JP2000076881A - Non-volatile semiconductor storage device - Google Patents

Non-volatile semiconductor storage device

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JP2000076881A
JP2000076881A JP10243535A JP24353598A JP2000076881A JP 2000076881 A JP2000076881 A JP 2000076881A JP 10243535 A JP10243535 A JP 10243535A JP 24353598 A JP24353598 A JP 24353598A JP 2000076881 A JP2000076881 A JP 2000076881A
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mos transistor
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channel mos
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a non-volatile semiconductor storage device, by which a circuit area can be reduced, and at the same time working speed can be increased. SOLUTION: Memory cells MC, in which information is stored, are connected to decoders for read and decoders for write/erase through word lines WL. A plurality of the decoders for read are divided into a plurality of erasing blocks so that information stored in the memory cells is erased collectively. Voltage changeover circuits CH1 and CH2 changing over voltage input to terminals VP and terminals VN connected to inverters in the decoders for read to voltage selected from a plurality of voltage are joined with each erase block B1 and B2 respectively.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は記憶した情報を一括
して電気的に消去することができる不揮発性半導体記憶
装置に関し、特に、回路面積を小さくすることができる
不揮発性半導体記憶装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a nonvolatile semiconductor memory device capable of electrically erasing stored information collectively, and more particularly to a nonvolatile semiconductor memory device capable of reducing a circuit area.

【0002】[0002]

【従来の技術】記憶した情報を一括して消去することが
できる不揮発性半導体記憶装置、即ちフラッシュメモリ
において、書込又は消去時にメモリセルの制御電極に負
電圧を印加するフラッシュメモリは公知である(特開平
6−168597号公報)。このフラッシュメモリにお
いては、書込及び消去時に電圧供給部により供給される
電位VCCよりも高い電圧及び負電圧を扱う必要があるの
で、レベル変換回路がロウデコーダに接続されており、
このレベル変換回路により入力電圧が所定の電圧に変換
されて、ロウデコーダに入力される。
2. Description of the Related Art A nonvolatile semiconductor memory device capable of collectively erasing stored information, that is, a flash memory in which a negative voltage is applied to a control electrode of a memory cell at the time of writing or erasing is known. (JP-A-6-168597). In this flash memory, since it is necessary to handle a voltage higher than the potential V CC supplied by the voltage supply unit and a negative voltage at the time of writing and erasing, the level conversion circuit is connected to the row decoder,
The input voltage is converted into a predetermined voltage by this level conversion circuit and input to the row decoder.

【0003】一般的に、フラッシュメモリにおいては、
1アドレスの読み出し時間が数十nsec乃至数百ns
ecであるのに対し、書込時間及び消去時間はいずれも
数μsec以上である。従って、フラッシュメモリとし
ては、読み出し時にロウデコーダが高速で動作すること
が必要とされる。
Generally, in a flash memory,
The read time of one address is several tens nsec to several hundred ns.
ec, the writing time and the erasing time are each several μsec or more. Therefore, as a flash memory, it is necessary that the row decoder operate at high speed at the time of reading.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
6−168597号公報に記載されたレベル変換回路の
スイッチング時間は数nsecであり、インバータ等の
論理ゲートのスイッチング時間である数百psecと比
較すると遅いので、例えば数十MHzの高速動作が必要
な場合には、上述の従来のロウデコーダを使用すること
は困難である。
However, the switching time of the level conversion circuit described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-168597 is several nsec, and compared with several hundred psec which is the switching time of a logic gate such as an inverter. Since the operation is slow, it is difficult to use the above-described conventional row decoder when a high-speed operation of, for example, several tens of MHz is required.

【0005】なお、書込速度の高速化を図った不揮発性
半導体装置も提案されている(特開平6−309883
号公報)。また、消去動作時に制御電極に負電圧が印加
されるフラッシュメモリについて、消去動作の信頼性を
向上させることができるフラッシュメモリ用の行デコー
ダが提案されている(特開平5−205490号公
報)。
[0005] A non-volatile semiconductor device with a higher writing speed has also been proposed (JP-A-6-309883).
No.). Further, for a flash memory in which a negative voltage is applied to a control electrode during an erasing operation, a row decoder for the flash memory capable of improving the reliability of the erasing operation has been proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 5-205490).

【0006】しかし、これらのいずれの不揮発性半導体
記憶装置を使用しても、読み出し時間を短縮することが
できないと共に、回路面積が大きくなることがあるとい
う問題点がある。
However, using any of these nonvolatile semiconductor memory devices has the problems that the read time cannot be reduced and the circuit area may be large.

【0007】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、回路面積を小さくすることができると共
に、動作速度を向上させることができる不揮発性半導体
記憶装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a nonvolatile semiconductor memory device that can reduce the circuit area and improve the operation speed. .

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明に係る不揮発性半
導体記憶装置は、情報が記憶される複数のメモリセル
と、各メモリセルに接続されたワード線と、各ワード線
に接続されたインバータと、前記インバータに接続され
前記ワード線の選択及び非選択を決定するプリインバー
タと、前記ワード線に接続され前記メモリセルへの情報
の書込及びメモリセルからの情報の消去を実行する書込
及び消去用デコーダと、1又は複数個の前記インバータ
毎に設けられ夫々その群に属するインバータの入力電圧
を複数の電圧から選択したものに切り替えることができ
る1又は複数の電圧切替え回路とを有することを特徴と
する。
A nonvolatile semiconductor memory device according to the present invention comprises a plurality of memory cells for storing information, a word line connected to each memory cell, and an inverter connected to each word line. A pre-inverter connected to the inverter for determining selection and non-selection of the word line; and a write connected to the word line for writing information to the memory cell and erasing information from the memory cell. And an erasing decoder, and one or a plurality of voltage switching circuits provided for each of the one or more inverters and capable of switching an input voltage of an inverter belonging to each group to a voltage selected from a plurality of voltages. It is characterized by.

