JP2000088649A - フーリエ変換分光用干渉計 - Google Patents

フーリエ変換分光用干渉計

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JP2000088649A JP10263534A JP26353498A JP2000088649A JP 2000088649 A JP2000088649 A JP 2000088649A JP 10263534 A JP10263534 A JP 10263534A JP 26353498 A JP26353498 A JP 26353498A JP 2000088649 A JP2000088649 A JP 2000088649A
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信建 小勝負
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高波数分解能を維持しつつ、より小型・安価
なフーリエ変換分光用干渉計を提供する。 【解決手段】 入射光を平行にするコリメータレンズ３
と、ビームを二つに分ける光分割鏡５と、２枚の平行な
合わせ鏡で構成された、固定した光路長を保つ固定反射
鏡７，８と、２枚の合わせ鏡で構成され光路長を変化さ
せるため一方の鏡が移動可能である可動反射鏡９，１０
と、垂直反射用鏡１１，１２と、二つのビームを合わせ
るコリメータレンズ１５と、検出器１６から構成され、
可動反射鏡９，１０の位置に対する光強度の変化である
インターフェログラムを得て、コンピュータでフーリエ
変換することによりスペクトル分布を求める。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、小型にして安価な
フーリエ変換分光用干渉計に関するものである。
【０００２】更に詳述すると、本発明は、試料の分析、
あるいは光通信の波長モニタリングなどに適した、フー
リエ変換分光用干渉計に関するものである。
【０００３】
【従来の技術】従来、光のスペクトルを得るためにフー
リエ変換分光器を用い、この検出結果より、試料分析
や、光通信波長モニタリングを行ってきた。
【０００４】図８は、「ＦＴ−ＩＲの基礎と実際 第二
版」（田隅三生編著 東京化学同人ＩＳＢＮ４−８０７
９−０３９１−８）に掲載されているフーリエ変換分光
用干渉計の原理図面である。フーリエ変換分光法におい
ては、一つの光源Ｓから発せられた光を半透鏡ＢＳ１に
よって参照光路と可変光路に分岐した後、参照光路の光
は固定鏡Ｍ１で反射し、可変光路の光は可動鏡Ｍ２に反
射させてそれぞれ再び半透鏡ＢＳ１に戻して干渉させて
レンズＬ２によって検出器Ｄ上に集光する。
【０００５】スペクトル測定の際は可動鏡Ｍ２の移動に
よって可変光路の光路長を変化させながら、検出器Ｄに
おける光強度を測定する。この光路長に依存する光強度
の変化をインターフェログラムと呼び、このインターフ
ェログラムをフーリエ変換することによって、入射光の
スペクトルが得られる。
【０００６】フーリエ変換分光においては、分解能は光
路長差の最大値が大きいほど高くなり、光路長差Ｍ２は
可動鏡の最大移動距離で決まる。よって、可動鏡移動距
離が大きいほど高分解能が得られる。この関係をフーリ
エ変換分光で通常用いられる量である波数（波長の逆
数）を用いて表す。
【０００７】
【数１】 Δｋ＝１／ΔＬ＝１／２Δｘ・・・（１） ここで、ｋは波数、Δｋは波数分解能、ΔＬは最大光路
長差、Δｘは可動鏡の最大移動距離である。
【０００８】よって、高分解能を得るためには反射鏡を
長距離移動させる機構が必要である。
【０００９】より具体的な干渉計の例（ＯＲＩＥＬ Ｉ
ＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳ社 ＭＩＲ８０００ ＭＯＤＵＬ
