JP2000047067A - 光モジュール - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 対向する光素子と光ファイバの端面間で生ず
る多重干渉を防止する。 【解決手段】 半導体基板１の一方の周辺部にＶ溝２が
形成され、そのＶ溝に光ファイバ３の端部が固定され
る。他方の周辺部にＶ溝４が、Ｖ溝２と平行に形成さ
れ、そのＶ溝４に光ファイバ５の端部が固定される。光
導波路６ａを備えた光変調器、光増幅器のような光素子
６が、Ｖ溝２と４の間の所定の位置に配され、光ファイ
バ３の端面の出射光Ｐ１が、光導波路６ａの一方の端面
に入射し、光導波路６ａを通って他方の端面より出射し
た光Ｐ２が光ファイバ５の端面に入射する。対向する光
ファイバ３の端面と光導波路６ａの一方の端面とが非平
行とされ、また、対向する光導波路６ａの他方の端面
と、光ファイバ４の端面とが非平行とされる。
る多重干渉を防止する。 【解決手段】 半導体基板１の一方の周辺部にＶ溝２が
形成され、そのＶ溝に光ファイバ３の端部が固定され
る。他方の周辺部にＶ溝４が、Ｖ溝２と平行に形成さ
れ、そのＶ溝４に光ファイバ５の端部が固定される。光
導波路６ａを備えた光変調器、光増幅器のような光素子
６が、Ｖ溝２と４の間の所定の位置に配され、光ファイ
バ３の端面の出射光Ｐ１が、光導波路６ａの一方の端面
に入射し、光導波路６ａを通って他方の端面より出射し
た光Ｐ２が光ファイバ５の端面に入射する。対向する光
ファイバ３の端面と光導波路６ａの一方の端面とが非平
行とされ、また、対向する光導波路６ａの他方の端面
と、光ファイバ４の端面とが非平行とされる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザダイオー
ド、フォトダイオード、半導体光変調器、半導体光増幅
器、半導体光スイッチなどの光素子と、その光素子と光
結合する光ファイバ端部とがシリコンのような半導体基
板上に取付けられている光モジュールに関し、特に光素
子端面と、光ファイバ端面間で生ずる多重干渉に起因す
る光雑音を低減する技術に関する。
ド、フォトダイオード、半導体光変調器、半導体光増幅
器、半導体光スイッチなどの光素子と、その光素子と光
結合する光ファイバ端部とがシリコンのような半導体基
板上に取付けられている光モジュールに関し、特に光素
子端面と、光ファイバ端面間で生ずる多重干渉に起因す
る光雑音を低減する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】（１）従来例１ この発明を得る前の段階で考えられた光変調器または光
増幅器のような光モジュールの一例を図４を参照して説
明する。半導体基板１の一方の周辺部にのＶ溝２が、基
板１の一辺と交叉して形成され、そのＶ溝２に光ファイ
バ３の端部が固定される。半導体基板１の他方の周辺部
にＶ溝４が、基板１の他辺と交叉して、Ｖ溝２の延長方
向に対向して形成され、そのＶ溝４に光ファイバ５の端
部が固定される。
増幅器のような光モジュールの一例を図４を参照して説
明する。半導体基板１の一方の周辺部にのＶ溝２が、基
板１の一辺と交叉して形成され、そのＶ溝２に光ファイ
バ３の端部が固定される。半導体基板１の他方の周辺部
にＶ溝４が、基板１の他辺と交叉して、Ｖ溝２の延長方
向に対向して形成され、そのＶ溝４に光ファイバ５の端
部が固定される。
【０００３】光導波路６ａを備えた光変調器、光増幅器
のような光素子６が、半導体基板１のＶ溝２と４の間の
所定の位置に配される。光ファイバ３の端面の出射光Ｐ
１が、光導波路６ａの一方の端面に入射し、光導波路６
ａを通って他方の端面より出射した光Ｐ２が光ファイバ
５の端面に入射する。対向する光ファイバ３の端面と光
導波路６ａの一方の端面とが平行とされ、同様に、対向
する光導波路６ａの他方の端面と、光ファイバ５の端面
とが平行とされる。
のような光素子６が、半導体基板１のＶ溝２と４の間の
所定の位置に配される。光ファイバ３の端面の出射光Ｐ
１が、光導波路６ａの一方の端面に入射し、光導波路６
ａを通って他方の端面より出射した光Ｐ２が光ファイバ
