JP2000035158A - Heating device for vacuum valve - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、真空バルブの加熱
方法及び装置に関し、特に、正の温度係数を有するＰＴ
Ｃサーミスタを真空バルブの外側又は内側に用いること
により、加熱と温度制御の両方の機能を有し、なだらか
な加熱温度変化及び省線化を達成するための新規な改良
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for heating a vacuum valve, and more particularly to a method for heating a vacuum valve having a positive temperature coefficient.
By using a C thermistor on the outside or inside of a vacuum valve, it has both functions of heating and temperature control, and relates to a novel improvement for achieving smooth heating temperature change and line saving.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、用いられていたこの種の真空バル
ブの加熱方法及び装置としては、特開平８−１３１４９
号公報及び特開平７−１９８０６３号公報に開示されて
いるように、弁箱の外周にシーズヒータ、テープヒー
タ、ジャケットヒータ等のヒータを設置し、弁箱内部は
それらの外部ヒータからの熱伝導による加温方式や積極
的に弁板やベローズ部を加熱するためのヒータを設置
し、温度制御装置に温度制御を行う方法が採用されてい
た。また、弁箱の内部と外部を各々加熱する併用加熱方
法も採用されていた。2. Description of the Related Art Conventionally, a method and an apparatus for heating a vacuum valve of this kind are disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-13149.
And a heater such as a sheath heater, a tape heater, and a jacket heater are installed on the outer periphery of the valve box, and the inside of the valve box conducts heat from these external heaters. And a method of installing a heater for positively heating the valve plate and the bellows portion, and controlling the temperature by a temperature control device. Further, a combined heating method of heating the inside and the outside of the valve box, respectively, has also been adopted.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来の真空バルブの加
熱方法及び装置は、以上のように構成されていたため、
次のような課題が存在していた。 (1)．バルブの外部からの加熱のみの方法では、外部温
度と内部温度に大きな差が生じるため、バルブ内部の弁
板やベローズ部を所望の温度に保持するためには、外部
温度は不必要に高温に保持する必要が生じ、極めて不経
済である。 (2)．従来のバルブ内部の加熱方法では、熱電対等の温
度センサーとヒーターの配線が必要となり、バルブ内部
に導入するには繁雑である。また、ヒーター自体の寿
命、局部過熱による早期断線、温度センサーの信頼性
（検知位置の適正化を含む）等の課題を抱えている。 (3)．一般的にこれらのバルブの加熱保温では、昇温速
度を得るためのヒーター容量と熱収支から必要とされる
ヒーター容量は前者の方が大きいため、何らかの温度制
御を行わないと定温保持は困難である。温度制御方法は
温度の許容値に応じて選択されるが、いずれにしても温
度の検知回路とヒーターのパワー制御の回路は必要とな
る。The conventional method and apparatus for heating a vacuum valve have been configured as described above.
The following issues existed. (1). In the method using only heating from the outside of the valve, there is a large difference between the outside temperature and the inside temperature.Therefore, in order to keep the valve plate and bellows inside the valve at the desired temperature, the outside temperature must be unnecessarily high. It is necessary to keep it, which is extremely uneconomical. (2). The conventional method of heating the inside of a valve requires wiring of a temperature sensor such as a thermocouple and a heater, and it is complicated to introduce the inside of the valve. In addition, there are problems such as the life of the heater itself, early disconnection due to local overheating, and reliability of the temperature sensor (including appropriate detection position). (3). Generally, in heating and keeping these valves, the heater capacity required for obtaining the heating rate and the heater capacity required from the heat balance are larger in the former, so it is difficult to maintain the constant temperature without some kind of temperature control. is there. The temperature control method is selected according to the allowable value of the temperature, but in any case, a temperature detection circuit and a circuit for controlling the power of the heater are required.