ＡＲ ＩＲ ＦＯＵＲＩＥＲ ＳＰＥＣＴＲＯＭＥＴＥ
Ｒ（カタログ））を図９に示す。図９において、ＢＳ２
は光分割鏡、ＦＩＸは固定鏡、ＭＯＶは可動鏡である。
この光分割鏡ＢＳ２に関して対称に固定鏡ＦＩＸと可動
鏡ＭＯＶが配置され、可動鏡ＭＯＶの直線移動によって
光路長差に変化を生じさせている。また、可動鏡ＭＯＶ
を長距離移動させるための駆動装置ＡＣＴと光分割鏡Ｂ
Ｓ２の微調整を行うＸＹ調整ノブＸＹ−ＡＤＪが備えら
れている。
【００１０】このような干渉計を作製するためには固定
鏡、可動鏡、半透鏡または光分割鏡等をそれぞれ個別に
製作、設置する必要があり、設置後にレーザー等を光源
として光学系に光を通し、光軸の微調整を行う必要があ
る。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
構成の干渉計では、波数分解能を高くするためには可動
鏡の移動距離を長く採らざるを得ず、大きな可動鏡駆動
装置が必要であり、小型化が困難であるという欠点があ
った。
【００１２】また、光分割鏡、固定鏡、可動鏡等の光学
素子をそれぞれ個別に製作後、光学定盤等に実装し、さ
らに光軸の微調整をする必要があるが、そのような方法
を採ると、制作時間及びコストがかかるという問題点が
あった。
【００１３】よって本発明の目的は、このような点に鑑
み、平面反射鏡に至る光路中に合わせ鏡の構造を用いる
ことによって長い光路長差を維持しながら、干渉計をコ
ンパクトに構成し、さらにリソグラフィー技術で結晶基
板を加工することによって前述の光学系を製作し、光学
素子の個別製作と光軸の微調整を不要とした安価なフー
リエ変換分光用干渉計を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係る第１の形態は、光源からの入射光を
平行光にするコリメータレンズと、前記平行光を参照光
路と可変光路に分割する光分割鏡と、前記参照光路中に
固定され、前記光分割鏡からの光を受けて反射する固定
反射鏡と、前記可変光路中に固定され、前記光分割鏡か
らの光を受けて反射する可動反射鏡と、前記固定反射鏡
からの反射光と前記可動反射鏡からの反射光が前記光分
割鏡を通して入射される集光レンズと、前記集光レンズ
の焦点に置かれ、前記光分割鏡からの光を受光する受光
手段とを有し、前記可動反射鏡を並進移動させて、その
位置に対する光の強度を測定してそのフーリエ変換を行
うことによりスペクトルを得るフーリエ変換分光用干渉
計であって、前記固定反射鏡と前記可動反射鏡として互
いに平行な合わせ鏡を用いることによって光を複数回往
復させ、鏡の並進移動距離の複数倍の光路長走査を実現
し、波数分解能を高めたものである（請求項１）。
【００１５】本発明の第２の形態は、光源からの入射光
を平行光にするコリメータレンズと、前記平行光の光路
を分割する光分割鏡と、前記分割された光路のうち一方
の光路中に設置され、前記光分割鏡からの光を受けて反
射する第１の反射鏡と、前記分割された光路のうち他方
の光路中に設置され、前記光分割鏡からの光を受けて反
射する第２の反射鏡と、前記第１および前記第２の反射
鏡からの反射光を前記光分割鏡を通して入射する集光レ
ンズと、前記集光レンズの焦点に置かれ、前記光分割鏡
からの光を受光する受光手段とを有し、可動反射鏡を並
進移動させて、その位置に対する光の強度を測定してそ
のフーリエ変換を行うことによりスペクトルを得るフー
リエ変換分光用干渉計であって、前記第１および前記第
２の反射鏡に互いに平行な合わせ鏡を用いることによっ
て光を複数回往復させ、前記可動反射鏡の並進移動距離
の複数倍の光路長走査を実現し、かつ前記第１および前
記第２の反射鏡のうち一つを共通にして同時に駆動する
ことにより、鏡移動によって生ずる光路差を並進移動距
