JP2000090824A - 画像表示装置用金属隔壁の製造方法および画像表示装置用金属隔壁 - Google Patents
画像表示装置用金属隔壁の製造方法および画像表示装置用金属隔壁Info
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- JP2000090824A JP2000090824A JP25905398A JP25905398A JP2000090824A JP 2000090824 A JP2000090824 A JP 2000090824A JP 25905398 A JP25905398 A JP 25905398A JP 25905398 A JP25905398 A JP 25905398A JP 2000090824 A JP2000090824 A JP 2000090824A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＰＤＰやＰＡＬＣに用いられる隔壁に、金属
材料を利用するにあたり、材料中の介在物やピンホール
の問題を改善することにより実用化を図る。 【解決手段】 本発明では、溶製法で真空溶解を用いて
鍛造や熱間圧延による加工を経た後、冷間圧延により薄
板を製造する。この薄板を素材として、エッチング加工
により隔壁の形状とした後、絶縁物を被覆する。
材料を利用するにあたり、材料中の介在物やピンホール
の問題を改善することにより実用化を図る。 【解決手段】 本発明では、溶製法で真空溶解を用いて
鍛造や熱間圧延による加工を経た後、冷間圧延により薄
板を製造する。この薄板を素材として、エッチング加工
により隔壁の形状とした後、絶縁物を被覆する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、画像表示装置とし
て使用されるプラズマディスプレイ（以下ＰＤＰと称
す）やプラズマを利用した液晶ディスプレイ（以下ＰＡ
ＬＣと称す）に使用される隔壁に関する。
て使用されるプラズマディスプレイ（以下ＰＤＰと称
す）やプラズマを利用した液晶ディスプレイ（以下ＰＡ
ＬＣと称す）に使用される隔壁に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に複数の放電セルを配置したＰＤＰ
パネルにおいては、隣接セルへのクロストークを防止す
るため、絶縁性の隔壁が必要とされており、ガラスベー
スの多層印刷や、サンドブラスト加工によりガラス質の
隔壁が利用されている。しかしながら、これらの製法で
は、製造コストが高くなりＰＤＰの応用範囲が限定さ
れ、民生用として普及していないのが現状である。そこ
で製造コストの低減の目的から、特開平３−２０５７３
８号に金属隔壁を応用することが開示されているが、現
在のところＰＤＰやＰＡＬＣに実用化されていない。こ
れは、ＰＤＰやＰＡＬＣでは、５０μｍ程度の格子状の
隔壁の形成の容易性が求められ、その素材に１０μｍを
超えるような大型の介在物は、隔壁のエッチング孔の異
形化の原因となることから、その素材には高清浄化が要
求されているが、現在のところ、ＰＤＰやＰＡＬＣ用の
Ｆｅ−Ｎｉ系合金の介在物等の不純物低減の検討はなさ
れていない。
パネルにおいては、隣接セルへのクロストークを防止す
るため、絶縁性の隔壁が必要とされており、ガラスベー
スの多層印刷や、サンドブラスト加工によりガラス質の
隔壁が利用されている。しかしながら、これらの製法で
は、製造コストが高くなりＰＤＰの応用範囲が限定さ
れ、民生用として普及していないのが現状である。そこ
で製造コストの低減の目的から、特開平３−２０５７３
８号に金属隔壁を応用することが開示されているが、現
在のところＰＤＰやＰＡＬＣに実用化されていない。こ
れは、ＰＤＰやＰＡＬＣでは、５０μｍ程度の格子状の
隔壁の形成の容易性が求められ、その素材に１０μｍを
超えるような大型の介在物は、隔壁のエッチング孔の異
形化の原因となることから、その素材には高清浄化が要
求されているが、現在のところ、ＰＤＰやＰＡＬＣ用の
Ｆｅ−Ｎｉ系合金の介在物等の不純物低減の検討はなさ
れていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の金属隔壁で、通
常の大気溶解で製造された場合には、Ｏ量が多いため、
介在物の粗大なものが含まれることが多く、エッチング
加工した際にエッチング面から介在物が脱落して、エッ
チング孔の形状が悪くなる問題点があった。また、鋼塊
を熱間圧延を通さずに、冷間圧延のみで加工した場合に
