
クの一部の面をその順に又はその逆に経るように直列的
に形成されており、前記第１のヨークの他の一部は前記
Ｎ極及び前記Ｓ極面のいずれか一方を形成しており、前
記第２のヨークの他の一部は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面の
他方を形成している。
【００１８】第４の実施例においては、前記磁石は第１
及び第２の磁石を備え、前記磁束通路は、前記第１の磁
石の一方の極、前記磁気的空間及び前記第２の磁石の一
方の極をその順に又はその逆に経るように直列的に形成
されており、前記第１の磁石の他方の極は前記Ｎ極及び
前記Ｓ極面のいずれか一方を形成しており、前記第２の
磁石の他方の極は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面の他方を形成
している。
及び第２の磁石を備え、前記磁束通路は、前記第１の磁
石の一方の極、前記磁気的空間及び前記第２の磁石の一
方の極をその順に又はその逆に経るように直列的に形成
されており、前記第１の磁石の他方の極は前記Ｎ極及び
前記Ｓ極面のいずれか一方を形成しており、前記第２の
磁石の他方の極は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面の他方を形成
している。
【００１９】第５の実施例においては、前記磁石手段は
さらにヨークを備え、前記磁石は第１及び第２の磁石を
備え、前記磁束通路は、前記第１の磁石の一方の極、前
記磁気的空間、前記ヨークの一部の面、前記ヨークの他
の一部の面及び前記第２の磁石の一方の極をその順に又
はその逆に経るように直列的に形成されており、前記第
１の磁石の他方の極は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面のいずれ
か一方を形成しており、前記第２の磁石の他方の極は前
記Ｎ極及び前記Ｓ極面の他方を形成している。
さらにヨークを備え、前記磁石は第１及び第２の磁石を
備え、前記磁束通路は、前記第１の磁石の一方の極、前
記磁気的空間、前記ヨークの一部の面、前記ヨークの他
の一部の面及び前記第２の磁石の一方の極をその順に又
はその逆に経るように直列的に形成されており、前記第
１の磁石の他方の極は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面のいずれ
か一方を形成しており、前記第２の磁石の他方の極は前
記Ｎ極及び前記Ｓ極面の他方を形成している。
【００２０】第６の実施例においては、前記磁石手段は
さらに第１及び第２のヨークを備え、前記磁石は第１及
び第２の磁石を備え、前記磁束通路は、前記第１の磁石
の一方の極、前記第１のヨークの一部の面、前記第１の
ヨークの他の一部の面、前記磁気的空間、前記第２のヨ
ークの一部の面、前記第２のヨークの他の一部の面及び
前記第２の磁石の一方の極をその順に又はその逆に経る
ように直列的に形成されており、前記第１の磁石の他方
の極は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面のいずれか一方を形成し
ており、前記第２の磁石の他方の極は前記Ｎ極及び前記
Ｓ極面の他方を形成している。
さらに第１及び第２のヨークを備え、前記磁石は第１及
び第２の磁石を備え、前記磁束通路は、前記第１の磁石
の一方の極、前記第１のヨークの一部の面、前記第１の
ヨークの他の一部の面、前記磁気的空間、前記第２のヨ
ークの一部の面、前記第２のヨークの他の一部の面及び
前記第２の磁石の一方の極をその順に又はその逆に経る
ように直列的に形成されており、前記第１の磁石の他方
の極は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面のいずれか一方を形成し
ており、前記第２の磁石の他方の極は前記Ｎ極及び前記
Ｓ極面の他方を形成している。
【００２１】
【発明の実施の形態】図１を参照するに、磁性検出装置
１０は、磁石組立体１２と、磁石組立体１２に形成され
た磁気的空間１４に配置された磁気検出素子１６と、磁