離の複数倍のさらに２倍に長くして高い波数分解能を実
現したものである（請求項２）。
【００１６】本発明の第３の形態は、上記第１の形態と
して記載したフーリエ変換分光用干渉計において、前記
第１および前記第２の反射鏡に、固体基板材料の加工に
よりモノリシックに形成した互いに平行な２枚の板の組
み合わせを用いることによって、光軸調整を不要とし、
大量生産可能にして安価に提供可能としたものである
（請求項３）。
【００１７】本発明の第４の形態は、上記第２の形態と
して記載したフーリエ変換分光用干渉計において、前記
第１および前記第２の反射鏡に、固体基板材料の加工に
よりモノリシックに形成した互いに平行な２枚の板の組
み合わせを用いることによって、光軸調整を不要とし、
大量生産可能にして安価に提供可能としたものである
（請求項４）。
【００１８】本発明の第５の形態は、上記第１ないし第
４の形態として記載したフーリエ変換分光用干渉計にお
いて、前記第１および前記第２の反射鏡の移動方向を固
定するためのガイドを固体基板材料の加工によりモノリ
シックに形成してミラー移動の際のぶれをなくしたもの
である（請求項５）。
【００１９】本発明の第６の形態は、上記第３，４，５
の形態として記載したフーリエ変換分光用干渉計におい
て、コリメータレンズ，光分割鏡，反射合わせ鏡，集光
レンズ等の光学素子の方向を固定するためのガイドを固
体基板材料の加工によりモノリシックに形成したもので
ある（請求項６）。
【００２０】本発明の第７の形態は、上記第３，４，
５，６の形態として記載したフーリエ変換分光用干渉計
において、固体基板材料の加工により平板を形成し、光
分割鏡として用いることによって、光分割鏡本体をモノ
リシックに作製して実装の手間を省いたものである（請
求項７）。
【００２１】本発明の第８の形態は、上記第３，４，
５，６，７の形態として記載したフーリエ変換分光用干
渉計において、固体基板材料としてシリコン（１１０）
基板を用いたものである（請求項８）。
【００２２】上述した構成を有する本発明では、反射鏡
として２枚の合わせ鏡を用いることによって、従来の干
渉計に比較して同じ光路長差を保ちながら鏡の移動距離
を短くすることができ、結果として、高い波数分解能を
維持しながら、干渉計全体を小型化することが可能にな
る。
【００２３】さらに本発明では、光分割鏡、反射合わせ
鏡等をリソグラフィーによって半導体基板上に形成し、
基板材料加工によって作製することを特徴としている。
基板上には、リソグラフィー及びエッチング技術によっ
て基板に垂直な平面構造を形成する。このとき、異方性
エッチングにより平面構造を形成した場合には、面同士
の平行性が非常に高いため、光軸調整が不要となる。
【００２４】かかる本発明と従来の技術とは、光学素子
を一括して作製できるので安価である点、ならびに、光
学調整が不要である点が異なっている。
【００２５】すなわち、本発明に係るフーリエ変換分光
用干渉計では、入射した光は可動合わせ鏡及び固定合わ
せ鏡の間を複数回往復するために、一方の鏡を移動させ
ることにより光路長の変化は鏡自体の移動距離の複数倍
となる。よって、高分解能を得るための可動鏡移動距離
は少なくて済む。また、可動鏡を長距離移動させるため
の大きな駆動装置が不要となる。
【００２６】本発明は、かかる作用を利用して干渉計構
造の高分解能化かつ小型化を可能にする。また、リソグ
ラフィー技術でこの構造を製作した場合には、光軸調整
不要かつ大量生産が可能となり、安価になる。
【００２７】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて、本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
【００２８】図１は、本発明を適用したモノリシックフ