５の端面に入射する。対向する光ファイバ３の端面と光
導波路６ａの一方の端面とが平行とされ、同様に、対向
する光導波路６ａの他方の端面と、光ファイバ５の端面
とが平行とされる。
【０００４】光素子６は、位置合わせ用マーカやミラー
等を用いてアライメントされ、位置精度が高くされてい
る。このように半導体基板１にＶ溝２，４を設けると共
に、光素子の位置のアライメントによって光ファイバ
３，５と光素子６の位置精度を上げることによって、光
導波路６ａの光軸と光ファイバ３，５の光軸とのずれは
±0.５μm 以内におさめられている。
等を用いてアライメントされ、位置精度が高くされてい
る。このように半導体基板１にＶ溝２，４を設けると共
に、光素子の位置のアライメントによって光ファイバ
３，５と光素子６の位置精度を上げることによって、光
導波路６ａの光軸と光ファイバ３，５の光軸とのずれは
±0.５μm 以内におさめられている。
【０００５】なお、光素子６及び光ファイバ３，５の端
面に無反射コートが施されている。 （２）従来例２ この発明を得る前の段階で考えられた光モジュールの他
の例を図５Ａに示す。光素子６は受光素子とされ、図４
のＶ溝４及び光ファイバ５に相当するものは無い。
面に無反射コートが施されている。 （２）従来例２ この発明を得る前の段階で考えられた光モジュールの他
の例を図５Ａに示す。光素子６は受光素子とされ、図４
のＶ溝４及び光ファイバ５に相当するものは無い。
【０００６】（３）従来例３ この発明を得る前の段階で考えられた光モジュールの更
に他の例を図５Ｂに示す。光素子６は発光素子とされ、
図４のＶ溝２及び光ファイバ３に相当するものは無い。
に他の例を図５Ｂに示す。光素子６は発光素子とされ、
図４のＶ溝２及び光ファイバ３に相当するものは無い。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この発明を得る前の段
階で考えられた光モジュールは、光素子６及び光ファイ
バ３，５の端面に無反射コートを施しているが、なお、
低レベルの反射が存在する。光素子６及び光ファイバ
３，５の端面が出射光Ｐ１の光路と直角で、その光路に
沿って互いに対向して配されているので、光ファイバ３
の出射光Ｐ１は光素子６の対向する端面に入射し、一部
は透過し、一部は反射され、その反射光は光ファイバ３
の端面に入射し、そこで一部が反射されて再び光素子６
の端面に入射し、以下これを繰り返す。このような多重
反射によって、出射光Ｐ１は干渉を受ける（多重干渉と
呼ばれる）。つまり、光雑音が発生する。このような多
重干渉は光素子６と光ファイバ５の端面間でも発生す
る。
階で考えられた光モジュールは、光素子６及び光ファイ
バ３，５の端面に無反射コートを施しているが、なお、
低レベルの反射が存在する。光素子６及び光ファイバ
３，５の端面が出射光Ｐ１の光路と直角で、その光路に
沿って互いに対向して配されているので、光ファイバ３
の出射光Ｐ１は光素子６の対向する端面に入射し、一部
は透過し、一部は反射され、その反射光は光ファイバ３
の端面に入射し、そこで一部が反射されて再び光素子６
の端面に入射し、以下これを繰り返す。このような多重
反射によって、出射光Ｐ１は干渉を受ける（多重干渉と
呼ばれる）。つまり、光雑音が発生する。このような多
重干渉は光素子６と光ファイバ５の端面間でも発生す
る。
【０００８】この発明は、光部品の端面間での多重干渉
による光雑音の発生を防止することを目的としている。
による光雑音の発生を防止することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】（１）請求項１の光モジ
ュールは、半導体基板の一方の周辺部に第１のＶ溝が、
基板の一辺と交叉して形成され、その第１のＶ溝に第１
光ファイバの端部が固定され、前記周辺部と対向する他
方の周辺部に第２のＶ溝が、基板の他辺と交叉して、第
１のＶ溝と平行に形成され、その第２のＶ溝に第２光フ
ァイバの端部が固定される。
ュールは、半導体基板の一方の周辺部に第１のＶ溝が、
基板の一辺と交叉して形成され、その第１のＶ溝に第１
光ファイバの端部が固定され、前記周辺部と対向する他