【0009】前記電圧切替え回路の前記インバータへの
入力電圧の切替えのタイミングは、消去動作をすると
き、書込動作をするとき又は読み出し動作をするときで
あるものとすることができる。
[0009] The timing of switching the input voltage to the inverter of the voltage switching circuit may be a time of performing an erasing operation, performing a writing operation, or performing a reading operation.

【0010】前記書込及び消去用デコーダは入力された
電圧を所定の電圧に変換するレベル変換回路を有するこ
とが好ましい。また、前記インバータ及び前記プリイン
バータは前記メモリセルに記憶された情報を読み出す読
み出し用デコーダを構成するものとすることができる。
Preferably, the write / erase decoder has a level conversion circuit for converting an input voltage to a predetermined voltage. Further, the inverter and the pre-inverter may constitute a read decoder for reading information stored in the memory cell.

【0011】更に、前記プリインバータはロウアドレス
信号が入力されるNANDゲートを有することができ、
このとき、前記プリインバータは前記ロウアドレス信号
に基づいて前記ワード線の選択及び非選択を決定するこ
とができる。
Further, the pre-inverter may have a NAND gate to which a row address signal is inputted,
At this time, the pre-inverter can determine selection or non-selection of the word line based on the row address signal.

【0012】本発明においては、1又は複数個のインバ
ータ毎に1又は複数の電圧切替え回路が設けられてお
り、この電圧切替え回路により、夫々1又は複数個のイ
ンバータへの入力電圧を複数の電圧から選択したものに
切り替えることができるので、1つの群に属するインバ
ータが入力電圧によりパンチスルーを起こしても、他の
群に属するインバータに影響を与えることがない。従っ
て、インバータ及びこれに接続されたプリインバータを
構成するトランジスタの耐圧性を低く設定することがで
きるので、チャネル幅及びチャネル長を小さくして、回
路面積を小さくすることができる。
In the present invention, one or a plurality of voltage switching circuits are provided for each of the one or a plurality of inverters, and the voltage switching circuit converts the input voltage to each of the one or a plurality of inverters into a plurality of the voltage. Therefore, even if the inverters belonging to one group cause punch-through due to the input voltage, the inverters belonging to another group are not affected. Accordingly, the withstand voltage of the transistor constituting the inverter and the pre-inverter connected thereto can be set low, so that the channel width and the channel length can be reduced, and the circuit area can be reduced.

【0013】また、本発明において、書込及び消去用デ
コーダが入力された電圧を所定の電圧に変換するレベル
変換回路を有していると、書込及び消去動作時において
は、入力された電圧よりも高い電圧又は負電圧が必要で
あるので、このレベル変換回路を介して所望の電圧を得
ることができる。また、読み出し動作時においては、ス
イッチング時間が長いレベル変換回路を使用する必要が
ないので、動作速度を向上させることができる。
In the present invention, if the write / erase decoder has a level conversion circuit for converting the input voltage to a predetermined voltage, the input / output voltage is reduced during the write / erase operation. Since a higher voltage or a negative voltage is required, a desired voltage can be obtained through this level conversion circuit. Further, at the time of a read operation, it is not necessary to use a level conversion circuit having a long switching time, so that the operation speed can be improved.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例に係る不揮
発性半導体記憶装置について、添付の図面を参照して具
体的に説明する。図1は本発明の第1の実施例に係る不
揮発性半導体記憶装置を示す回路図であり、図2は図1
に示す不揮発性半導体記憶装置の記憶回路を拡大して示
す回路図である。図2に示すように、情報を記憶するメ
モリセルMCは、ワード線WLに接続されており、メモ
リセルMCの1端にはビット線BLが接続され、他端に
はソース線SLが接続されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a nonvolatile semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention will be specifically described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a circuit diagram showing a nonvolatile semiconductor memory device according to a first embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 2 is an enlarged circuit diagram showing a storage circuit of the nonvolatile semiconductor memory device shown in FIG. As shown in FIG. 2, a memory cell MC for storing information is connected to a word line WL, one end of the memory cell MC is connected to a bit line BL, and the other end is connected to a source line SL. ing.

【0015】読み出し用デコーダRDは、ワード線WL
を介してレベル変換回路(図示せず)を有する書込/消
去用デコーダWDに接続されている。この読み出し用デ
コーダRDは、外部からNANDゲートNAND1にロ
ウアドレス信号が入力されるようになっている。また、
NANDゲートNAND1はPチャネル型MOSトラン
ジスタP3及びNチャネル型MOSトランジスタN4の
ゲートに接続されていると共に、Nチャネル型MOSト
ランジスタN1を介して、直列に接続されたPチャネル
型MOSトランジスタP6及びNチャネル型MOSトラ
ンジスタN7のゲートに接続されている。
The read decoder RD is connected to the word line WL
Is connected to a write / erase decoder WD having a level conversion circuit (not shown). In the read decoder RD, a row address signal is externally input to the NAND gate NAND1. Also,
The NAND gate NAND1 is connected to the gates of the P-channel MOS transistor P3 and the N-channel MOS transistor N4, and is also connected in series via the N-channel MOS transistor N1 to the P-channel MOS transistor P6 and the N-channel MOS transistor N4. It is connected to the gate of the type MOS transistor N7.