ーリエ変換分光用干渉計を示す構成図である。
【００２９】図１において、１はシリコン（１１０）基
板、２はタングステンランプ等の白色光源、３は光源か
らの光を平行光にするためのコリメータレンズ、４は試
料として用いるガスセル、５は光分割鏡、６は光分割鏡
支持部、７，８は合わせ鏡用固定平面鏡、９，１０は合
わせ鏡用可動平面鏡、１１，１２は垂直反射用平面鏡、
１３は可動平面鏡駆動機構、１４は可動平面鏡移動ガイ
ド、１５は集光レンズ、１６は光検出器である。
【００３０】上記のフーリエ変換分光用干渉計を動作さ
せるには、まず白色光源２からの光をコリメータレンズ
３によって平行光としてガスセル４を通過させ、光分割
鏡５に入射する。入射光は光分割鏡５で二分割され、一
方は合わせ鏡用固定鏡７に向かって反射し、他方も合わ
せ鏡用固定鏡８に向かって反射する。光はそれぞれ合わ
せ鏡用固定鏡７，８と合わせ鏡用可動鏡９，１０間で複
数回反射された後、垂直反射鏡１１と１２で進行方向を
反転される。さらに、両方の光はそれぞれ合わせ鏡用固
定鏡７，８と合わせ鏡用可動鏡９，１０間で逆方向に進
行しながら複数回反射された後、光分割鏡５において再
び合波される。集光レンズ１５はこの合波された光を光
検出器１６上に集光する。
【００３１】ここで、可動鏡駆動機構１３によって合わ
せ鏡用可動鏡９，１０を移動させると、合わせ鏡用固定
鏡７と合わせ鏡用可動鏡９間で複数回反射された光線の
光路長と、合わせ鏡用固定鏡８と合わせ鏡用可動鏡１０
間で複数回反射された光線の光路長の間に光路差が生じ
る。合わせ鏡用可動鏡１０の移動によって光路長を変化
させながら、光検出器１６からの信号を測定し、インタ
ーフェログラムを得る。
【００３２】入射した光のスペクトルは、このインター
フェログラムをフーリエ変換することによって得られ
る。このとき、光分割鏡５の方向は光分割鏡支持部６の
平面性により一定の方向を向いており、ぶれを生じな
い。また、合わせ鏡用可動鏡９，１０の移動方向は可動
鏡移動ガイド１４の平面性により一定に保たれてぶれを
生じない。
【００３３】光分割鏡から入射した光は合わせ鏡用可動
鏡及び合わせ鏡用固定鏡の間を複数回往復する。
【００３４】図２は、光路長変化の説明図である。図２
において、１７ａ，１７ｂはそれぞれ光分割鏡からの光
線、１８ａ（実線），１８ｂ（実線）は可動合わせ鏡移
動前の光路、１９ａ（破線），１９ｂ（破線）は可動合
わせ鏡移動後の光路である。図２に示されるように、可
動合わせ鏡位置が変化するにしたがって光路も変化す
る。
【００３５】図２の左側には、円内に一部を拡大した図
を示す。１８ａ（実線）は可動合わせ鏡が原点位置にあ
る場合の光路を示し、１８ｂ（破線）は可動合わせ鏡が
ある距離移動した後の光路を示している。これは可動合
わせ鏡に片道で３回反射され、往復で６回反射される場
合の例である。
【００３６】可動合わせ鏡が移動したことにより一回の
反射についてＢＣ間とＣＤ間を合わせた距離に相当する
光路長が新たに得られ、この長さは２Δｄ／ｃｏｓθで
ある。３回反射すると、その３倍である３×２Δｄ／ｃ
ｏｓθが得られる。
【００３７】一方、可動合わせ鏡上での反射位置変化は
ＢＤ間の距離に相当し、これは２Δｄｔａｎθであり、
３回反射した場合の可動合わせ鏡上での反射位置変化は
ＡＤ間の距離に相当し、これは２Δｄｔａｎθの３倍で
ある。反射位置が移動したことにより失った距離はＡＥ
に相当し、これは３×２Δｄｔａｎθ・ｓｉｎθであ
る。
【００３８】この関係を往復で２ｎ回反射した場合に拡
張すると、
【００３９】
【数２】 ΔＬA ＝２ｎ（２Δｄ／ｃｏｓθ−２Δｄｔａｎθ・ｓｉｎθ）＝４ｎΔ ｄｃｏｓθ・・・（２） ここで、ΔＬA は光路Ａにおける光路長の変化、ｎは片
道における可動合わせ鏡に反射された回数、Δｄは合わ