【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、正の温度係数を有するＰＴ
Ｃサーミスタを真空バルブの内側が外側の何れかの加熱
に用いることにより、加熱と温度制御の両方の機能を有
し、なだらかな加熱温度変化及び省線化を達成するよう
にした真空バルブの加熱方法及び装置を提供することを
目的とする。[0004] The present invention has been made to solve the above problems, and in particular, a PT having a positive temperature coefficient.
By using the C thermistor for heating either inside or outside of the vacuum valve, it has both heating and temperature control functions, and heats the vacuum valve so as to achieve gentle heating temperature change and line saving. It is an object to provide a method and an apparatus.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明による真空バルブ
の加熱方法は、エア入口とエア出口をＬ型に配置した弁
箱と、前記弁箱の外周に形成された第１ヒータと、前記
エア出口を開閉するための弁体と、前記弁体を加熱する
ための第２ヒータとを用いて前記弁箱及び弁体を加熱す
る真空バルブの加熱方法において、前記第１、第２ヒー
タの何れかは正の温度係数を有するＰＴＣサーミスタを
用いる方法であり、また、エア入口とエア出口をＬ型に
配置した弁箱と、前記弁箱の外周に形成された第１ヒー
タと、前記エア出口を開閉するための弁体と、前記弁体
を加熱するための第２ヒータとを用いて前記弁箱及び弁
体を加熱する真空バルブの加熱装置において、前記第
１、第２ヒータの何れかは正の温度係数を有するＰＴＣ
サーミスタよりなる構成であり、また、前記第１ヒータ
は１対の直列接続された第１、第２ヒータ部よりなり、
前記第２ヒータは前記ＰＴＣサーミスタよりなると共に
前記第１ヒータ部と並列に接続され、前記第１、第２ヒ
ータは並直列回路をなす構成であり、さらに、前記第１
ヒータと第２ヒータは、直列接続された直列回路よりな
る構成である。According to the present invention, there is provided a method for heating a vacuum valve, comprising: a valve box having an air inlet and an air outlet arranged in an L-shape; a first heater formed on the outer periphery of the valve box; In a method for heating a valve box and a valve body using a valve body for opening and closing an outlet and a second heater for heating the valve body, any one of the first and second heaters may be used. Is a method using a PTC thermistor having a positive temperature coefficient, a valve box having an air inlet and an air outlet arranged in an L shape, a first heater formed on the outer periphery of the valve box, and an air outlet. A heating element for heating the valve box and the valve element using a valve element for opening and closing the valve element and a second heater for heating the valve element, wherein any one of the first and second heaters is used. Is a positive temperature coefficient PTC
The first heater comprises a pair of first and second heater units connected in series,
The second heater includes the PTC thermistor and is connected in parallel with the first heater unit. The first and second heaters are configured to form a parallel series circuit.
The heater and the second heater are configured by a series circuit connected in series.
【０００６】[0006]
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による真
空バルブの加熱方法及び装置の好適な実施の形態につい
て説明する。図１及び図２は、本発明による真空バルブ
の加熱装置を示すものであり、符号１で示されるもの
は、エア入口２及びエア出口３をＬ型に配置した弁箱で
あり、この弁箱１の外周には周知のラバーヒータ及びシ
ーズヒータ等の従来から用いられている汎用のヒータか
らなる第１ヒータ４が設けられている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a method and an apparatus for heating a vacuum valve according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIGS. 1 and 2 show a vacuum valve heating device according to the present invention. A device denoted by reference numeral 1 is an L-shaped valve box in which an air inlet 2 and an air outlet 3 are arranged. A first heater 4 including a generally used general-purpose heater such as a known rubber heater and a sheathed heater is provided on the outer periphery of the first heater 4.