【0016】更に、Pチャネル型MOSトランジスタP
3及びNチャネル型MOSトランジスタN4には、夫々
Pチャネル型MOSトランジスタP2及びNチャネル型
MOSトランジスタN5が直列に接続されている。な
お、本実施例においては、NAND回路NAND1、N
チャネル型MOSトランジスタN1、N4及びN5並び
にPチャネル型MOSトランジスタP2及びP3によ
り、プリインバータPINVが構成されており、Pチャ
ネル型MOSトランジスタP6及びNチャネル型MOS
トランジスタN7により、インバータ(ワード線駆動
段)INVが構成されている。即ち、ワード線WLはイ
ンバータINVを構成するPチャネル型MOSトランジ
スタP6とNチャネル型MOSトランジスタN7との間
に接続されている。
Further, a P-channel type MOS transistor P
A P-channel MOS transistor P2 and an N-channel MOS transistor N5 are connected in series to the 3 and N-channel MOS transistors N4, respectively. In this embodiment, the NAND circuits NAND1, N1,
The channel type MOS transistors N1, N4 and N5 and the P channel type MOS transistors P2 and P3 constitute a pre-inverter PINV, and include a P channel type MOS transistor P6 and an N channel type MOS transistor.
An inverter (word line driving stage) INV is configured by the transistor N7. That is, the word line WL is connected between the P-channel MOS transistor P6 and the N-channel MOS transistor N7 that constitute the inverter INV.

【0017】更にまた、Nチャネル型MOSトランジス
タN1、Pチャネル型MOSトランジスタP2及びPチ
ャネル型MOSトランジスタP5のゲートは、夫々、端
子A、B及びCに接続されており、読み出し用デコーダ
RDの外部から端子A、B及びCを介して信号が入力さ
れるようになっている。また、Pチャネル型MOSトラ
ンジスタP6の1端は端子VPに接続され、Nチャネル
型MOSトランジスタN7の1端は端子VNに接続され
ている。
Further, the gates of the N-channel MOS transistor N1, the P-channel MOS transistor P2 and the P-channel MOS transistor P5 are connected to terminals A, B and C, respectively, and are connected to the outside of the read decoder RD. , Signals are input via terminals A, B and C. One end of the P-channel MOS transistor P6 is connected to the terminal VP, and one end of the N-channel MOS transistor N7 is connected to the terminal VN.

【0018】本実施例に係る不揮発性半導体装置は、図
2に示す記憶回路を複数有しており、これらの複数の記
憶回路は、メモリセルに記憶された情報が一括して消去
される複数の消去ブロック(群)に分割されている、図
1に示すように、例えば、2個の消去ブロックB1及び
B2は、夫々、2本のワード線WL1及びWL2、ワー
ド線WL3及びWL4を有しており、各ワード線WL
1、WL2、WL3及びWL4には、夫々、メモリセル
MC1、MC2、MC3及びMC4が接続されている。
そして、全てのメモリセルMC1、MC2、MC3及び
MC4の1端は1本のビット線BLに接続されている。
The nonvolatile semiconductor device according to the present embodiment has a plurality of storage circuits shown in FIG. 2, and the plurality of storage circuits are used to collectively erase information stored in memory cells. As shown in FIG. 1, for example, two erase blocks B1 and B2 each have two word lines WL1 and WL2 and word lines WL3 and WL4. And each word line WL
1, WL2, WL3 and WL4 are connected to memory cells MC1, MC2, MC3 and MC4, respectively.
One end of all the memory cells MC1, MC2, MC3 and MC4 is connected to one bit line BL.

【0019】各記憶回路の端子A、端子B及び端子Cは
全て接続されており、端子A、B及びCから入力される
信号は、全ての読み出し用デコーダRD1乃至RD4に
対して一括して入力されるように制御されている。ま
た、各消去ブロックB1及びB2には、端子VP及び端
子VNに入力される電圧を切り替える電圧切替え回路C
H1及びCH2が接続されており、所定のブロック内の
全てのインバータに同電圧を入力することができる。な
お、電圧切替え回路CH1及びCH2は、夫々、端子V
Pに入力される電圧を電位VCCと開放(Open)との
間で切り替える第1切替え部(VCC/開放)と、端子V
Nに入力される電圧を電位VSS(接地電位GND)と開
放との間で切り替える第2切替え部(GND/開放)と
を有している。
The terminals A, B, and C of each memory circuit are all connected, and signals input from the terminals A, B, and C are collectively input to all the read decoders RD1 to RD4. Is controlled to be. Each of the erase blocks B1 and B2 has a voltage switching circuit C for switching voltages input to the terminals VP and VN.
H1 and CH2 are connected, and the same voltage can be input to all inverters in a predetermined block. Note that the voltage switching circuits CH1 and CH2 are connected to the terminal V, respectively.
A first switching unit (V cc / open) for switching the voltage input to P between the potential V cc and open (open), and a terminal V
A second switching unit (GND / open) that switches the voltage input to N between the potential V SS (ground potential GND) and the open state is provided.

【0020】なお、図1に示す読み出し用デコーダRD
1乃至RD4内のNANDゲートNAND11、NAN
D12、NAND13及びNAND14、Nチャネル型
MOSトランジスタN11、N12、N13及びN1
4、Pチャネル型MOSトランジスタP21、P22、
P23及びP24、Pチャネル型MOSトランジスタP
31、P32、P33及びP34、Nチャネル型MOS
トランジスタN41、N42、N43及びN44、Nチ
ャネル型MOSトランジスタN51、N52、N53及
びN54、Pチャネル型MOSトランジスタP61、P
62、P63及びP64、Nチャネル型MOSトランジ
スタN71、N72、N73及びN74、並びに書込/
消去用デコーダWD1、WD2、WD3及びWD4は、
夫々、図2に示す読み出し用デコーダWD内のNチャネ
ル型MOSトランジスタN1、Pチャネル型MOSトラ
ンジスタP2、Pチャネル型MOSトランジスタP3、
Nチャネル型MOSトランジスタN4、Nチャネル型M
OSトランジスタN5、Pチャネル型MOSトランジス
タP6、Nチャネル型MOSトランジスタN7、及び書
込/消去用デコーダWDに対応している。
The read decoder RD shown in FIG.
NAND gates NAND11, NAN in 1 to RD4
D12, NAND13 and NAND14, N-channel MOS transistors N11, N12, N13 and N1
4, P-channel MOS transistors P21, P22,
P23 and P24, P-channel type MOS transistor P
31, P32, P33 and P34, N-channel type MOS
Transistors N41, N42, N43 and N44, N-channel MOS transistors N51, N52, N53 and N54, P-channel MOS transistors P61 and P
62, P63 and P64, N-channel MOS transistors N71, N72, N73 and N74, and
The erasing decoders WD1, WD2, WD3, and WD4 are
Each of the N-channel MOS transistor N1, the P-channel MOS transistor P2, the P-channel MOS transistor P3 in the read decoder WD shown in FIG.
N channel type MOS transistor N4, N channel type M
It corresponds to the OS transistor N5, the P-channel MOS transistor P6, the N-channel MOS transistor N7, and the write / erase decoder WD.

