JP2000037847A - Screen printer - Google Patents
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- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーム半田等の
ペーストを基板に対してスクリーン印刷するスクリーン
印刷装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a screen printing apparatus for screen-printing a paste such as cream solder on a substrate.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、ステージ上にセットした基板にス
クリーン印刷用のスクリーンマスク(以下、マスクと略
す)を重装し、マスク上に供給したクリーム半田、導電
ペースト、あるいは抵抗ペースト等のペーストをスキー
ジにより拡張させることにより、マスクに形成された開
口部を介して基板の所定位置にペーストを印刷(塗布)
するようにしたスクリーン印刷装置は一般に知られてい
る。2. Description of the Related Art Conventionally, a screen mask for screen printing (hereinafter, abbreviated as a mask) is mounted on a substrate set on a stage, and paste such as cream solder, conductive paste, or resistive paste supplied on the mask is applied. The paste is printed (applied) at a predetermined position on the substrate through an opening formed in the mask by expanding with a squeegee.
Screen printing devices adapted to do so are generally known.
【0003】このような装置において、上記マスクは、
例えばステンレスメタルや真鍮等からなるシートに上記
開口部を形成したマスクシートを有し、このマスクシー
トが所定の張力で枠組みに組付けられることにより構成
されている。そして、印刷するパターン毎に複数種類の
マスクが用意され、これらマスクを基板の種類等に応じ
て使い分けられるようになっている。In such an apparatus, the mask is:
For example, a mask sheet having the above-described opening formed in a sheet made of stainless metal, brass, or the like is provided, and the mask sheet is assembled to a frame with a predetermined tension. Then, a plurality of types of masks are prepared for each pattern to be printed, and these masks can be properly used depending on the type of the substrate and the like.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところが、マスクは、
上記のように枠組みを有しているためスペースや重量が
嵩み易く、保管や取扱いに不便であり、また、段取り替
え作業(すなわちマスクの交換作業)にも労力を有する
という問題がある。そのため、従来から、マスクシート
のみで印刷を行えるようにすることが望まれていた。However, the mask is
Due to the framework as described above, there is a problem that the space and the weight tend to be bulky, which is inconvenient for storage and handling, and that there is also a labor for a setup change operation (that is, a mask replacement operation). Therefore, conventionally, it has been desired that printing can be performed using only a mask sheet.
【0005】しかし、マスクの枠組みは、基板にマスク
シートを重ね合わせたときのマスクシートのたわみを防
止し、マスクシート全体を確実に基板表面に重装させ得
るようにするものであるため、マスクシートのみでのス
クリーン印刷を実用化する場合には、このたわみの問題
を解決する必要がある。[0005] However, the frame of the mask prevents the deflection of the mask sheet when the mask sheet is superimposed on the substrate, and ensures that the entire mask sheet can be overlaid on the substrate surface. When practically using screen printing with only a sheet, it is necessary to solve the problem of the deflection.
【0006】なお、近年では、複数のパターン形成領
域、すなわち上記開口部を形成する領域を横一列に並設
した帯状のマスクシートを設けるとともに、その両端
を、上記ステージを挾んで両側に配設したドラムに巻回
し、該ドラムを回転させながステージ上に所望のパター
ン形成領域を導出して印刷に供するようにしてマスクか
ら枠組みを無くようにした、いわゆるロールスクリーン
マスク型のスクリーン印刷装置が提案されているが(特
開平5−124176号公報)、この装置においてもマ
スクのたわみの問題については解決されていない。In recent years, a band-shaped mask sheet in which a plurality of pattern forming regions, that is, regions in which the openings are formed, is arranged in a horizontal line, and both ends thereof are disposed on both sides of the stage. A so-called roll screen mask type screen printing apparatus is used in which a desired pattern forming area is drawn out on a stage and is used for printing while removing the frame from the mask while rotating the drum. Although proposed (JP-A-5-124176), this apparatus does not solve the problem of mask deflection.
【0007】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、マスクシートのみでの使用を可能と
し、しかも使用中のマスクシートのたわみを有効に防止
することができるスクリーン印刷装置を提供することを
目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and a screen printing apparatus which can be used with only a mask sheet and which can effectively prevent deflection of the mask sheet in use. It is intended to provide.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、基板に重装したマスクシート上にペース
トを供給し、スキージによりペーストを拡張することに
よりマスクシートに形成された所定パターンの開口部を
介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置に
おいて、基板を支持するステージと、マスクシートを脱
着可能に保持するシート保持手段と、基板にマスクシー
トが重装される位置から基板とマスクシートが離間する
位置とにわたって上記ステージとシート保持手段とを相
対的に移動させる可動手段とを設け、上記シート保持手
段を、マスクシートの周縁部分をクランプした状態で保
持するとともに、マスクシートの脱着を可能とする縮小
状態と、マスクシートを少なくともシート面上で二方向
以上の方向に所定張力で張設する拡大状態とに拡縮可能
に構成したものである(請求項1)。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a method in which a paste is supplied onto a mask sheet mounted on a substrate, and the paste is extended by a squeegee to form a predetermined sheet formed on the mask sheet. In a screen printing apparatus for printing a paste on a substrate through an opening of a pattern, a stage for supporting the substrate, sheet holding means for detachably holding a mask sheet, and a substrate from a position where the mask sheet is overlaid on the substrate And a movable unit for relatively moving the stage and the sheet holding unit over a position where the mask sheet is separated from the mask sheet. The holding unit holds the sheet holding unit in a state in which a peripheral edge portion of the mask sheet is clamped. In a reduced state that allows the attachment and detachment of the mask sheet, and the mask sheet is positioned in at least two directions on at least the sheet surface. In an enlarged state stretched by the force it is obtained by configured to be scaled (claim 1).
【0009】この装置によれば、シート保持手段により
マスクシートが保持され、可動手段によりステージとシ
ート保持手段が相対的に移動させられることにより基板
に対してマスクシートが重装される。そして、この状態
でスクリーン印刷が行われる。印刷中は、シート保持手
段が拡大状態とされてマスクシートがシート面上で二方
向以上の方向に張設されることによりマスクシートのた
わみが効果的に防止される。According to this apparatus, the mask sheet is held by the sheet holding means, and the stage and the sheet holding means are relatively moved by the movable means, so that the mask sheet is mounted on the substrate. Then, screen printing is performed in this state. During printing, the sheet holding means is in an enlarged state and the mask sheet is stretched in two or more directions on the sheet surface, so that the deflection of the mask sheet is effectively prevented.
【0010】このような装置において、特に、上記開口
部をそれぞれ形成した複数のパターン形成領域を長手方
向に並設した帯状のマスクシートを有し、このマスクシ
ートの両端がそれぞれ一対のドラムに巻回され、各ドラ
ムの回転に応じて、印刷に供するパターン形成領域を選
択的にドラム間の作業位置に導出するような装置では、
シール保持手段が上記作業位置に導出される各パターン
形成領域の周縁部分を保持するように構成される(請求
項2)。In such an apparatus, in particular, there is provided a strip-shaped mask sheet in which a plurality of pattern forming regions each having the above-mentioned opening formed therein are arranged in the longitudinal direction, and both ends of the mask sheet are wound around a pair of drums. In a device that is rotated and selectively derives a pattern forming area to be used for printing to a work position between drums according to the rotation of each drum,
The seal holding means is configured to hold a peripheral portion of each pattern forming region led to the work position (claim 2).
【0011】この装置によれば、いわゆるロールスクリ
ーンマスク型のスクリーン印刷装置において、マスクシ
ートSのうち特に印刷に供されているパターン形成領域
のたわみを防止することができる。According to this apparatus, in a so-called roll screen mask type screen printing apparatus, it is possible to prevent deflection of a pattern forming area of the mask sheet S which is particularly used for printing.
【0012】このようにする場合に、上記作業位置とそ
の両側のドラムとの間に、ドラムによるマスクシートの
巻取りに伴ってマスクシートに付着したペーストを拭き
取って除去するクリーニング機構を設けておくこと(請
求項3)が好ましい。このようにすれば、印刷後にドラ
ムに巻取られたマスクシートにペーストが残存すること
が避けられ、マスクシートやドラム等がペーストで汚れ
ることが防止される。In this case, a cleaning mechanism for wiping and removing the paste adhered to the mask sheet as the mask sheet is wound by the drum is provided between the work position and the drum on both sides thereof. (Claim 3) is preferred. This prevents the paste from remaining on the mask sheet wound around the drum after printing, and prevents the mask sheet, the drum, and the like from being stained with the paste.
