JP2000040492A - Discharge lamp - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、大出力の交流点灯
型の放電ランプに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-output AC discharge lamp.
【０００２】[0002]
【従来の技術】高圧希ガス放電ランプ、超高圧水銀ラン
プ、キセノンランプなどの高輝度の紫外線放射ランプ
は、例えば半導体装置の製造における露光用の光源など
として広く利用されている。そして、現在では、主とし
て直流点灯型の放電ランプが比較的小さい入力電力で用
いられており、それは、点灯時に安定した放電状態を得
ることができるからである。而して、近年、上記のよう
な技術分野では、プロセスの高速化、処理対象の大面積
化を達成するために、放電ランプとしてますます大きな
出力のものが要求されるに至っている。2. Description of the Related Art High-luminance ultraviolet radiation lamps such as high-pressure rare gas discharge lamps, ultra-high pressure mercury lamps, and xenon lamps are widely used as light sources for exposure in the manufacture of semiconductor devices, for example. At present, a DC lighting discharge lamp is mainly used with relatively small input power, because a stable discharge state can be obtained at the time of lighting. In recent years, in the technical fields as described above, in order to achieve a high-speed process and a large area to be processed, a discharge lamp having an even larger output has been required.
【０００３】一般に、直流点灯型の放電ランプにおいて
大きな出力を得るためには、ランプ電流を大きくすれば
よいのであるが、入力電流が例えば１００Ａを超える程
の大電流で放電ランプを直流点灯すると、通常はタング
ステンよりなる陽極体の先端の温度が、その使用限界で
ある２９００Ｋを超えるようになる。陽極体の温度上昇
を防止するためには、陽極体の体積を大きくすることが
有効であるが、この手法には限界があり、電極物質の蒸
発に起因する電極体の変形や、放電容器に黒化が生じる
ために長い使用寿命が得られず、従って、実際上、電気
入力が１０ｋＷ以上の直流点灯型の放電ランプは実用的
なものではない。Generally, in order to obtain a large output in a DC lighting type discharge lamp, it is sufficient to increase the lamp current. However, if the discharge lamp is DC-lit with a large current such as an input current exceeding 100 A, for example, The temperature at the tip of the anode body, which is usually made of tungsten, exceeds the use limit of 2900K. To prevent the temperature of the anode body from increasing, it is effective to increase the volume of the anode body.However, there is a limit to this method. A long service life cannot be obtained due to blackening, and therefore, a DC lighting discharge lamp having an electric input of 10 kW or more is not practical.
【０００４】一方、交流点灯型の放電ランプにおいて
は、入力される交流の半周期毎に、放電電極を構成する
電極体の機能が、陰極から陽極へ、また陽極から陰極へ
と変化するが、電極体が陰極として機能する際には電子
放出による吸熱作用のために電極体の温度が過度に上昇
することがなく、従って電極体を小さなものとすること
ができ、しかも直流点灯型のものよりエネルギー効率が
高いという利点がある。On the other hand, in an AC lighting discharge lamp, the function of the electrode body constituting the discharge electrode changes from the cathode to the anode and from the anode to the cathode every half cycle of the input AC. When the electrode body functions as a cathode, the temperature of the electrode body does not rise excessively due to the endothermic effect of electron emission, so that the electrode body can be made smaller, and moreover than the DC lighting type. It has the advantage of high energy efficiency.
【０００５】しかしながら、交流点灯型の放電ランプ
を、例えば６０Ｈｚのような比較的低い点灯周波数の交
流で点灯した場合には、点灯開始後、例えば約１００時
間程度のきわめて短時間のうちに放電電極が変形や消耗
を生ずると共に、放電容器に黒化が生じたり、アークが
安定しないなどの不具合が発生し、使用に耐えなくなる
ために、実用化が困難である、という問題点がある。こ
の問題点について研究したところ、交流点灯型の放電ラ
ンプでは、電極機能が半周期毎に変化することに伴って
生ずる電極体の温度変化の幅が大きく、これが原因とな
って上記の問題点が生ずることが判明した。However, when the discharge lamp of the AC lighting type is lit by an AC having a relatively low lighting frequency of, for example, 60 Hz, the discharge electrode is discharged within a very short time of about 100 hours after the start of lighting. However, there is a problem in that, in addition to deformation and wear, blackening of the discharge vessel and instability of the arc occur, and the use of the discharge vessel becomes difficult. After studying this problem, in the AC lighting type discharge lamp, the width of the temperature change of the electrode body caused by the electrode function changing every half cycle is large, and this causes the above problem. It was found to happen.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な問題を解決するためになされたものであって、その目
的は、大出力でしかも長い使用寿命を有する交流点灯型
の放電ランプを提供することにある。本発明の他の目的
は、安定したアーク放電が維持される交流点灯型の放電
ランプを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an AC-lit discharge lamp having a large output and a long service life. To provide. Another object of the present invention is to provide an AC-lit discharge lamp in which stable arc discharge is maintained.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の放電ランプは、
放電容器内に一対の放電電極が対向配置されてなり、高
周波の点灯周波数で交流点灯される電気入力が５ｋＷ以
上の放電ランプであって、定常点灯状態において、放電
電極に印加される交流電圧の１周期において生じる電極
体の温度変化が６０Ｋ以下であることを特徴とする。DISCLOSURE OF THE INVENTION The discharge lamp of the present invention comprises:
A discharge lamp in which a pair of discharge electrodes are arranged opposite to each other in a discharge vessel, and an electric input that is AC-lit at a high-frequency lighting frequency has an electric input of 5 kW or more. The temperature change of the electrode body occurring in one cycle is not more than 60K.
【０００８】以上の放電ランプにおいては、点灯周波数
は２５０Ｈｚ以上とされる。また、定常点灯状態におい
て、電極体における最高温度点の温度が２１００〜３２
００Ｋの範囲にあることが好ましい。In the above-described discharge lamp, the lighting frequency is set to 250 Hz or more. In the steady lighting state, the temperature of the highest temperature point in the electrode body is 2100 to 32.
It is preferably in the range of 00K.