【0021】このように構成された不揮発性半導体記憶
装置の動作について、図2を参照して以下に説明する。
本発明の実施例に係る不揮発性半導体記憶装置につい
て、各動作毎のワード線の電圧例を下記表1に示す。
The operation of the nonvolatile semiconductor memory device thus configured will be described below with reference to FIG.
Table 1 below shows an example of a word line voltage for each operation in the nonvolatile semiconductor memory device according to the embodiment of the present invention.

【0022】[0022]

【表1】 [Table 1]

【0023】上記表1及び図2に示すように、読み出し
動作において、図2に示される端子Aには電位VCC、端
子Bには電位VCC、端子Cには電位VSS、端子VPには
電位VCC、端子VNには電位VSSが入力される。ワード
線WLが選択された場合には、NANDゲートNAND
1に入力されるロウアドレス信号がすべてハイレベル
(電位VCC)となり、NANDゲートNAND1とNチ
ャネル型MOSトランジスタN1との間の節点11はロ
ウレベル(電位VSS)となり、Nチャネル型MOSトラ
ンジスタN1とPチャネル型MOSトランジスタP3及
びNチャネル型MOSトランジスタN4との間の節点1
2もロウレベル(電位VSS)となる。
As shown in Table 1 and FIG. 2, in the read operation, the terminal A shown in FIG. 2 has the potential V CC , the terminal B has the potential V CC , the terminal C has the potential V SS , and the terminal C has the potential V SS . Is a potential V CC , and a potential V SS is inputted to a terminal VN. When the word line WL is selected, the NAND gate NAND
1 are all at high level (potential V CC ), the node 11 between the NAND gate NAND1 and the N-channel MOS transistor N1 is at low level (potential V SS ), and the N-channel MOS transistor N1 1 between P-channel MOS transistor P3 and N-channel MOS transistor N4
2 also becomes low level (potential V SS ).

【0024】従って、Pチャネル型MOSトランジスタ
P6及びNチャネル型MOSトランジスタN7により構
成されたインバータ(ワード線駆動段)INVの出力が
電位VCCとなるので、この電位VCCがワード線WLの電
圧となる。このとき、Pチャネル型MOSトランジスタ
P2のゲート電圧はVCC、Nチャネル型MOSトランジ
スタN5のゲート電圧はVSSであるから、Pチャネル型
MOSトランジスタP2及びNチャネル型MOSトラン
ジスタN5は共にオフ状態となっており、ワード線WL
と節点12とは電気的に切り離されている。
Accordingly, the output of the inverter (word line driving stage) INV constituted by the P-channel MOS transistor P6 and the N-channel MOS transistor N7 has the potential V CC, and this potential V CC is the voltage of the word line WL. Becomes At this time, the gate voltage of the P-channel MOS transistor P2 is V CC and the gate voltage of the N-channel MOS transistor N5 is V SS , so that both the P-channel MOS transistor P2 and the N-channel MOS transistor N5 are in the off state. And the word line WL
And the node 12 are electrically separated.

【0025】一方、ワード線が非選択の場合には、NA
NDゲートNAND1に入力されるロウアドレス信号の
うち、少なくとも1つがロウレベル(電位VSS)とな
り、節点11がハイレベル(電位VCC)となるので、節
点12の電位はVCC−Vtn1(Vtn1はNチャネル型
MOSトランジスタN1のしきい値)となる。なお、P
チャネル型MOSトランジスタP6及びNチャネル型M
OSトランジスタN7により構成されたインバータIN
Vは、この値をハイレベルと感知するように設定してあ
るので、ワード線WLの電圧はVSSとなる。この場合に
おいても、ワード線WLの選択時と同様に、Pチャネル
型MOSトランジスタP2及びNチャネル型MOSトラ
ンジスタN5は共にオフ状態となっており、ワード線W
Lと節点12とは電気的に切り離されている。
On the other hand, when the word line is not selected, NA
Since at least one of the row address signals input to the ND gate NAND1 becomes low level (potential V SS ) and the node 11 becomes high level (potential V CC ), the potential of the node 12 becomes V CC -V tn 1 ( Vtn1 becomes the threshold value of the N-channel MOS transistor N1). Note that P
Channel type MOS transistor P6 and N-channel type M
Inverter IN constituted by OS transistor N7
Since V is set so that this value is sensed as a high level, the voltage of the word line WL becomes V SS . Also in this case, as in the case of selecting the word line WL, both the P-channel MOS transistor P2 and the N-channel MOS transistor N5 are off, and the word line W
L and the node 12 are electrically separated.

