JP2000055636A - 三次元形状計測装置及びパターン光投影装置 - Google Patents

三次元形状計測装置及びパターン光投影装置

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JP2000055636A
JP2000055636A JP10223161A JP22316198A JP2000055636A JP 2000055636 A JP2000055636 A JP 2000055636A JP 10223161 A JP10223161 A JP 10223161A JP 22316198 A JP22316198 A JP 22316198A JP 2000055636 A JP2000055636 A JP 2000055636A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型・携帯可能な三次元形状計測装置を提供
する。 【解決手段】 空間コード化のためのパターン光の投影
のために、光源としてストロボ光源38を用いる。駆動
電源装置36は、ストロボ光源38の発光1回分の容量
のコンデンサを形状計測に必要なパターンの数(例えば
nビット2進コード化の場合n個)だけ有し、それらコ
ンデンサに充電する電池等の充電用電源を有する。充電
済みのコンデンサを、所定の時間間隔ごとにストロボ光
源38に接続していくことで、ストロボ光源38が点滅
する。このストロボ光源38の発光に同期して、パター
ンマスク装置39は空間コード化のためのパターンを切
り替える。計測コントロール部35の制御により、CC
D撮像装置31の蓄積期間内にストロボ光源38が発光
し、かつその発光がパターンマスク装置39のパターン
が安定する期間に当たるよう、撮像、ストロボ発光及び
パターン切替のタイミング関係が制御される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、測定対象物の三次
元形状を非接触で計測する三次元形状計測装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】光を用いて測定対象の三次元形状を非接
触に計測する技術は、能動的計測法と受動的計測法とに
大別される。受動的計測法は、ステレオ法に代表される
ように環境光を利用して計測するものであるのに対し、
能動的計測法は、投光装置から測定対象に対して光を照
射し、その反射光に基づき計測を行うものである。能動
的計測法には三角測量の原理を利用したものが多く、そ
の代表的なものとしては、例えばスポット光投影法、ス
リット光投影法、符号(コード)化法がある。符号化法
には、光に色を付けて符号化する方法、投光装置の開口
幅を変えることにより符号化する方法、符号化した複数
の開口パターンを順次照射する「時系列符号化法」「空
間コード化法」と呼ばれる方法がある。
【0003】図16には、空間コード化法の計測原理が
示されている。図16において、測定物体Qを視野内に
捉えているビデオカメラのレンズの光学中心11を原点
として、レンズ光軸をZc軸とし、ビデオカメラの水平
走査方向にXc軸をとり、Xc軸とZc軸に直交してY
c軸をとっている。ビデオカメラの撮像面12は、実際
には光学中心点11の後ろにあるものだが、図では説明
が容易なように光学中心点11の前に示している。Xc
軸とYc軸にそれぞれ平行に、撮像面12内にX’軸及
びY’軸をとる。光学中心点11と撮像面12との距離
をfとする。Xc軸上でZc軸から距離dだけ離れた位
置に光源10が配置される。光源10から所定の広がり
をもって発せられた光は、パターンマスク13を透過す
ることによりパターン光100となる。このパターン光
100が測定物体Qに投影されることにより、測定物体
Qの表面には、パターンマスク13に対応した明暗の縞
模様が形成される。パターンマスク13の縞の方向は、
図示のごとくYc軸に平行である。パターンマスク13
を所定の規則に従って切り替えることにより、測定物体
Qの表面に形成されるパターンを時系列的に変化させる
ことができる。これにより、測定物体Qの表面を、時系
列的な明滅規則により識別されるn個の領域R1,R2,
・・Ri,・・Rnに分割することができる。領域Riに
属する点Pの座標を(Xp,Yp,Zp)とし、点Pが
撮像面12上に結像した点をP’(X’p,Y’p,
f)とする。各領域R1,R2,・・Ri,・・Rnを規定
する光の部分は、薄い楔状となっている。パターン光1
00のうち、領域Riを与える薄い楔状の部分がX軸と
なす角をθiとする。点Pの座標は次式で与えられる。
【0004】
【数1】Zp=f・d/(f・tanθi+X’p) Xp=X’p・Zp/f Yp=Y’p・Zp/f 従来の空間コード化法では、縞模様を生成する方法の代
表的なものとして次の2つの方法が知られている。ひと
つは、物理的なパターンマスクにより光源からの光を遮
ることにより縞模様を投影するものであり、開口した複
数の板やフィルムを機械的に切り替えたり、円盤状のパ
ターンマスクを回転させたりすることにより時系列的に
光パターンを生成する方法である。これを液晶シャッタ
で実現した方法がよく知られる。もう一つは、物理的な
パターンマスクを使用する代わりに、レーザを用いてス
リット光を形成し、このスリット光を偏向機構を用いて
走査、スイッチングすることにより、パターンを形成す
るという方法である。前者の代表的なものに「液晶レン
ジファインダ−液晶シャッタによる高速距離画像計測シ
ステム」(佐藤宏介、井口征士:電子情報通信学会論文
誌、'88/7 Vol.J71-D No.7)や特開昭64−54208
号公報に示される方法がある。この方法では、パターン
マスクとして液晶シャッタを用い、光源にはハロゲンラ
ンプ等の光プロジェクタを用いていた。一方、後者の代
表的なものには、「スキャン式符号化法による小型高速
レンジファインダ」(服部数幸、佐藤幸男:電子情報通
信学会論文誌、'93/8 Vol.J76-DII,No.8)や特開平3−
128889号公報に示されるものがある。この方法で
は、半導体レーザから出力されたレーザ光をレンズ系を
用いてスリット光に変換し、そのスリット光をガルバノ
ミラーなどを用いて所定の制御の下で走査しながら、半
導体レーザを点滅させることにより縞模様を形成してい
た。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】三次元形状計測技術
は、様々な分野への応用が期待されている。特に、携帯
可能な小型の三次元形状計測装置が実現できれば、その
応用範囲は驚異的な広がりを見せるであろう。ところ
が、従来提案されている三次元形状計測技術には、携帯