方の周辺部に第２のＶ溝が、基板の他辺と交叉して、第
１のＶ溝と平行に形成され、その第２のＶ溝に第２光フ
ァイバの端部が固定される。
【００１０】光導波路を備えた光変調器、光増幅器のよ
うな光素子が、半導体基板の第１，第２のＶ溝の間の所
定の位置に配され、第１光ファイバ端面の出射光が、光
素子の光導波路の一方の端面に入射し、その光導波路を
通って他方の端面より出射した光が第２光ファイバ端面
に入射する。対向する第１光ファイバ端面と光導波路の
一方の端面とが非平行とされ、また、対向する光導波路
の他方の端面と、第２光ファイバ端面とが非平行とされ
る。
うな光素子が、半導体基板の第１，第２のＶ溝の間の所
定の位置に配され、第１光ファイバ端面の出射光が、光
素子の光導波路の一方の端面に入射し、その光導波路を
通って他方の端面より出射した光が第２光ファイバ端面
に入射する。対向する第１光ファイバ端面と光導波路の
一方の端面とが非平行とされ、また、対向する光導波路
の他方の端面と、第２光ファイバ端面とが非平行とされ
る。
【００１１】（２）請求項２の発明は、前記（１）にお
いて、半導体基板の第１，第２のＶ溝と光素子との各中
間の位置に、第３，第４のＶ溝がそれぞれ形成され、そ
れら第３，第４のＶ溝に球状の集光レンズが固定され
る。 （３）請求項３の光モジュールは、半導体基板の一方の
周辺部にＶ溝が、基板の一辺と交叉して形成され、その
Ｖ溝に光ファイバの端部が固定される。光導波路を備え
た受光素子が、半導体基板のＶ溝の近傍の所定の位置に
配され、光ファイバ端面の出射光が、受光素子の光導波
路の一方の端面に入射する。対向する光ファイバ端面と
光導波路の一方の端面とが非平行とされる。
いて、半導体基板の第１，第２のＶ溝と光素子との各中
間の位置に、第３，第４のＶ溝がそれぞれ形成され、そ
れら第３，第４のＶ溝に球状の集光レンズが固定され
る。 （３）請求項３の光モジュールは、半導体基板の一方の
周辺部にＶ溝が、基板の一辺と交叉して形成され、その
Ｖ溝に光ファイバの端部が固定される。光導波路を備え
た受光素子が、半導体基板のＶ溝の近傍の所定の位置に
配され、光ファイバ端面の出射光が、受光素子の光導波
路の一方の端面に入射する。対向する光ファイバ端面と
光導波路の一方の端面とが非平行とされる。
【００１２】（４）請求項４の光モジュールは、半導体
基板の一方の周辺部にＶ溝が、基板の一辺と交叉して形
成され、そのＶ溝に光ファイバの端部が固定される。光
導波路を備えた発光素子が、半導体基板のＶ溝の近傍の
所定の位置に配され、光導波路の一方の端面より出射し
た光が光ファイバ端面に入射する。対向する光導波路の
一方の端面と光ファイバ端面とが非平行とされる。
基板の一方の周辺部にＶ溝が、基板の一辺と交叉して形
成され、そのＶ溝に光ファイバの端部が固定される。光
導波路を備えた発光素子が、半導体基板のＶ溝の近傍の
所定の位置に配され、光導波路の一方の端面より出射し
た光が光ファイバ端面に入射する。対向する光導波路の
一方の端面と光ファイバ端面とが非平行とされる。
【００１３】（５）請求項５の発明は、前記（３）また
は（４）において、Ｖ溝と、受光素子または発光素子と
の間の位置に第２のＶ溝が形成され、その第２のＶ溝に
球状の集光レンズが固定される。 （６）請求項６の発明は、前記（１），（３）または
（４）のいずれかにおいて、光ファイバの端面が光ファ
イバの光軸に対して斜めにカットされているものであ
る。
は（４）において、Ｖ溝と、受光素子または発光素子と
の間の位置に第２のＶ溝が形成され、その第２のＶ溝に
球状の集光レンズが固定される。 （６）請求項６の発明は、前記（１），（３）または
（４）のいずれかにおいて、光ファイバの端面が光ファ
イバの光軸に対して斜めにカットされているものであ
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】請求項１の実施例を図１に、図４
と対応する部分に同じ符号を付けて示す。シリコンのよ
うな半導体基板１の一方の周辺部にＶ溝２が、基板１の
一辺と交叉して形成され、そのＶ溝２に光ファイバ３の