気検出素子１６の出力信号を処理する信号処理回路１８
とを含む。
１０は、磁石組立体１２と、磁石組立体１２に形成され
た磁気的空間１４に配置された磁気検出素子１６と、磁
気検出素子１６の出力信号を処理する信号処理回路１８
とを含む。
【００２２】磁石組立体１２は、永久磁石２０とＬ字状
のヨーク２２とを箱状のケーシング２４内に配置してお
り、また永久磁石２０のＳ極とヨーク２２の一部の面と
により磁気的空間１４を形成している。ケーシング２４
は、非磁性材料から形成されている。
のヨーク２２とを箱状のケーシング２４内に配置してお
り、また永久磁石２０のＳ極とヨーク２２の一部の面と
により磁気的空間１４を形成している。ケーシング２４
は、非磁性材料から形成されている。
【００２３】磁気検出素子１６は、ケーブルのような接
続線２６により信号処理回路１８に接続されている。磁
気検出素子１６は、図示の例ではホール素子であるが、
サーチコイルのような他の素子であってもよい。
続線２６により信号処理回路１８に接続されている。磁
気検出素子１６は、図示の例ではホール素子であるが、
サーチコイルのような他の素子であってもよい。
【００２４】図示の例では、樹脂のような非磁性材料２
８がケーシング２４内の空間に充填されており、これに
より磁気検出素子１６、永久磁石２０、ヨーク２２及び
ケーシング２４は相対的移動不能に維持されている。
８がケーシング２４内の空間に充填されており、これに
より磁気検出素子１６、永久磁石２０、ヨーク２２及び
ケーシング２４は相対的移動不能に維持されている。
【００２５】しかし、非磁性材料２８を用いることな
く、磁気検出素子１６、永久磁石２０、ヨーク２２及び
ケーシング２４は相対的移動不能に維持してもよい。ま
た、ケーシング２４を用いなくてもよい。
く、磁気検出素子１６、永久磁石２０、ヨーク２２及び
ケーシング２４は相対的移動不能に維持してもよい。ま
た、ケーシング２４を用いなくてもよい。
【００２６】永久磁石２０のＮ極は磁石組立体１２のＮ
極面３０として作用し、ヨーク２２の他端部の面は磁石
組立体１２のＳ極面３２として作用する。Ｎ極面３０及
びＳ極面３２が被検査体３４に直接接触することを防止
する部材、例えばカバー、スペーサ等を磁石組立体１２
に設けてもよい。
極面３０として作用し、ヨーク２２の他端部の面は磁石
組立体１２のＳ極面３２として作用する。Ｎ極面３０及
びＳ極面３２が被検査体３４に直接接触することを防止
する部材、例えばカバー、スペーサ等を磁石組立体１２
に設けてもよい。
【００２７】信号処理回路１８は、磁気検出素子１６の
検出信号を基に磁気検出素子１６を通過した磁束の密度
を求め、求めた磁束密度を目視可能に表示する。このよ
うな信号処理回路１８として、ホール素子を用いた磁束
密度計の信号処理部を用いることができる。
検出信号を基に磁気検出素子１６を通過した磁束の密度
を求め、求めた磁束密度を目視可能に表示する。このよ
うな信号処理回路１８として、ホール素子を用いた磁束
密度計の信号処理部を用いることができる。
【００２８】検査時、検査装置１０は、Ｎ極面３０及び
Ｓ極面３２が被検査体３４の平坦な外側面に対向する状
態に、被検査体３４に対して配置される。その状態にお
いて、永久磁石２０からの磁束は、図１に矢印を含む実
線で示すように、Ｎ極面３０、被検査体３４、Ｓ極面３
２、ヨーク２２、磁気的空間１４、永久磁石２０のＳ極
及び永久磁石２０を経る直列的な磁束通路３６を形成す
る。この磁束通路３６は、閉ループであり、磁気回路と
して作用する。
Ｓ極面３２が被検査体３４の平坦な外側面に対向する状
態に、被検査体３４に対して配置される。その状態にお
いて、永久磁石２０からの磁束は、図１に矢印を含む実
線で示すように、Ｎ極面３０、被検査体３４、Ｓ極面３
２、ヨーク２２、磁気的空間１４、永久磁石２０のＳ極
及び永久磁石２０を経る直列的な磁束通路３６を形成す
る。この磁束通路３６は、閉ループであり、磁気回路と
して作用する。
【００２９】閉じた磁束通路すなわち磁気回路３６を通
る磁束の一部は、磁気的空間１４において磁気検出素子
１６を通過する。これにより、磁気検出素子１６はこれ