せ鏡位置変化、θは鏡面への入射角度である。
【００４０】一方、光路Ｂ側での移動鏡では、可動鏡の
移動によって光路が短くなるために符号が逆転し、
【００４１】
【数３】ΔＬB ＝−４ｎΔｄｃｏｓθ・・・（３） となるため、全体の光路差ΔＬは光路Ａと光路Ｂの変化
を合わせて、
【００４２】
【数４】 ΔＬ＝ΔＬA −ΔＬB ＝８ｎΔｄｃｏｓθ・・・（４） となる。
【００４３】また、可動合わせ鏡の面方向と可動合わせ
鏡の移動方向とは、結晶の面方位で決まる一定の傾きが
あるため、合わせ鏡間隔変化Δｄと可動鏡の並進移動距
離Δｘの間には次の関係がある。
【００４４】
【数５】Δｄ＝Δｘｓｉｎφ・・・（５） ここで、φは鏡面と、並進移動方向平面間の角度であ
る。
【００４５】式（１），式（４），式（５）を併せて、
可動鏡の最大移動距離と波数分解能の関係は次のように
表される。
【００４６】
【数６】 Δｋ＝１／ΔＬMAX ＝１／（８ｎΔｘMAX ｃｏｓθ・ｓｉｎφ）・・・（６） ここで、ΔＬMAX は最大光路差、ΔｘMAX は可動合わせ
鏡の最大移動距離、ｎは可動鏡に反射された回数、θは
鏡面への入射角度である。
【００４７】本実施の形態における具体的なパラメータ
は、ｎ＝３、Δｘ＝１６６μｍ、θ＝４５度、φ＝７
１．１度である。この場合、ΔＬMAX は２．６ｍｍとな
り、波数分解能は３．８ｃｍ-1となる。
【００４８】図３は、本実施の形態による干渉計を用い
てインターフェログラムを得た例を示す。ここで、光線
は大気中を通過させている。１６６μｍのスパンを４０
ｍｍステップで並進させ４０９６点のデータを得たが、
ここでは、原点付近で得られた２０００点のデータのみ
を示す。また、図４に、このインターフェログラムをフ
ーリエ変換して得られた大気の透過スペクトルの例を示
す。
【００４９】図５は、本実施の形態における光分割鏡支
持部を説明する図である。光分割鏡支持部はシリコン基
板の異方性エッチングによりモノリシックに作製したた
め、光分割鏡５と合わせ鏡用固定鏡７および８の方向と
の違いを常に一定に保つことができ、また、光分割鏡５
と合わせ鏡用固定鏡７および８の方向と一致させること
ができる。このことにより、光分割鏡５の方向が限定さ
れ、ぶれを無くして実装における位置合わせの手間を省
くことができる。
【００５０】図６は、本実施の形態における可動鏡移動
ガイド１４を説明する図である。可動鏡移動ガイド１４
は、シリコン基板の異方性エッチングによりモノリシッ
クに作製してあるため、合わせ鏡用可動鏡の移動方向は
結晶面と一致する方向に限定され、さらにガイド間のず
れも無く、滑らかに合わせ鏡用可動鏡９，１０を移動す
ることができる。
【００５１】図７は、本実施の形態における基板材料を
用いた光分割鏡２０を説明する図である。基板材料のシ
リコン基板の異方性エッチングによりモノリシックに作
製したため、合わせ鏡用固定鏡７および８の方向との違
いを常に一定に保つことができ、または、合わせ鏡用固
定鏡７および８の方向と一致させることができる。結晶
面方位の方向性をうまく利用することにより、方向が限
定され、ぶれを無くして実装における位置合わせの手間
を省くことができる。
【００５２】なお、上述した本実施の形態の説明は、説
明及び例示を目的として特定の実施例を示したに過ぎな
い。従って、本発明はその本質から逸脱せずに多くの変
更、変形をなし得ることは当業者には明らかである。
【００５３】例えば、光源はファイバー付き光源に置き
替えることもできる。また、可動鏡駆動機構の設置場所
は、合わせ鏡用可動鏡を駆動できる場所であればどこで
もよい。さらに、本実施の形態では、ガスセル中の空気
を試料として用いたが、本発明の適用先は試料が流体ま
たは固体であるかを問わない。
【００５４】また、本実施の形態では、光分割鏡に入射
する角度は４５度としているが、これは任意の角度でよ