【０００９】また、上記の放電ランプにおいては、定常
点灯状態において、電極体における温度が１５００Ｋを
超える部分の表面積をＳA （単位：ｃｍ2 ）、ランプ電
流の実効値をＩ（単位：Ａ）とするとき、下記式（１）
の関係が満たされることが好ましい。In the above-described discharge lamp, in a steady lighting state, the surface area of the portion of the electrode body where the temperature exceeds 1500 K is S A (unit: cm 2 ), and the effective value of the lamp current is I (unit: A). And the following equation (1)
Is preferably satisfied.
【数４】式（１） ５≦（Ｉ／ＳA ）≦９０Equation (1) 5 ≦ (I / S A ) ≦ 90
【００１０】更に、上記の放電ランプにおいては、定常
点灯状態において、電極体の先端面の面積をＳB （単
位：ｍｍ2 ）、ランプ電流の実効値をＩ（単位：Ａ）と
するとき、比Ｉ／ＳB で定義される見かけの電流密度Ｊ
（単位：Ａ／ｍｍ2 ）が下記式（２）の関係を満たすこ
とが好ましい。Further, in the above-described discharge lamp, in a steady lighting state, when the area of the tip end surface of the electrode body is S B (unit: mm 2 ) and the effective value of the lamp current is I (unit: A), Apparent current density J defined by the ratio I / S B
(Unit: A / mm 2 ) preferably satisfies the relationship of the following expression (2).
【数５】式（２） １０≦Ｊ≦２００Equation (2): 10 ≦ J ≦ 200
【００１１】また、上記の放電ランプにおいては、電気
入力をＷ（単位：Ｗ）、放電容器の内表面積をＳC （単
位：ｃｍ2 ）とするとき、下記式（３）の関係が満たさ
れることが好ましい。In the above-mentioned discharge lamp, when the electric input is W (unit: W) and the inner surface area of the discharge vessel is S C (unit: cm 2 ), the following equation (3) is satisfied. Is preferred.
【数６】式（３） １０≦Ｗ／ＳC ≦４５Equation (3) 10 ≦ W / S C ≦ 45
【００１２】また、上記の放電ランプにおいては、一対
の放電電極の離間距離が、放電容器の最大内径の１／２
より小さいことが好ましい。更に、放電電極の電極体に
は、その先端面に開口する孔が形成されていることが好
ましい。この孔内には、電子放射性物質を配置すること
ができる。In the above-described discharge lamp, the distance between the pair of discharge electrodes is １ ／ of the maximum inner diameter of the discharge vessel.
Preferably smaller. Further, it is preferable that the electrode body of the discharge electrode is formed with a hole which is opened at the tip end surface. An electron-emitting substance can be arranged in the hole.
【００１３】また、上記の放電ランプは、放電容器が、
発光管部と、これに接続された傾斜機能材料よりなる封
止部材とを有してなり、放電電極から伸びる電極棒が封
止部材を気密に貫通する構成を有することが好ましい。Further, in the above-mentioned discharge lamp, the discharge vessel comprises:
It is preferable to have a configuration including an arc tube portion and a sealing member made of a functionally graded material connected to the arc tube portion, wherein an electrode rod extending from the discharge electrode passes through the sealing member in an airtight manner.
【００１４】[0014]
【作用】本発明の放電ランプでは、高周波の点灯周波数
で交流点灯されることにより、放電電極に印加される交
流電圧の１周期において生じる電極体の温度変化の幅が
最大でも６０Ｋ以下であるため、電極体の消耗や変形が
抑えられると共に、電極物質の飛散により放電容器に生
じる黒化が抑制され、従って、当該放電ランプは使用寿
命の長いものとなる。そして、更に他の種々の条件が満
足されることにより、上記の作用効果が確実に発現され
る。また、電極体の先端面に開口する孔が形成されてい
ることにより、アークスポットの位置が安定するため
に、アークが安定したものとなる。そして、この孔内に
電子放射性物質を配置することにより、当該電子放射性
物質の蒸散が有効に防止される。更に、傾斜機能材料よ
りなる封止部材を用いることにより、封止部において、
大きな電流容量の電流供給路を容易に形成することがで
きる。In the discharge lamp of the present invention, since the AC lamp is lit at a high operating frequency, the temperature variation of the electrode body in one cycle of the AC voltage applied to the discharge electrode is at most 60K or less. In addition, the consumption and deformation of the electrode body are suppressed, and the blackening that occurs in the discharge vessel due to the scattering of the electrode material is suppressed, so that the discharge lamp has a long service life. Further, when the other various conditions are satisfied, the above-described operation and effect are surely exhibited. In addition, since the opening is formed in the tip end surface of the electrode body, the position of the arc spot is stabilized, so that the arc becomes stable. By arranging the electron-emitting substance in the hole, the evaporation of the electron-emitting substance is effectively prevented. Furthermore, by using a sealing member made of a functionally graded material,
A current supply path having a large current capacity can be easily formed.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明に
ついて詳細に説明する。図１は、本発明の放電ランプの
一実施例における全体の構成の概略を示す説明用断面
図、図２は、図１の放電ランプの電極体の先端部分の構
成を示す説明用拡大断面図、図３は、図１の放電ランプ
の封止部の詳細を示す説明用拡大断面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view schematically showing the overall configuration of an embodiment of the discharge lamp according to the present invention, and FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing the configuration of the distal end portion of the electrode body of the discharge lamp in FIG. And FIG. 3 is an enlarged sectional view for explanation showing details of a sealing portion of the discharge lamp of FIG.
【００１６】図に示すように、放電容器１０は、例えば
楕円球状の発光管部１１と、この発光管部１１の両端に
おいて外方へ突出するよう設けられた円筒状の封止部材
１２とから構成されており、発光管部１１の内部には、
一対の放電電極２０が対向するよう配置されている。図
１において、ｄは放電容器１０の最大内径を示す。As shown in the figure, the discharge vessel 10 comprises, for example, an elliptical spherical arc tube part 11 and a cylindrical sealing member 12 provided at both ends of the arc tube part 11 so as to protrude outward. And inside the arc tube part 11,
A pair of discharge electrodes 20 are arranged to face each other. In FIG. 1, d indicates the maximum inner diameter of the discharge vessel 10.
【００１７】図２に示すように、放電電極２０を構成す
る電極体２３には、円柱状の基部２４に、テーパ状の段
部２５を介して、円錐台形の先端を有する小径頭部２１
が形成されており、この小径頭部２１には、その先端面
に開口し、軸方向（放電電極２０が対向する方向）に直
線状に伸びる孔２２が形成されている。As shown in FIG. 2, a small diameter head 21 having a frusto-conical tip is provided on an electrode body 23 constituting a discharge electrode 20 via a tapered step 25 on a cylindrical base 24.