【0026】書込動作においては、端子Aには−9V、
端子Bには電位VSS、端子Cには電位VCCが入力され、
端子VPは開放、端子VNは開放に設定されている。ワ
ード線WLが選択された場合には、書込/消去用デコー
ダから−9Vが出力されて、この電位−9Vがワード線
WLの電圧となる。このとき、NANDゲートNAND
1に入力されるロウアドレス信号は全てハイレベル(電
位VCC)であるので、節点11はロウレベル(電位
SS)となる。従って、ゲート電圧がVCC、ソース電圧
が−9VであるNチャネル型MOSトランジスタN5が
オン状態となると共に、Nチャネル型MOSトランジス
タN4のソース電圧が−9Vとなって、Nチャネル型M
OSトランジスタN4もオン状態となるので、節点12
はワード線WLと同電位の−9Vとなる。これにより、
Pチャネル型MOSトランジスタP6及びNチャネル型
MOSトランジスタN7は共にオフ状態となっており、
Nチャネル型MOSトランジスタN1もオフ状態となっ
ている。
In a write operation, -9 V is applied to terminal A,
The potential V SS is inputted to the terminal B, the potential V CC is inputted to the terminal C,
The terminal VP is open and the terminal VN is open. When the word line WL is selected, −9 V is output from the write / erase decoder, and this potential −9 V becomes the voltage of the word line WL. At this time, the NAND gate NAND
Since all the row address signals input to 1 are at the high level (potential V CC ), the node 11 is at the low level (potential V SS ). Therefore, the N-channel MOS transistor N5 having a gate voltage of V CC and a source voltage of -9 V is turned on, and the source voltage of the N-channel MOS transistor N4 is set to -9 V, so that the N-channel MOS transistor N4 is turned on.
Since the OS transistor N4 is also turned on, the node 12
Is -9 V which is the same potential as the word line WL. This allows
The P-channel MOS transistor P6 and the N-channel MOS transistor N7 are both in the off state,
The N-channel MOS transistor N1 is also off.

【0027】一方、ワード線WLが非選択の場合には、
書込/消去用デコーダからVSSが出力されて、この電位
SSがワード線WLの電圧となる。このとき、NAND
ゲートNAND1に入力されるロウアドレス信号のう
ち、少なくとも1つがロウレベル(電位VSS)となるの
で、節点11はハイレベル(電位VCC)となる。従っ
て、ゲート電圧がVCC、ソース電圧がVSSであるNチャ
ネル型MOSトランジスタN5がオン状態となると共
に、Nチャネル型MOSトランジスタN4のソース電圧
がVSSとなって、Nチャネル型MOSトランジスタN4
もオン状態となるので、節点12はワード線WLと同電
位のVSSとなる。これにより、Pチャネル型MOSトラ
ンジスタP6及びNチャネル型MOSトランジスタN7
は共にオフ状態となっており、Nチャネル型MOSトラ
ンジスタN1もオフ状態となっている。
On the other hand, when the word line WL is not selected,
V SS is output from the write / erase decoder, and this potential V SS becomes the voltage of the word line WL. At this time, the NAND
Since at least one of the row address signals input to the gate NAND1 is at the low level (potential V SS ), the node 11 is at the high level (potential V CC ). Accordingly, the N-channel MOS transistor N5 having a gate voltage of V CC and a source voltage of V SS is turned on, the source voltage of the N-channel MOS transistor N4 becomes V SS, and the N-channel MOS transistor N4
Is also turned on, so that the node 12 has the same potential V SS as the word line WL. Thus, the P-channel MOS transistor P6 and the N-channel MOS transistor N7
Are both turned off, and the N-channel MOS transistor N1 is also turned off.

【0028】消去動作においては、端子Aには電位
SS、端子Bには電位VSS、端子Cには電位VCCが入力
され、端子VPは開放、端子VNは開放に設定されてい
る。ワード線WLが選択された場合には、書込/消去用
デコーダより12Vが出力されて、この電位12Vがワ
ード線WLの電圧となる。このとき、NANDゲートN
AND1に入力されるロウアドレス信号は全てハイレベ
ル(電位VCC)であるので、節点11はロウレベル(電
位VSS)となる。従って、ゲート電圧がVSS、ソース電
圧が12VであるPチャネル型MOSトランジスタP2
がオン状態となると共に、Pチャネル型MOSトランジ
スタP3のソース電圧が12Vとなって、Pチャネル型
MOSトランジスタP3もオン状態となるので、節点1
2はワード線WLと同電位の12Vとなる。これによ
り、Pチャネル型MOSトランジスタP6はオフ状態と
なり、Nチャネル型MOSトランジスタN7はソースに
接続された端子VNに入力される電位が12V−Vtn
(Vtn7はNチャネル型MOSトランジスタN7のしき
い値)となった時点でオフ状態になる。また、Nチャネ
ル型MOSトランジスタN1はオフ状態である。
[0028] In the erase operation, the terminal A is at a potential V SS, terminal B is input potential V SS, the potential V CC to the terminal C, the terminal VP open, the terminal VN is set to open. When the word line WL is selected, 12 V is output from the write / erase decoder, and this potential 12 V becomes the voltage of the word line WL. At this time, the NAND gate N
Since all row address signals input to AND1 are at high level (potential V CC ), node 11 is at low level (potential V SS ). Therefore, a P-channel MOS transistor P2 having a gate voltage of V SS and a source voltage of 12V
Is turned on, the source voltage of the P-channel MOS transistor P3 becomes 12 V, and the P-channel MOS transistor P3 is also turned on.
2 has the same potential as the word line WL, that is, 12V. As a result, the P-channel MOS transistor P6 is turned off, and the N-channel MOS transistor N7 has the potential input to the terminal VN connected to the source of 12V- Vtn7.
At the time when (V tn7 is the threshold value of the N-channel MOS transistor N7), the transistor is turned off. The N-channel MOS transistor N1 is off.