は、材料内部に含まれるピンホールが圧着されずにクラ
ックとして存在し、不具合が発生した。
常の大気溶解で製造された場合には、Ｏ量が多いため、
介在物の粗大なものが含まれることが多く、エッチング
加工した際にエッチング面から介在物が脱落して、エッ
チング孔の形状が悪くなる問題点があった。また、鋼塊
を熱間圧延を通さずに、冷間圧延のみで加工した場合に
は、材料内部に含まれるピンホールが圧着されずにクラ
ックとして存在し、不具合が発生した。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の問題に鑑
みてなされたもので、ＰＤＰやＰＡＬＣに用いられる微
細な隔壁の形成に対して、素材となるＦｅ−Ｎｉ系合金
の鋳塊の酸素量をできる限り低減することで、隔壁形成
時のエッチング孔形状の精度を向上したものである。す
なわち、本発明は真空溶解または真空精練したＦｅ−Ｎ
ｉ系合金の溶湯を鋳塊とした後、熱間加工、冷間加工を
施して薄板とし、該薄板をエッチングにより隔壁の形状
に加工し、前記隔壁の表面に絶縁物を被覆する画像表示
装置用金属隔壁の製造方法である。
みてなされたもので、ＰＤＰやＰＡＬＣに用いられる微
細な隔壁の形成に対して、素材となるＦｅ−Ｎｉ系合金
の鋳塊の酸素量をできる限り低減することで、隔壁形成
時のエッチング孔形状の精度を向上したものである。す
なわち、本発明は真空溶解または真空精練したＦｅ−Ｎ
ｉ系合金の溶湯を鋳塊とした後、熱間加工、冷間加工を
施して薄板とし、該薄板をエッチングにより隔壁の形状
に加工し、前記隔壁の表面に絶縁物を被覆する画像表示
装置用金属隔壁の製造方法である。
【０００５】好ましくは、真空溶解または真空精練した
Ｆｅ−Ｎｉ系合金の溶湯を鋳塊とした後、真空アーク再
溶解法を適用した画像表示装置用金属隔壁の製造方法で
ある。更に好ましくは、画像表示装置用金属隔壁のＮｉ
の含有量が３８〜５２％である画像表示装置用金属隔壁
の製造方法である。また本発明は、介在物のサイズが圧
延方向に直角な断面において、１０μｍ以下である画像
表示装置用金属隔壁である。
Ｆｅ−Ｎｉ系合金の溶湯を鋳塊とした後、真空アーク再
溶解法を適用した画像表示装置用金属隔壁の製造方法で
ある。更に好ましくは、画像表示装置用金属隔壁のＮｉ
の含有量が３８〜５２％である画像表示装置用金属隔壁
の製造方法である。また本発明は、介在物のサイズが圧
延方向に直角な断面において、１０μｍ以下である画像
表示装置用金属隔壁である。
【０００６】
【発明の実施の形態】上述したように、本発明の最大の
特徴は、ＰＤＰやＰＡＬＣに用いられる微細な隔壁の形
成に対して、素材となる鋳塊の酸素量をできる限り低減
することで、隔壁形成の時のエッチング孔形状の精度を
向上するために、最適な製造方法を見出したことにあ
る。以下に本発明を詳しく説明する。
特徴は、ＰＤＰやＰＡＬＣに用いられる微細な隔壁の形
成に対して、素材となる鋳塊の酸素量をできる限り低減
することで、隔壁形成の時のエッチング孔形状の精度を
向上するために、最適な製造方法を見出したことにあ
る。以下に本発明を詳しく説明する。
【０００７】先ず、本発明では最初に真空溶解または真
空精練したＦｅ−Ｎｉ系合金を鋳塊とすることにより、
Ｏ量が大幅に低減し、介在物のサイズ、量共に減少する
傾向がある。したがって、本発明では溶湯中のガスを除
去してやることで、介在物のサイズや量を減少させるこ
とが最大の目的となる。具体的には、真空誘導溶解炉、
アーク溶解炉、プラズマ溶解炉、エレクトロンビーム溶
解炉等や真空精練を用いると良い。
空精練したＦｅ−Ｎｉ系合金を鋳塊とすることにより、
Ｏ量が大幅に低減し、介在物のサイズ、量共に減少する
傾向がある。したがって、本発明では溶湯中のガスを除
去してやることで、介在物のサイズや量を減少させるこ
とが最大の目的となる。具体的には、真空誘導溶解炉、
アーク溶解炉、プラズマ溶解炉、エレクトロンビーム溶
解炉等や真空精練を用いると良い。
【０００８】好ましくは真空溶解または真空精練したＦ
ｅ−Ｎｉ系合金の溶湯を鋳塊とした後、真空アーク再溶
解法を適用すれば、介在物の量が低減でき、更に好まし
い。介在物のサイズは、溶解炉の真空度や脱酸剤の種類
によって影響を受けるが、最終の薄板になった状態で圧
延方向に直角な断面で１０μｍ以下に制御することによ
って、良好なエッチング孔形状を有する金属隔壁の製造
を可能とする。１０μｍ以下を越えた介在物が存在する
場合には、エッチング加工時にエッチング面から介在物
が脱落して、孔形状の精度が悪くなり、ＰＤＰの精細度
の点から問題となる。