The small-diameter head 21 has a hole 22 which is open at the tip end surface and extends linearly in the axial direction (the direction in which the discharge electrode 20 faces).
【００１８】このような構成の電極体２３は、例えばタ
ングステンよりなる電極棒１４の先端に固定保持されて
おり、この電極棒１４は、封止部材１２内を気密に貫通
して伸び、その後端が封止部材１２から突出する状態に
設けられている。The electrode body 23 having such a configuration is fixedly held at the tip of an electrode rod 14 made of, for example, tungsten. The electrode rod 14 extends through the sealing member 12 in an airtight manner, and extends at the rear end. Are provided so as to protrude from the sealing member 12.
【００１９】封止部材１２は、シリカ成分とモリブデン
成分からなる円筒状の傾斜機能材料で構成されており、
具体的には、シリカ成分が主成分とされている一端から
他端へ向かうに従ってモリブデン成分の含有割合が傾斜
的に増加するものである。そして、この封止部材１２の
絶縁性の一端部が発光管部１１側となるよう配置されて
その外周に発光管部１１の端部が気密に溶着されると共
に、導電性を有する他端部において、これを貫通する電
極棒１４と電気的に接続されている。このように、傾斜
機能材料よりなる封止部材１２を用いることにより、封
止部において、電流容量の大きい電流供給路を容易に形
成することができる。なお、傾斜機能材料としては、シ
リカ成分とモリブデン成分よりなるものに限らず、放電
容器の材質や電極棒の材質に応じて、種々の絶縁性無機
物質成分および導電性無機物質成分から選ばれたものを
用いることができる。The sealing member 12 is made of a cylindrical functionally gradient material composed of a silica component and a molybdenum component.
Specifically, the content ratio of the molybdenum component gradually increases from one end where the silica component is the main component to the other end. The insulating one end of the sealing member 12 is disposed on the arc tube portion 11 side, and the end portion of the arc tube portion 11 is hermetically welded to the outer periphery thereof, and the other end portion having conductivity is provided. Is electrically connected to the electrode rod 14 passing therethrough. As described above, by using the sealing member 12 made of the functionally graded material, a current supply path having a large current capacity can be easily formed in the sealing portion. In addition, the functionally gradient material is not limited to a material composed of a silica component and a molybdenum component, but is selected from various insulating inorganic material components and conductive inorganic material components according to the material of the discharge vessel and the material of the electrode rod. Can be used.
【００２０】また、封止部材１２の一端面にはすり鉢状
の凹部３１が形成されると共に、封止部材１２の発光管
部１１側の部分と電極棒１４との間には、モリブデン粉
末あるいは箔などからなるクッション層３２が形成され
ている。また、封止部材１２の導電性部分の外周面に
は、シリカなどの酸化防止膜３３が形成されている。A mortar-shaped recess 31 is formed on one end surface of the sealing member 12, and molybdenum powder or molybdenum powder is provided between the portion of the sealing member 12 on the side of the arc tube 11 and the electrode rod 14. A cushion layer 32 made of foil or the like is formed. On the outer peripheral surface of the conductive portion of the sealing member 12, an oxidation preventing film 33 such as silica is formed.
【００２１】上記の放電ランプは、５ｋＷ以上のランプ
入力となる状態で、高周波の点灯周波数で交流点灯され
るものであり、ランプ入力が５ｋＷより小さい場合に
は、直流点灯ランプの方が有利であり、高周波で点灯さ
せることによる実際の利点が少なくなる。The above-mentioned discharge lamp is operated by alternating current at a high operating frequency with a lamp input of 5 kW or more. When the lamp input is smaller than 5 kW, the direct current lighting lamp is more advantageous. Yes, the actual benefits of lighting at high frequencies are reduced.
【００２２】交流点灯されることによって電極は大きな
温度差を経験することになり、電極の表面荒れや発光管
部の黒化、アーク不安定などを起こす。このような現象
は、当該放電ランプの定常点灯状態において、放電電極
に印加される交流電圧の１周期において生じる電極体の
温度変化が６０Ｋ以下である条件下において、劇的に改
善されることが判明した。すなわち、交流点灯される放
電ランプにおいては、放電電極に印加される交流電圧の
１周期における電極機能の変化に伴って電極体の温度が
上下することとなる。すなわち、電極体の温度は、当該
電極体が陽極として機能するときに最高となり、陰極と
して機能するときに最低となる。この最高の温度と最低
の温度との差を、本明細書において「温度の変化幅」と
いう。ここに、定常点灯状態とは、電極の温度が周期的
に変化すること以外は全体として温度が変わらない状態
で点灯されている状態をいう。The electrode experiences a large temperature difference due to the AC lighting, and causes the surface roughness of the electrode, blackening of the arc tube portion, arc instability, and the like. Such a phenomenon can be dramatically improved under the condition that the temperature change of the electrode body in one cycle of the AC voltage applied to the discharge electrode is 60K or less in the steady lighting state of the discharge lamp. found. That is, in a discharge lamp that is AC-lit, the temperature of the electrode body rises and falls with a change in the electrode function in one cycle of the AC voltage applied to the discharge electrode. That is, the temperature of the electrode body is highest when the electrode body functions as an anode, and becomes lowest when the electrode body functions as a cathode. The difference between the highest temperature and the lowest temperature is referred to herein as “temperature change width”. Here, the steady lighting state refers to a state in which the lighting is performed in a state where the temperature does not change as a whole except that the temperature of the electrode periodically changes.
【００２３】然るに、本発明の放電ランプにおいては、
高周波の点灯周波数で点灯されて電極体の温度の変化幅
が６０Ｋ以下とされることにより、後述する実施例の実
験結果からも明らかなように、大出力の交流点灯型の放
電ランプであっても、電極体の先端の消耗および変形が
抑えられ、また電極物質の飛散が抑制されるため、安定
な点灯状態が長い期間にわたって得られ、結局、長い使
用寿命を実現することができる。これに対し、電極体の
温度の変化幅が６０Ｋを超える場合には、電極体に表面
荒れなどの現象が起こりやすく、放電ランプは長い使用
寿命を有するものとはならない。Therefore, in the discharge lamp of the present invention,
When the lamp is lit at a high frequency and the temperature change width of the electrode body is set to 60K or less, as is clear from the experimental results of the embodiments described later, the AC lamp is a high-power AC lighting discharge lamp. Also, since the wear and deformation of the tip of the electrode body are suppressed and the scattering of the electrode substance is suppressed, a stable lighting state can be obtained for a long period, and a long service life can be realized after all. On the other hand, when the width of change in the temperature of the electrode body exceeds 60 K, phenomena such as surface roughness are likely to occur on the electrode body, and the discharge lamp does not have a long service life.