【０００７】前記弁箱１の上部の天板１Ａにはエアシリ
ンダ５が設けられており、このエアシリンダ５のピスト
ン６に設けられたピストンロッド７の下部には円板状の
弁板８が設けられ、この弁板８のＯリング９を有するシ
ール面８ａは前記エア出口３をシールすることができる
ように構成されている。前記天板１Ａと前記弁板８間に
は、伸縮可能な輪状のベローズ１０がピストンロッド７
の外周位置にこれと同軸状に設けられ、大気側のエアシ
リンダ５側と弁箱１の真空側とがこのベローズ１０によ
って分離されている。An air cylinder 5 is provided on a top plate 1A above the valve box 1. A disc-shaped valve plate 8 is provided below a piston rod 7 provided on a piston 6 of the air cylinder 5. The sealing surface 8 a having the O-ring 9 of the valve plate 8 is provided so that the air outlet 3 can be sealed. Between the top plate 1A and the valve plate 8, an expandable and contractible ring-shaped bellows 10 is provided.
The bellows 10 separates the air cylinder 5 side on the atmosphere side and the vacuum side of the valve box 1 from each other at the outer peripheral position of the bellows.
【０００８】前記弁板８からピストンロッド７の外周に
沿って輪状に設けられた保持体１１の外周には第２ヒー
タ１２が設けられており、この第２ヒータ１２に給電す
るためのリード線１３は天板１Ａの軸部１Ｂの外周を経
て弁箱１の外部に導出されている。従って、図３に示す
電源２０側と真空バルブ２１との間に接続されるリード
線としては、前記リード線１３の他に第１ヒータ４に接
続されたリード線１４の２本のみとなる。さらに、前記
エアシリンダ５の第１弁５Ａ及び第２弁５Ｂから選択的
にエアを給排気することにより、ピストン６及びピスト
ンロッド７を介して弁板９の軸方向移動を行い、エア出
口３の開閉弁動作を行うことができるように構成されて
いる。A second heater 12 is provided on the outer periphery of a holding body 11 provided in a ring shape from the valve plate 8 along the outer periphery of the piston rod 7, and a lead wire for supplying power to the second heater 12 is provided. Reference numeral 13 is led out of the valve box 1 via the outer periphery of the shaft portion 1B of the top plate 1A. Therefore, as the lead wires connected between the power supply 20 side and the vacuum valve 21 shown in FIG. 3, there are only two lead wires 14 connected to the first heater 4 in addition to the lead wire 13. Further, by selectively supplying and discharging air from the first valve 5A and the second valve 5B of the air cylinder 5, the valve plate 9 is axially moved via the piston 6 and the piston rod 7, and the air outlet 3 is provided. The opening / closing valve operation can be performed.
【０００９】前記第２ヒータ１２は、周知の正の温度係
数を有するＰＴＣサーミスタ（ポジティブ・テンペラチ
ャー・コエフィシェント・サーミスタ）よりなり、チタ
ン酸バリウムを主成分とした酸化物半導体セラミックス
で構成されている。このＰＴＣサーミスタは、図５で示
されるように、電気抵抗がある温度（キュリー温度）か
ら急激に増加する性質を有しており、このキュリー温度
に達するまではジュール熱によって発熱作用を有し、ヒ
ータとしての作用を有している。このキュリー温度を越
えると、急激に抵抗値が増大し、電流が減少に転じるた
め、制御回路等を用いることなく自己温調制御作用を備
えている。The second heater 12 is made of a well-known PTC thermistor (positive temperature co-efficient thermistor) having a positive temperature coefficient, and is made of an oxide semiconductor ceramic containing barium titanate as a main component. . As shown in FIG. 5, the PTC thermistor has a property that the electric resistance increases sharply from a certain temperature (Curie temperature), and has a heating action by Joule heat until the Curie temperature is reached. It has an action as a heater. When the temperature exceeds the Curie temperature, the resistance value sharply increases, and the current starts to decrease. Therefore, a self-temperature control operation is provided without using a control circuit or the like.