性の観点を考慮したものはなかった。
【0006】例えば、前者の方法は、光源にハロゲンラ
ンプを用いているため、消費電力が大きく、電源の整備
された環境でないと使用できない。また、ハロゲンラン
プは発熱も多いため、装置の小型化が困難である。この
ような点から、前者の方法は、携帯型の装置には向かな
かった。また、前者の方法では、液晶シャッタのパター
ンを切り替えたときに液晶の状態が一時的に不安定とな
り、その後安定したパターンが得られるまでは、画像の
取り込みを行うことができない(画像を取り込んだとし
ても、その画像はパターンが不安定なときの影響を含む
ので形状計測には不適である)。したがって、あるフレ
ーム(又はフィールド)で画像を取り込むと、少なくと
も次のフレーム(又はフィールド)はパターンの切替と
安定化のために画像取り込みを行えず、形状計測のため
に必要な各パターンの画像を得るのに時間が掛かるとい
う問題もあった。
【0007】一方、後者の方法は、光源が半導体レーザ
なので消費電力が小さく発熱も小さくなり、装置の小型
化が比較的容易であるという利点があるが、次のような
問題がある。また、光源が単一波長の半導体レーザなの
で、三次元形状の計測はできるものの、カラー画像を同
時に得ることができないという問題もある。更には、レ
ーザ光走査のための機械的な走査機構は、一般に装置の
移動などに伴う振動に対して不安定になりやすく、計測
の安定性が乱れる場合があるという問題もあった。特に
最後の問題は、携帯型の装置を実現する上で大きな問題
となる。
【0008】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、三次元形状計測装置において携帯化可
能な構成を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明に係る三次元形状
計測装置は、計測対象に対して所定の規則に従って順に
変化するパターン光を投影するパターン光投影手段と、
前記パターン光投影手段からのパターン光が投影された
前記計測対象を撮像する撮像手段と、前記撮像手段によ
り得られた各パターン光が投影された前記計測対象の画
像に基づき、前記計測対象表面各点の三次元位置を算出
する演算手段とを有し、前記パターン光投影手段は、ス
トロボ光源と、前記ストロボ光源に電力を供給して発光
させる駆動電源装置と、前記ストロボ光源からの光を、
所定の規則に従って順に切り替わるパターンによってマ
スクすることにより、計測のために必要な種類の各パタ
ーン光を形成するパターンマスク装置と、前記ストロボ
光源の発光及び前記パターンマスク装置のパターン切替
のタイミングを、前記撮像手段の画像形成タイミングに
合わせて同期制御する制御手段とを有する。
【0010】この構成では、ストロボ光源を駆動電源装
置からの電力供給により間欠的に発光させ、その発光を
パターンマスク装置を通過させることにより所定のパタ
ーンにして計測対象に投影する。ここで、制御手段によ
り、ストロボ光源の発光及びパターンマスクのパターン
切替のタイミングを、撮像手段の画像形成タイミングに
合わせて同期制御することにより、空間コード化に必要
な各パターンの投影を得ることができる。
【0011】この構成によれば、光源としてストロボ光
源を用いるので、小電力で駆動することができ、例えば
電池ベースの運用も可能である。また、機械的な走査機
構を必要としないため、装置移動時の振動の問題もな
い。したがって、小型で携帯可能な装置を実現すること
ができる。
【0012】また、この構成では、ストロボ光源による
瞬間的な発光により露光を行うため、あるフレーム(又
はフィールド)で大部分の時間においてパターンが不安
定であっても、露光の瞬間だけパターンが安定していれ
ば、必要な画像が得られる。したがって、パターンマス
ク装置として液晶シャッタを用いた場合でも、フレーム
(又はフィールド)を無駄にせず連続して画像取り込み
を行うことができ、形状計測に必要な画像の取り込み期
間を短縮することができる。
【0013】この構成の好適な態様では、駆動電源装置
は、ストロボ光源の1回の発光に必要な電源容量を有す
る単位電源を、1回の形状計測に必要なパターンの数と
同数だけ並列接続して構成された1回計測用電源ユニッ
トを含み、前記各単位電源を順次切り替えつつ前記スト
ロボ光源に電源供給を行う。この態様によれば、形状計
測に必要な各パターンの画像を連続的に撮影することが
できる。なお、この1回計測用電源ユニットを複数設け
ることにより、連続的に形状計測を行うこともできる。
【0014】また、本発明に係る三次元形状計測装置
は、計測対象に対して所定の規則に従って順に変化する
パターン光を投影するパターン光投影手段と、前記パタ
ーン光投影手段からのパターン光が投影された前記計測
対象を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により得られ
た各パターン光が投影された前記計測対象の画像に基づ
き、前記計測対象表面各点の三次元位置を算出する演算
手段とを有し、前記パターン光投影手段は、空間コード
化のために必要な各パターンに対応して設けられ、各々
がストロボ光源とその光源の光をマスクして所定のパタ
ーン光を形成するためのパターンマスクとを含む複数の
パターン光源ユニットと、前記撮像手段の画像形成タイ
ミングに合わせて各パターン光源ユニットを所定の順序
に従って切り替えながら発光させる制御手段とを有す
る。
【0015】この構成も、小電力で駆動可能なストロボ
光源を利用し、機械的な走査機構無しでパターンを形成
することができるので、小型で携帯可能な装置を実現で
きる。更には、この構成では、1つのパターンマスク装
置でパターンを変化させるのではなく、固定的なパター
ンマスクを有するパターン光源ユニットを切り替え発光
させることでパターン光の種類を切り替えるので、液晶
シャッタなどのようなパターンマスクの制御が不要とな
り、制御機構が簡素化できる。
【0016】この構成において、パターン光投影手段
に、各パターン光源ユニットから発せられるパターン光
を同一の出射位置まで導くライトガイドと、ライトガイ
ドにより前記出射位置に位置合わせされその位置から出
射されるパターン光を計測対象に焦点合わせするレンズ
系と、を設けることも好適である。各パターン光源ユニ
ットのパターン光を同一出射位置に導いて出射させるこ
とにより、各パターン光を高精度で位置合わせすること
ができる。
【0017】ここで、パターンマスクとして2進コード
化用の縞パターンを用いた場合、パターンマスクの最小
幅の縞の厚みを持つ導光板を複数枚積層してライトガイ
ドを構成することが好適である。この構成では、各導光
板間を遮光することにより、パターン光源ユニットから