【００２４】本発明の放電ランプにおいては、上記のよ
うに、定常点灯状態における電極体の温度の変化幅が６
０Ｋ以下となる条件が満足されることが必要であるが、
この条件が満足された上で、更に、定常点灯状態におい
て、電極体の最高温度点の温度が２１００〜３２００Ｋ
の範囲に維持されることが好ましく、特に２４００〜２
９００Ｋの範囲にあることが好ましい。高周波の点灯周
波数で点灯される放電ランプにおいて、電極体の最高温
度点の温度が２１００Ｋより低い場合には、放電電極が
陰極の機能を果たすときにその電極体に形成される陰極
スポットが小さなものとなり、そのために当該個所にお
ける電極体の消耗が激しくなる。一方、電極体の最高温
度点の温度が３２００Ｋより高い場合には、放電電極を
形成する物質、例えばタングステンの蒸発が盛んになる
ので好ましくない。In the discharge lamp according to the present invention, as described above, the variation in the temperature of the electrode body in the steady lighting state is 6 degrees.
It is necessary that the condition of 0K or less be satisfied.
In addition to satisfying this condition, in the steady lighting state, the temperature of the highest temperature point of the electrode body is 2100 to 3200K.
Is preferably maintained in the range of 2400 to 2
Preferably it is in the range of 900K. In the case of a discharge lamp that is lit at a high operating frequency, if the temperature of the highest temperature point of the electrode body is lower than 2100 K, a cathode spot formed on the electrode body when the discharge electrode performs the function of a cathode is small. Therefore, the consumption of the electrode body at the location becomes severe. On the other hand, if the temperature at the highest temperature point of the electrode body is higher than 3200 K, it is not preferable because the substance forming the discharge electrode, for example, tungsten, becomes active.
【００２５】既述のように、電極体の温度の変化幅が６
０Ｋ以下、という条件と、定常点灯状態において電極体
の最高温度点の温度が２１００〜３２００Ｋの範囲にあ
る、という条件は、両方が共に満足されることが好まし
い。すなわち、電極体の温度の変化幅が６０Ｋ以下であ
り、かつ最高温度点の温度が２１００〜３２００Ｋの範
囲にあることにより、電極体の消耗を確実に防止するこ
とができる。As described above, the variation width of the temperature of the electrode body is 6
It is preferable that both the condition of 0K or less and the condition that the temperature of the highest temperature point of the electrode body in the steady lighting state is in the range of 2100 to 3200K are satisfied. That is, since the change width of the temperature of the electrode body is 60K or less and the temperature at the highest temperature point is in the range of 2100 to 3200K, the consumption of the electrode body can be reliably prevented.
【００２６】上記の放電ランプは、点灯周波数が２５０
Ｈｚ以上の高周波で点灯されることが必要であり、特
に、点灯周波数５００Ｈｚ以上が好ましく、更に８００
Ｈｚ以上、例えば１０００Ｈｚが好ましい。点灯周波数
の上限は特に制限されるものではなないが、実際上は、
２００ＫＨｚ以下とされる。そして、実際に好ましい点
灯周波数は、５００〜３０００Ｈｚ、特に８００〜１５
００Ｈｚの範囲が好ましい。The above discharge lamp has an operating frequency of 250.
It is necessary that the lamp be lit at a high frequency of at least 500 Hz.
Hz or more, for example, 1000 Hz is preferable. The upper limit of the lighting frequency is not particularly limited, but in practice,
The frequency is set to 200 KHz or less. The actually preferable lighting frequency is 500 to 3000 Hz, particularly 800 to 15 Hz.
A range of 00 Hz is preferred.
【００２７】交流点灯型の放電ランプの点灯周波数が２
５０Ｈｚより低い場合には、電極機能が半周期毎に変化
することに伴って生ずる電極体の温度変化の幅が大きい
ために、電極表面の荒れや、発光管部の黒化、アーク不
安定などが起こり、好ましい結果を得ることが困難な場
合がある。一方、点灯周波数が過度に高い場合には、放
電ランプを点灯させるための点灯装置として特殊なもの
が必要となり、また音響共鳴を起こす可能性が増すなど
の不都合があるので好ましくない。The lighting frequency of the discharge lamp of the AC lighting type is 2
When the frequency is lower than 50 Hz, the temperature change of the electrode body caused by the change of the electrode function every half cycle is large, so that the electrode surface becomes rough, the arc tube part is blackened, and the arc becomes unstable. May occur, and it may be difficult to obtain a favorable result. On the other hand, when the lighting frequency is excessively high, a special lighting device for lighting the discharge lamp is required, and disadvantages such as an increased possibility of causing acoustic resonance are not preferred.
【００２８】更に、本発明では、電極体の温度が１５０
０Ｋを超える部分の表面積ＳA とランプ電流の実効値Ｉ
の間に下記式（１）の関係が成り立つような構成とする
ことにより、電極体の最高温度点の温度を確実に２１０
０〜３２００Ｋの範囲にすることができ、これによって
も電極体の変形や消耗が抑制されるので、使用寿命が長
い放電ランプが得られる。Further, in the present invention, the temperature of the electrode body is 150
The surface area S A of the portion exceeding 0K and the effective value I of the lamp current
, The temperature at the highest temperature point of the electrode body can be surely set to 210.
It can be in the range of 0 to 3200K, which also suppresses the deformation and consumption of the electrode body, so that a discharge lamp with a long service life can be obtained.