端部が固定される。半導体基板１の前記周辺部と対向す
る他方の周辺部にＶ溝４が、基板１の他辺と交叉して、
Ｖ溝２と平行に形成され、そのＶ溝４に光ファイバ５の
端部が固定される。
と対応する部分に同じ符号を付けて示す。シリコンのよ
うな半導体基板１の一方の周辺部にＶ溝２が、基板１の
一辺と交叉して形成され、そのＶ溝２に光ファイバ３の
端部が固定される。半導体基板１の前記周辺部と対向す
る他方の周辺部にＶ溝４が、基板１の他辺と交叉して、
Ｖ溝２と平行に形成され、そのＶ溝４に光ファイバ５の
端部が固定される。
【００１５】光導波路６ａを備えた光変調器、光増幅器
のような光素子６が、半導体基板１のＶ溝２と４の間の
所定の位置に配される。光素子６は位置合わせ用マーカ
及びミラー等を用いて位置精度は充分高くれている。光
ファイバ３の端面の出射光Ｐ１が、光導波路６ａの一方
の端面に入射し、光導波路６ａを通って他方の端面より
出射した光Ｐ２が光ファイバ５の端面に入射する。
のような光素子６が、半導体基板１のＶ溝２と４の間の
所定の位置に配される。光素子６は位置合わせ用マーカ
及びミラー等を用いて位置精度は充分高くれている。光
ファイバ３の端面の出射光Ｐ１が、光導波路６ａの一方
の端面に入射し、光導波路６ａを通って他方の端面より
出射した光Ｐ２が光ファイバ５の端面に入射する。
【００１６】対向する光ファイバ３の端面と光導波路６
ａの一方の端面とが非平行とされ、また、対向する光導
波路６ａの他方の端面と、光ファイバ５の端面とが非平
行とされている。このように非平行とすると、出射光Ｐ
１の一部が光素子６の端面で反射して光ファイバ３の端
面に入射すると、その端面は光導波路６ａの端面と非平
行となっているので、反射光Ｐｒ３は光導波路６ａに入
射しない。また、出射光Ｐ２が光ファイバ５の端面で一
部が反射しても、同様な理由からその反射光Ｐｒ４は光
導波路６ａに入射しない。従って、端面間の多重干渉は
生じない。
ａの一方の端面とが非平行とされ、また、対向する光導
波路６ａの他方の端面と、光ファイバ５の端面とが非平
行とされている。このように非平行とすると、出射光Ｐ
１の一部が光素子６の端面で反射して光ファイバ３の端
面に入射すると、その端面は光導波路６ａの端面と非平
行となっているので、反射光Ｐｒ３は光導波路６ａに入
射しない。また、出射光Ｐ２が光ファイバ５の端面で一
部が反射しても、同様な理由からその反射光Ｐｒ４は光
導波路６ａに入射しない。従って、端面間の多重干渉は
生じない。
【００１７】半導体基板１にＶ溝２，４を設けると共
に、光素子の位置のアライメントによって光ファイバ
３，５と光素子６の位置精度を上げることによって、出
射光Ｐ１の入射点と光導波路６ａの光軸とのずれ、或い
は出射光Ｐ２の入射点と光ファイバ５の光軸とのずれ
は、いずれも±0.５μm 以内におさめることができる。
なお、光素子６及び光ファイバ３，５の端面に無反射コ
ートを施してもよい。
に、光素子の位置のアライメントによって光ファイバ
３，５と光素子６の位置精度を上げることによって、出
射光Ｐ１の入射点と光導波路６ａの光軸とのずれ、或い
は出射光Ｐ２の入射点と光ファイバ５の光軸とのずれ
は、いずれも±0.５μm 以内におさめることができる。
なお、光素子６及び光ファイバ３，５の端面に無反射コ
ートを施してもよい。
【００１８】請求項２の実施例を図２に示す。図１と異
なるのは、半導体基板１のＶ溝２及び４と光素子６との
各中間の位置に、Ｖ溝７及び８がそれぞれ形成され、そ
れら２つのＶ溝に球状の集光用レンズ９及び１０がそれ
ぞれ固定される点である。請求項３の実施例を図３Ａに
示す。半導体基板１の一方の周辺部にＶ溝２が、基板１
の一辺と交叉して形成され、そのＶ溝２に光ファイバ３
の端部が固定される。光導波路６ａを備えた受光素子６
が、Ｖ溝２の近傍の所定の位置に配される。光ファイバ
３の端面の出射光Ｐ１が、光導波路６ａの一方の端面に
入射する。対向する光ファイバ３の端面と光導波路６ａ
の一方の端面とが非平行とされる。
なるのは、半導体基板１のＶ溝２及び４と光素子６との
各中間の位置に、Ｖ溝７及び８がそれぞれ形成され、そ
れら２つのＶ溝に球状の集光用レンズ９及び１０がそれ