【0013】なお、シート保持手段は、互いに平行に延
びる二組のクランプ部を有した中抜きの四角形状に構成
し、相対向するクランプ部を相対的に接離可能に構成す
ることができる(請求項4)。[0013] The sheet holding means may be formed in a hollow square shape having two sets of clamp portions extending in parallel with each other, so that the opposing clamp portions can be relatively moved toward and away from each other ( Claim 4).
【0014】このようにすれば、マスクシートSはその
周縁部分を四角形状にクランプされ、クランプ部材の移
動に伴いシート面上で直交する二方向に張設されること
となる。そのため、上記シート保持手段を簡単な構成で
得ることが可能となる。In this case, the periphery of the mask sheet S is clamped in a rectangular shape, and the mask sheet S is stretched in two directions orthogonal to each other on the sheet surface as the clamp member moves. Therefore, the sheet holding means can be obtained with a simple configuration.
【0015】また、各クランプ部にマスクシートを挾持
する一対の挾持部材を設けて、これら挾持部材に複数の
ピン部材と該ピン部材の逃げ孔とを相対向して並設し、
クランプ時には、マスクシートのクランプ位置に形成さ
れる貫通孔に上記ピン部材を貫通させた状態でマスクシ
ートを挾持部材により挾持するようにすれば(請求項
5)、シート保持部材によりマスクシートを確実、かつ
強固に保持することが可能となる。Further, a pair of clamping members for clamping the mask sheet are provided in each clamp portion, and a plurality of pin members and relief holes of the pin members are arranged in parallel with each other in these clamping members.
At the time of clamping, the mask sheet is clamped by the clamping member while the pin member is passed through the through hole formed at the clamping position of the mask sheet. , And can be held firmly.
【0016】また、上記シート保持手段は、マスクシー
トを張設する状態でマスクシートに加える張力を調節可
能にし、調節した張力を維持し得るようになっているこ
と(請求項6)が好ましい。このようにすれば、マスク
シートの強度等に応じ、印刷の際のマスクシートの張力
を任意に調整することが可能となる。It is preferable that the sheet holding means be capable of adjusting the tension applied to the mask sheet in a state where the mask sheet is stretched, so that the adjusted tension can be maintained. This makes it possible to arbitrarily adjust the tension of the mask sheet during printing according to the strength of the mask sheet and the like.
【0017】[0017]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を用いて説明する。図1および図2は本発明に係るスク
リーン印刷装置の第1の実施形態を示している。これら
の図に示すように、スクリーン印刷装置の基台1上に
は、プリント基板Wを支持するための印刷ステージ3が
配設されるとともに、印刷ステージ3に対してプリント
基板Wを搬入および搬出のための搬入用コンベア2aお
よび搬出用コンベア2bが印刷ステージ3を挾んで両側
に配置されている。上記印刷ステージ3は、詳しく図示
していないが、基台1上に設けられたX−Yテーブル5
上に昇降回転ユニット4を介して支持されており、これ
により印刷ステージ3のX軸方向(コンベア2a,2b
の方向)、Y軸方向(水平面上でX軸と直交する方
向)、Z軸方向(上下方向)およびθ方向(Z軸まわり
の回転)への移動が可能となっている。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 and 2 show a first embodiment of a screen printing apparatus according to the present invention. As shown in these figures, a printing stage 3 for supporting a printed circuit board W is disposed on a base 1 of a screen printing apparatus, and the printed circuit board W is loaded into and unloaded from the printing stage 3. Conveyor 2a and carry-out conveyor 2b are arranged on both sides of the printing stage 3. Although not shown in detail, the printing stage 3 is an XY table 5 provided on the base 1.
The printing stage 3 is supported on the upper side via a lifting / lowering rotation unit 4, so that the printing stage 3 can be moved in the X-axis direction (the conveyors 2 a and 2 b).
), The Y-axis direction (direction orthogonal to the X-axis on the horizontal plane), the Z-axis direction (up-down direction), and the θ-direction (rotation around the Z-axis).
【0018】上記印刷ステージ3の上方には、マスクシ
ート保持機構10(シート保持手段)が配設されてい
る。Above the printing stage 3, a mask sheet holding mechanism 10 (sheet holding means) is provided.
【0019】マスクシート保持機構10(以下、単に保
持機構10という)は、図1に示すように、平面視で正
方形に形成されたマスクシートSの周縁部をクランプし
た状態で保持するように構成されており、X軸方向の両
端縁部をそれぞれクランプするための一対のクランプ機
構11a,11bと、Y軸方向の両端縁部をそれぞれク
ランプする一対のクランプ機構12a,12bとを備え
ている。As shown in FIG. 1, the mask sheet holding mechanism 10 (hereinafter, simply referred to as a holding mechanism 10) is configured to hold a peripheral edge of a mask sheet S formed in a square shape in plan view in a clamped state. It is provided with a pair of clamp mechanisms 11a and 11b for clamping both edges in the X-axis direction, and a pair of clamp mechanisms 12a and 12b for clamping both edges in the Y-axis direction.
【0020】上記クランプ機構11a,11bは、図1
〜図3に示すように、X軸方向に延びる角筒状のサブフ
レーム14を有し、このフレーム14の内部にマスクシ
ートSを挾持するためのY軸方向に細長の上下一対のホ
ルダ16a,16b(挾持部材)を備えている。The clamp mechanisms 11a and 11b are shown in FIG.
3, a rectangular cylindrical sub-frame 14 extending in the X-axis direction, and a pair of upper and lower holders 16a, which are elongated in the Y-axis direction, for holding the mask sheet S inside the frame 14, are shown. 16b (clamping member).
【0021】これらホルダ16a,16bのうち、上側
のホルダ16aは、フレーム14の天板15aに固定さ
れたエアシリンダ19のロッド先端(下端)に固定さ
れ、下側のホルダ16bはフレーム14の底板15bに
ホルダ16aに対向して固定されている。また、ホルダ
16a,16bのうち、上側のホルダ16aには、マス
クシートSの周縁に形成されるクランプ用の貫通孔に貫
通させるための複数の固定ピン17がY軸方向に一定の
間隔で突設され、下側のホルダ16bには固定ピン17
に対応して逃げ孔18が穿設されている。そして、上記
クランプ機構11a,11bにおいて、上記エアシリン
ダ19のロッドが引き込まれたクランプ機構11a,1
1bの非クランプ状態では、上側のホルダ16aが上昇
位置に保持されて両ホルダ16a,16bが離間した状
態となり、エアシリンダ19のロッドが突出したクラン
プ機構11a,11bのクランプ状態では両ホルダ16
a,16bが互いに圧接して各固定ピン17が逃げ孔1
8に突入するようになっている。Of these holders 16a and 16b, the upper holder 16a is fixed to the rod end (lower end) of an air cylinder 19 fixed to the top plate 15a of the frame 14, and the lower holder 16b is fixed to the bottom plate of the frame 14. 15b is fixed to face the holder 16a. Further, among the holders 16a and 16b, a plurality of fixing pins 17 projecting at regular intervals in the Y-axis direction are formed on the upper holder 16a so as to penetrate through the through holes for clamping formed in the peripheral edge of the mask sheet S. And a fixing pin 17 is provided on the lower holder 16b.
An escape hole 18 is formed in correspondence with. Then, in the clamp mechanisms 11a, 11b, the clamp mechanisms 11a, 1
1b, the upper holder 16a is held at the raised position and the holders 16a and 16b are separated from each other. In the clamped state of the clamp mechanisms 11a and 11b from which the rods of the air cylinder 19 protrude, both holders 16a and 16b are in the clamped state.
a, 16b are pressed against each other and each fixing pin 17
8
【0022】なお、図示を省略するが上記基台1には、
マスクシート保持機構10を支持するためのメインフレ
ーム(図示せず)が設けられており、上記各クランプ機
構11a,11bは、いずれも上記サブフレーム14を
介してこのメインフレームに取付けられている。特に、
搬出用コンベア側のクランプ機構11bについては、サ
ブフレーム14がメインフレームに対してX軸方向に移
動可能に取付けられ、これによりクランプ機構11a,
11bが相対的に接離可能となっている。Although not shown, the base 1 has
A main frame (not shown) for supporting the mask sheet holding mechanism 10 is provided, and each of the clamp mechanisms 11a and 11b is attached to the main frame via the sub-frame 14. In particular,
With respect to the clamp mechanism 11b on the carry-out conveyor side, the sub-frame 14 is mounted movably in the X-axis direction with respect to the main frame, whereby the clamp mechanism 11a,
11b is relatively releasable.