【数７】式（１） ５≦（Ｉ／ＳA ）≦９０Equation (1) 5 ≦ (I / S A ) ≦ 90
【００２９】また、本発明においては、更に、電極体の
先端面の面積をＳB 、ランプ実効電流をＩとするとき、
Ｉ／ＳB で定義される見かけの電流密度Ｊが下記式
（２）の関係を満たすようにすることにより、長時間に
わたる点灯においても電極体の変形を抑えることができ
る。見かけの電流密度Ｊが１０未満の場合には、アーク
スポットが１点に集中するようになるため、電極体の消
耗が激しくなり、電極体の損耗による変形が多くなる。
また、見かけの電流密度Ｊが２００を超える場合には、
電極体の温度が上がり、電極物質の蒸発による黒化が速
く進行し、やはり電極体の損耗による変形が多くなる。Further, in the present invention, when the area of the tip end surface of the electrode body is S B and the effective lamp current is I,
By ensuring that the apparent current density J defined by I / S B satisfies the relationship of the following equation (2), deformation of the electrode body can be suppressed even during long-time lighting. When the apparent current density J is less than 10, the arc spots are concentrated at one point, so that the electrode body is greatly consumed and the electrode body is more deformed due to wear.
When the apparent current density J exceeds 200,
The temperature of the electrode body rises, blackening due to evaporation of the electrode material progresses rapidly, and the deformation of the electrode body due to wear also increases.
【数８】式（２） １０≦Ｊ≦２００Equation (2): 10 ≦ J ≦ 200
【００３０】本発明の放電ランプにおいては、更に、ラ
ンプの電気入力Ｗと放電容器１０の内表面積ＳC の間に
下記式（３）の関係が成り立つ構成であることが好まし
く、これにより、点灯中の放電容器の最高温度個所の温
度を６００〜９５０℃の範囲にすることができるので、
放電容器に対する電極物質の付着が抑えられ、放電容器
に黒化が生じることが抑制される。点灯中の放電容器の
最高温度個所の温度が６００℃より低い場合には、放電
容器に急速に黒化が生じる。また、点灯中の放電容器の
最高温度個所の温度が９５０℃を超えると放電容器に熱
歪の進行が起こり、放電容器の破裂の危険が増大する。In the discharge lamp of the present invention, it is preferable that the relationship represented by the following equation (3) be established between the electric input W of the lamp and the inner surface area S C of the discharge vessel 10. Since the temperature at the highest temperature point of the inner discharge vessel can be in the range of 600 to 950 ° C,
Adhesion of the electrode substance to the discharge vessel is suppressed, and blackening of the discharge vessel is suppressed. If the temperature at the highest temperature of the discharge vessel during lighting is lower than 600 ° C., the discharge vessel rapidly turns black. Further, when the temperature of the highest temperature portion of the discharge vessel during lighting exceeds 950 ° C., thermal distortion occurs in the discharge vessel, and the risk of rupture of the discharge vessel increases.
【数９】式（３） １０≦Ｗ／ＳC ≦４５Equation (3): 10 ≦ W / S C ≦ 45
【００３１】本発明の放電ランプにおいては、更に、放
電電極２０の離間距離を放電容器１０の最大内径ｄの１
／２以下にすることにより、放電アークが放電電極２０
によって安定されるものとなり、アークの放電領域が放
電容器１０の内壁面に接触することがないため、アーク
によって黒化が生ずることがなく、また放電容器１０が
破損する危険がない。In the discharge lamp of the present invention, the distance between the discharge electrodes 20 is set to be equal to the maximum inner diameter d of the discharge vessel 10.
/ 2 or less, the discharge arc is
Therefore, the arc discharge region does not contact the inner wall surface of the discharge vessel 10, so that the arc does not cause blackening and there is no danger of the discharge vessel 10 being damaged.
【００３２】更に、本発明の放電ランプにおいては、電
極体２３の先端面、具体的には小径頭部２１の先端面に
開口する孔２２が、軸方向に直線状に伸びるよう形成さ
れていることにより、アークスポットの位置が当該孔２
２の開口縁に保持されるようになって、アークスポット
の移動によるアークの揺らぎが低減される。また、この
孔２２内には、電子放射性物質または電子放射性物質を
含んだ材料を位置させるために利用することができる。
この場合には、当該電子放射性物質が発光管部１１内に
露出されていないため、蒸散によって消失することが有
効に防止される。この孔２２の直径は、動作中に孔が塞
がってしまわない限りにおいてできるだけ小さいことが
好ましく、その深さは、例えば小径頭部２１の長さと同
程度、具体的には１．０〜２．０ｍｍ程度とされる。Further, in the discharge lamp of the present invention, a hole 22 opened at the tip end surface of the electrode body 23, specifically, at the tip end surface of the small diameter head 21, is formed so as to extend linearly in the axial direction. As a result, the position of the arc spot is
2, the fluctuation of the arc due to the movement of the arc spot is reduced. The hole 22 can be used for positioning an electron-emitting substance or a material containing an electron-emitting substance.
In this case, since the electron-emitting substance is not exposed in the arc tube part 11, it is effectively prevented from disappearing by evaporation. The diameter of the hole 22 is preferably as small as possible as long as the hole is not closed during operation, and its depth is, for example, about the same as the length of the small-diameter head 21, specifically, 1.0 to 2.. It is about 0 mm.
【００３３】[0033]
【実施例】以下の実施例では、図３に示す構成に準じ
て、放電ランプを作製した。 ＜実施例１＞石英ガラスからなり、最大内径ｄが１２３
ｍｍ、肉厚が３．５ｍｍ、軸方向長さが１５０ｍｍ、内
表面積が約５８０ｃｍ2 、内容積が１１５０ｃｃである
発光管部内に、離間距離が１２ｍｍとなる状態で一対の
放電電極を対向して配置すると共に、水銀２６．５ｇ
と、アルゴン６３ｋＰａとを封入することにより、定格
電気入力が１５ｋＷ、定格電圧が７５Ｖ、定格電流が２
００Ａの超高圧水銀ランプを作製した。電極体はトリエ
ーテッドタングステンよりなり、基部の直径が１２．０
ｍｍ、長さが２０ｍｍ、小径頭部の直径が８．０ｍｍ、
先端面の直径が５．０ｍｍ、段部を含む長さが１０ｍ
ｍ、先端が開き角が９０゜の円錐台形であり、その先端
面に直径が１．５ｍｍ、深さが８．０ｍｍの孔が開口す
るものである。EXAMPLE In the following example, a discharge lamp was manufactured according to the structure shown in FIG. <Example 1> It is made of quartz glass and has a maximum inner diameter d of 123.
mm, a wall thickness of 3.5 mm, an axial length of 150 mm, an inner surface area of about 580 cm 2 , an inner volume of 1150 cc, and a pair of discharge electrodes facing each other with a separation distance of 12 mm. With arrangement, 26.5g of mercury
And 63 kPa of argon, the rated electric input is 15 kW, the rated voltage is 75 V, and the rated current is 2
An ultra high pressure mercury lamp of 00A was manufactured. The electrode body is made of thoriated tungsten and has a base diameter of 12.0.
mm, length 20mm, diameter of small diameter head is 8.0mm,
The diameter of the tip surface is 5.0mm and the length including the step is 10m
m, the end of which is a truncated cone with an opening angle of 90 °, and a hole having a diameter of 1.5 mm and a depth of 8.0 mm is opened in the end surface.