を通過する磁束の一部を検出し、検出信号を信号処理回
路１８に出力する。信号処理回路１８は、磁気検出素子
１６の出力信号を基に磁気検出素子１６を通過した磁束
の密度を求め、求めた磁束密度を目視可能に表示する。
る磁束の一部は、磁気的空間１４において磁気検出素子
１６を通過する。これにより、磁気検出素子１６はこれ
を通過する磁束の一部を検出し、検出信号を信号処理回
路１８に出力する。信号処理回路１８は、磁気検出素子
１６の出力信号を基に磁気検出素子１６を通過した磁束
の密度を求め、求めた磁束密度を目視可能に表示する。
【００３０】被検査体３４がステンレス鋼のような非磁
性材料である場合、被検査体３４の疲労、劣化等によ
り、被検査体３４の磁気的性状が非磁性から磁性へと漸
次変化し、被検査体３４の透磁率が漸次大きくなる。
性材料である場合、被検査体３４の疲労、劣化等によ
り、被検査体３４の磁気的性状が非磁性から磁性へと漸
次変化し、被検査体３４の透磁率が漸次大きくなる。
【００３１】被検査体３４の透磁率が大きくなると、永
久磁石２０の動作点における発生磁束が多くなり、被検
査体３４を経る磁束が多くなるから、その分磁気検出素
子１６を経る磁束が多くなり、磁気検出素子１６の出力
信号が高くなる。その結果、信号処理回路１８で得られ
る磁束密度が大きくなる。
久磁石２０の動作点における発生磁束が多くなり、被検
査体３４を経る磁束が多くなるから、その分磁気検出素
子１６を経る磁束が多くなり、磁気検出素子１６の出力
信号が高くなる。その結果、信号処理回路１８で得られ
る磁束密度が大きくなる。
【００３２】上記のように検査装置１０によれば、信号
処理回路１８に得られる磁束密度が被検査体３４の透磁
率の変化に依存して変化するから、信号処理回路１８に
得られる磁束密度から被検査体３４の透磁率、ひいては
非磁性から磁性への変化の程度を知ることができる。
処理回路１８に得られる磁束密度が被検査体３４の透磁
率の変化に依存して変化するから、信号処理回路１８に
得られる磁束密度から被検査体３４の透磁率、ひいては
非磁性から磁性への変化の程度を知ることができる。
【００３３】上記の結果、検査装置１０によれば、ステ
ンレス鋼のように非磁性から磁性に変化する被検査体３
４の疲労又は劣化の度合いを簡単な装置で容易に知るこ
とができる。また、検査装置１０によれば、被検査体３
４を経る磁束を検出するから、被検査体を経ない磁束を
検出する磁性検査装置に比べ、検出感度が著しく高い。
ンレス鋼のように非磁性から磁性に変化する被検査体３
４の疲労又は劣化の度合いを簡単な装置で容易に知るこ
とができる。また、検査装置１０によれば、被検査体３
４を経る磁束を検出するから、被検査体を経ない磁束を
検出する磁性検査装置に比べ、検出感度が著しく高い。
【００３４】被検査体３４の疲労又は劣化の度合いは、
磁気検出素子１６を経る磁束の量が被検査体３４の透磁
率の変化に比例することから、例えば、検出した磁束密
度が大きいほど、大きい、というように判定することが
できる。なお、信号処理回路１８で求めた磁束密度を記
憶回路に記憶してもよいし、他の回路において被検査体
の制御に用いてもよい。
磁気検出素子１６を経る磁束の量が被検査体３４の透磁
率の変化に比例することから、例えば、検出した磁束密
度が大きいほど、大きい、というように判定することが
できる。なお、信号処理回路１８で求めた磁束密度を記
憶回路に記憶してもよいし、他の回路において被検査体
の制御に用いてもよい。
【００３５】図２を参照するに、磁性検査装置４０の磁
石組立体４２は、一対のヨーク４４及び４６によりＬ字
状のヨークを形成していると共に、両ヨーク４４及び４
６の間に磁気的空間１４を形成している。
石組立体４２は、一対のヨーク４４及び４６によりＬ字
状のヨークを形成していると共に、両ヨーク４４及び４
６の間に磁気的空間１４を形成している。
【００３６】ヨーク４４は、一端面側の部位において永
久磁石２０のＳ極に接触されており、他端面においてヨ
ーク４６の一端面側の部位に対向されて磁気的空間１４
を形成している。ヨーク４６の他端面は、磁石組立体４