【0023】すなわち、図2に示すように、上記メイン
フレームにY軸方向に延びる支持台20が固定されると
ともに、この支持台20上にX軸方向に延びる一対の固
定レール21が敷設され、この固定レール21にクラン
プ機構11bのフレーム14が移動可能に装着されてい
る。また、支持台20にエアシリンダ22が固定され、
このエアシリンダ22のロッド先端が上記フレーム14
に接続されている。これによりエアシリンダ22の作動
に伴いクランプ機構11bが移動し、各クランプ機構1
1a,11bが接近した位置と離間した位置とに相対的
に変位し得るようになっている。That is, as shown in FIG. 2, a support 20 extending in the Y-axis direction is fixed to the main frame, and a pair of fixed rails 21 extending in the X-axis direction are laid on the support 20. The frame 14 of the clamp mechanism 11b is movably mounted on the fixed rail 21. Further, the air cylinder 22 is fixed to the support base 20,
The rod end of the air cylinder 22 is
It is connected to the. As a result, the clamp mechanism 11b moves with the operation of the air cylinder 22, and each clamp mechanism 1
1a, 11b can be relatively displaced between a position where it approaches and a position where it separates.
【0024】一方、マスクシートSのY軸方向の両端縁
部をそれぞれクランプする上記クランプ機構12a,1
2bも基本的には上記クランプ機構11a,11bと同
様の構成を有している。On the other hand, the clamp mechanisms 12a, 1 for clamping both edges in the Y-axis direction of the mask sheet S, respectively.
2b basically has the same configuration as the clamp mechanisms 11a and 11b.
【0025】各クランプ機構12a,12bは、図1お
よび図4に示すように、X軸方向に延びる板状のサブフ
レーム25を有しており、このサブフレーム25の上方
にサブフレーム25に固定されたエアシリンダ26の作
動により昇降する昇降板27を備えている。As shown in FIGS. 1 and 4, each of the clamp mechanisms 12a and 12b has a plate-shaped sub-frame 25 extending in the X-axis direction, and is fixed to the sub-frame 25 above the sub-frame 25. And an elevating plate 27 which is raised and lowered by the operation of the air cylinder 26.
【0026】昇降板27およびフレーム25の相対向面
には、マスクシートSを挾持するためのX軸方向に細長
のホルダ28a,28b(挾持部材)がそれぞれ固定さ
れており、これらホルダ28a,28bのうち、上側の
ホルダ28aには、マスクシートSの周縁に形成される
クランプ用の貫通孔に貫通させるための複数の固定ピン
29がX軸方向に一定の間隔で突設され、下側のホルダ
28bには固定ピン29に対応して逃げ孔30が穿設さ
れている。そして、上記クランプ機構12a,12bに
おいて、上記エアシリンダ26のロッドが突出したクラ
ンプ機構12a,12bの非クランプ状態では、上側の
ホルダ28aが上昇位置に保持されて両ホルダ28a,
28bが離間した状態となり、エアシリンダ26のロッ
ドが引き込まれたクランプ機構12a,12bのクラン
プ状態では両ホルダ28a,28bが互いに圧接して各
固定ピン29が逃げ孔30に突入するようになってい
る。On the opposing surfaces of the lifting plate 27 and the frame 25, elongated holders 28a and 28b (holding members) in the X-axis direction for holding the mask sheet S are fixed, respectively. Among them, the upper holder 28a is provided with a plurality of fixing pins 29 for penetrating through the through holes for clamping formed in the peripheral edge of the mask sheet S at regular intervals in the X-axis direction. An escape hole 30 is formed in the holder 28b so as to correspond to the fixing pin 29. In the clamp mechanisms 12a and 12b, when the clamp mechanisms 12a and 12b in which the rods of the air cylinder 26 protrude are not clamped, the upper holder 28a is held at the raised position, and the two holders 28a and 12b are held.
When the clamp mechanism 12a, 12b with the rod of the air cylinder 26 retracted is in a clamped state, the holders 28a, 28b are pressed against each other, and the fixing pins 29 project into the relief holes 30. I have.
【0027】各クランプ機構12a,12bは、いずれ
も上記サブフレーム25を介して上記メインフレームに
取付けられているが、一方のクランプ機構12b(図1
では上側のクランプ機構)については、上記フレーム2
5がメインフレームに対してX軸方向に移動可能に取付
けられており、これによりクランプ機構12a,12b
が相対的に接離可能となっている。Each of the clamp mechanisms 12a and 12b is attached to the main frame via the sub-frame 25, but one of the clamp mechanisms 12b (FIG. 1).
In the upper clamp mechanism), the frame 2
5 is attached to the main frame so as to be movable in the X-axis direction, whereby the clamp mechanisms 12a and 12b
Are relatively releasable.
【0028】すなわち、図4に示すように、上記メイン
フレームに支持台31が固定されるとともに、この支持
台31上にY軸方向に延びる一対の固定レール32が敷
設され、この固定レール32にクランプ機構12bのフ
レーム25が移動可能に装着されている。また、支持台
31にエアシリンダ33が固定され、このエアシリンダ
33のロッド先端が上記フレーム25に接続されてい
る。これによりエアシリンダ33の作動に伴いクランプ
機構12bが移動し、各クランプ機構12a,12bが
接近した位置と離間した位置とに相対的に変位し得るよ
うになっている。That is, as shown in FIG. 4, a support base 31 is fixed to the main frame, and a pair of fixed rails 32 extending in the Y-axis direction are laid on the support base 31. The frame 25 of the clamp mechanism 12b is movably mounted. Further, an air cylinder 33 is fixed to the support base 31, and the rod end of the air cylinder 33 is connected to the frame 25. Accordingly, the clamp mechanism 12b moves with the operation of the air cylinder 33, so that the clamp mechanisms 12a and 12b can be relatively displaced between the approached position and the separated position.
【0029】なお、マスクシート保持機構10において
は、上記クランプ機構11a,11bおよびクランプ機
構12a,12bが共に接近位置にあるときにマスクシ
ート保持機構10へのマスクシートSの脱着が可能とな
るように各間隔が設定されている。すなわち、マスクシ
ート保持機構10によるマスクシートSの保持は、上記
のようにマスクシートSの周縁部分に形成された貫通孔
に、上記固定ピン17,29を貫通させて各ホルダ16
a,16bおよび28a,28bによりマスクシートS
を挾持するようなっており、各クランプ機構11a,1
1bおよびクランプ機構12a,12bが共に接近位置
にある状態において各固定ピン17,29とマスクシー
トSの貫通孔とが一致するようになっている。In the mask sheet holding mechanism 10, the mask sheet S can be attached to and detached from the mask sheet holding mechanism 10 when the clamp mechanisms 11a and 11b and the clamp mechanisms 12a and 12b are both in the approaching position. Each interval is set. That is, the holding of the mask sheet S by the mask sheet holding mechanism 10 is performed by passing the fixing pins 17 and 29 through the through holes formed in the peripheral portion of the mask sheet S as described above.
a, 16b and 28a, 28b
Between the clamping mechanisms 11a, 1
The fixing pins 17 and 29 and the through holes of the mask sheet S are aligned with each other when both the clamp mechanism 1b and the clamp mechanisms 12a and 12b are in the approach position.
【0030】また、上記マスクシート保持機構10は、
マスクシートSを張設する状態でマスクシートSに加え
る張力を調節可能にし、調節した張力を維持し得るよう
になっている。具体的には、クランプ機構11b,12
bを移動させるエアシリンダ22,33に対する供給エ
ア圧を調節し得るようにしている。The mask sheet holding mechanism 10 includes:
The tension applied to the mask sheet S in a state where the mask sheet S is stretched can be adjusted, and the adjusted tension can be maintained. Specifically, the clamp mechanisms 11b, 12
The supply air pressure to the air cylinders 22 and 33 for moving b can be adjusted.