い。さらに本実施の形態では、２つの合わせ鏡用可動鏡
は連結されているが、２つの合わせ鏡用可動鏡をそれぞ
れに独立に動かしてもよい。
【００５５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、フ
ーリエ変換分光用干渉計を構成するにあたり、平行な合
わせ鏡を用いて波数分解能を高めると共に、小型化を達
成している。また、モノリシックに構成して、光学素子
の光軸調整の手間を省き、大量生産可能とし、安価なフ
ーリエ変換分光用干渉計を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる干渉計の一実施の形態を示す構
成図である。
【図２】本実施の形態による干渉計の一部である合わせ
鏡用可動鏡と合わせ鏡用固定鏡による光路長変化量に関
する構成図である。
【図３】本実施の形態による干渉計によって得られたイ
ンターフェログラムを示す図である。
【図４】本実施の形態による干渉計によって得られた大
気の透過スペクトルを示す図である。
【図５】本実施の形態による干渉計の一部である光分割
鏡支持部に関する構成図である。
【図６】本実施の形態による干渉計の一部である可動鏡
移動ガイドに関する構成図である。
【図７】本実施の形態による干渉計の一部である基板材
料を用いた光分割鏡に関する構成図である。
【図８】従来から知られているマイケルソン干渉計の構
成図である。
【図９】従来から知られているフーリエ変換分光用干渉
計の一例を示す図である。
【符号の説明】
１ シリコン（１１０）基板 ２ 白色光源 ３ コリメータレンズ ４ ガスセル ５ 光分割鏡 ６ 光分割鏡支持部 ７ 合わせ鏡用固定鏡 ８ 合わせ鏡用固定鏡 ９ 合わせ鏡用可動鏡 １０ 合わせ鏡用可動鏡 １１ 垂直反射用鏡 １２ 垂直反射用鏡 １３ 可動鏡駆動機構 １４ 可動鏡移動ガイド １５ 集光レンズ １６ 光検出器 １７ 光分割鏡からの光線 １８ 可動合わせ鏡移動前の光路 １９ 可動合わせ鏡移動後の光路 ２０ 固体基板材料で形成した光分割鏡
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 高廣 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 澤田 廉士 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 Ｆターム(参考） 2F064 CC04 EE09 FF07 GG12 GG15 GG20 GG44 GG51 GG57 GG66 HH08 JJ15 KK04 2G020 BA02 BA12 BA14 BA20 CA12 CB05 CB24 CB25 CB43 CC07 CC22 CC47 CC55 CD04 CD16 CD22 CD35

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 光源からの入射光を平行光にするコリメ
    ータレンズと、 前記平行光を参照光路と可変光路に分割する光分割鏡
    と、 前記参照光路中に固定され、前記光分割鏡からの光を受
    けて反射する固定反射鏡と、 前記可変光路中に固定され、前記光分割鏡からの光を受
    けて反射する可動反射鏡と、 前記固定反射鏡からの反射光と前記可動反射鏡からの反
    射光が前記光分割鏡を通して入射される集光レンズと、 前記集光レンズの焦点に置かれ、前記光分割鏡からの光
    を受光する受光手段とを有し、 前記可動反射鏡を並進移動させて、その位置に対する光
    の強度を測定してそのフーリエ変換を行うことによりス
    ペクトルを得るフーリエ変換分光用干渉計であって、 前記固定反射鏡と前記可動反射鏡として互いに平行な合