ｅ−Ｎｉ系合金の溶湯を鋳塊とした後、真空アーク再溶
解法を適用すれば、介在物の量が低減でき、更に好まし
い。介在物のサイズは、溶解炉の真空度や脱酸剤の種類
によって影響を受けるが、最終の薄板になった状態で圧
延方向に直角な断面で１０μｍ以下に制御することによ
って、良好なエッチング孔形状を有する金属隔壁の製造
を可能とする。１０μｍ以下を越えた介在物が存在する
場合には、エッチング加工時にエッチング面から介在物
が脱落して、孔形状の精度が悪くなり、ＰＤＰの精細度
の点から問題となる。
【０００９】また、鋼塊を製造した後、鍛造や熱間圧延
のごとく、熱間での塑性加工を施すことにより、鋼塊で
存在したピンホールやクラックが圧着される。このよう
な熱間加工を通らずに冷間のみの加工で薄板を製造した
場合には、ピンホールやクラックはつぶれるが、完全に
は圧着接合されずにクラックとして残存する。これがエ
ッチング面に存在する場合には、外部からの力が作用し
た場合に容易に絶縁処理膜が剥離する問題が発生する。
のごとく、熱間での塑性加工を施すことにより、鋼塊で
存在したピンホールやクラックが圧着される。このよう
な熱間加工を通らずに冷間のみの加工で薄板を製造した
場合には、ピンホールやクラックはつぶれるが、完全に
は圧着接合されずにクラックとして残存する。これがエ
ッチング面に存在する場合には、外部からの力が作用し
た場合に容易に絶縁処理膜が剥離する問題が発生する。
【００１０】次に冷間圧延する目的は、板厚を薄くする
だけでなく、加工強化による強度向上や焼鈍工程で微細
な結晶粒に制御するためにも冷間圧延での圧下率の制御
が重要となっている。特に本製品では、隔壁の幅が５０
μm程度と細いため、加工強化を図らないと、エッチン
グ後のハンドリングで変形の問題が発生する。
だけでなく、加工強化による強度向上や焼鈍工程で微細
な結晶粒に制御するためにも冷間圧延での圧下率の制御
が重要となっている。特に本製品では、隔壁の幅が５０
μm程度と細いため、加工強化を図らないと、エッチン
グ後のハンドリングで変形の問題が発生する。
【００１１】次にＮｉ量であるが、隔壁材の熱膨張係数
としては背面板ガラスの熱膨張係数に近づける必要があ
る。ＰＤＰに使われる背面板ガラスの熱膨張係数は、
８．３×１０−６／℃程度であるため、Ｎｉ量として４
４〜５２％が適正範囲である。また、ＰＡＬＣに使われ
る背面板ガラスの熱膨張係数は、４×１０−６／℃程度
であるため、Ｎｉ量としては３８〜４４％が適正範囲で
ある。
としては背面板ガラスの熱膨張係数に近づける必要があ
る。ＰＤＰに使われる背面板ガラスの熱膨張係数は、
８．３×１０−６／℃程度であるため、Ｎｉ量として４
４〜５２％が適正範囲である。また、ＰＡＬＣに使われ
る背面板ガラスの熱膨張係数は、４×１０−６／℃程度
であるため、Ｎｉ量としては３８〜４４％が適正範囲で
ある。
【００１２】
【実施例】Ｆｅ源とＮｉ源を原料とし、溶解後Ｎｉ量が
４８％になるように配合して、真空溶解と大気溶解を行
ない、この溶湯を鋳型に鋳造して鋳塊を得た。真空溶解
は真空誘導溶解炉で行ないＮｏ．１とし、更に、Ｎｏ．
１の鋳塊を真空アーク再溶解を施し、Ｎｏ．２を得た。
また、大気溶解を行ったものをＮｏ．３とした。次に、
１１５０℃で鍛造して２００ｔの厚みのスラブとした。
このスラブを１１５０℃で熱間圧延して、３ｔのフープ
とした。次に、このフープに冷間圧延と焼鈍を繰り返し
て施し、０．２０ｔの薄板を作製した。この薄板を素材
として、ＦｅＣｌ３溶液によるスプレーエッチングを施
し、図1に示すＰＤＰ隔壁の形状にエッチング加工し
た。真空溶解材は、介在物のサイズが小さいため、エッ
チング孔の形状が良好であるが、大気溶解材は、圧延方
向に直角な断面において、１０μｍ以上の介在物が存在
し形状不良となった。表１に１０μｍ以上の介在物の有
無と、エッチング孔の異形の有無と酸素量を示す。
４８％になるように配合して、真空溶解と大気溶解を行
ない、この溶湯を鋳型に鋳造して鋳塊を得た。真空溶解
は真空誘導溶解炉で行ないＮｏ．１とし、更に、Ｎｏ．
１の鋳塊を真空アーク再溶解を施し、Ｎｏ．２を得た。
また、大気溶解を行ったものをＮｏ．３とした。次に、
１１５０℃で鍛造して２００ｔの厚みのスラブとした。
このスラブを１１５０℃で熱間圧延して、３ｔのフープ
とした。次に、このフープに冷間圧延と焼鈍を繰り返し
て施し、０．２０ｔの薄板を作製した。この薄板を素材
として、ＦｅＣｌ３溶液によるスプレーエッチングを施
し、図1に示すＰＤＰ隔壁の形状にエッチング加工し
た。真空溶解材は、介在物のサイズが小さいため、エッ