２のＳ極面として作用する。
久磁石２０のＳ極に接触されており、他端面においてヨ
ーク４６の一端面側の部位に対向されて磁気的空間１４
を形成している。ヨーク４６の他端面は、磁石組立体４
２のＳ極面として作用する。
【００３７】この磁性検査装置４０は、磁性検査装置１
０と同様に用いられる。永久磁石２０からの磁束は、Ｎ
極面３０、被検査体３４、Ｓ極面３２、ヨーク４６、磁
気的空間１４、ヨーク４４、永久磁石２０のＳ極及び永
久磁石２０を経る閉じた磁束通路４８を形成する。
０と同様に用いられる。永久磁石２０からの磁束は、Ｎ
極面３０、被検査体３４、Ｓ極面３２、ヨーク４６、磁
気的空間１４、ヨーク４４、永久磁石２０のＳ極及び永
久磁石２０を経る閉じた磁束通路４８を形成する。
【００３８】磁性検査装置４０は、磁性検査装置１０と
同様に作用し、磁性検査装置１０と同様の効果を生じる
のみならず、磁気的空間１４を両ヨーク４４，４６の間
に形成しているから、磁気的空間１４を形成する面（す
なわち、磁気的空間１４を経る磁束と直角方向の断面
積）を永久磁石２０の極の面積より小さくして、磁気検
出素子１６を通過する磁束密度を大きくすることがで
き、検出感度をより向上させることができる。
同様に作用し、磁性検査装置１０と同様の効果を生じる
のみならず、磁気的空間１４を両ヨーク４４，４６の間
に形成しているから、磁気的空間１４を形成する面（す
なわち、磁気的空間１４を経る磁束と直角方向の断面
積）を永久磁石２０の極の面積より小さくして、磁気検
出素子１６を通過する磁束密度を大きくすることがで
き、検出感度をより向上させることができる。
【００３９】図３を参照するに、磁性検査装置５０の磁
石組立体５２は、Ｎ極面３０及びＳ極面３２をそれぞれ
間隔をおいたヨーク５４及び５６により形成している。
永久磁石２０は、Ｎ極をヨーク５４に接触させており、
またＳ極をヨーク５６に対向させて永久磁石２０のＳ極
とヨーク５６の端部内側面とにより磁気的空間１４を形
成している。
石組立体５２は、Ｎ極面３０及びＳ極面３２をそれぞれ
間隔をおいたヨーク５４及び５６により形成している。
永久磁石２０は、Ｎ極をヨーク５４に接触させており、
またＳ極をヨーク５６に対向させて永久磁石２０のＳ極
とヨーク５６の端部内側面とにより磁気的空間１４を形
成している。
【００４０】磁性検査装置５０は、Ｎ極面３０及びＳ極
面３２を被検査体３４の弧状の外側面に対向されること
を除いて、磁性検査装置１０と同様に用いられる。永久
磁石２０からの磁束は、そのＮ極、ヨーク５４、Ｎ極面
３０、被検査体３４、Ｓ極面３２、ヨーク５６、磁気的
空間１４、永久磁石２０のＳ極及び永久磁石２０を経る
閉じた磁束通路５８を形成する。
面３２を被検査体３４の弧状の外側面に対向されること
を除いて、磁性検査装置１０と同様に用いられる。永久
磁石２０からの磁束は、そのＮ極、ヨーク５４、Ｎ極面
３０、被検査体３４、Ｓ極面３２、ヨーク５６、磁気的
空間１４、永久磁石２０のＳ極及び永久磁石２０を経る
閉じた磁束通路５８を形成する。
【００４１】磁性検査装置５０は、磁性検査装置１０と
同様に作用し、磁性検査装置１０と同様の効果を生じる
のみならず、Ｎ極面３０及びＳ極面３２の形状を、平面
を持たない被検査体３４に適合させた形状とすることが
できる。
同様に作用し、磁性検査装置１０と同様の効果を生じる
のみならず、Ｎ極面３０及びＳ極面３２の形状を、平面
を持たない被検査体３４に適合させた形状とすることが
できる。
【００４２】図４を参照するに、検査装置６０の磁石組
立体６２は、一対の永久磁石６４，６６を用いる。永久
磁石６４及び６６は、それぞれ、Ｓ極側の部位及びＮ極
側の部位を弧状に湾曲されており、またＳ極及びＮ極を
対向させてそれら両極により磁気的空間１４を形成して
いる。永久磁石６４のＮ極及び永久磁石６６のＳ極は、
それぞれ、磁石組立体６２のＮ極面３０及びＳ極面３２
として作用する。
立体６２は、一対の永久磁石６４，６６を用いる。永久
磁石６４及び６６は、それぞれ、Ｓ極側の部位及びＮ極
側の部位を弧状に湾曲されており、またＳ極及びＮ極を
対向させてそれら両極により磁気的空間１４を形成して