【0029】一方、ワード線WLが非選択の場合には、
書込/消去用デコーダからVSSが出力されて、この電位
SSがワード線WLの電圧となる。このとき、NAND
ゲートNAND1に入力されるロウアドレス信号のう
ち、少なくとも1つがロウレベル(電位VSS)となるの
で、節点11はハイレベル(電位VCC)となる。従っ
て、ゲート電圧がVCC、ソース電圧がVSSであるNチャ
ネル型MOSトランジスタN5がオン状態となると共
に、Nチャネル型MOSトランジスタN4のソース電圧
がVSSとなって、Nチャネル型MOSトランジスタN4
もオン状態となるので、節点12はワード線WLと同電
位のVSSとなる。これにより、Pチャネル型MOSトラ
ンジスタP6はソース電圧が|Vtp6|(Vtp6はPチ
ャネル型MOSトランジスタP6のしきい値)となった
時点でオフ状態となり、Nチャネル型MOSトランジス
タN7もオフ状態となる。また、Nチャネル型MOSト
ランジスタN1はオフ状態である。
On the other hand, when the word line WL is not selected,
V SS is output from the write / erase decoder, and this potential V SS becomes the voltage of the word line WL. At this time, the NAND
Since at least one of the row address signals input to the gate NAND1 is at the low level (potential V SS ), the node 11 is at the high level (potential V CC ). Accordingly, the N-channel MOS transistor N5 having a gate voltage of V CC and a source voltage of V SS is turned on, the source voltage of the N-channel MOS transistor N4 becomes V SS, and the N-channel MOS transistor N4
Is also turned on, so that the node 12 has the same potential V SS as the word line WL. As a result, the P-channel MOS transistor P6 is turned off when the source voltage becomes | V tp 6 | (V tp 6 is the threshold value of the P-channel MOS transistor P6), and the N-channel MOS transistor N7 is also turned off. It turns off. The N-channel MOS transistor N1 is off.

【0030】このように動作する記憶回路を図1に示す
状態で接続した不揮発性半導体記憶装置においては、例
えば、消去動作時に消去ブロックB1が選択され、消去
ブロックB2が非選択の場合に、消去ブロックB1内の
ワード線WL1及びWL2は12Vとなり、消去ブロッ
クB2内のワード線WL3及びWL4はVssとなる。こ
のとき、読み出し用デコーダRD1乃至RD4のインバ
ータを構成するPチャネル型MOSトランジスタP61
及びNチャネル型MOSトランジスタN71、Pチャネ
ル型MOSトランジスタP62及びNチャネル型MOS
トランジスタN72、Pチャネル型MOSトランジスタ
P63及びNチャネル型MOSトランジスタN73、並
びにPチャネル型MOSトランジスタP64及びNチャ
ネル型MOSトランジスタN74は、いずれもオフ状態
となるので、選択されたワード線WL1及びWL2と、
非選択のワード線WL3及びWL4とが電気的に干渉し
あうことはない。従って、単純な消去動作により、所定
の消去ブロック内におけるメモリのみを一括して消去す
ることができる。
In the nonvolatile semiconductor memory device in which the memory circuits operating as described above are connected in the state shown in FIG. 1, for example, when the erase block B1 is selected during the erase operation and the erase block B2 is not selected, the erase operation is performed. word lines WL1 and WL2 in the block B1 is 12V, and the word line WL3 and WL4 in the erase block B2 becomes V ss. At this time, a P-channel MOS transistor P61 constituting an inverter of the read decoders RD1 to RD4
And N-channel MOS transistor N71, P-channel MOS transistor P62 and N-channel MOS
Since the transistor N72, the P-channel MOS transistor P63 and the N-channel MOS transistor N73, and the P-channel MOS transistor P64 and the N-channel MOS transistor N74 are all turned off, the selected word lines WL1 and WL2 are ,
The unselected word lines WL3 and WL4 do not electrically interfere with each other. Therefore, only a memory in a predetermined erase block can be erased collectively by a simple erase operation.

【0031】また、本実施例においては、消去ブロック
毎に、端子VP及びVNに入力される電圧を選択された
電圧に切り替える電圧切替え回路CH1及びCH2を有
しており、消去ブロック毎に独立して電圧が制御される
ので、消去動作時に選択された消去ブロックB1内のワ
ード線WL1及びWL2の電圧に対して、消去ブロック
B1内のインバータを構成するMOSトランジスタの耐
圧性を考慮する必要はない。但し、書込動作時は、ワー
ド線毎に選択/非選択を切り換えるので、選択されたワ
ード線の電圧は−9Vとなる。従って、全てのインバー
タを構成するトランジスタは、−9Vの電圧に対する耐
圧性を有するように構成すればよい。
In this embodiment, each of the erase blocks includes voltage switching circuits CH1 and CH2 for switching the voltages input to the terminals VP and VN to the selected voltage. Therefore, it is not necessary to consider the withstand voltage of the MOS transistors constituting the inverter in the erase block B1 with respect to the voltages of the word lines WL1 and WL2 in the erase block B1 selected during the erase operation. . However, during the write operation, selection / non-selection is switched for each word line, so that the voltage of the selected word line is -9V. Therefore, the transistors constituting all the inverters may be configured to have a withstand voltage with respect to a voltage of -9V.

【0032】更に、本実施例においては、書込/消去用
デコーダがレベル変換回路を有しており、スイッチング
時間が長いレベル変換回路を介することなく読み出し動
作を実行することができるので、従来の不揮発性半導体
記憶装置と比較して、動作速度を向上させることができ
る。
Further, in this embodiment, the write / erase decoder has a level conversion circuit, and the read operation can be executed without passing through the level conversion circuit having a long switching time. The operation speed can be improved as compared with the nonvolatile semiconductor memory device.