発せられたパターン光を、明暗の縞を明確に保ったま
ま、出射位置まで導くことができる。また、導光板の出
射端面を微小幅にしておくことにより、パターン光源ユ
ニットが入射端面のどこに位置しても、最終的にその微
小幅の出射端面から出射されるので、パターン光源ユニ
ットの位置によらず均一なパターン光を投射することが
できる。なおここでいう2進コードには、純2進コード
の他にグレイコード(交番2進コード)なども含まれ
る。
【0018】また、ここで、各導光板の入射端面をハー
フミラー加工することにより、導光板内からパターン光
源ユニットへの光の漏れ込みが防止できる。あるパター
ン光源ユニットから発せられた光が導光板内で反射して
他のパターン光源ユニットに漏れ込むようなことがある
と、漏れ込み先のユニットから光が再び導光板内に戻
り、その結果もとのパターンとは異なる部分が明るくな
ることがある。このようなことが起こると、計測対象に
投影されるパターンが不明瞭になり、計測の精度が悪く
なってしまうが、この態様によればそのような問題を防
止できる。
【0019】また、本発明は、空間コード化のために必
要な各パターンに対応して設けられ、各々がストロボ光
源とその光源の光をマスクして所定のパターン光を形成
するためのパターンマスクとを含む複数のパターン光源
ユニットと、各パターン光源ユニットを順に切り替えて
発光させる制御手段とを備えるパターン光投影装置を提
供するものである。このパターン光投影装置によれば、
空間コード化に必要な複数のパターン光を、小型で簡素
な装置構成で生成することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態(以下
実施形態という)について、図面に基づいて説明する。
【0021】[実施形態1]図1に、本実施形態の三次
元形状計測装置(レンジファインダ)の原理的な構成を
示す。図1において、ストロボ光源38から発せられた
白色光は、パターンマスク装置39により、明暗の縞パ
ターンを有するパターン光100に変換され、計測対象
の物体Qに向けて投影される。ここで、ストロボ光源3
8は、駆動電源装置36からの電力254の供給の有無
に応じて、点灯又は消灯される。駆動電源装置36は、
計測コントロール部35が発する制御信号252に応じ
て、所定の規則に従ってストロボ光源38に電力の供給
及び停止を制御する。パターンマスク装置39は、例え
ば液晶シャッタで構成することができ、パターン切替装
置37から与えられるパターン切替信号255に応じ
て、縞パターンを所定の規則に従って切り替える。パタ
ーンマスク装置39としては、パターンを切り替えたと
き、1フィールド以内の所定時間でパターンが安定化す
るものを用いる。パターン切替装置37は、計測コント
ロール部35が発する切替タイミング信号253のタイ
ミングで、パターンの切替を行う。CCD撮像装置31
は、計測対象の物体Qを視野に収め、計測コントロール
部35から供給される撮像同期信号251に応じて、1
フィールドごとに撮像処理を行い、画像データ201を
出力する。
【0022】駆動電源装置36、パターン切替装置37
及びCCD撮像装置31は、計測コントロール部35に
より同期制御される。すなわち、駆動電源装置36への
制御信号252、切替タイミング信号253、及び撮像
同期信号251は、互いに所定の時間関係を保ちつつ出
力される。これにより、CCD撮像装置31の1フィー
ルド分の蓄積期間内にストロボ光源38が発光し、この
発光に同期してパターンマスク装置39のパターンが切
り替えられる。ここで、駆動電源装置36への制御信号
252とパターン切替タイミング信号253との時間関
係は、パターンマスク装置39のパターンが安定になっ
ている期間中にストロボ光源38が発光するよう、調整
されている。
【0023】パターン光100は、物体Qの表面に歪ん
だ縞パターンを形成する。ここで、パターン光の1回の
投影は、CCD撮像装置31の蓄積期間内に行われるた
め、1フィールドの画像データ201の中には、ストロ
ボ光源38の瞬間的な発光によってできた歪んだ縞パタ
ーンの画像が含まれることになる。この画像データ20
1は、記憶装置32へ送られ、1フィールドごとに順次
蓄積される。
【0024】以上のような機構により、パターンマスク
装置39のマスクを切り替えながら、順次撮像を行う。
空間コード化のために必要なすべてのパターンについて
撮像が完了すると、記憶装置32に蓄積された各パター
ンについての画像データに基づき、物体Qの形状計算処
理(物体Q各点の三次元的座標の計算処理)が行われ
る。この処理は、投影角識別部33及び演算部34によ
り行われる。投影角識別部33は、記憶装置32に蓄え
られた各パターンの画像データ202を用いて、縞パタ
ーンの各領域に対応する投影角を求め、演算部34はこ
の投影角情報203を各画素の画面上での位置情報と組
み合わせることにより、物体Q上の任意の点Rの座標
(x,y,z)を計算する。なお、投影角識別部33と
演算部34の処理内容については、後に改めて詳しく説
明する。
【0025】パターン光100は、物体Qの表面上にパ
ターンマスクに応じた縞パターンを投影する。この投影
は、CCD撮像装置31の1フィールド分の蓄積時間に
同期してパターンマスクを変更しながら、順次行われ
る。この様子を図2を参照して説明する。
【0026】図2の(a)、(b)、(c)及び(d)
は、空間コード化のために用いるパターンマスクの例を
示している。パターンマスク装置39は、これらパター
ンマスクを順次切り替えつつ生成する。ここに挙げた
(a)〜(d)は、空間を16(=24)の領域に分割
する4ビットの純2進空間コード化のために用いるパタ
ーンマスク群である。パターンマスク(a)〜(d)を
順次切り替えながら、それと同期してストロボ光源38
を点滅させると、物体Q上に各パターンマスクに応じた
明暗の縞パターンが投影され、それがCCD撮像装置3
1で撮像される。例えば、パターンマスク(a)を物体
Qに投影すると、CCD撮像装置31では図2の
(a’)に示すような画像データが得られる。同様に、
(b’)〜(d’)は、それぞれパターンマスク(b)
〜(d)に対応する画像データの例である。4ビットの
純2進空間コード化では、(a)〜(d)の4種のパタ
ーンマスクについて、計測対象の物体の画像データの取
り込みが必要となる。これら画像データ群は記憶装置3
2に蓄積され、後の処理に供される。なお、パターンマ
スク(a)〜(d)は、必ずしもこの順序で投影するす
る必要はない。最終的にこれら4種のパターンマスクに
対応する画像データが得られれば、そのような順序で投
影を行ってもよい。
【0027】更に図2(a’)〜(d’)を参照して、