いる。永久磁石６４のＮ極及び永久磁石６６のＳ極は、
それぞれ、磁石組立体６２のＮ極面３０及びＳ極面３２
として作用する。
【００４３】磁性検査装置６０は、磁性検査装置１０と
同様に用いられる。永久磁石６４，６６からの磁束は、
Ｎ極面３０、被検査体３４、Ｓ極面３２、永久磁石６
６、永久磁石６６のＮ極、磁気的空間１４、永久磁石６
４のＳ極及び永久磁石６４を経る閉じた磁束通路６８を
形成する。それゆえに、磁性検査装置６０は、磁性検査
装置１０と同様に作用し、磁性検査装置１０と同様の効
果を生じる。
同様に用いられる。永久磁石６４，６６からの磁束は、
Ｎ極面３０、被検査体３４、Ｓ極面３２、永久磁石６
６、永久磁石６６のＮ極、磁気的空間１４、永久磁石６
４のＳ極及び永久磁石６４を経る閉じた磁束通路６８を
形成する。それゆえに、磁性検査装置６０は、磁性検査
装置１０と同様に作用し、磁性検査装置１０と同様の効
果を生じる。
【００４４】図５を参照するに、検査装置７０の磁石組
立体７２は、一対の永久磁石７４，７６と板状のヨーク
７８とを用いる。永久磁石７４のＳ極は、ヨーク７８の
一端部下面から間隔をおいており、これによりヨーク７
８の一端部下面と共同して磁気的空間１４を形成してい
る。永久磁石７６は、そのＮ極をヨーク７８の他端部下
面に接触させている。永久磁石７４のＮ極及び永久磁石
７６のＳ極は、それぞれ、磁石組立体７２のＮ極面３０
及びＳ極面３２として作用する。
立体７２は、一対の永久磁石７４，７６と板状のヨーク
７８とを用いる。永久磁石７４のＳ極は、ヨーク７８の
一端部下面から間隔をおいており、これによりヨーク７
８の一端部下面と共同して磁気的空間１４を形成してい
る。永久磁石７６は、そのＮ極をヨーク７８の他端部下
面に接触させている。永久磁石７４のＮ極及び永久磁石
７６のＳ極は、それぞれ、磁石組立体７２のＮ極面３０
及びＳ極面３２として作用する。
【００４５】磁性検査装置７０は、磁性検査装置１０と
同様に用いられる。永久磁石７４，７６からの磁束は、
Ｎ極面３０、被検査体３４、Ｓ極面３２、永久磁石７
６、ヨーク７８、磁気的空間１４、永久磁石７４のＳ極
及び永久磁石７４を経る閉じた磁束通路８０を形成す
る。それゆえに、磁性検査装置７０は、磁性検査装置１
０と同様に作用し、磁性検査装置１０と同様の効果を生
じる。
同様に用いられる。永久磁石７４，７６からの磁束は、
Ｎ極面３０、被検査体３４、Ｓ極面３２、永久磁石７
６、ヨーク７８、磁気的空間１４、永久磁石７４のＳ極
及び永久磁石７４を経る閉じた磁束通路８０を形成す
る。それゆえに、磁性検査装置７０は、磁性検査装置１
０と同様に作用し、磁性検査装置１０と同様の効果を生
じる。
【００４６】図６を参照するに、検査装置９０の磁石組
立体９２は、一対の永久磁石９４，９６と板状の一対の
ヨーク９８，１００とを用いる。永久磁石９４のＳ極及
び永久磁石９６のＮ極は、それぞれ、ヨーク９８及び１
００の一端部下面に磁気的に接触されている。ヨーク９
８，１００の他端面は、両者の間に磁気的空間１４を形
成するように、対向されている。永久磁石９４のＮ極及
び永久磁石９６のＳ極は、それぞれ、磁石組立体９２の
Ｎ極面３０及びＳ極面３２として作用する。
立体９２は、一対の永久磁石９４，９６と板状の一対の
ヨーク９８，１００とを用いる。永久磁石９４のＳ極及
び永久磁石９６のＮ極は、それぞれ、ヨーク９８及び１
００の一端部下面に磁気的に接触されている。ヨーク９
８，１００の他端面は、両者の間に磁気的空間１４を形
成するように、対向されている。永久磁石９４のＮ極及
び永久磁石９６のＳ極は、それぞれ、磁石組立体９２の
Ｎ極面３０及びＳ極面３２として作用する。
【００４７】磁性検査装置９０は、磁性検査装置１０と
同様に用いられる。永久磁石９４，９６からの磁束は、
Ｎ極面３０、被検査体３４、Ｓ極面３２、永久磁石９
６、ヨーク１００、磁気的空間１４、ヨーク９８、永久
磁石９４のＳ極及び永久磁石９４を経る閉じた磁束通路
１０２を形成する。それゆえに、磁性検査装置９０は、
磁性検査装置１０と同様に作用し、磁性検査装置１０と
同様の効果を生じる。