【００３４】この放電ランプを、点灯周波数１０００Ｈ
ｚの方形波電力によって点灯させ、点灯を開始して１０
００時間経過した時点における電極体の温度を、後述す
る電極体温度の測定方法により測定し、またその測定結
果から電極体の温度の変化幅を求めた。結果を表１の番
号８に示す。すなわち、電極体の最高温度点の温度は２
８４０Ｋ、電極体の温度の変化幅は４０Ｋであった。The discharge lamp was operated at an operating frequency of 1000H.
Lighting with square wave power of z
The temperature of the electrode body at the time when 00 hours had elapsed was measured by the electrode body temperature measuring method described later, and the change width of the electrode body temperature was determined from the measurement result. The results are shown in Table 1, No. 8. That is, the temperature at the highest temperature point of the electrode body is 2
The temperature change width of the electrode body was 840K and the temperature was 40K.
【００３５】また、当該放電ランプを点灯して１０００
時間経過後の時点における光束維持率を、波長３００〜
４００ｎｍの紫外線の放射強度を測定することにより、
求めた。この光束維持率の数値は、点灯初期における当
該紫外線の放射強度を１００％としたときの相対値であ
る。この光束維持率の値が７０％以上であれば、その放
電ランプは、実用上、所期の使用寿命を有するものとい
える。When the discharge lamp is turned on, 1000
The luminous flux maintenance factor at the time after the lapse of time, the wavelength 300 ~
By measuring the radiant intensity of 400 nm ultraviolet light,
I asked. The numerical value of the luminous flux maintenance ratio is a relative value when the radiation intensity of the ultraviolet ray in the initial stage of lighting is set to 100%. If the value of the luminous flux maintenance factor is 70% or more, it can be said that the discharge lamp has an intended service life in practical use.
【００３６】また、上記の番号８に係る放電ランプの構
成において、異なる直径の電極体を用い、あるいは異な
る点灯周波数で点灯させた場合について、上記と同様の
テストを行った。結果は表１に示すとおりである。な
お、表１中、光束維持率について「＊」は、放電容器に
生じた黒化が激しくて光束維持率がが５０％以下になっ
たため、１０００時間を経過する以前にテストを中止し
たことを示す。Further, in the configuration of the discharge lamp according to the above-mentioned No. 8, the same test as described above was carried out in the case where the electrode bodies having different diameters were used or the lighting was performed at different lighting frequencies. The results are as shown in Table 1. In Table 1, "*" for the luminous flux maintenance rate indicates that the test was stopped before 1000 hours passed because the blackening occurred in the discharge vessel and the luminous flux maintenance rate became 50% or less. Show.
【００３７】[0037]
【表１】 [Table 1]
【００３８】以上のテストにおいて、電極体の温度の測
定は、特開平２−２５９４３４号公報に記載されている
温度測定装置を用いて行った。この温度測定装置は、放
電ランプを点灯状態から高速に消灯状態に切り換える遮
断回路部と、消灯状態において電極体からの輻射を効率
よく受光部へ誘導する光学系部と、この受光部からの信
号を受けて輻射の過渡曲線を記録することにより、放電
ランプの点灯状態における電極体の温度を推定する信号
処理部より構成されてなるものである。この温度測定装
置による方法によれば、アークからの輻射などの影響を
受けることなしに高温の電極体の温度のみを正確に測定
することができる。そして、２つの検出波長を用いる２
色温度計を構成させることにより、放射率の波長依存性
のみを考慮すればよいので、表面状態の影響を除外する
ことが可能である。In the above test, the temperature of the electrode body was measured using a temperature measuring device described in JP-A-2-259434. This temperature measuring device includes a shut-off circuit unit that switches a discharge lamp from an on state to an off state at a high speed, an optical system unit that efficiently guides radiation from an electrode body to a light receiving unit in the off state, and a signal from the light receiving unit. The signal processing unit estimates the temperature of the electrode body in the lighting state of the discharge lamp by recording a transient curve of radiation in response to the signal. According to the method using the temperature measuring device, it is possible to accurately measure only the high temperature of the electrode body without being affected by radiation from an arc or the like. And 2 using two detection wavelengths
By configuring the color thermometer, it is only necessary to consider the wavelength dependence of the emissivity, and it is possible to exclude the influence of the surface state.
【００３９】表１の結果から、放電ランプが高周波の点
灯周波数で点灯されることにより、電極体の温度の変化
幅が最大でも６０Ｋ以下となり、また光束維持率が７０
％を超えるので、当該放電ランプが長い使用寿命を有す
ることが明らかである。From the results shown in Table 1, when the discharge lamp is lit at a high operating frequency, the variation in the temperature of the electrode body becomes 60 K or less at the maximum and the luminous flux maintenance rate is 70%.
%, It is clear that the discharge lamp has a long service life.
【００４０】また、上記のような状態は、点灯周波数が
２５０Ｈｚ以上であれば実現されること、更に点灯周波
数が１０００Ｈｚであれば、電極体の直径に関係なくそ
のような状態が得られること、そして他の条件が同じで
あれば、電極体として大きなものを用いると電極体の温
度が低くなって使用寿命が更に長いものとなることが明
らかである。一方、番号１〜３の例によれば、高周波で
ない点灯周波数で点灯させた場合には、電極体の温度の
変化幅が１００Ｋを遙かに超える大きなものとなって長
い使用寿命が得られないことが理解される。Further, the above-mentioned state is realized if the lighting frequency is 250 Hz or more, and if the lighting frequency is 1000 Hz, such a state can be obtained regardless of the diameter of the electrode body. If other conditions are the same, it is clear that the use of a large electrode body lowers the temperature of the electrode body and further extends the service life. On the other hand, according to the examples of Nos. 1 to 3, when the lighting is performed at a lighting frequency that is not a high frequency, the change width of the temperature of the electrode body is much larger than 100 K, and a long service life cannot be obtained. It is understood that.