投影角識別部33の処理について説明する。ここでは、
記憶装置32に既に図2(a’)〜(d’)の4つの画
像データが蓄積済みであるとして説明する。
【0028】投影角識別部33は、記憶装置32から、
形状計測のために必要な画像データ群(図2(a’)〜
(d’))を読み出し、これら画像データ群に基づき、
撮像された空間を複数(この場合は16個)の空間領域
に分割する。すなわち、図2(d’)の画像では、画面
は明暗の縞により、s'1,s'2,s'3,...s'16の
16個の領域に分けられており、これら各領域は、パタ
ーンマスクにおける縞が光源からの光により空間に投影
されてできる楔状空間(図1又は図7参照)に対応して
いる。ここでは、物体の各点がいずれの楔状空間に属す
るかを識別する。以下、この処理手順を説明する。
【0029】この処理では、物体上の任意の点Rが、各
パターンマスクの投影のもとで明るいか暗いかを識別
し、この識別結果に基づき、その点がどの楔形空間に含
まれているかを識別する。点Rは、各画像データ
(a’)〜(d’)の画面において、同一の位置の点で
ある。点Rの明暗を識別すると、画像(a’)では明、
(b’)では暗、(c’)では明、(d’)では暗とな
っている。点(画素)の明暗の識別のために、前処理と
して、各画像データに対して二値化処理を施しておくこ
とも好適である。この例における明暗の識別結果を、パ
ターン(a’)〜(d’)の順序に並べると、点Rは
「明暗明明」の4ビットのコードを持つことになる。こ
の明暗の4ビットコードが、この例における空間コード
である。図から分かるように、「明暗明明」の空間コー
ドを持つのは、領域s'12に対応する楔形空間に属する
点であり、それ以外にはない。このように、4つのパタ
ーンマスクに対応する各画像から、各点(画素)につい
て上記のような明暗の4ビットコードが求められ、その
4ビットコードにより、その点がs1'〜s'16のいずれ
に対応する楔形空間に属するかが一意に識別できる。こ
の識別結果、すなわち点が属する楔形空間の識別情報
が、投影角情報203として投影角識別部33から出力
される。この投影角情報203は演算部34により利用
される。
【0030】なお、以上に説明した4ビットの純2進コ
ードパターンの例は、空間コード化の原理を分かり易く
説明するためのものである。実用的には、もっとビット
数を増やした(パターンマスクの種類を増やした)構成
とすることが好ましい。例えば8ビット(パターンマス
クが8種類)の空間コード化を行えば、空間を256の
楔形空間に分割することができ、詳細な形状計測が可能
になる。ビット数(パターンマスクの種類)をもっと増
やせば、更に詳細な計測が可能になる。また、純2進コ
ードのパターンマスク列の代わりに、グレイコード(交
番2進コード)を生成するパターンマスク列を用いるこ
とも好適である。グレイコードは、隣接コード間のコー
ド化誤りを最小化できるという利点がある。図3に、4
ビットのグレイコードを生成するパターンマスク列
(e)〜(h)を例示する。
【0031】次に、図4を用いて、演算部34による演
算処理について説明する。
【0032】CCD撮像装置31の光学中心点11の座
標を(0,0,0)とし、撮像面12の中心点60の座
標を(0,0,f)とする。ストロボ光源38の投影中
心点Mの座標は(Mx,0,Mz)であるとする。この
ような座標系のもとで、演算部34は、計測対象の物体
Q上の各点の三次元座標(X,Y,Z)を求める。ここ
では、点Rの座標演算の手順を例にとってこの手順を説
明する。
【0033】まず、投影角識別部33から与えられた点
Rの投影角情報203から、点Rの属する楔形空間12
0がZc軸方向となす角φを求める。楔形空間120は
厚みを持っており、点Rの位置をその厚みより細かく決
定することはできない。したがって、楔形空間120の
厚み分の角度δφは測定誤差となる。
【0034】ここで、点Rが撮像面12上に結像した点
を点R’とし、その座標を(xi,yi,f)とする。
幾何学的関係を考慮すると、点Rの座標(X,Y,Z)
は次式で得ることができる。
【0035】
【数2】 Z=f・(Mx+Mz・tanφ)/(xi+f・tanφ) X=Z・xi/f Y=Z・yi/f CCD撮像装置31で得られた画像の各画素(xi,y
i)について、この式を適用することにより、その画素
(xi,yi)に対応する空間内の点の三次元座標
(X,Y,Z)が求められる。このようにして得られた
各画素に対応する三次元座標(X,Y,Z)の分布によ
り、計測対象の物体の三次元形状が表現されることにな
る。
【0036】以上、本実施形態に係る三次元形状計測装
置の全体構成及びその処理手順を説明した。次に、本実
施形態の更なる特徴であるストロボ光源38の駆動電源
装置36の構成について説明する。
【0037】駆動電源装置36は、図5に示す1回計測
用電源ユニット50(以下「電源ユニット」と略す)
と、充電用電源56及び切替制御部57を有している。
電源ユニット50は、1回の形状計測処理のために必要
な電荷を蓄積し、これをストロボ光源38に供給する電
源装置である。1回の形状計測処理には、空間コード化
のビット数をmとすると、m種のパターンマスクが必要
となるので、m回のストロボ発光が必要となる。このた
め、電源ユニット50は、ストロボ光源38がm回発光
するのに必要な電荷を蓄積可能な構成となっている。具
体的には、電源ユニット50は、ストロボ光源38の1
回の発光に必要な電荷を蓄積できるコンデンサ51を、
m個並列に備える構成となっている。すなわち、コンデ
ンサ51が、ストロボ光源38に発光1回分の電源供給
を行う単位電源となっている。図5の例は、8ビット空
間コード化の場合の例であり、8回分の発光のために8
つのコンデンサ51−1〜51−8を備えている。各コ
ンデンサ51は、それぞれスイッチ54を介して充電用
電源56から電源供給を受けて充電を行う。また、各コ
ンデンサ51は、充電により蓄えた電荷を、スイッチ5
5を介してストロボ光源38に供給する。スイッチ54
及びスイッチ55は、切替制御部57から与えられる切
替制御信号260に応じて、順次その接続先のコンデン
サ51を切り替える。
【0038】ストロボ光源38に電源供給を行う際(こ
のとき各コンデンサ51−1〜51−8は満充電状態に
ある)には、スイッチ55は、切替制御部57からの切
替制御信号260に従い、所定の時間間隔ごとに接続先
をコンデンサ51−1,51−2,・・・と所定の順序
で切り替えていく。切替の時間間隔は画像1フィールド
分の時間(例えば1/60秒)である。また、切替のタ
イミングは、切替先のコンデンサ51の放電がパターン
マスク装置39のパターンの安定期間中に行われるよ
う、調整されている。このような切替により、最後のコ