チング孔の形状が良好であるが、大気溶解材は、圧延方
向に直角な断面において、１０μｍ以上の介在物が存在
し形状不良となった。表１に１０μｍ以上の介在物の有
無と、エッチング孔の異形の有無と酸素量を示す。
【００１３】
【表１】
【００１４】次に、この隔壁用素材にＰｂ系ガラス粉末
のスラリーをスプレーで噴霧して塗布した後、電気炉に
て６３０℃で焼成することによりこのガラスを溶融して
緻密な絶縁膜とした。上記のＮｏ．１とＮｏ．２の材料
をＰＤＰの隔壁として利用し、セットして組み立てたと
ころ良好な画像が得られ、隔壁としての機能を果たすこ
とが判明した。
のスラリーをスプレーで噴霧して塗布した後、電気炉に
て６３０℃で焼成することによりこのガラスを溶融して
緻密な絶縁膜とした。上記のＮｏ．１とＮｏ．２の材料
をＰＤＰの隔壁として利用し、セットして組み立てたと
ころ良好な画像が得られ、隔壁としての機能を果たすこ
とが判明した。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、画像表示装置用の金属
製隔壁として実用化が可能となり、工業上の効果は極め
て大きい。
製隔壁として実用化が可能となり、工業上の効果は極め
て大きい。
【図1】本発明のＰＤＰ用隔壁形状についての一例を示
す図である。
す図である。
Claims (4)
- 【請求項１】 真空溶解または真空精練したＦｅ−Ｎｉ
系合金の溶湯を鋳塊とした後、熱間加工後、冷間加工を
施して薄板とし、該薄板をエッチングにより隔壁の形状
に加工し、前記隔壁の表面に絶縁物を被覆することを特
徴とする画像表示装置用金属隔壁の製造方法。 - 【請求項２】 真空溶解または真空精練したＦｅ−Ｎｉ
系合金の溶湯を鋳塊とした後、真空アーク再溶解法を適
用したことを特徴とする請求項１に記載の画像表示装置
用金属隔壁の製造方法。 - 【請求項３】 画像表示装置用金属隔壁のＮｉの含有量
が３８〜５２％であることを特徴とする請求項１または
２に記載の画像表示装置用金属隔壁の製造方法。 - 【請求項４】 介在物のサイズが圧延方向に直角な断面
において、１０μｍ以下であることを特徴とする画像表
示装置用金属隔壁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25905398A JP2000090824A (ja) | 1998-09-14 | 1998-09-14 | 画像表示装置用金属隔壁の製造方法および画像表示装置用金属隔壁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25905398A JP2000090824A (ja) | 1998-09-14 | 1998-09-14 | 画像表示装置用金属隔壁の製造方法および画像表示装置用金属隔壁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000090824A true JP2000090824A (ja) | 2000-03-31 |
Family
ID=17328679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25905398A Pending JP2000090824A (ja) | 1998-09-14 | 1998-09-14 | 画像表示装置用金属隔壁の製造方法および画像表示装置用金属隔壁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000090824A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190039222A (ko) | 2016-09-15 | 2019-04-10 | 히다찌긴조꾸가부시끼가이사 | 메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법 |
-
1998
- 1998-09-14 JP JP25905398A patent/JP2000090824A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190039222A (ko) | 2016-09-15 | 2019-04-10 | 히다찌긴조꾸가부시끼가이사 | 메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법 |
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