【0031】すなわち、図2中に示すように、エアシリ
ンダ22に対するエア回路34には、クランプ機構11
a,11bを接近させる状態とクランプ機構11a,1
1bを離間させる状態とにエアシリンダ22の作動状態
を切換える切換バルブ35が設けられるとともに、エア
シリンダ22に供給するエアの圧力を調節する電空レギ
ュレータ36が設けられている。また、図4中に示すよ
うに、エアシリンダ33に対するエア回路37にも、エ
アシリンダ33の作動状態を切換える切換バルブ38が
設けられるとともに、エアシリンダ33に供給するエア
の圧力を調節する電空レギュレータ39が設けられてい
る。That is, as shown in FIG. 2, the air circuit 34 for the air cylinder 22 includes a clamp mechanism 11.
a, 11b approaching and the clamping mechanism 11a, 1
A switching valve 35 for switching the operation state of the air cylinder 22 between a state in which the air cylinder 1b is separated from the operation state is provided, and an electropneumatic regulator 36 for adjusting the pressure of air supplied to the air cylinder 22 is provided. As shown in FIG. 4, the air circuit 37 for the air cylinder 33 is also provided with a switching valve 38 for switching the operation state of the air cylinder 33, and an electropneumatic device for adjusting the pressure of the air supplied to the air cylinder 33. A regulator 39 is provided.
【0032】そして、上記マスクシートSに加える張力
は、オペレータが図外の入力装置で数値設定することに
より、図外の制御装置で上記電空レギュレータ36,3
9が制御されることで調節されるようになっている。The tension applied to the mask sheet S is numerically set by an operator using an input device (not shown), and the electropneumatic regulators 36 and 3 are provided by a control device (not shown).
9 is controlled to be adjusted.
【0033】上記マスクシート保持機構10の上方に
は、さらにスキージユニット40が移動可能に支持され
ている。Above the mask sheet holding mechanism 10, a squeegee unit 40 is movably supported.
【0034】スキージユニット40には、図2に示すよ
うに、往動時用および復動時用の2つのスキージ41
a,41bがX軸方向に並設されている。これらスキー
ジ41a,41bのうち往動時用のスキージ41a(同
図では左側のスキージ)は搬出用コンベア2bに向かっ
てマスクシートSと鋭角をなすように傾き角度が設定さ
れ、復動時用のスキージ41b(同図では右側のスキー
ジ)は搬入用コンベア2aに向かってマスクシートSと
鋭角をなすように傾き角度が設定されてる。As shown in FIG. 2, the squeegee unit 40 has two squeegees 41 for forward movement and backward movement.
a and 41b are juxtaposed in the X-axis direction. Among the squeegees 41a and 41b, the forward squeegee 41a (the squeegee on the left side in the figure) has an inclination angle set so as to form an acute angle with the mask sheet S toward the carry-out conveyor 2b, and is used for the backward movement. The squeegee 41b (the right squeegee in the figure) is inclined at an acute angle with the mask sheet S toward the carry-in conveyor 2a.
【0035】各スキージ41a,41bは、スキージユ
ニット40のフレーム42にそれぞれ固定されたエアシ
リンダ43a,43bのロッド先端(下端)に取付けら
れており、これらエアシリンダ43a,43bの作動に
よりフレーム42に対して個別に昇降可能に支持されて
いる。The squeegees 41a and 41b are attached to the rod ends (lower ends) of air cylinders 43a and 43b fixed to the frame 42 of the squeegee unit 40, respectively. On the other hand, it is supported so that it can be individually raised and lowered.
【0036】また、図示を省略しているが、スキージユ
ニット40の上記フレーム42は、昇降機構及びX軸方
向への移動機構を介して上記メインフレームに取付けら
れており、上記昇降機構によりスキージユニット40を
昇降させ、上記移動機構によりスキージユニット40を
X軸方向に往復移動させ得るようになっている。そし
て、印刷時には、スキージユニット40がX軸方向に往
復移動されつつ、この往復移動において、往動時には往
動時用のスキージ41aを下降端位置にセットしてこの
スキージ41aによりペーストを拡張させ、復動時には
復動時用のスキージ41bを下降端位置にセットして
(図2に示す状態)、このスキージ41bによりペース
トを拡張させるように構成されている。なお、印刷時に
は、上記昇降機構によりマスクシートSに対するスキー
ジユニット40の高さが調整されることにより各スキー
ジ41a,41bによるマスクシートSに対する圧接力
が調整されるようになっている。Although not shown, the frame 42 of the squeegee unit 40 is attached to the main frame via a lifting mechanism and a moving mechanism in the X-axis direction, and the squeegee unit is moved by the lifting mechanism. The squeegee unit 40 can be reciprocated in the X-axis direction by moving the squeegee unit 40 up and down. Then, at the time of printing, the squeegee unit 40 is reciprocated in the X-axis direction, and during this reciprocation, at the time of forward movement, the squeegee 41a for forward movement is set at the lower end position, and the paste is expanded by the squeegee 41a. At the time of the backward movement, the squeegee 41b for the backward movement is set at the lower end position (the state shown in FIG. 2), and the paste is expanded by the squeegee 41b. During printing, the pressing force of the squeegees 41a and 41b on the mask sheet S is adjusted by adjusting the height of the squeegee unit 40 with respect to the mask sheet S by the lifting mechanism.
【0037】次に、上記スクリーン印刷装置による印刷
動作について作用効果と共に説明する。Next, the printing operation by the screen printing apparatus will be described together with the operation and effect.
【0038】上記のように構成されたスクリーン印刷装
置では、まず、印刷に先立って、マスクシートSを上記
マスクシート保持機構10により保持する準備作業を作
業者の手によって行う。In the screen printing apparatus configured as described above, first, prior to printing, a preparation operation for holding the mask sheet S by the mask sheet holding mechanism 10 is manually performed by an operator.
【0039】準備作業は、まず、エアシリンダ22を作
動させ、例えば、クランプ機構11a,11bを接近位
置にセットするとともに、エアシリンダ33を作動させ
て、クランプ機構12a,12bの間隔を離間位置にセ
ットする。この際、各クランプ機構11a,11b,1
2a、12bはすべて非クランプ状態としておく。In the preparatory work, first, the air cylinder 22 is operated, for example, the clamp mechanisms 11a and 11b are set to the approach position, and the air cylinder 33 is operated to move the clamp mechanisms 12a and 12b to the separated position. set. At this time, each of the clamp mechanisms 11a, 11b, 1
2a and 12b are all in the non-clamp state.
【0040】この状態で、マスクシートSのX軸方向の
両端縁部を各クランプ機構11a,11bの各ホルダ1
6a,16bの間に介装し、その後、エアシリンダ33
を作動させてクランプ機構12a,12bを接近位置に
セットして、マスクシートSのY軸方向の両端縁部をク
ランプ機構12a,12bの各ホルダ28a,28bの
間に介装する。In this state, both edges of the mask sheet S in the X-axis direction are held by the holders 1 of the clamping mechanisms 11a and 11b.
6a, 16b, and then the air cylinder 33
Is operated to set the clamp mechanisms 12a and 12b at the approach position, and the both ends of the mask sheet S in the Y-axis direction are interposed between the holders 28a and 28b of the clamp mechanisms 12a and 12b.
【0041】そして、各クランプ機構11a,11b,
12a、12bをクランプ状態に切替えてマスクシート
保持機構10によりマスクシートSを保持する。この
際、マスクシートSの周縁部分には、上記のように貫通
孔が形成されているので、この貫通孔に各クランプ機構
11a,11b,12a,12bの固定ピン17,29
を貫通させながらマスクシートSをクランプする。Then, each of the clamp mechanisms 11a, 11b,
The mask sheets S are held by the mask sheet holding mechanism 10 by switching 12a and 12b to the clamped state. At this time, since the through hole is formed in the peripheral portion of the mask sheet S as described above, the fixing pins 17, 29 of the clamp mechanisms 11a, 11b, 12a, 12b are formed in the through hole.
The mask sheet S is clamped while passing through.