ンデンサ51−8の放電が終わると、すべてのパターン
の投影及び撮像が完了したことになる。なお、切替制御
信号260は、計測コントロール部35から与えられる
制御信号252(図1参照)を基準として、上記の切替
処理を実現するよう生成される。
【0039】一方、電源ユニット50の各コンデンサ5
1−1〜51−8を充電する際には、その電源ユニット
50内の各スイッチ54が、切替制御信号260に従
い、放電中のコンデンサ以外はすべて充電されるように
制御される。
【0040】この構成では、コンデンサ51は発光1回
分程度の小容量のものなので、充電用電源57として市
販の小型の電池を用いることができ、駆動電源装置36
全体を小型化することができる。
【0041】なお、よく知られるように、コンデンサの
充電に要する時間は放電に要する時間より一般に遥かに
長いので、電源ユニット50が1個だけでは、形状計測
を連続して行うことはできない。放電後すぐにコンデン
サ51を充電しても、そのコンデンサの次の放電タイミ
ング(すなわち残りの全コンデンサの放電が完了するタ
イミング)までに充電が完了しないからである。形状計
測を連続して行うためには、次のような構成が好適であ
る。
【0042】それは、図6に示すように、電源ユニット
50を複数(n個)並列に設けるという構成である。各
電源ユニット50は、充電用電源56から充電され、充
電により蓄積した電荷をスイッチ59を介してストロボ
光源38に供給する。スイッチ59は、切替制御部57
から発せられる制御信号に応じて、接続先が切り替えら
れる。
【0043】駆動電源装置36に設ける電源ユニット5
0の数nは、1つの電源ユニット50を充電するのに要
する時間と、1回の形状計測に要する時間(すなわち電
源ユニット50の放電時間)とに基づき定める。各電源
ユニット50は、切替制御部57からの切替制御信号に
より制御されており、スイッチ59によりストロボ光源
38に接続されている電源ユニット50(図6では電源
ユニット50−2)以外の電源ユニット50では、すべ
てのコンデンサ51に対する充電用のスイッチ54(図
5参照)がオン(接続)になる。一方、ストロボ光源3
8に接続されている電源ユニット(すなわち計測に利用
されているユニット)では、前述の図5の構成について
説明したように、放電中のコンデンサ51以外のすべて
のコンデンサ51が充電されるよう、スイッチ54が制
御されている。すなわち、この図6の構成でも、ある時
点で見れば放電中のコンデンサ51以外のコンデンサ5
1はすべて充電状態にある。以上のような各電源ユニッ
ト50の計測(放電)・充電期間のタイミング関係をま
とめると、図7のようなタイミングチャートになる。こ
のような構成によれば、最後の電源ユニット50−nの
放電が完了した時点で最初の電源ユニット50−1の充
電が完了しており、電源ユニット50−1により引き続
いて形状計測を行うことができる。そして、このように
して連続的に際限なく形状計測を繰り返すことができ
る。
【0044】図6の構成を採用すれば、駆動電源装置3
6は大型になるものの、連続的な形状計測作業が可能に
なる。
【0045】駆動電源装置36に電源ユニット50を何
個装備するかは、その駆動電源装置36を設ける形状計
測装置自体の用途・目的に応じて定めればよい。携帯性
を重視する場合は電源ユニット50の数は少ない方がよ
く、多数の対象物あるいは移動物体の形状計測を素早く
行いたいというような場合には電源ユニット50の数は
多い方がよい。
【0046】次に、図8を参照して、本実施形態の三次
元形状計測装置において、より携帯性を高めるための構
成について説明する。図8に示す各構成要素のうち、図
1に示した構成要素に相当する構成要素には、同一の符
号を付してその説明を省略する。
【0047】図8の構成の特徴は、三次元形状計測装置
を、撮像ユニット40と演算ユニット41とに分離可能
にしたことにある。撮像ユニット40には、CCD撮像
装置31、ストロボ光源38、パターンマスク39、駆
動電源装置36、パターン切替装置37、計測コントロ
ール部35及び記憶装置32が含まれる。一方、演算ユ
ニット41には、投影角識別部33、演算部34が含ま
れる。撮像ユニット40と演算ユニット41とは、イン
ターフェース部42を介して接続・分離可能となってい
る。
【0048】この構成によれば、撮像ユニット40のみ
を携帯することにより、所望の物体の空間コード化画像
を撮影することができる。撮影した画像は記憶装置32
に蓄えられる。形状を求めたいときは、撮像ユニット4
0を演算ユニット41に接続すればよい。すると、演算
ユニット41が記憶装置32から蓄積した空間コード化
画像を読み出して前述の形状演算処理を実行し、撮影し
た物体の形状データを求める。
【0049】携帯性の利点を高めるためには、撮像ユニ
ット40の記憶装置32には、できるだけ大容量にし、
多数回の計測分の画像データを格納できるようにしてお
くことが好適である。
【0050】この構成を採用した場合、演算ユニット4
1は、携帯する必要がないので、ある程度大型でもよ
い。そのかわり、演算ユニット41は、適切な処理装置
(コンピュータなど)に接続できるようにしておき、形
状の計算結果が様々な用途に利用できるようにしておく
ことが好ましい。
【0051】以上説明したように本実施形態によれば、
パターン光の光源がストロボ光源なので小電力で駆動す
ることができ、また機械的な走査機構も必要としないの
で、小型で携帯可能な三次元形状計測装置を実現するこ
とができる。また、ストロボ光源を利用したことによ
り、レーザ光走査によるパターン形成の場合と比べて、
計測可能な距離範囲を遥かに大きくとれる。
【0052】また、本実施形態では、ストロボ光源によ
る瞬間的な発光により露光を行っているので、フィール
ドの大部分の時間でパターンが不安定であっても、露光
の瞬間だけパターンが安定していれば、必要な画像が得
られる。パターンマスク装置として、パターンを切り替
えた場合でも1フィールド以内にパターンが安定するよ
うなものを用いれば、そのストロボ発光のタイミング
を、パターンマスク装置のパターンが安定する期間に合
わせることにより、複数フィールドにわたって連続して
画像の取り込みを行うことができる。したがって、形状
計測に必要な画像の取り込み期間を短縮することができ
る。
【0053】また、本実施形態では、パターン形成のた
めに機械走査機構を用いないので、可動部分もなく、経
年的な性能劣化の問題も少なくなる。また、ストロボ光
源38として、一般的な白色光のストロボを用いれば、
形状計測の際に得た各パターン光での画像から、計測対
象のカラー画像を構成できる。すなわち、本実施形態に
よれば、1つの光源で形状計測とカラー画像撮影の二つ