【００４１】＜実施例２＞石英ガラスからなり、最大内
径ｄが７７ｍｍ、肉厚が３．５ｍｍ、軸方向長さが１１
０ｍｍ、内表面積が約２７０ｃｍ2 、内容積が３２０ｃ
ｃである発光管部内に、離間距離が１２ｍｍとなる状態
で一対の放電電極を対向して配置すると共に、アルゴン
１２００ｋＰａを封入することにより、定格電気入力が
６ｋＷ、定格電圧が１８Ｖ、定格電流が３３０Ａの高圧
希ガスランプを作製した。電極体は実施例１の番号８と
同様のものを用いた。この放電ランプを、点灯周波数１
０００Ｈｚの方形波電力によって点灯させ、実施例１と
同様の方法により温度を測定したところ、定常点灯状態
における電極体の最高温度点の温度は約２９５０Ｋ、電
極体の温度の変化幅は約３０Ｋ、光束維持率は８５％で
あった。<Example 2> Made of quartz glass, the maximum inner diameter d was 77 mm, the thickness was 3.5 mm, and the axial length was 11
0mm, inner surface area is about 270cm 2 , inner volume is 320c
In the arc tube part c, a pair of discharge electrodes are arranged to face each other with a separation distance of 12 mm, and by filling argon 1200 kPa, the rated electric input is 6 kW, the rated voltage is 18 V, and the rated current is A 330 A high pressure rare gas lamp was fabricated. The same electrode body as that of the electrode No. 8 in Example 1 was used. This discharge lamp is operated at an operating frequency of 1
When the lamp was turned on with a square wave power of 000 Hz and the temperature was measured in the same manner as in Example 1, the temperature at the highest temperature point of the electrode body in the steady lighting state was about 2950 K, and the change width of the temperature of the electrode body was about 30 K. The luminous flux maintenance was 85%.
【００４２】＜実施例３＞石英ガラスからなり、最大内
径ｄが８３ｍｍ、肉厚が３．５ｍｍ、軸方向長さが１２
０ｍｍ、内表面積が約３１０ｃｍ2 、内容積が４２０ｃ
ｃである発光管部内に、離間距離が１０ｍｍとなる状態
で一対の放電電極を対向して配置すると共に、水銀１．
３ｇとキセノン２５０ｋＰａとを封入することにより、
定格電気入力が７．５ｋＷ、定格電圧が２５Ｖ、定格電
流が３００Ａのキセノンランプを作製した。電極体は実
施例１の番号８と同様のものを用いた。この放電ランプ
を、点灯周波数１０００Ｈｚの方形波電力によって点灯
させ、実施例１と同様の方法により温度を測定したとこ
ろ、定常点灯状態における電極体の最高温度点の温度は
約２９００Ｋ、電極体の温度の変化幅は約３０Ｋ、光束
維持率は８２％であった。<Example 3> Made of quartz glass, the maximum inner diameter d was 83 mm, the wall thickness was 3.5 mm, and the axial length was 12 mm.
0mm, inner surface area is about 310cm 2 , inner volume is 420c
c, a pair of discharge electrodes are arranged to face each other in a state where the separation distance is 10 mm, and mercury 1.c.
By enclosing 3 g and xenon 250 kPa,
A xenon lamp having a rated electric input of 7.5 kW, a rated voltage of 25 V, and a rated current of 300 A was produced. The same electrode body as that of the electrode No. 8 in Example 1 was used. The discharge lamp was lit by a square wave power having a lighting frequency of 1000 Hz, and the temperature was measured by the same method as in Example 1. The temperature at the highest temperature point of the electrode body in the steady lighting state was about 2900 K, and the temperature of the electrode body was Was about 30K and the luminous flux maintenance factor was 82%.
【００４３】[0043]
【発明の効果】本発明の放電ランプによれば、高周波の
点灯周波数で交流点灯されることにより、電極機能が変
化する周期が短くなるため、定常点灯状態において、電
極体の温度の変化幅を最大でも６０Ｋ以下とすることが
でき、その結果、電極体の消耗や変形が抑えられると共
に、電極物質の飛散により生じる放電容器の黒化を抑止
することができ、長い使用寿命を得ることができる。そ
して、請求項２〜請求項７に記載の放電ランプによれ
ば、それぞれの条件が満足されることにより、上記の効
果を確実に得ることができる。According to the discharge lamp of the present invention, since the period in which the electrode function changes is shortened by alternating-current lighting at a high operating frequency, the change width of the temperature of the electrode body in the steady lighting state is reduced. The maximum can be 60K or less, as a result, the consumption and deformation of the electrode body can be suppressed, the blackening of the discharge vessel caused by the scattering of the electrode material can be suppressed, and a long service life can be obtained. . According to the discharge lamps of the second to seventh aspects, the above effects can be reliably obtained by satisfying the respective conditions.
【００４４】また、請求項８および請求項９の放電ラン
プによれば、点灯状態において安定なアーク放電が得ら
れ、また電子放射性物質が放電容器内に蒸散することが
防止される。According to the discharge lamp of the eighth and ninth aspects, a stable arc discharge can be obtained in the lighting state, and the electron-emitting substance is prevented from evaporating into the discharge vessel.
【００４５】更に、請求項１０の放電ランプによれば、
傾斜機能材料よりなる封止部材により封止部が形成され
ることにより、封止部において、電流容量の大きい電流
供給路を容易に形成することができる。Further, according to the discharge lamp of claim 10,
By forming the sealing portion with the sealing member made of the functionally graded material, a current supply path having a large current capacity can be easily formed in the sealing portion.
【図１】本発明の放電ランプの一実施例における全体の
構成の概略を示す説明用断面図である。FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view schematically showing the overall configuration of an embodiment of a discharge lamp according to the present invention.
【図２】図１の放電ランプの電極体の先端部分の構成を
示す説明用拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view illustrating a configuration of a tip portion of an electrode body of the discharge lamp of FIG.