【0042】次いで、エアシリンダ22,33を作動さ
せ、クランプ機構11a,11bおよび12a,12b
をそれぞれ離間方向に移動させる。すなわち、これによ
りマスクシートSをX軸方向およびY軸方向に張設す
る。Next, the air cylinders 22 and 33 are operated, and the clamp mechanisms 11a and 11b and 12a and 12b
Are moved in the separating directions. That is, the mask sheet S is thereby stretched in the X-axis direction and the Y-axis direction.
【0043】この場合、前述のようにエアシリンダ2
2,33に対するエア回路34,37においてエア圧が
調節可能となっていることにより、マスクシートSの強
度等に応じてオペレータが任意にマスクシートSに加え
る張力を調節することができる。In this case, as described above, the air cylinder 2
Since the air pressure is adjustable in the air circuits 34 and 37 for the mask sheets 2 and 33, the operator can arbitrarily adjust the tension applied to the mask sheet S according to the strength and the like of the mask sheet S.
【0044】以上の準備作業が完了すると、例えば、作
業者が図外の操作パネル上のスイッチを操作することに
より印刷動作が開始される。When the above preparation work is completed, for example, a printing operation is started when an operator operates a switch on an operation panel (not shown).
【0045】印刷動作が開始されると、まず、搬入用コ
ンベア2aにより基板Wが搬送されるととも、印刷ステ
ージ3が、搬入用コンベア側近の所定の基板受渡し位置
に移動し、これにより基板Wがコンベア2から印刷ステ
ージ3上へと受け渡されて、基板Wが印刷ステージ3上
に保持される。When the printing operation is started, first, the substrate W is conveyed by the carry-in conveyor 2a, and the print stage 3 is moved to a predetermined substrate transfer position near the carry-in conveyor, thereby the substrate W Is transferred from the conveyor 2 onto the printing stage 3, and the substrate W is held on the printing stage 3.
【0046】基板Wが受け渡されると、印刷ステージ3
がマスクシートSの下方に移動し、マスクシートSに対
するX、Y、θの各方向の位置決めが行われ、その後、
印刷ステージ3が上昇して基板Wの表面にマスクシート
Sが重装される。この際、マスクシート保持機構10に
よりマスクシートSが張設された状態で保持されている
ことにより、マスクシートSにたわみが生じることがな
く基板Wの全面に対して隙間なくマスクシートSが重装
されることとなる。When the substrate W is delivered, the printing stage 3
Moves below the mask sheet S, and the X, Y, and θ directions are determined with respect to the mask sheet S.
The printing stage 3 is raised, and the mask sheet S is mounted on the surface of the substrate W. At this time, since the mask sheet S is held by the mask sheet holding mechanism 10 in a stretched state, the mask sheet S does not bend, and the mask sheet S Will be mounted.
【0047】基板WにマスクシートSが重装されると、
図外のペースト供給ノズル等によりマスクシートS上に
所定量のペーストが供給されるとともに、スキージユニ
ット40が所定の高さ位置にセットされてX軸方向に往
復移動させれられる。これによりペーストがマスクシー
トS上で拡張されつつ、マスクシートSに形成された開
口部を介して基板Wに印刷されることとなる。この際、
上記のようにスキージユニット40の往動時と復動時と
でスキージ41a,41bが使い分けられることにより
ペーストが効率良く拡張されることとなる。When the mask sheet S is overlaid on the substrate W,
A predetermined amount of paste is supplied onto the mask sheet S by a paste supply nozzle (not shown) or the like, and the squeegee unit 40 is set at a predetermined height and reciprocated in the X-axis direction. Thus, the paste is printed on the substrate W through the openings formed in the mask sheet S while being expanded on the mask sheet S. On this occasion,
As described above, the squeegees 41a and 41b are selectively used for the forward movement and the backward movement of the squeegee unit 40, so that the paste is efficiently expanded.
【0048】こうして基板Wへのペーストの印刷が完了
すると、印刷ステージ3が搬出用コンベア側近の所定の
基板受渡し位置に移動し、これにより基板Wが印刷ステ
ージ3から搬出用コンベア2bへと受け渡されて次工程
へと搬出されることとなる。When the printing of the paste on the substrate W is completed, the printing stage 3 moves to a predetermined substrate delivery position near the unloading conveyor, thereby transferring the substrate W from the printing stage 3 to the unloading conveyor 2b. Then, it is carried out to the next process.
【0049】以上のように上記スクリーン印刷装置で
は、マスクシート保持機構10によりマスクシートSを
張設した状態で保持して印刷に供するようにしているの
で、印刷時にマスクシートSがたわむことがない。従っ
て、上記のようにマスクシートSのみを用いてスクリー
ン印刷を行うようにしながらも、たわみに起因した印刷
ずれ等を確実に回避することができ、基板Wに対して適
切にペーストを印刷することができる。As described above, in the above screen printing apparatus, the mask sheet S is held by the mask sheet holding mechanism 10 in a stretched state and used for printing, so that the mask sheet S does not bend during printing. . Therefore, while performing the screen printing using only the mask sheet S as described above, it is possible to reliably avoid the printing deviation or the like due to the deflection, and to appropriately print the paste on the substrate W. Can be.
【0050】特に、上記マスクシート保持機構10で
は、平面視で正方形に形成されたマスクシートSのX軸
方向に相対向する二辺をクランプ機構11a,11bに
より、Y軸方向に相対向する二辺をクランプ機構12
a,12bによりそれぞれクランプし、この状態で各ク
ランプ機構11a,11bおよびクランプ機構12a,
12bをそれぞれ離間させることによりX軸方向及びY
軸方向に張設するようにしているためたわみがより効果
的に防止される。すなわち、例えば、マスクシートSの
X軸方向にのみマスクシートSを張設することも考えら
れるが、この場合には、例えば、Y軸方向にマスクシー
トSが波打つよう場合がある。しかし、上記のようにマ
スクシートSをX軸方向およびY軸方向に張設すれば、
このような波打ちが発生することがなくマスクシートS
をフラットに保持することができる。次に、本発明に係
るスクリーン印刷装置の第2の実施形態について説明す
る。なお、第2の実施形態のスクリーン印刷装置の基本
構成は第1の実施形態と共通するため、第1の実施形態
の装置と同一の個所については同一符号を付して説明を
省略し、相違点についてのみ詳しく説明する。In particular, in the mask sheet holding mechanism 10, two sides of the mask sheet S formed in a square shape in plan view and opposed to each other in the X axis direction are clamped by the clamping mechanisms 11a and 11b. Edge clamping mechanism 12
a and 12b, respectively, and in this state, the clamp mechanisms 11a and 11b and the clamp mechanisms 12a and
12b are separated from each other so that the X-axis direction and Y
Since it is stretched in the axial direction, deflection is more effectively prevented. That is, for example, it is conceivable to stretch the mask sheet S only in the X-axis direction of the mask sheet S. In this case, for example, the mask sheet S may be wavy in the Y-axis direction. However, if the mask sheet S is stretched in the X-axis direction and the Y-axis direction as described above,
Such waving does not occur and the mask sheet S
Can be held flat. Next, a second embodiment of the screen printing apparatus according to the present invention will be described. Since the basic configuration of the screen printing apparatus according to the second embodiment is common to that of the first embodiment, the same parts as those of the apparatus according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. Only the points will be described in detail.
【0051】図5及び図6は、スクリーン印刷装置の第
2の実施形態を示している。この図に示すスクリーン印
刷装置は、いわゆるロールスクリーンマスク型のスクリ
ーン印刷装置であって、同図に示すようにクランプ機構
11a,11bの両外側(同図では左右両外側)に、帯
状のマスクシートSを巻回した一対のドラム50a,5
0bを備えている。FIG. 5 and FIG. 6 show a second embodiment of the screen printing apparatus. The screen printing apparatus shown in this figure is a so-called roll screen mask type screen printing apparatus. As shown in the figure, a band-shaped mask sheet is provided on both outer sides (left and right outer sides in the figure) of the clamping mechanisms 11a and 11b. A pair of drums 50a, 5 wound with S
0b.