同様に用いられる。永久磁石９４，９６からの磁束は、
Ｎ極面３０、被検査体３４、Ｓ極面３２、永久磁石９
６、ヨーク１００、磁気的空間１４、ヨーク９８、永久
磁石９４のＳ極及び永久磁石９４を経る閉じた磁束通路
１０２を形成する。それゆえに、磁性検査装置９０は、
磁性検査装置１０と同様に作用し、磁性検査装置１０と
同様の効果を生じる。
【００４８】図７を参照するに、磁性検査装置１１０の
磁石組立体１１２は、棒状の永久磁石１１４をカップ状
のヨーク１１６内に同軸的に配置し、永久磁石１１４の
一方の極Ｓとヨーク１１６の底面との間に磁気的空間１
４を形成し、永久磁石１１４の他方の極Ｎとヨーク１１
６の開放端面とを磁石組立体１１２のＮ極面３０及びＳ
極面３２としている。
磁石組立体１１２は、棒状の永久磁石１１４をカップ状
のヨーク１１６内に同軸的に配置し、永久磁石１１４の
一方の極Ｓとヨーク１１６の底面との間に磁気的空間１
４を形成し、永久磁石１１４の他方の極Ｎとヨーク１１
６の開放端面とを磁石組立体１１２のＮ極面３０及びＳ
極面３２としている。
【００４９】磁性検査装置１１０は、磁性検査装置１０
と同様に用いられる。永久磁石１１４からの磁束は、Ｎ
極面３０、被検査体３４、Ｓ極面３２、ヨーク１１６、
磁気的空間１４、永久磁石１１４のＳ極及び永久磁石１
１４を経る閉じた磁束通路１１８を形成する。それゆえ
に、磁性検査装置１１０は、磁性検査装置１０と同様に
作用し、磁性検査装置１０と同様の効果を生じる。
と同様に用いられる。永久磁石１１４からの磁束は、Ｎ
極面３０、被検査体３４、Ｓ極面３２、ヨーク１１６、
磁気的空間１４、永久磁石１１４のＳ極及び永久磁石１
１４を経る閉じた磁束通路１１８を形成する。それゆえ
に、磁性検査装置１１０は、磁性検査装置１０と同様に
作用し、磁性検査装置１０と同様の効果を生じる。
【００５０】図２から図７に示す実施例は、いずれも、
ケーシングを備えていないが、磁石組立体をケーシング
内に配置してもよい。
ケーシングを備えていないが、磁石組立体をケーシング
内に配置してもよい。
【００５１】本発明は、上記実施例に限定されない。例
えば、永久磁石の代わりに電磁石を用いてもよいし、永
久磁石と電磁石とを用いてもよい。また、本発明は、非
磁性状態から磁性状態に変化する被検査体の検査のみな
らず、磁性状態から非磁性状態に変化する非検査体の検
査にも適用することができる。それゆえに、当業者は、
本発明の趣旨を逸脱することなく、上記実施例を種々の
実施の形態に変更することができる。
えば、永久磁石の代わりに電磁石を用いてもよいし、永
久磁石と電磁石とを用いてもよい。また、本発明は、非
磁性状態から磁性状態に変化する被検査体の検査のみな
らず、磁性状態から非磁性状態に変化する非検査体の検
査にも適用することができる。それゆえに、当業者は、
本発明の趣旨を逸脱することなく、上記実施例を種々の
実施の形態に変更することができる。
【図１】本発明に係る磁性検査装置の第１の実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図２】本発明に係る磁性検査装置の第２の実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図３】本発明に係る磁性検査装置の第３の実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図４】本発明に係る磁性検査装置の第４の実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図５】本発明に係る磁性検査装置の第５の実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図６】本発明に係る磁性検査装置の第６の実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図７】本発明に係る磁性検査装置の第７の実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【符号の説明】 １０，４０，５０，６０，７０，９０，１１０ 磁性検