【００１０】前記第１ヒータ４及び第２ヒータ１２は、
図４で示されるように、第１ヒータ４が１対の直列接続
の第１、第２ヒータ部４ａ，４ｂよりなり、第１ヒータ
部に対して第２ヒータ１２が並列接続されていることに
より、並直列回路を構成し、全体の抵抗Ｒは、図６で示
されるように、Ｒ＝（Ｒ2Ｒ3／Ｒ2＋Ｒ3）＋Ｒ1である
ため、Ｒ2≫Ｒ3の時はＲ≒Ｒ3＋Ｒ1となり、キュリー温
度に到達後、真空バルブ２１の外側と内側はなだらかな
温度変化となる。The first heater 4 and the second heater 12 are
As shown in FIG. 4, the first heater 4 includes a pair of first and second heater sections 4a and 4b connected in series, and the second heater 12 is connected in parallel to the first heater section. As a result, as shown in FIG. 6, the total resistance R is R = (R 2 R 3 / R 2 + R 3 ) + R 1 , so that when R 2 ≫R 3 R ≒ R 3 + R 1 , and after reaching the Curie temperature, the outside and inside of the vacuum valve 21 undergo gentle temperature changes.
【００１１】また、図７に示される構成は、第１、第２
ヒータ４，１２を直列接続した直列回路で構成し、全体
の抵抗Ｒは、Ｒ＝Ｒ1＋Ｒ2であり、Ｒ2≫Ｒ1の時にＲ≒
Ｒ2となる。なお、前述の形態においては第２ヒータ１
２をＰＴＣサーミスタとして場合について述べたが、第
１ヒータ４をＰＴＣサーミスタとし、第２ヒータを従来
のシーズヒータ等とした場合も同様の作用効果が得られ
る。なお、前述の形態以外に、第１、第２ヒータ４，１
２共に前記ＰＴＣサーミスタとすることもできる。[0011] The configuration shown in FIG.
The heaters 4 and 12 are configured in a series circuit in which the heaters 4 and 12 are connected in series. The total resistance R is R = R 1 + R 2 , and when R 2 ≫R 1 , R ≒
R 2 . In the above-described embodiment, the second heater 1
Although the case where PTC thermistor 2 is used has been described, the same effect can be obtained when the first heater 4 is a PTC thermistor and the second heater is a conventional sheathed heater or the like. Note that, other than the above-described embodiment, the first and second heaters 4, 1
2 can also be the PTC thermistor.
【００１２】[0012]
【発明の効果】本発明による真空バルブの加熱方法及び
装置は、以上のように構成されているため、次のような
効果を得ることができる。すなわち、真空バルブの外側
又は内側（弁板側）の何れか一方のヒータをＰＴＣサー
ミスタで構成しているため、このＰＴＣサーミスタの正
の温度特性によって従来のヒータ制御装置を用いること
なく自動的に温調を行うことができ、外部から内部へ接
続する配線数も少なくて済み、省線化を達成することが
できる。また、ＰＴＣサーミスタの温度特性のみで電源
のオン／オフと同じ作用を行っているため、従来のよう
にオン／オフを行うためのスイッチング用の接点等が不
要であり、前述の省線化と共に信頼性を向上させること
ができる。The method and the apparatus for heating a vacuum valve according to the present invention are configured as described above, and the following effects can be obtained. That is, since either the outside or inside (valve plate side) heater of the vacuum valve is constituted by the PTC thermistor, the positive temperature characteristic of the PTC thermistor automatically makes it possible without using a conventional heater control device. Temperature control can be performed, the number of wires connected from the outside to the inside can be reduced, and wire saving can be achieved. In addition, since the same operation as turning on / off the power is performed only by the temperature characteristic of the PTC thermistor, a switching contact or the like for turning on / off as in the related art is unnecessary, and the above-described line saving and Reliability can be improved.
【図１】本発明による真空バルブの加熱装置を示す断面
図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a vacuum valve heating device according to the present invention.