【図３】図１の放電ランプの封止部の詳細を示す説明用
拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view for illustrating details of a sealing portion of the discharge lamp of FIG. 1;
１０ 放電容器 １１ 発光管部 １２ 封止部材 １４ 電極棒 ２０ 放電電極 ２１ 小径頭部 ２２ 孔 ２３ 電極体 ２４ 基部 ２５ 段部 ３１ 円錐状凹部 ３２ クッション層 ３３ 酸化防止膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Discharge container 11 Arc tube part 12 Sealing member 14 Electrode rod 20 Discharge electrode 21 Small diameter head 22 Hole 23 Electrode body 24 Base part 25 Step part 31 Conical recess 32 Cushion layer 33 Oxidation prevention film
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田川 幸治 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内 Ｆターム(参考） 3K072 AA11 AA19 GB01 5C015 JJ06 5C039 HH05 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Koji Tagawa 1194 Sado, Bessho-cho, Himeji-shi, Hyogo USHIO Electric Co., Ltd. F-term (reference)
Claims (10)
されてなり、高周波の点灯周波数で交流点灯される電気
入力が５ｋＷ以上の放電ランプであって、 定常点灯状態において、放電電極に印加される交流電圧
の１周期において生じる電極体の温度変化が６０Ｋ以下
であることを特徴とする放電ランプ。1. A discharge lamp having a pair of discharge electrodes opposed to each other in a discharge vessel and having an electric input of 5 kW or more for AC lighting at a high lighting frequency, wherein the discharge lamp is applied to the discharge electrodes in a steady lighting state. A change in temperature of the electrode body occurring in one cycle of the applied AC voltage is 60K or less.
を特徴とする請求項１に記載の放電ランプ。2. The discharge lamp according to claim 1, wherein the lighting frequency is 250 Hz or more.
最高温度点の温度が２１００〜３２００Ｋの範囲にある
ことを特徴とする請求項１または２に記載の放電ラン
プ。3. The discharge lamp according to claim 1, wherein the temperature at the highest temperature point in the electrode body is in a range of 2100 to 3200 K in a steady lighting state.
温度が１５００Ｋを超える部分の表面積をＳA （単位：
ｃｍ2 ）、ランプ電流の実効値をＩ（単位：Ａ）とする
とき、下記式（１）の関係が満たされることを特徴とす
る請求項１〜３のいずれかに記載の放電ランプ。 【数１】式（１） ５≦（Ｉ／ＳA ）≦９０4. In a steady lighting state, the surface area of a portion of the electrode body where the temperature exceeds 1500 K is S A (unit:
cm 2), the effective value of the lamp current I (unit: when A), but the discharge lamp according to claim 1, characterized in that it is satisfied the relationship of the following formula (1). Equation (1) 5 ≦ (I / S A ) ≦ 90
の面積をＳB （単位：ｍｍ2 ）、ランプ電流の実効値を
Ｉ（単位：Ａ）とするとき、比Ｉ／ＳB で定義される見
かけの電流密度Ｊ（単位：Ａ／ｍｍ2 ）が下記式（２）
の関係を満たすことを特徴とする請求項１〜４のいずれ
かに記載の放電ランプ。 【数２】式（２） １０≦Ｊ≦２００5. In a steady lighting state, when the area of the tip surface of the electrode body is S B (unit: mm 2 ) and the effective value of the lamp current is I (unit: A), the ratio is defined by a ratio I / S B. The apparent current density J (unit: A / mm 2 ) is expressed by the following equation (2).
The discharge lamp according to any one of claims 1 to 4, wherein the following relationship is satisfied. Equation (2) 10 ≦ J ≦ 200
内表面積をＳC （単位：ｃｍ2 ）とするとき、下記式
（３）の関係が満たされることを特徴とする請求項１〜
５のいずれかに記載の放電ランプ。 【数３】式（３） １０≦Ｗ／ＳC ≦４５6. When the electric input is W (unit: W) and the inner surface area of the discharge vessel is S C (unit: cm 2 ), the relationship of the following formula (3) is satisfied. 1 to
6. The discharge lamp according to any one of 5. Equation (3) 10 ≦ W / S C ≦ 45
の最大内径の１／２より小さいことを特徴とする請求項
１〜６のいずれかに記載の放電ランプ。7. The discharge lamp according to claim 1, wherein a distance between the pair of discharge electrodes is smaller than 1/2 of a maximum inner diameter of the discharge vessel.
口する孔が形成されていることを特徴とする請求項１〜
７のいずれかに記載の放電ランプ。8. An electrode body of a discharge electrode, wherein a hole is formed in a tip end surface thereof.
8. The discharge lamp according to any one of 7.
子放射性物質が配置されていることを特徴とする請求項
８に記載の放電ランプ。9. The discharge lamp according to claim 8, wherein an electron-emitting substance is disposed in a hole formed in the electrode body of the discharge electrode.
された傾斜機能材料よりなる封止部材とを有してなり、
放電電極から伸びる電極棒が前記封止部材を気密に貫通
する構成を有することを特徴とする請求項１〜９のいず
れかに記載の放電ランプ。10. The discharge vessel has an arc tube portion and a sealing member made of a functionally graded material connected to the arc tube portion.
The discharge lamp according to any one of claims 1 to 9, wherein an electrode rod extending from the discharge electrode has a configuration penetrating the sealing member in an airtight manner.
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|---|---|---|---|
| JP20908398A JP3371813B2 (en) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | Discharge lamp |
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Publications (2)
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| JP (1) | JP3371813B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007522608A (en) * | 2003-12-22 | 2007-08-09 | パテント−トロイハント−ゲゼルシヤフト フユール エレクトリツシエ グリユーラムペン ミツト ベシユレンクテル ハフツング | Electrodes for high pressure discharge lamps |
| GB2444977A (en) * | 2006-12-21 | 2008-06-25 | Gen Electric | An ultra high pressure mercury arc lamp |
| JP2008300243A (en) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Wacom Electric Co Ltd | Method of lighting high pressure discharge lamp |
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1998
- 1998-07-24 JP JP20908398A patent/JP3371813B2/en not_active Expired - Lifetime
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| GB2444977A (en) * | 2006-12-21 | 2008-06-25 | Gen Electric | An ultra high pressure mercury arc lamp |
| JP2008300243A (en) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Wacom Electric Co Ltd | Method of lighting high pressure discharge lamp |
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