査装置 １２，４２，５２，６２，７２，９２，１１２ 磁石組
立体（磁石手段） １４ 磁気的空間 １６ 磁気検出素子 １８ 信号処理回路（信号処理手段） ２０，６４，６６，７４，７６，９４，９６，１１４
永久磁石 ２２，４４，４６，５４，５６，７８，９８，１００，
１１６ ヨーク ２４ ケーシング ２６ 接続線 ２８ 非磁性材料 ３０ Ｎ極面 ３２ Ｓ極面 ３６，４８，５８，６８，８０，１０２，１１８ 磁束
通路
査装置 １２，４２，５２，６２，７２，９２，１１２ 磁石組
立体（磁石手段） １４ 磁気的空間 １６ 磁気検出素子 １８ 信号処理回路（信号処理手段） ２０，６４，６６，７４，７６，９４，９６，１１４
永久磁石 ２２，４４，４６，５４，５６，７８，９８，１００，
１１６ ヨーク ２４ ケーシング ２６ 接続線 ２８ 非磁性材料 ３０ Ｎ極面 ３２ Ｓ極面 ３６，４８，５８，６８，８０，１０２，１１８ 磁束
通路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G017 AA07 AC06 AD02 AD21 AD53 BA15 CA09 CB12 2G053 AA21 AB07 AB11 BC20 CA05 DB01
Claims (8)
- 【請求項１】 少なくとも１つの磁石及び磁気的空間を
含む磁束通路を備えた磁石手段のＮ極面とＳ極面とを被
検査体に対面させ、前記磁気的空間に配置された磁気検
出素子により前記磁気的空間の少なくとも一部を通過す
る磁束を検出することを含む、磁性検出方法。 - 【請求項２】 Ｎ極面、Ｓ極面、少なくとも１つの磁
石、磁気的空間及びそれらを経る磁束通路を備えた磁石
手段と、前記磁気的空間に配置された磁気検出素子と、
前記磁気検出素子の出力信号を処理する信号処理手段と
を含む、磁性検出装置。 - 【請求項３】 前記磁石手段はさらにヨークを備え、前
記磁束通路は、前記磁石の一方の極、前記磁気的空間及
び前記ヨークの一部の面をその順に又はその逆に経るよ
うに形成されており、前記磁石の他方の極は前記Ｎ極及
び前記Ｓ極面のいずれか一方を形成しており、前記ヨー
クの他の一部は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面の他方を形成し
ている、請求項２に記載の磁性検査装置。 - 【請求項４】 前記磁石手段はさらに第１及び第２のヨ
ークを備え、前記磁束通路は、前記磁石の一方の極、前
記第１のヨークの一部の面、前記第１のヨークの他の一
部の面、前記磁気的空間及び前記第２のヨークの一部の
面をその順に又はその逆に経るように形成されており、
前記磁石の他方の極は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面のいずれ
か一方を形成しており、前記第２のヨークの他の一部は
前記Ｎ極及び前記Ｓ極面の他方を形成している、請求項
２に記載の磁性検査装置。 - 【請求項５】 前記磁石手段はさらに第１及び第２のヨ
ークを備え、前記磁束通路は、前記第１のヨークの一部
の面、前記磁気的空間、前記磁石の一方の極、前記磁石
の他方の極及び前記第２のヨークの一部の面をその順に
又はその逆に経るように形成されており、前記第１のヨ
ークの他の一部は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面のいずれか一
方を形成しており、前記第２のヨークの他の一部は前記
Ｎ極及び前記Ｓ極面の他方を形成している、請求項２に
記載の磁性検査装置。 - 【請求項６】 前記磁石は第１及び第２の磁石を備え、
前記磁束通路は、前記第１の磁石の一方の極、前記磁気
的空間及び前記第２の磁石の一方の極をその順に又はそ
の逆に経るように形成されており、前記第１の磁石の他
方の極は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面のいずれか一方を形成
しており、前記第２の磁石の他方の極は前記Ｎ極及び前
記Ｓ極面の他方を形成している、請求項２に記載の磁性