【図２】図１の外観図である。FIG. 2 is an external view of FIG.
【図３】図１の真空バルブと電源を接続した状態を示す
構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram showing a state in which a power supply is connected to the vacuum valve of FIG. 1;
【図４】図１の各ヒータの並直列回路図である。FIG. 4 is a parallel series circuit diagram of each heater of FIG. 1;
【図５】図１のＰＴＣサーミスタの温度−抵抗値特性図
である。FIG. 5 is a temperature-resistance characteristic diagram of the PTC thermistor of FIG. 1;
【図６】図１のＰＴＣサーミスタの並直列回路の温度−
抵抗値特性図である。FIG. 6 shows a temperature of a parallel series circuit of the PTC thermistor of FIG. 1;
FIG. 4 is a resistance characteristic diagram.
【図７】図４の他の形態を示す直列回路図である。FIG. 7 is a series circuit diagram showing another embodiment of FIG. 4;
【図８】図７の直列回路の温度−抵抗値特性図である。FIG. 8 is a temperature-resistance characteristic diagram of the series circuit of FIG. 7;
１ 弁箱 ２ エア入口 ３ エア出口 ４ 第１ヒータ ８ 弁体 １２ 第２ヒータ ４ａ，４ｂ 第１、第２ヒータ部 Reference Signs List 1 valve box 2 air inlet 3 air outlet 4 first heater 8 valve body 12 second heater 4a, 4b first and second heater parts
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成１１年５月２１日（１９９９．５．２
１）[Submission date] May 21, 1999 (1999.5.2
1)
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】全文[Correction target item name] Full text
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【書類名】 明細書[Document Name] Statement
【発明の名称】 真空バルブの加熱装置[Title of the Invention] Vacuum valve heating device
【特許請求の範囲】[Claims]
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、真空バルブの加熱
装置に関し、特に、正の温度係数を有するＰＴＣサーミ
スタを真空バルブの外側又は内側に用いることにより、
加熱と温度制御の両方の機能を有し、なだらかな加熱温
度変化及び省線化を達成するための新規な改良に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heating device for a vacuum valve, and more particularly, to a device for heating a PTC thermistor having a positive temperature coefficient outside or inside a vacuum valve.
The present invention relates to a novel improvement having both heating and temperature control functions and achieving gentle heating temperature change and line saving.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、用いられていたこの種の真空バル
ブの加熱装置としては、特開平８−１３１４９号公報及
び特開平７−１９８０６３号公報に開示されているよう
に、弁箱の外周にシーズヒータ、テープヒータ、ジャケ
ットヒータ等のヒータを設置し、弁箱内部はそれらの外
部ヒータからの熱伝導による加温方式や積極的に弁板や
ベローズ部を加熱するためのヒータを設置し、温度制御
装置で温度制御を行う方法が採用されていた。また、弁
箱の内部と外部を各々加熱する併用加熱方法も採用され
ていた。2. Description of the Related Art Conventionally, a heating device for a vacuum valve of this type has been used as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 8-13149 and 7-198063. A heater such as a sheath heater, a tape heater, and a jacket heater is installed, and the inside of the valve box is provided with a heating method by heat conduction from those external heaters and a heater for actively heating the valve plate and the bellows portion, A method of performing temperature control by a temperature control device has been adopted. Further, a combined heating method of heating the inside and the outside of the valve box, respectively, has also been adopted.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来の真空バルブの加
熱装置は、以上のように構成されていたため、次のよう
な課題が存在していた。 (1)．バルブの外部からの加熱のみの方法では、外部温
度と内部温度に大きな差が生じるため、バルブ内部の弁
板やベローズ部を所望の温度に保持するためには、外部
温度は不必要に高温に保持する必要が生じ、極めて不経
済である。 (2)．従来のバルブ内部の加熱方法では、熱電対等の温
度センサーとヒーターの配線が必要となり、バルブ内部
に導入するには繁雑である。また、ヒーター自体の寿
命、局部過熱による早期断線、温度センサーの信頼性
（検知位置の適正化を含む）等の課題を抱えている。 (3)．一般的にこれらのバルブの加熱保温では、昇温速
度を得るためのヒーター容量と熱収支から必要とされる
ヒーター容量は前者の方が大きいため、何らかの温度制