の目的を達成することができる。
【0054】[実施形態2]パターン光の投影手段につ
いての別の実施形態を説明する。
【0055】図9は、本実施形態におけるパターン光投
影のための装置の構成を示す説明図である。図に示すよ
うに、本実施形態のパターン光投影装置は、空間コード
化のために必要な各種のパターン光を生成するパターン
光源部70、パターン光源部70から発せられたパター
ン光を位置合わせするためのライトガイド80、ライト
ガイド80が出射する位置合わせされたパターン光を計
測対象に対して投影するためのレンズ系90、を含む。
【0056】パターン光源部70は、複数のパターン光
源ユニット72から構成される。各パターン光源ユニッ
ト72は、図10に示すように、細長い筐体74の内部
にフラッシュ管76を設けたものである。筐体74の一
面はパターンマスク78となっており、筐体74の他の
内面は鏡面加工されている。したがって、フラッシュ管
76の発光は、パターンマスク78を通してのみ外部に
放射される。パターンマスク78は、実施形態1におけ
るパターンマスク装置39の場合と同様、透光部78a
と遮光部78bとの縞パターンに形成されている。パタ
ーンマスク78の縞パターンは、パターン光源ユニット
72ごとに異なる。パターン光源部70は、空間コード
化に用いる縞パターンごとに、1つずつパターン光源ユ
ニット72を備える。
【0057】図11は、パターン光源部70の構成を説
明するための図である。ここでは、説明を簡単にするた
め、単純な4ビットの純2進空間コード化の例を示して
いる。パターン光源部70は、4ビット純2進コード化
に必要な4種のパターンを生成するために、4つのパタ
ーン光源ユニット72−1〜72−4(以下「光源ユニ
ット」と略す)から構成される。各光源ユニット72
は、パターンマスク78の面を揃え、パターンマスク7
8の縞の方向(図中矢印A方向)に沿って、各々の縞パ
ターンを図示の如く位置合わせした状態で配列される。
なお、各光源ユニット72の配列順序は、図11に示し
たものに限られない。これら各光源ユニット72は、後
述する制御装置により、一度に1つずつ発光する。
【0058】ライトガイド80は、パターン光源部70
の各光源ユニット72から出た光を、同一の出射位置ま
で導くためのものである。
【0059】ライトガイド80は、図12及び図13に
示すように、楔形形状の薄い導光板82を積層して構成
されている。図12は斜視図、図13は上面図である。
導光板82の1枚の厚みは、パターンマスク78群の縞
パターンのうち最小幅の縞と同幅である。導光板82の
入射端面82aは、パターン光源部70の高さ、すなわ
ち(光源ユニット72の高さa×個数)と等しい長さを
有している。また、導光板82の出射端面82bは、パ
ターンマスク78の高さaと同幅又はそれ以下の微小幅
である。各導光板82は、入射端面82a及び出射端面
82bをそれぞれ揃えて積層される。積層された入射端
面82a群及び出射端面82b群が、それぞれライトガ
イド80の入射面80a及び出射面80bとなる。
【0060】積層する導光板82の枚数は、パターンマ
スク78の全幅をカバーするのに必要な枚数である。n
ビット2進コード化の場合には、2n枚の導光板82を
積層する。例えば、4ビットコード化用の図11のパタ
ーン光源部70に対しては、16枚の導光板82を積層
したライトガイド80を用いる。
【0061】ライトガイド80は、その入射面80aを
パターン光源部70に当接させて配置される。ここで、
各導光板82は、入射端面82aの長手方向をパターン
光源部70の高さ方向(すなわち縞方向A)に合わせ、
入射端面82aをパターンマスク78群の各バンド(図
11では1〜16)に当接させて、配置される。
【0062】各導光板82は、入射端面82aから入射
した光を外に漏らさず、出射端面82bに導くように加
工されている。すなわち、まず、導光板82の斜面82
cは導光板82内部からの光を再び導光板内部に反射す
るようミラー加工されている。また、隣接する導光板8
2同士の境界面82d(図13参照)は、それら導光板
82同士の間の光の漏れ込みを防止するため、遮光加工
されている。もちろん、境界面82dを斜面82c同様
ミラー加工してもよい。
【0063】これに加え、導光板82の入射端面82a
を、導光板外部から内部への光は通し、導光板内部から
外部への光は反射するようにハーフミラー加工すること
も好適である。ハーフミラー加工すれば、いったんライ
トガイド80内に入射した光がパターン光源部70に戻
り、パターン光源部70内で反射してライトガイド80
内に再入射することを防ぐことができる。特に、光がそ
の発生源の光源ユニット72とは別の光源ユニット72
で反射してライトガイド80に再入射すると、もとの光
源ユニット72の縞パターンとは異なる部分が明るくな
って空間コード化の精度に影響を及ぼす可能性がある
が、各導光板82の入射端面82aをハーフミラー加工
すればこのようなことを防止できる。もちろん、そのよ
うな再入射が問題とならないような場合は、ハーフミラ
ー加工の必要はない。
【0064】なお、導光板82は、ガラスや樹脂等、光
の透過性のよい材質であれば何を用いて製作してもよ
い。
【0065】このような構成のライトガイド80によれ
ば、パターン光源部70のどの光源ユニット72から発
せられた光でも、最終的に同一の出射面80bから出射
される。ここで、光源ユニット72のパターンマスク7
8を通過した光は、バンド(図11参照)ごとに別々の
導光板82に入射し、互いに混じり合うことなく出射面
80bまで導かれる。したがって、出射面80bから出
射される光は、パターンマスク78のパターンに対応し
たパターン光となる。また、出射面80bの幅は光源ユ
ニット72の高さa以下なので、出射面80bは実質的
に線光源とみなすことができ、出射面80bから出射さ
れる光は縞方向Aについてほぼ均一な強度となり、発光
ムラを低減又はなくすことができる。
【0066】このようにしてライトガイド80の出射面
80bから出射されたパターン光は、スリット光生成用
円柱レンズと結像用レンズからなるレンズ系90により
拡射され計測対象に投影され、この結果計測対象にパタ
ーンが結像する。
【0067】以上説明したパターン光投影装置は、極め
て小型に構成することができる。例えば図9や図12に
示す7ビットコード化の装置構成の場合、ライトガイド
80は128枚の導光板82を積層することにより構成
されるが、導光板82は厚さ0.1mm程度に形成する
ことができるので、ライトガイド80は15mm足らず
の厚さで構成することができる。この場合、光源ユニッ
ト72のパターンマスク78も最小0.1mm幅でパタ
ーン形成する必要があるが、これは写真技術を利用すれ