ぞれ固定される点である。請求項３の実施例を図３Ａに
示す。半導体基板１の一方の周辺部にＶ溝２が、基板１
の一辺と交叉して形成され、そのＶ溝２に光ファイバ３
の端部が固定される。光導波路６ａを備えた受光素子６
が、Ｖ溝２の近傍の所定の位置に配される。光ファイバ
３の端面の出射光Ｐ１が、光導波路６ａの一方の端面に
入射する。対向する光ファイバ３の端面と光導波路６ａ
の一方の端面とが非平行とされる。
【００１９】請求項４の実施例を図３Ｂに示す。半導体
基板１の一方の周辺部にＶ溝４が、基板１の一辺と交叉
して形成され、そのＶ溝４に光ファイバ５の端部が固定
される。光導波路６ａを備えた発光素子６が、Ｖ溝４の
近傍の所定の位置に配される。光導波路６ａの一方の端
面より出射した光Ｐ２が光ファイバ５の端面に入射す
る。対向する光導波路６ａの一方の端面と光ファイバ５
の端面とが非平行とされる。
基板１の一方の周辺部にＶ溝４が、基板１の一辺と交叉
して形成され、そのＶ溝４に光ファイバ５の端部が固定
される。光導波路６ａを備えた発光素子６が、Ｖ溝４の
近傍の所定の位置に配される。光導波路６ａの一方の端
面より出射した光Ｐ２が光ファイバ５の端面に入射す
る。対向する光導波路６ａの一方の端面と光ファイバ５
の端面とが非平行とされる。
【００２０】図２と同様に、図３Ａ，Ｂにおいて、Ｖ溝
２または４と、受光素子または発光素子６との間の位置
に第２のＶ溝を形成し、その第２のＶ溝に球状の集光用
レンズを固定することもできる。図１〜図３において、
対向する光導波路６ａの端面と光ファイバ３または５の
端面とを非平行とするために、光ファイバ端面を光ファ
イバ光軸に対して斜めにカットしている。もし、対向す
る端面を平行にしたとすれば、従来例で述べた図４，図
５と同様になってしまう。対向する端面を非平行にする
他の方法として、光素子６（光導波路６ａ）の端面をそ
の光軸に対して斜めにすることもできる。
２または４と、受光素子または発光素子６との間の位置
に第２のＶ溝を形成し、その第２のＶ溝に球状の集光用
レンズを固定することもできる。図１〜図３において、
対向する光導波路６ａの端面と光ファイバ３または５の
端面とを非平行とするために、光ファイバ端面を光ファ
イバ光軸に対して斜めにカットしている。もし、対向す
る端面を平行にしたとすれば、従来例で述べた図４，図
５と同様になってしまう。対向する端面を非平行にする
他の方法として、光素子６（光導波路６ａ）の端面をそ
の光軸に対して斜めにすることもできる。
【００２１】
【発明の効果】この発明では、対向する光素子６（光導
波路６ａ）と光ファイバ３または４の端面同士が非平行
とされているので、これらの端面間では光の反射による
多重干渉は発生しない。
波路６ａ）と光ファイバ３または４の端面同士が非平行
とされているので、これらの端面間では光の反射による
多重干渉は発生しない。
【図１】請求項１の実施例を示す平面図。
【図２】請求項２の実施例を示す平面図。
【図３】Ａ及びＢはそれぞれ請求項３及び４の実施例を
示す平面図。
示す平面図。
【図４】この発明を得る前の段階で考えられた光モジュ
ールの一例を示す平面図。
ールの一例を示す平面図。
【図５】この発明を得る前の段階で考えられた光モジュ
ールの他の例を示す平面図。
ールの他の例を示す平面図。
Claims (6)
- 【請求項１】 半導体基板の一方の周辺部に第１のＶ溝
が、基板の一辺と交叉して形成され、その第１のＶ溝に
第１光ファイバの端部が固定され、 前記半導体基板の前記周辺部と対向する他方の周辺部に
第２のＶ溝が、基板の他辺と交叉して、前記第１のＶ溝
と平行に形成され、その第２のＶ溝に第２光ファイバの
端部が固定され、 光導波路を備えた光変調器、光増幅器のような光素子
が、前記半導体基板の前記第１，第２のＶ溝の間の所定
の位置に配され、 前記第１光ファイバ端面の出射光が、前記光素子の光導
波路の一方の端面に入射し、その光導波路を通って他方
の端面より出射した光が前記第２光ファイバ端面に入射
し、 対向する前記第１光ファイバ端面と前記光導波路の一方
の端面とが非平行とされ、 対向する前記光導波路の他方の端面と、前記第２光ファ