御を行わないと定温保持は困難である。温度制御方法は
温度の許容値に応じて選択されるが、いずれにしても温
度の検知回路とヒーターのパワー制御の回路は必要とな
る。Since the conventional vacuum valve heating device is configured as described above, there are the following problems. (1). In the method using only heating from the outside of the valve, there is a large difference between the outside temperature and the inside temperature.Therefore, in order to keep the valve plate and bellows inside the valve at the desired temperature, the outside temperature must be unnecessarily high. It is necessary to keep it, which is extremely uneconomical. (2). The conventional method of heating the inside of a valve requires wiring of a temperature sensor such as a thermocouple and a heater, and it is complicated to introduce the inside of the valve. In addition, there are problems such as the life of the heater itself, early disconnection due to local overheating, and reliability of the temperature sensor (including appropriate detection position). (3). Generally, in heating and keeping these valves, the heater capacity required for obtaining the heating rate and the heater capacity required from the heat balance are larger in the former, so it is difficult to maintain the constant temperature without some kind of temperature control. is there. The temperature control method is selected according to the allowable value of the temperature, but in any case, a temperature detection circuit and a circuit for controlling the power of the heater are required.
【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、正の温度係数を有するＰＴ
Ｃサーミスタを真空バルブの内側又は外側の何れかの加
熱に用いることにより、加熱と温度制御の両方の機能を
有し、なだらかな加熱温度変化及び省線化を達成するよ
うにした真空バルブの加熱装置を提供することを目的と
する。[0004] The present invention has been made to solve the above problems, and in particular, a PT having a positive temperature coefficient.
By using the C thermistor for heating either inside or outside the vacuum valve, it has functions of both heating and temperature control, and heats the vacuum valve so as to achieve gentle heating temperature change and line saving. It is intended to provide a device.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明による真空バルブ
の加熱装置は、エア入口とエア出口をＬ型に配置した弁
箱と、前記弁箱の外周に形成された第１ヒータと、前記
エア出口を開閉するための弁体と、前記弁体を加熱する
ための第２ヒータとを用いて前記弁箱及び弁体を加熱す
る真空バルブの加熱装置において、前記第１、第２ヒー
タの何れかは正の温度係数を有するＰＴＣサーミスタよ
りなり、前記第１ヒータは１対の直列接続された第１、
第２ヒータ部よりなり、前記第２ヒータは前記ＰＴＣサ
ーミスタよりなると共に前記第１ヒータ部と並列に接続
され、前記第１、第２ヒータは並直列回路をなす構成で
あり、さらに、前記第１ヒータと第２ヒータは、直列接
続された直列回路よりなる構成である。According to the present invention, there is provided a vacuum valve heating apparatus comprising: a valve box having an air inlet and an air outlet arranged in an L shape; a first heater formed on the outer periphery of the valve box; In a vacuum valve heating device for heating the valve box and the valve body using a valve body for opening and closing an outlet and a second heater for heating the valve body, any one of the first and second heaters The first heater is a PTC thermistor having a positive temperature coefficient, and the first heater is a pair of first and second series-connected heaters.
A second heater section, wherein the second heater is formed of the PTC thermistor and connected in parallel with the first heater section, wherein the first and second heaters form a parallel series circuit; The first heater and the second heater are configured by a series circuit connected in series.