検査装置。 - 【請求項７】 前記磁石手段はさらにヨークを備え、前
記磁石は第１及び第２の磁石を備え、前記磁束通路は、
前記第１の磁石の一方の極、前記磁気的空間、前記ヨー
クの一部の面、前記ヨークの他の一部の面及び前記第２
の磁石の一方の極をその順に又はその逆に経るように形
成されており、前記第１の磁石の他方の極は前記Ｎ極及
び前記Ｓ極面のいずれか一方を形成しており、前記第２
の磁石の他方の極は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面の他方を形
成している、請求項２に記載の磁性検査装置。 - 【請求項８】 前記磁石手段はさらに第１及び第２のヨ
ークを備え、前記磁石は第１及び第２の磁石を備え、前
記磁束通路は、前記第１の磁石の一方の極、前記第１の
ヨークの一部の面、前記第１のヨークの他の一部の面、
前記磁気的空間、前記第２のヨークの一部の面、前記第
２のヨークの他の一部の面及び前記第２の磁石の一方の
極をその順に又はその逆に経るように形成されており、
前記第１の磁石の他方の極は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面の
いずれか一方を形成しており、前記第２の磁石の他方の
極は前記Ｎ極及び前記Ｓ極面の他方を形成している、請
求項２に記載の磁性検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10275331A JP2000105273A (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 磁性検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10275331A JP2000105273A (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 磁性検査方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000105273A true JP2000105273A (ja) | 2000-04-11 |
Family
ID=17553981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10275331A Pending JP2000105273A (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 磁性検査方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000105273A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4813562B2 (ja) * | 2005-10-11 | 2011-11-09 | ポスコ | 金属素材の変態量のオンライン測定装置 |
| EP3324180B1 (en) * | 2015-07-16 | 2023-09-20 | Sumitomo Chemical Company, Ltd. | Defect measurement method and testing probe |
-
1998
- 1998-09-29 JP JP10275331A patent/JP2000105273A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4813562B2 (ja) * | 2005-10-11 | 2011-11-09 | ポスコ | 金属素材の変態量のオンライン測定装置 |
| EP3324180B1 (en) * | 2015-07-16 | 2023-09-20 | Sumitomo Chemical Company, Ltd. | Defect measurement method and testing probe |
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