【0052】これらドラム50a,50bのうち搬入用
コンベア側のドラム50aはクランプ機構11aのサブ
フレーム14に回転可能に支持され、このサブフレーム
14に取付けられた駆動モータ52に減速機構51を介
して連結されている。一方、搬出用コンベア側のドラム
50bは上記支持台20に回転可能に支持され、この支
持台20に取付けられた駆動モータ54に減速機構53
を介して連結されている。Of these drums 50a and 50b, the drum 50a on the carry-in conveyor side is rotatably supported by the sub-frame 14 of the clamp mechanism 11a, and is driven by the drive motor 52 attached to this sub-frame 14 via the speed reduction mechanism 51. Are linked. On the other hand, the drum 50b on the unloading conveyor side is rotatably supported by the support table 20, and a drive motor 54 attached to the support table 20 is provided with a reduction mechanism 53.
Are connected via
【0053】上記マスクシートSには、ペースト印刷の
ためのパターン形成領域が長手方向に複数形成されてお
り、これらパターン形成領域が選択的に印刷に用いられ
るようになっている。すなわち、マスクシートSは、図
6に示すように、各クランプ機構11a,11bのホル
ダ16a,16bの間を通って両ドラム50a,50b
に巻架されており、上記モータ52,54の駆動により
一方側のドラムから他方側のドラムに巻き取られつつ、
所定のパターン形成領域が選択的に上記印刷ステージ上
方(作業位置)に導出されるようになっている。A plurality of pattern forming regions for paste printing are formed in the mask sheet S in the longitudinal direction, and these pattern forming regions are selectively used for printing. That is, as shown in FIG. 6, the mask sheet S passes between the holders 16a and 16b of each of the clamp mechanisms 11a and 11b, and the two drums 50a and 50b.
While being wound from one drum to the other drum by the driving of the motors 52 and 54,
A predetermined pattern formation area is selectively led out above the printing stage (work position).
【0054】また、各クランプ機構11a,11bに
は、マスクシートSのクリーニング機構が設けられてい
る。Each of the clamp mechanisms 11a and 11b is provided with a cleaning mechanism for the mask sheet S.
【0055】具体的に説明すると、各クランプ機構11
a,11bには、マスクシートSを挾持するためのY軸
方向に細長の上下一対のクリーニングパッド55a,5
5bが備えられている。これらパッド55a,55b
は、各クランプ機構11a,11bにおいてホルダ16
a,16bとドラム50a(又は50b)との間に配置
されており、上側のパッド55aがフレーム14の天板
15aに固定されたエアシリンダ56のロッド先端(下
端)に固定されてこのエアシリンダ56の作動により昇
降可能とされる一方、下側のパッド55bがフレーム1
4の底板15bに固定されている。そして、上側の各パ
ッド55aがホース57を介してそれぞれ吸引器58に
連結されている。More specifically, each clamp mechanism 11
a and 11b are a pair of upper and lower cleaning pads 55a and 55 which are elongated in the Y-axis direction for holding the mask sheet S.
5b is provided. These pads 55a, 55b
Is the holder 16 in each of the clamp mechanisms 11a and 11b.
a, 16b and the drum 50a (or 50b), and the upper pad 55a is fixed to the rod tip (lower end) of the air cylinder 56 fixed to the top plate 15a of the frame 14, and this air cylinder 56 can be moved up and down by the operation of the lower pad 55b.
4 is fixed to the bottom plate 15b. Each upper pad 55a is connected to a suction device 58 via a hose 57.
【0056】つまり、各クランプ機構11a,11bの
各パッド55a,55bによりマスクシートSを挾持す
ることにより、マスクシートSの巻き取りに伴ってマス
クシートSに付着したペーストを拭き取るとともに、こ
のように拭き取ったペーストをホース57を介して吸引
器58により吸引除去するように上記クリーニング機構
が構成されている。That is, by holding the mask sheet S between the pads 55a and 55b of the clamp mechanisms 11a and 11b, the paste adhered to the mask sheet S is wiped off as the mask sheet S is wound up. The cleaning mechanism is configured so that the wiped paste is suctioned and removed by the suction device 58 via the hose 57.
【0057】なお、この実施形態でもマスクシートSに
加える張力を調節可能とするため、クランプ機構11b
を移動させるエアシリンダ22に対しては、図6に示す
ようにエア回路34に切換バルブ35及び電空レギュレ
ータ36が設けられ、クランプ機構12bを移動させる
エアシリンダ33に対してもエア回路に切換バルブ及び
電空レギュレータ(図4と同様)が設けられている。Incidentally, also in this embodiment, in order to be able to adjust the tension applied to the mask sheet S, the clamping mechanism 11b is used.
As shown in FIG. 6, a switching valve 35 and an electropneumatic regulator 36 are provided in the air circuit 34 for the air cylinder 22 for moving the clamp mechanism 12b, and the air circuit 33 is also switched to the air circuit for the air cylinder 33 for moving the clamp mechanism 12b. A valve and an electropneumatic regulator (similar to FIG. 4) are provided.
【0058】次に、第2の実施形態のスクリーン印刷装
置による印刷動作について作用効果と共に説明する。Next, the printing operation by the screen printing apparatus according to the second embodiment will be described together with the function and effect.
【0059】このスクリーン印刷装置では、準備作業と
して、マスクシートSの所望のパターン形成領域を印刷
ステージ3の上方に導出、保持する作業を行う。In this screen printing apparatus, as a preparatory operation, an operation of drawing out and holding a desired pattern forming area of the mask sheet S above the printing stage 3 is performed.
【0060】準備作業は、まず、エアシリンダ22を作
動させ、例えば、各クランプ機構11a,11bおよび
各クランプ機構12a,12bの間隔をそれぞれ接近位
置にセットする。この際、各クランプ機構11a,11
b,12a、12bはすべて非クランプ状態としてお
き、特に、各クランプ機構12a,12bについては、
各ホルダ28a,28bの間にマスクシートSを介装さ
せておく。In the preparatory work, first, the air cylinder 22 is operated, and for example, the intervals between the respective clamp mechanisms 11a and 11b and the respective clamp mechanisms 12a and 12b are set to the close positions. At this time, each of the clamp mechanisms 11a, 11
b, 12a, and 12b are all set in the non-clamp state. In particular, regarding each of the clamp mechanisms 12a and 12b,
The mask sheet S is interposed between the holders 28a and 28b.
【0061】この状態で、モータ52,53を駆動して
一方側のドラム50a(又は50b)から他方側のドラ
ム50b(又は50a)にマスクシートSを巻き取りつ
つ、所望のパターン形成領域を上記作用位置に配置す
る。In this state, while driving the motors 52 and 53 to take up the mask sheet S from the drum 50a (or 50b) on one side to the drum 50b (or 50a) on the other side, a desired pattern formation area is formed. Place in the working position.
【0062】そして、各クランプ機構11a,11b,
12a、12bをクランプ状態に切替え、これにより各
クランプ機構11a,11bの各ホルダ16a,16b
および各クランプ機構12a,1bの各ホルダ28a,
28bによりマスクシートSの周縁部分をクランプす
る。この際、マスクシートSの各パターン形成領域の周
縁部分には、クランプ用の貫通孔が形成されており、こ
の貫通孔に各クランプ機構11a,11b,12a,1
2bの固定ピン17,29を貫通させながらマスクシー
トSをクランプする。Then, each of the clamp mechanisms 11a, 11b,
12a and 12b are switched to the clamped state, whereby each of the holders 16a and 16b of each of the clamp mechanisms 11a and 11b is switched.
And each holder 28a of each clamping mechanism 12a, 1b,
The peripheral portion of the mask sheet S is clamped by 28b. At this time, a through hole for clamping is formed in a peripheral portion of each pattern forming region of the mask sheet S, and each of the clamp mechanisms 11a, 11b, 12a, 1 is formed in this through hole.
The mask sheet S is clamped while passing the fixing pins 17 and 29 of 2b.
【0063】次いで、エアシリンダ22,33を作動さ
せ、クランプ機構11a,11bおよびクランプ機構1
2a,12bをそれぞれ離間位置にセットする。これに
より印刷に供するパターン形成領域の部分をX軸方向お
よびY軸方向に張設する。Next, the air cylinders 22 and 33 are operated, and the clamp mechanisms 11a and 11b and the clamp mechanism 1 are operated.