【０００６】[0006]
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による真
空バルブの加熱装置の好適な実施の形態について説明す
る。図１及び図２は、本発明による真空バルブの加熱装
置を示すものであり、符号１で示されるものは、エア入
口２及びエア出口３をＬ型に配置した弁箱であり、この
弁箱１の外周には周知のラバーヒータ及びシーズヒータ
等の従来から用いられている汎用のヒータからなる第１
ヒータ４が設けられている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIGS. 1 and 2 show a vacuum valve heating device according to the present invention. A device denoted by reference numeral 1 is an L-shaped valve box in which an air inlet 2 and an air outlet 3 are arranged. The outer periphery of the first unit 1 is composed of a conventional general-purpose heater such as a rubber heater and a sheath heater.
A heater 4 is provided.
【０００７】前記弁箱１の上部の天板１Ａにはエアシリ
ンダ５が設けられており、このエアシリンダ５のピスト
ン６に設けられたピストンロッド７の下部には円板状の
弁板８が設けられ、この弁板８のＯリング９を有するシ
ール面８ａは前記エア出口３をシールすることができる
ように構成されている。前記天板１Ａと前記弁板８間に
は、伸縮可能な輪状のベローズ１０がピストンロッド７
の外周位置にこれと同軸状に設けられ、大気側のエアシ
リンダ５側と弁箱１の真空側とがこのベローズ１０によ
って分離されている。An air cylinder 5 is provided on a top plate 1A above the valve box 1. A disc-shaped valve plate 8 is provided below a piston rod 7 provided on a piston 6 of the air cylinder 5. The sealing surface 8 a having the O-ring 9 of the valve plate 8 is provided so that the air outlet 3 can be sealed. Between the top plate 1A and the valve plate 8, an expandable and contractible ring-shaped bellows 10 is provided.
The bellows 10 separates the air cylinder 5 side on the atmosphere side and the vacuum side of the valve box 1 from each other at the outer peripheral position of the bellows.
【０００８】前記弁板８からピストンロッド７の外周に
沿って輪状に設けられた保持体１１の外周には第２ヒー
タ１２が設けられており、この第２ヒータ１２に給電す
るためのリード線１３は天板１Ａの軸部１Ｂの外周を経
て弁箱１の外部に導出されている。従って、図３に示す
電源２０側と真空バルブ２１との間に接続されるリード
線としては、前記リード線１３の他に第１ヒータ４に接
続されたリード線１４の２本のみとなる。さらに、前記
エアシリンダ５の第１弁５Ａ及び第２弁５Ｂから選択的
にエアを給排気することにより、ピストン６及びピスト
ンロッド７を介して弁板９の軸方向移動を行い、エア出
口３の開閉弁動作を行うことができるように構成されて
いる。A second heater 12 is provided on the outer periphery of a holding body 11 provided in a ring shape from the valve plate 8 along the outer periphery of the piston rod 7, and a lead wire for supplying power to the second heater 12 is provided. Reference numeral 13 is led out of the valve box 1 via the outer periphery of the shaft portion 1B of the top plate 1A. Therefore, as the lead wires connected between the power supply 20 side and the vacuum valve 21 shown in FIG. 3, there are only two lead wires 14 connected to the first heater 4 in addition to the lead wire 13. Further, by selectively supplying and discharging air from the first valve 5A and the second valve 5B of the air cylinder 5, the valve plate 9 is axially moved via the piston 6 and the piston rod 7, and the air outlet 3 is provided. The opening / closing valve operation can be performed.