ば容易に実現できる。光源ユニット72は、高さ・幅が
1.5mm程度のものを製作することができる。結局、
パターン光源部70とライトガイド80を合わせても、
約10mm×10mm×15mm程度の大きさに収める
ことができ、これは携帯型のデジタルカメラに十分搭載
可能な大きさである。
【0068】図14に、以上のパターン光投影装置を搭
載した携帯型の形状計測装置の光学系部分の一構成例を
模式的に示す。レンジファインダ300は、パターン光
投影装置320と、レンズ312及びCCDカメラ31
4からなるCCD撮像装置31を含む。パターン光投影
装置320は、既に説明したパターン光源部70、ライ
トガイド80及びレンズ系90の他に、絞り95を含ん
でいる。レンズ系90は、絞り95を通過した光のみを
投影する。絞り95を設けたことにより、パターン光の
被写界深度を深くすることができる。図14の構成によ
れば、パターン光投影装置320からパターン光が投影
された対象物をCCD撮像装置31で撮像することがで
きる。
【0069】図15は、以上説明したパターン光投影装
置を用いた三次元形状計測装置の電気系の構成を示す機
能ブロック図である。以下、この図を参照し、本実施形
態の装置を、実施形態1の装置(図1参照)との相違に
注目しつつ説明する。図15において、図1と同様の構
成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【0070】本実施形態の三次元形状計測装置は、液晶
シャッタなどを用いず、発光させるパターン光源ユニッ
ト72を切り替えることにより、投影するパターンを切
り替える。すなわち、本実施形態では、パターン光源部
70に電力を供給する駆動電源装置36aが、そのまま
パターン切替制御の役割を果たすことになる。
【0071】駆動電源装置36aは、パターン光源部7
0が備えるn個のパターン光源ユニット72−1〜72
−nに対応して、n個のコンデンサ51−1〜51−n
を備えている。コンデンサ51と光源ユニット72とは
一対一対応で接続されている。各コンデンサ51は、光
源ユニット72のフラッシュ管76を1回発光させるの
に十分な容量を備える。この構成は、1回の形状計測に
必要な発光回数分だけの単位電源(コンデンサ)を備
え、それら単位電源を順に放電させてパターン光を順次
生成するという点で、1回計測用電源ユニット50を含
んだ実施形態1の駆動電源装置36と類似している。
【0072】各コンデンサ51は、スイッチ54を介し
て充電用電源56から電源供給を受け、充電することが
できる。切替制御部57は、実施形態1の切替制御部5
7(図5参照)と同様の制御で、各スイッチ54のオン
・オフを制御する。また、切替制御部57は、各コンデ
ンサ51と各光源ユニット72との間を断続する各スイ
ッチ55aの開閉を制御する。この制御は、光源ユニッ
ト72−1〜72−nが、所定間隔で1つずつ順番に発
光するよう行われる。発光間隔は、CCD撮像装置31
における画像形成処理の1フィールドの時間(例えば1
/60秒)であり、発光のタイミングはCCDの蓄積時
間内に設定される。このような切替制御部57の制御
は、実施形態1と同様、計測コントロール部35から与
えられる、CCD撮像装置31の撮像同期信号に対して
一定のタイミング関係を持った制御信号に基づいて行わ
れる。
【0073】このような構成で、各光源ユニット72−
1〜72−nをCCD撮像装置31の画像生成タイミン
グと同期して順に発光させていくことにより、nビット
の2進空間コード化のために必要なn枚の画像を得るこ
とができる。得られた画像群に基づく形状計測のための
演算処理は、実施形態1と同様である。
【0074】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、空間コード化のためのパターン光を、液晶シャッタ
などを用いず簡易な構成で生成することができる。ま
た、本実施形態も、パターン光の光源として瞬間的な閃
光を発するフラッシュ管を用いるので駆動電源が小容量
で済み、装置構成の小型化が図れる。また、機械的な走
査機構がないので、振動等による問題や経年的な性能劣
化の問題も少ない。したがって、本実施形態によれば、
小型軽量の三次元形状計測装置を構成することができ
る。また、フラッシュ管として白色光を発するものを用
いれば、形状計測と同時にカラー画像を得ることもでき
る。
【0075】なお、図15の構成では、駆動電源装置3
6aは形状計測処理1回分のコンデンサ51しか備えて
いないが、実施形態1(特に図6参照)と同様に、計測
処理複数回分のコンデンサを設けて連続的な撮影・計測
処理を行えるようにしてもよい。
【0076】また、本実施形態も、図8の構成と同様、
撮像ユニットと演算ユニットに分離可能に構成すること
ができることは、明らかであろう。
【0077】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
パターン光の光源として採用したストロボ光源又はフラ
ッシュ管は、小容量の電源で駆動でき、発熱も少ないの
で、形状計測装置の小型化に大きく寄与する。また、本
発明に係る形状計測装置は、レーザ光走査方式のような
機械的な動作機構を含まないので、装置を動かしても機
械的なくるいが生じず、投影パターンの位置関係の再現
性を維持しやすい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施形態1の三次元形状計測装置の原理的な
構成を示す図である。
【図2】 4ビットの純2進空間コード化のためのパタ
ーンマスクの例と、それらパターンマスクを投影した物
体の画像を示す図である。
【図3】 4ビットのグレイコードを生成するためのパ
ターンマスクの例を示す図である。
【図4】 形状計測のための演算処理を説明するため
に、計測対象の物体とパターン光源と撮像面との幾何学
的位置関係を示した図である。
【図5】 駆動電源装置36の好適な構成例を示すブロ
ック図である。
【図6】 連続的な形状計測処理に適した駆動電源装置
36の構成例を示すブロック図である。
【図7】 図6の駆動電源装置36における各電源ユニ
ット50の計測・充電期間のタイミングチャートであ
る。
【図8】 携帯性を高める装置構成例の機能ブロック図
である。
【図9】 実施形態2におけるパターン光投影装置の構
成を模式的に説明する図である。
【図10】 パターン光源ユニット72の構造を示す図
である。
【図11】 パターン光源部70の構成を示す図であ
る。
【図12】 ライトガイド80及びパターン光源部70
の一部を示す斜視図である。
【図13】 ライトガイド80及びパターン光源部70
の一部を示す上面図である。
【図14】 実施形態2のパターン光投影装置を搭載し