    わせ鏡を用いることによって光を複数回往復させ、鏡の
    並進移動距離の複数倍の光路長走査を実現し、波数分解
    能を高めたことを特徴とするフーリエ変換分光用干渉
    計。
  2. 【請求項２】 光源からの入射光を平行光にするコリメ
    ータレンズと、 前記平行光の光路を分割する光分割鏡と、 前記分割された光路のうち一方の光路中に設置され、前
    記光分割鏡からの光を受けて反射する第１の反射鏡と、 前記分割された光路のうち他方の光路中に設置され、前
    記光分割鏡からの光を受けて反射する第２の反射鏡と、 前記第１および前記第２の反射鏡からの反射光を前記光
    分割鏡を通して入射する集光レンズと、 前記集光レンズの焦点に置かれ、前記光分割鏡からの光
    を受光する受光手段とを有し、 可動反射鏡を並進移動させて、その位置に対する光の強
    度を測定してそのフーリエ変換を行うことによりスペク
    トルを得るフーリエ変換分光用干渉計であって、 前記第１および前記第２の反射鏡に互いに平行な合わせ
    鏡を用いることによって光を複数回往復させ、前記可動
    反射鏡の並進移動距離の複数倍の光路長走査を実現し、
    かつ前記第１および前記第２の反射鏡のうち一つを共通
    にして同時に駆動することにより、鏡移動によって生ず
    る光路差を並進移動距離の複数倍のさらに２倍に長くし
    て高い波数分解能を実現したことを特徴とするフーリエ
    変換分光用干渉計。
  3. 【請求項３】 請求項１に記載のフーリエ変換分光用干
    渉計において、 前記第１および前記第２の反射鏡に、固体基板材料の加
    工によりモノリシックに形成した互いに平行な２枚の板
    の組み合わせを用いることによって、光軸調整を不要と
    し、大量生産可能にして安価に提供可能としたことを特
    徴とするフーリエ変換分光用干渉計。
  4. 【請求項４】 請求項２に記載のフーリエ変換分光用干
    渉計において、 前記第１および前記第２の反射鏡に、固体基板材料の加
    工によりモノリシックに形成した互いに平行な２枚の板
    の組み合わせを用いることによって、光軸調整を不要と
    し、大量生産可能にして安価に提供可能としたことを特
    徴とするフーリエ変換分光用干渉計。
  5. 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかに記載のフ
    ーリエ変換分光用干渉計において、 前記第１および前記第２の反射鏡の移動方向を固定する
    ためのガイドを固体基板材料の加工によりモノリシック
    に形成してミラー移動の際のぶれをなくしたことを特徴
    とするフーリエ変換分光用干渉計。
  6. 【請求項６】 請求項３，４，５のいずれかに記載のフ
    ーリエ変換分光用干渉計において、 コリメータレンズ，光分割鏡，反射合わせ鏡，集光レン
    ズ等の光学素子の方向を固定するためのガイドを固体基
    板材料の加工によりモノリシックに形成したことを特徴
    とするフーリエ変換分光用干渉計。
  7. 【請求項７】 請求項３，４，５，６のいずれかに記載
    のフーリエ変換分光用干渉計において、 固体基板材料の加工により平板を形成し、光分割鏡とし
    て用いることによって、光分割鏡本体をモノリシックに
    作製して実装の手間を省いたことを特徴とするフーリエ
    変換分光用干渉計。
  8. 【請求項８】 請求項３，４，５，６，７のいずれかに
    記載のフーリエ変換分光用干渉計において、 固体基板材料としてシリコン（１１０）基板を用いたこ
    とを特徴とするフーリエ変換分光用干渉計。
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