イバ端面とが非平行とされていることを特徴とする光モ
ジュール。 - 【請求項２】 請求項１において、前記半導体基板の第
１，第２のＶ溝と前記光素子との各中間の位置に、第
３，第４のＶ溝がそれぞれ形成され、それら第３，第４
のＶ溝に球状の集光レンズが固定されていることを特徴
とする光モジュール。 - 【請求項３】 半導体基板の一方の周辺部にＶ溝が、基
板の一辺と交叉して形成され、そのＶ溝に光ファイバの
端部が固定され、 光導波路を備えた受光素子が、前記半導体基板の前記Ｖ
溝の近傍の所定の位置に配され、 前記光ファイバ端面の出射光が、前記受光素子の光導波
路の一方の端面に入射し、 対向する前記光ファイバ端面と前記光導波路の一方の端
面とが非平行とされていることを特徴とする光モジュー
ル。 - 【請求項４】 半導体基板の一方の周辺部にＶ溝が、基
板の一辺と交叉して形成され、そのＶ溝に光ファイバの
端部が固定され、 光導波路を備えた発光素子が、前記半導体基板の前記Ｖ
溝の近傍の所定の位置に配され、 前記発光素子の光導波路の一方の端面より出射した光が
前記光ファイバ端面に入射し、 対向する前記光導波路の一方の端面と前記光ファイバ端
面とが非平行とされていることを特徴とする光モジュー
ル。 - 【請求項５】 請求項３または４において、前記Ｖ溝
と、前記受光素子または発光素子との間の位置に第２の
Ｖ溝が形成され、その第２のＶ溝に球状の集光レンズが
固定されていることを特徴とする光モジュール。 - 【請求項６】 請求項１，３または４のいずれかにおい
て、前記光ファイバの端面が光ファイバの光軸に対して
斜めにカットされていることを特徴とする光モジュー
ル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10211310A JP2000047067A (ja) | 1998-07-27 | 1998-07-27 | 光モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10211310A JP2000047067A (ja) | 1998-07-27 | 1998-07-27 | 光モジュール |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000047067A true JP2000047067A (ja) | 2000-02-18 |
Family
ID=16603832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10211310A Withdrawn JP2000047067A (ja) | 1998-07-27 | 1998-07-27 | 光モジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000047067A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7111993B2 (en) | 2003-03-27 | 2006-09-26 | Japan Aviation Electronics Industry Limitedc | Optical monitor module |
-
1998
- 1998-07-27 JP JP10211310A patent/JP2000047067A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7111993B2 (en) | 2003-03-27 | 2006-09-26 | Japan Aviation Electronics Industry Limitedc | Optical monitor module |
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| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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