【0033】なお、図1に示す不揮発性半導体記憶装置
の他に、全ての端子VP及びVNに入力される電圧を一
括して制御することができる不揮発性半導体記憶装置が
考えられる。図3は全てのインバータに接続された電圧
切替え回路を有する不揮発性半導体記憶装置を示す回路
図である。なお、図3に示す回路が図1に示す本実施例
と異なる点は、消去ブロックB1内の端子VP及びVN
と、消去ブロックB2内の端子VP及びVNとが接続さ
れており、全てのインバータを一括して制御するように
なっている点のみであるので、図3に示す回路におい
て、図1に示すものと同一物には同一符号を付して、そ
の詳細な説明は省略する。
In addition to the non-volatile semiconductor memory device shown in FIG. 1, a non-volatile semiconductor memory device capable of controlling voltages applied to all terminals VP and VN collectively can be considered. FIG. 3 is a circuit diagram showing a nonvolatile semiconductor memory device having a voltage switching circuit connected to all inverters. The difference between the circuit shown in FIG. 3 and the present embodiment shown in FIG. 1 is that the terminals VP and VN in the erase block B1 are different.
And the terminals VP and VN in the erase block B2 are connected to each other, and all the inverters are collectively controlled. Therefore, in the circuit shown in FIG. The same components as those described above are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0034】図3に示すように構成された不揮発性半導
体記憶装置であっても、図1に示す本実施例と同様に、
動作速度を向上させることができると共に、選択された
ワード線WL1及びWL2と、非選択のワード線WL3
及びWL4とが電気的に干渉しあうことはないので、消
去動作が容易である。
Even in a nonvolatile semiconductor memory device configured as shown in FIG. 3, similar to the present embodiment shown in FIG.
The operation speed can be improved, and the selected word lines WL1 and WL2 and the unselected word lines WL3
And WL4 do not electrically interfere with each other, so that the erasing operation is easy.

【0035】しかし、図3に示す不揮発性半導体記憶装
置においては、NAND回路11乃至14には電位VCC
以上の高電圧は印加されないが、読み出し用デコーダ内
のその他の全てのMOSトランジスタのドレイン電極に
電位VCC以上の高電圧または負電圧が印加されるので、
使用されているMOSトランジスタの耐圧性が低い場合
には、パンチスルーが発生することがある。従って、ト
ランジスタのパンチスルー耐圧を高めるために、全ての
MOSトランジスタのチャネル長を長く形成する必要が
ある。
[0035] However, in the nonvolatile semiconductor memory device shown in FIG. 3, the NAND circuit 11 to 14 potential V CC
Although the above high voltage is not applied, since a high voltage or a negative voltage higher than the potential V CC is applied to the drain electrodes of all other MOS transistors in the read decoder,
If the MOS transistor used has low withstand voltage, punch-through may occur. Therefore, it is necessary to increase the channel length of all the MOS transistors in order to increase the punch-through breakdown voltage of the transistors.

【0036】上述の如く、消去動作時には、選択された
消去ブロック内のワード線WLの電圧は12Vとなるの
で、使用されるMOSトランジスタには12V以上のパ
ンチスルー耐圧が必要である。特に、ワード線WLに寄
生する大きな負荷を高速に駆動する必要があるMOSト
ランジスタ(図2に示すPチャネル型MOSトランジス
タP6及びNチャネル型MOSトランジスタN7に対応
するトランジスタ)に大きな駆動能力を持たせるために
は、更に一層チャネル幅を大きく形成する必要があり、
回路面積が大きくなる。
As described above, at the time of the erase operation, the voltage of the word line WL in the selected erase block is 12 V, so that the MOS transistors used must have a punch-through breakdown voltage of 12 V or more. In particular, a MOS transistor (a transistor corresponding to the P-channel MOS transistor P6 and the N-channel MOS transistor N7 shown in FIG. 2) which needs to drive a large load parasitic on the word line WL at high speed has a large driving capability. Therefore, it is necessary to further increase the channel width,
The circuit area increases.

【0037】これに対して、本実施例においては、消去
ブロック毎に端子VP及びVNに入力される電圧を選択
されたものに切り替える電圧切替え回路を有しており、
消去ブロック毎にインバータに印加される電圧が独立し
ているので、選択された消去ブロック内のインバータを
構成するトランジスタがパンチスルーを起こしても、他
の消去ブロックに影響を与えることはなく、誤動作は発
生しない。従って、高速な読み出し動作を行うために最
も大きい駆動能力が必要であるインバータについても、
消去動作時よりもワード線の電圧が低い書込動作時に、
必要とされるパンチスルー耐圧を有していればよいの
で、チャネル幅及びチャネル長を小さく設定することが
でき、回路面積を小さくすることができる。
On the other hand, the present embodiment has a voltage switching circuit for switching the voltage input to the terminals VP and VN to a selected one for each erase block.
Since the voltage applied to the inverter is independent for each erase block, even if a transistor forming the inverter in the selected erase block causes punch-through, it does not affect other erase blocks and malfunctions. Does not occur. Therefore, even for an inverter that requires the largest driving capability to perform a high-speed read operation,
During a write operation in which the word line voltage is lower than during an erase operation,
Since it is only necessary to have the required punch-through breakdown voltage, the channel width and the channel length can be set small, and the circuit area can be reduced.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
1又は複数個のインバータ毎に1又は複数の電圧切替え
回路が設けられており、この電圧切替え回路により、夫
々1又は複数個のインバータへの入力電圧を複数の電圧
から選択したものに切り替えることができるので、1つ
の群に属するインバータが入力電圧によりパンチスルー
を起こしても、他の群に属するインバータに影響を与え
ることがなく、インバータ及びこれに接続されたプリイ
ンバータを構成するトランジスタの耐圧性を低く設定す
ることができ、回路面積を小さくすることができる。
As described in detail above, according to the present invention,
One or a plurality of voltage switching circuits are provided for each of the one or a plurality of inverters, and the voltage switching circuit can switch an input voltage to each of the one or a plurality of inverters to a voltage selected from a plurality of voltages. Therefore, even if the inverters belonging to one group cause a punch-through due to the input voltage, they do not affect the inverters belonging to the other group, and the withstand voltage of the transistors constituting the inverters and the pre-inverters connected thereto is not affected. Can be set low, and the circuit area can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例に係る不揮発性半導体記
憶装置を示す回路図である。
FIG. 1 is a circuit diagram showing a nonvolatile semiconductor memory device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1に示す不揮発性半導体記憶装置の記憶回路
を拡大して示す回路図である。
FIG. 2 is an enlarged circuit diagram showing a storage circuit of the nonvolatile semiconductor memory device shown in FIG. 1;