2a and 12b are set at the separated positions. As a result, the portion of the pattern forming area to be printed is stretched in the X-axis direction and the Y-axis direction.
【0064】以上の準備作業が完了すると、作業者が図
外の操作パネル上のスイッチを操作し、これにより印刷
動作を開始する。なお、印刷動作については、上記第1
の実施形態のスクリーン印刷装置と同様に行われる。When the above preparatory work is completed, the operator operates a switch on an operation panel (not shown) to start a printing operation. The printing operation is described in the first section.
This is performed in the same manner as in the screen printing device of the embodiment.
【0065】そして、基板Wへのペーストの印刷が完了
すると、印刷ステージ3が搬出用コンベア側近の所定の
所定の基板受渡し位置に移動し、これにより基板Wが印
刷ステージ3から搬出用コンベア2bへと受け渡されて
次工程へと搬出される。When the printing of the paste on the substrate W is completed, the printing stage 3 is moved to a predetermined substrate transfer position near the unloading conveyor, whereby the substrate W is transferred from the printing stage 3 to the unloading conveyor 2b. And carried out to the next process.
【0066】また、このような基板Wの搬出時に、上記
クリーニング機構によるマスクシートSのクリーニング
動作が並行して行われる。すなわち、各クランプ機構1
1a,11bのエアシリンダ56の作動により、パッド
55a,55bによりマスクシートSが挾持されるとと
もに、上記モータ52,54の作動によりマスクシート
Sが一方側のドラム50a(又は50b)から他方側の
ドラム50b(又は50a)に巻き取られる。これによ
りマスクシートSに付着したペーストがパッド55a,
55bにより拭き取られるとともに、このように拭き取
ったペーストがホース57を介して吸引器58により吸
引除去されることとなる。When the substrate W is carried out, the cleaning operation of the mask sheet S by the cleaning mechanism is performed in parallel. That is, each clamp mechanism 1
The mask sheet S is clamped between the pads 55a and 55b by the operation of the air cylinder 56 of 1a and 11b, and the mask sheet S is moved from the one drum 50a (or 50b) to the other by the operation of the motors 52 and 54. It is wound around the drum 50b (or 50a). As a result, the paste adhered to the mask sheet S is removed from the pads 55a,
At the same time, the paste wiped by 55b is removed by suction by the suction device 58 through the hose 57.
【0067】以上のような第2実施形態のスクリーン印
刷装置によれば、印刷時には、マスクシート保持機構1
0により印刷に供すパターン形成領域を張設した状態で
保持するようにしているので、印刷時に該パターン形成
領域の部分においてマスクシートSがたわむことがな
い。従って、ロールスクリーンマスク型のスクリーン印
刷装置においても、たわみに起因した印刷ずれ等を確実
に回避することができ、基板Wに対して適切にペースト
を印刷することができる。According to the screen printing apparatus of the second embodiment as described above, at the time of printing, the mask sheet holding mechanism 1
Since the pattern forming region to be used for printing is held in a stretched state by setting the value of 0, the mask sheet S does not bend in the pattern forming region during printing. Therefore, even in the roll screen mask type screen printing apparatus, it is possible to reliably avoid a printing shift or the like due to the deflection, and to appropriately print the paste on the substrate W.
【0068】ところで、上記第1及び第2の実施形態の
スクリーン印刷装置は、本発明に係るスクリーン印刷装
置の主な例であって、その具体的な構成は本発明の要旨
を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。The screen printing apparatuses according to the first and second embodiments are main examples of the screen printing apparatus according to the present invention, and the specific configuration thereof does not depart from the gist of the present invention. It can be changed as appropriate.
【0069】例えば、各実施形態では、X軸方向の両端
縁部をクランプするクランプ機構11a,11bのうち
一方のクランプ機構11bを移動可能に構成するととも
に、Y軸方向の両端縁部をクランプするクランプ機構1
2a,12bのうち一方のクランプ機構12bを移動可
能に構成しているが、勿論、各クランプ機構11a,1
1bを相互にX軸方向に移動させるようし、また、クラ
ンプ機構12a,12bを相互にY軸方向に移動させる
ように構成してもよい。For example, in each of the embodiments, one of the clamp mechanisms 11a and 11b for clamping both edges in the X-axis direction is configured to be movable, and clamps both edges in the Y-axis direction. Clamp mechanism 1
Although one of the clamp mechanisms 12a is configured to be movable among the clamp mechanisms 11a, 1b.
1b may be moved in the X-axis direction, and the clamp mechanisms 12a and 12b may be moved in the Y-axis direction.
【0070】また、上記実施形態のようにエアシリンダ
を用いてクランプ機構11a等を移動させるように構成
する以外に、例えば、モータを駆動源としたボールねじ
機構を用いてクランプ機構11a等を移動させるように
構成してもい。すなわち、支持台20に固定レールと平
行に延びるボールねじを設け、このボールねじをフレー
ム14の底板15bに螺合させることにより、該ボール
ねじの回転駆動によりクランプ機構11aをX軸方向に
移動させるようにしてもよい。In addition to the configuration in which the clamp mechanism 11a and the like are moved using an air cylinder as in the above embodiment, for example, the clamp mechanism 11a and the like are moved using a ball screw mechanism using a motor as a drive source. It may be configured so as to make it. That is, a ball screw extending in parallel with the fixed rail is provided on the support base 20, and the ball screw is screwed into the bottom plate 15b of the frame 14, whereby the clamp mechanism 11a is moved in the X-axis direction by rotating the ball screw. You may do so.
【0071】また、第1の実施形態では、マスクシート
保持機構10が各クランプ機構11a,11bおよびク
ランプ機構12a,12bを正方形のマスクシートSの
各辺に対応して配置した中抜きの四角形状となっている
が、例えば、八角形のマスクシートSがある場合には、
マスクシートSの各辺に対応してクランプ機構を配置し
た中抜きの八角形状にマスクシート保持機構10を構成
するようにしてもよい。この場合、相対向するクランプ
機構同士を接離可能な構成とすることにより、マスクシ
ートSを3方向に張設するようにしてもよい。すなわ
ち、マスクシート保持機構10によるマスクシートSの
クランプ位置や、マスクシートSの張設方向は、マスク
シートSの具体的形状等を考慮して印刷中のたわみを確
実に防止できるように適宜選定するようにすればよい。In the first embodiment, the mask sheet holding mechanism 10 has a hollow square shape in which the clamp mechanisms 11a and 11b and the clamp mechanisms 12a and 12b are arranged corresponding to each side of the square mask sheet S. However, for example, when there is an octagonal mask sheet S,
The mask sheet holding mechanism 10 may be formed in a hollow octagon in which a clamp mechanism is arranged corresponding to each side of the mask sheet S. In this case, the mask sheet S may be stretched in three directions by making the clamp mechanisms facing each other detachable from each other. That is, the clamping position of the mask sheet S by the mask sheet holding mechanism 10 and the extending direction of the mask sheet S are appropriately selected in consideration of the specific shape and the like of the mask sheet S so as to reliably prevent deflection during printing. What should I do?
【0072】[0072]
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、シート
保持手段によってマスクシートを脱着可能に保持するよ
うにし、印刷時には、可動手段によりステージとシート
保持手段とを相対的に移動させてステージ上に支持した
基板に対してマスクシートを重装するようにするととも
に、シート保持手段を拡大状態としてマスクシートをシ
ート面上で二方向以上の方向に張設するようにしたの
で、印刷中のマスクシートのたわみを有効に防止するこ
とができる。従って、マスクシートのみを用いながら
も、たわみによる印刷ずれ等の発生を防止して、基板に
対して適切にペーストを印刷するすることができる。As described above, according to the present invention, the mask sheet is detachably held by the sheet holding means, and the stage and the sheet holding means are relatively moved by the movable means at the time of printing. Since the mask sheet is overlaid on the substrate supported above, and the sheet holding means is expanded so that the mask sheet is stretched in two or more directions on the sheet surface, the printing is performed during printing. The deflection of the mask sheet can be effectively prevented. Therefore, it is possible to appropriately print the paste on the substrate while using only the mask sheet, while preventing the occurrence of printing deviation or the like due to bending.