た携帯型の形状計測装置の光学系部分の一構成例を模式
的に示す図である。
【図15】 実施形態2の三次元形状計測装置の電気系
の構成を示すブロック図である。
【図16】 空間コード化法の計測原理の説明図であ
る。
【符号の説明】
31 CCD撮像装置、32 記憶装置、33 投影角
識別部、34 演算部、35 計測コントロール部、3
6 駆動電源装置、37 パターン切替装置、38 ス
トロボ光源、39 パターンマスク装置、50 1回計
測用電源ユニット、51 コンデンサ、56 充電用電
源、57 切替制御部、70 パターン光源部、72
パターン光源ユニット、76 フラッシュ管、78 パ
ターンマスク、80 ライトガイド、82 導光板、9
0 レンズ系。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F065 AA04 AA31 AA45 DD02 FF02 FF04 GG02 GG03 GG04 GG06 GG08 HH05 HH07 JJ03 JJ16 JJ19 JJ26 LL13 QQ04 QQ24 QQ25 QQ26 QQ27

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 計測対象に対して所定の規則に従って順
    に変化するパターン光を投影するパターン光投影手段
    と、 前記パターン光投影手段からのパターン光が投影された
    前記計測対象を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段により得られた各パターン光が投影された
    前記計測対象の画像に基づき、前記計測対象表面各点の
    三次元位置を算出する演算手段と、 を有し、 前記パターン光投影手段は、 ストロボ光源と、 前記ストロボ光源に電力を供給して発光させる駆動電源
    装置と、 前記ストロボ光源からの光を、所定の規則に従って順に
    切り替わるパターンマスクによってマスクすることによ
    り、計測のために必要な種類の各パターン光を形成する
    パターンマスク装置と、 前記ストロボ光源の発光及び前記パターンマスク装置の
    パターンマスク切替のタイミングを、前記撮像手段の画
    像形成タイミングに合わせて同期制御する制御手段と、 を有する三次元形状計測装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の三次元形状計測装置にお
    いて、 前記制御手段は、前記ストロボ光源の発光が、前記パタ
    ーンマスク装置において切り替えたパターンマスクが安
    定する期間に行われるよう、前記ストロボ光源の発光及
    び前記パターンマスク装置のパターンマスク切替の同期
    制御を行うことを特徴とする三次元形状計測装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は請求項2に記載の三次元形
    状計測装置において、 前記駆動電源装置は、前記ストロボ光源の1回の発光に
    必要な電源容量を有する単位電源を、1回の形状計測に
    必要な前記パターンの数と同数だけ並列接続して構成さ
    れた1回計測用電源ユニットを含み、前記各単位電源を
    順次切り替えつつ前記ストロボ光源に電源供給を行うこ
    とを特徴とする三次元形状計測装置。
  4. 【請求項4】 計測対象に対して所定の規則に従って順
    に変化するパターン光を投影するパターン光投影手段
    と、 前記パターン光投影手段からのパターン光が投影された
    前記計測対象を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段により得られた各パターン光が投影された
    前記計測対象の画像に基づき、前記計測対象表面各点の
    三次元位置を算出する演算手段と、 を有し、 前記パターン光投影手段は、 空間コード化のために必要な各パターンに対応して設け
    られ、各々がストロボ光源とその光源の光をマスクして
    所定のパターン光を形成するためのパターンマスクとを
    含む複数のパターン光源ユニットと、 前記撮像手段の画像形成タイミングに合わせて各パター
    ン光源ユニットを所定の順序に従って切り替えながら発
    光させる制御手段と、 を有する三次元形状計測装置。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の三次元形状計測装置であ
    って、 前記パターン光投影手段は、 各パターン光源ユニットから発せられるパターン光を、
    同一の出射位置まで導くライトガイドと、 前記ライトガイドにより前記出射位置に位置合わせされ
    て出射されるパターン光を計測対象に投影するためのレ
    ンズ系と、 を更に含むことを特徴とする三次元形状計測装置。
  6. 【請求項6】 請求項5記載の三次元形状計測装置であ
    って、 前記パターンマスクは、空間を2nの領域に分割するn
    ビット2進コード化用の縞パターンに形成され、 前記複数のパターン光源ユニットは、前記縞パターンの
    縞方向に沿ってマスク面を揃えて配置されることにより
    パターン光源部を形成し、 前記ライトガイドは、前記縞パターンの最小幅の縞に対
    応した厚みの2n枚の導光板を、各導光板間を遮光加工
    しつつ、前記縞パターンの縞の配列方向に積層して構成
    され、 前記導光板は、前記パターン光源部の前記縞の方向につ
    いての幅に実質的に等しい幅の入射端面から入射された
    光を、微小幅の出射端面まで導いて出射するよう構成さ
    れ、入射端面と出射端面をそれぞれ互いに揃えて積層さ
    れる三次元形状計測装置。
  7. 【請求項7】 請求項6記載の三次元形状計測装置であ
    って、 前記導光板の入射端面は、当該導光板内から外部へ光を
    漏らさないようハーフミラー加工されていることを特徴
    とする三次元形状計測装置。
  8. 【請求項8】 三次元形状計測における空間コード化の
    ためのパターン光を対象物に投射するためのパターン光
    投影装置であって、 空間コード化のために必要な各パターンに対応して設け
    られ、各々がストロボ光源とその光源の光をマスクして
    所定のパターン光を形成するためのパターンマスクとを
    含む複数のパターン光源ユニットと、 各パターン光源ユニットを順に切り替えて発光させる制
    御手段と、 を備えるパターン光投影装置。
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