【図3】全てのインバータに接続された電圧切替え回路
を有する不揮発性半導体記憶装置を示す回路図である。
FIG. 3 is a circuit diagram showing a nonvolatile semiconductor memory device having a voltage switching circuit connected to all inverters.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A,B,C,VP,VN;端子 B1,B2;消去ブロック BL;ビット線 CH,CH1,CH2;電圧切替え回路 MC,MC1,MC2,MC3,MC4;メモリセル RD,RD1,RD2,RD3,RD4;読み出し用デ
コーダ SL;ソース線 WD,WD1,WD2,WD3,WD4;書込/消去用
デコーダ WL,WL1,WL2,WL3,WL4;ワード線
A, B, C, VP, VN; terminals B1, B2; erase block BL; bit lines CH, CH1, CH2; voltage switching circuit MC, MC1, MC2, MC3, MC4; memory cells RD, RD1, RD2, RD3. RD4; read decoder SL; source line WD, WD1, WD2, WD3, WD4; write / erase decoder WL, WL1, WL2, WL3, WL4; word line

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 情報が記憶される複数のメモリセルと、
各メモリセルに接続されたワード線と、各ワード線に接
続されたインバータと、前記インバータに接続され前記
ワード線の選択及び非選択を決定するプリインバータ
と、前記ワード線に接続され前記メモリセルへの情報の
書込及びメモリセルからの情報の消去を実行する書込及
び消去用デコーダと、1又は複数個の前記インバータ毎
に設けられ夫々その群に属するインバータの入力電圧を
複数の電圧から選択したものに切り替えることができる
1又は複数の電圧切替え回路とを有することを特徴とす
る不揮発性半導体記憶装置。
A plurality of memory cells for storing information;
A word line connected to each memory cell, an inverter connected to each word line, a pre-inverter connected to the inverter to determine selection and non-selection of the word line, and the memory cell connected to the word line And a write / erase decoder for writing information to the memory cell and erasing information from the memory cells, and an input voltage of an inverter provided for each of one or a plurality of inverters and belonging to the group, from a plurality of voltages. A nonvolatile semiconductor memory device comprising one or more voltage switching circuits capable of switching to a selected one.
【請求項2】 前記電圧切替え回路の前記インバータへ
の入力電圧の切替えのタイミングは、消去動作をすると
き、書込動作をするとき又は読み出し動作をするときで
あることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体
装置。
2. The timing of switching the input voltage to the inverter of the voltage switching circuit when performing an erasing operation, performing a writing operation, or performing a reading operation. 3. The non-volatile semiconductor device according to claim 1.
【請求項3】 前記書込及び消去用デコーダは入力され
た電圧を所定の電圧に変換するレベル変換回路を有する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の不揮発性半導
体記憶装置。
3. The nonvolatile semiconductor memory device according to claim 1, wherein said write / erase decoder has a level conversion circuit for converting an input voltage to a predetermined voltage.
【請求項4】 前記インバータ及び前記プリインバータ
は前記メモリセルに記憶された情報を読み出す読み出し
用デコーダを構成することを特徴とする請求項1乃至3
のいずれか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
4. The read-out decoder according to claim 1, wherein the inverter and the pre-inverter form a read decoder for reading information stored in the memory cell.
7. The non-volatile semiconductor storage device according to claim 1.
【請求項5】 前記プリインバータはロウアドレス信号
が入力されるNANDゲートを有することを特徴とする
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の不揮発性半導体
記憶装置。
5. The nonvolatile semiconductor memory device according to claim 1, wherein said pre-inverter has a NAND gate to which a row address signal is input.
【請求項6】 前記プリインバータは前記ロウアドレス
信号に基づいて前記ワード線の選択及び非選択を決定す
るものであることを特徴とする請求項5に記載の不揮発
性半導体記憶装置。
6. The nonvolatile semiconductor memory device according to claim 5, wherein said pre-inverter determines selection or non-selection of said word line based on said row address signal.
【請求項7】 前記インバータはPチャネル型MOSト
ランジスタと、前記Pチャネル型MOSトランジスタに
接続されたNチャネル型MOSトランジスタとを有する
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載
の不揮発性半導体記憶装置。
7. The inverter according to claim 1, wherein the inverter has a P-channel MOS transistor and an N-channel MOS transistor connected to the P-channel MOS transistor. Nonvolatile semiconductor memory device.
【請求項8】 前記電圧切替え回路は前記Pチャネル型
MOSトランジスタに入力する電圧を切り替える第1切
替え部と前記Nチャネル型MOSトランジスタに入力す
る電圧を切り替える第2切替え部とを有することを特徴
とする請求項7に記載の不揮発性半導体記憶装置。
8. The voltage switching circuit includes a first switching unit that switches a voltage input to the P-channel MOS transistor and a second switching unit that switches a voltage input to the N-channel MOS transistor. The nonvolatile semiconductor memory device according to claim 7, wherein:
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