【0073】特に、上記開口部をそれぞれ形成した複数
のパターン形成領域を長手方向に並設した帯状のマスク
シートを備え、このマスクシートの両端をそれぞれ一対
のドラムに巻回し、各ドラムの回転に応じて、印刷に供
するパターン形成領域を選択的にドラム間の作業位置に
導出するようにした装置では、作業位置に導出される各
パターン形成領域の周縁部分を保持するようにシート保
持手段を構成するようにすれば、いわゆるロールスクリ
ーンマスク型のスクリーン印刷装置においても、マスク
シートのたわみを効果的に防止することができる。In particular, there is provided a strip-shaped mask sheet in which a plurality of pattern forming regions each having the above-mentioned opening are formed side by side in the longitudinal direction, and both ends of the mask sheet are wound around a pair of drums, respectively. Accordingly, in a device in which a pattern forming area to be provided for printing is selectively derived to a work position between drums, the sheet holding means is configured to hold a peripheral portion of each pattern forming area derived to the work position. By doing so, even in a so-called roll screen mask type screen printing apparatus, the deflection of the mask sheet can be effectively prevented.
【0074】また、シート保持手段を互いに平行な二組
のクランプ部を有した中抜きの四角形状に構成するとと
もに、相対向するクランプ部を相対的に接離可能に構成
するようにすれば、上記シート保持手段を簡単な構成で
得ることが可能となる。Further, if the sheet holding means is formed in a hollow square shape having two sets of clamp portions parallel to each other, and the clamp portions facing each other are configured so as to be relatively close to and separated from each other, The sheet holding means can be obtained with a simple configuration.
【0075】さらに、各クランプ部にマスクシートを挾
持する一対の挾持部材を設けて、これら挾持部材に複数
のピン部材と該ピン部材の逃げ孔とを相対向して並設
し、マスクシートのクランプ位置に形成される貫通孔に
上記ピン部材を貫通させた状態でマスクシートを挾持部
材により挾持するようにすれば、マスクシートを確実、
かつ強固に保持することができる。Further, a pair of clamping members for clamping the mask sheet are provided at each clamp portion, and a plurality of pin members and relief holes of the pin members are arranged side by side on these clamping members so as to face each other. If the mask sheet is clamped by the clamping member with the pin member penetrating through the through hole formed at the clamp position, the mask sheet can be securely held.
And it can be held firmly.
【0076】また、上記シート保持手段によってマスク
シートに加える張力を調節可能にし、調節した張力を維
持し得るようにすれば、マスクシートの強度等に応じて
適度の張力を与えることができる。If the tension applied to the mask sheet can be adjusted by the sheet holding means so that the adjusted tension can be maintained, an appropriate tension can be applied according to the strength of the mask sheet.
【図1】本発明に係るスクリーン印刷装置(第1の実施
の形態)を示す平面略図である。FIG. 1 is a schematic plan view showing a screen printing apparatus (first embodiment) according to the present invention.
【図2】上記スクリーン印刷装置を示す図1のA−A断
面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1 showing the screen printing apparatus.
【図3】スクリーン印刷装置に適用されるクランプ機構
の構成を示す図1のB矢視図である。FIG. 3 is a view on arrow B of FIG. 1 showing a configuration of a clamp mechanism applied to the screen printing apparatus.
【図4】スクリーン印刷装置に適用されるクランプ機構
の構成を示す図1のC−C断面略図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 1 showing a configuration of a clamp mechanism applied to the screen printing apparatus.
【図5】本発明に係るスクリーン印刷装置(第2の実施
の形態)を示す平面略図である。FIG. 5 is a schematic plan view showing a screen printing apparatus (second embodiment) according to the present invention.
【図6】上記スクリーン印刷装置を示す図5のD−D断
面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along line DD of FIG. 5 showing the screen printing apparatus.
1 基台 2 コンベア 3 印刷ステージ 10 マスクシート保持機構 11a,11b クランプ機構 12a,12b クランプ機構 40 スキージユニット S マスクシート W 基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base 2 Conveyor 3 Printing stage 10 Mask sheet holding mechanism 11a, 11b Clamp mechanism 12a, 12b Clamp mechanism 40 Squeegee unit S Mask sheet W Substrate
Claims (6)
トを供給し、スキージによりペーストを拡張することに
より上記マスクシートに形成された所定パターンの開口
部を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装
置において、基板を支持するステージと、マスクシート
を脱着可能に保持するシート保持手段と、基板にマスク
シートが重装される位置から基板とマスクシートが離間
する位置とにわたって上記ステージとシート保持手段と
を相対的に移動させる可動手段とを備え、上記シート保
持手段は、上記マスクシートの周縁部分をクランプした
状態で保持するとともに、上記マスクシートの脱着を可
能とする縮小状態と、マスクシートを少なくともシート
面上で二方向以上の方向に張設する拡大状態とに拡縮可
能に構成されていることを特徴とするスクリーン印刷装
置。1. A screen printing method in which a paste is supplied onto a mask sheet superimposed on a substrate, and the paste is extended by a squeegee to print the paste on the substrate through an opening of a predetermined pattern formed in the mask sheet. A stage for supporting the substrate, a sheet holding unit for detachably holding the mask sheet, and a stage for holding the mask sheet on the substrate and a position for separating the mask sheet from the substrate. And a movable means for relatively moving the mask sheet.The sheet holding means holds the peripheral edge portion of the mask sheet in a clamped state, and allows the mask sheet to be attached and detached in a contracted state. It is configured to be able to expand and contract at least into two or more directions on the seat surface. A screen printing apparatus characterized by the above-mentioned.
ターン形成領域を長手方向に並設した帯状のマスクシー
トを有し、このマスクシートの両端がそれぞれ一対のド
ラムに巻回され、各ドラムの回転に応じて、印刷に供す
るパターン形成領域を選択的にドラム間の作業位置に導
出する装置であって、上記シート保持手段は、上記作業
位置に導出される各パターン形成領域の周縁部分を保持
するように構成されていることを特徴とする請求項1記
載のスクリーン印刷装置。2. A belt-shaped mask sheet in which a plurality of pattern forming regions each having the opening formed therein are arranged in the longitudinal direction, and both ends of the mask sheet are wound around a pair of drums, respectively. An apparatus for selectively leading a pattern forming area to be provided for printing to a work position between drums according to rotation, wherein the sheet holding means holds a peripheral portion of each pattern formation area led to the work position. The screen printing apparatus according to claim 1, wherein the screen printing apparatus is configured to perform the above operation.
に、ドラムによるマスクシートの巻取りに伴ってマスク
シートに付着したペーストを拭き取って除去するクリー
ニング機構が設けられていることを特徴とする請求項2
記載のスクリーン印刷装置。3. A cleaning mechanism is provided between the working position and a drum on both sides of the cleaning position for wiping and removing paste adhered to the mask sheet as the mask sheet is wound by the drum. Claim 2
A screen printing apparatus as described in the above.
びる二組のクランプ部を有した中抜きの四角形状に構成
され、相対向するクランプ部が相対的に接離可能に構成
されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか
に記載のスクリーン印刷装置。4. The sheet holding means is formed in a hollow square shape having two sets of clamp portions extending in parallel with each other, and the opposed clamp portions are configured to be relatively close to and separated from each other. The screen printing apparatus according to claim 1, wherein:
持する一対の挾持部材を有するとともに、これら挾持部
材に複数のピン部材と該ピン部材の逃げ孔とが相対向し
て並設され、クランプ時には、マスクシートのクランプ
位置に形成される貫通孔に上記ピン部材を貫通させた状
態でマスクシートを上記挾持部材により挾持するように
構成されていることを特徴とする請求項4記載のスクリ
ーン印刷装置。5. Each of the clamp portions has a pair of holding members for holding the mask sheet, and a plurality of pin members and relief holes of the pin members are provided in parallel with each other on the holding members. 5. The screen printing method according to claim 4, wherein the mask sheet is clamped by the clamping member while the pin member is passed through a through hole formed at a clamping position of the mask sheet. apparatus.
張設する状態でマスクシートに加える張力を調節可能に
し、調節した張力を維持し得るようになっていることを
特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のスクリー
ン印刷装置。6. The sheet holding means according to claim 1, wherein the tension applied to the mask sheet can be adjusted while the mask sheet is stretched, and the adjusted tension can be maintained. 6. The screen printing apparatus according to any one of 5.
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