【０００９】前記第２ヒータ１２は、周知の正の温度係
数を有するＰＴＣサーミスタ（ポジティブ・テンペラチ
ャー・コエフィシェント・サーミスタ）よりなり、チタ
ン酸バリウムを主成分とした酸化物半導体セラミックス
で構成されている。このＰＴＣサーミスタは、図５で示
されるように、電気抵抗がある温度（キュリー温度）か
ら急激に増加する性質を有しており、このキュリー温度
に達するまではジュール熱によって発熱作用を有し、ヒ
ータとしての作用を有している。このキュリー温度を越
えると、急激に抵抗値が増大し、電流が減少に転じるた
め、制御回路等を用いることなく自己温調制御作用を備
えている。The second heater 12 is made of a well-known PTC thermistor (positive temperature co-efficient thermistor) having a positive temperature coefficient, and is made of an oxide semiconductor ceramic containing barium titanate as a main component. . As shown in FIG. 5, the PTC thermistor has a property that the electric resistance increases sharply from a certain temperature (Curie temperature), and has a heating action by Joule heat until the Curie temperature is reached. It has an action as a heater. When the temperature exceeds the Curie temperature, the resistance value sharply increases, and the current starts to decrease. Therefore, a self-temperature control operation is provided without using a control circuit or the like.
【００１０】前記第１ヒータ４及び第２ヒータ１２は、
図４で示されるように、第１ヒータ４が１対の直列接続
の第１、第２ヒータ部４ａ，４ｂよりなり、第１ヒータ
部に対して第２ヒータ１２が並列接続されていることに
より、並直列回路を構成し、全体の抵抗Ｒは、図６で示
されるように、Ｒ＝（Ｒ２Ｒ３／Ｒ２＋Ｒ３）＋Ｒ１で
あるため、Ｒ２≫Ｒ３の時はＲ≒Ｒ３＋Ｒ１となり、キ
ュリー温度に到達後、真空バルブ２１の外側と内側はな
だらかな温度変化となる。The first heater 4 and the second heater 12 are
As shown in FIG. 4, the first heater 4 includes a pair of first and second heater sections 4a and 4b connected in series, and the second heater 12 is connected in parallel to the first heater section. As shown in FIG. 6, the total resistance R is R = (R2R3 / R2 + R3) + R1, so that when R2≫R3, R ≒ R3 + R1 and the Curie temperature is reached. Thereafter, the outside and inside of the vacuum valve 21 undergo a gentle temperature change.
【００１１】また、図７に示される構成は、第１、第２
ヒータ４，１２を直列接続した直列回路で構成し、全体
の抵抗Ｒは、Ｒ＝Ｒ１＋Ｒ２であり、Ｒ２≫Ｒ１の時に
Ｒ≒Ｒ２となる。なお、前述の形態においては第２ヒー
タ１２をＰＴＣサーミスタとして場合について述べた
が、第１ヒータ４をＰＴＣサーミスタとし、第２ヒータ
を従来のシーズヒータ等とした場合も同様の作用効果が
得られる。なお、前述の形態以外に、第１、第２ヒータ
４，１２共に前記ＰＴＣサーミスタとすることもでき
る。[0011] The configuration shown in FIG.
The heaters 4 and 12 are composed of a series circuit in which the heaters 4 and 12 are connected in series. The total resistance R is R = R1 + R2, and R 時 に R2 when R2≫R1. In the above-described embodiment, the case where the second heater 12 is a PTC thermistor has been described. However, similar effects can be obtained when the first heater 4 is a PTC thermistor and the second heater is a conventional sheathed heater or the like. . In addition to the above-described embodiment, both the first and second heaters 4 and 12 may be the PTC thermistors.
【００１２】[0012]
【発明の効果】本発明による真空バルブの加熱装置は、
以上のように構成されているため、次のような効果を得
ることができる。すなわち、真空バルブの外側又は内側
（弁板側）の何れか一方のヒータをＰＴＣサーミスタで
構成しているため、このＰＴＣサーミスタの正の温度特
性によって従来のヒータ制御装置を用いることなく自動
的に温調を行うことができ、外部から内部へ接続する配
線数も少なくて済み、省線化を達成することができる。
また、ＰＴＣサーミスタの温度特性のみで電源のオン／
オフと同じ作用を行っているため、従来のようにオン／
オフを行うためのスイッチング用の接点等が不要であ
り、前述の省線化と共に信頼性を向上させることができ
る。The heating device for a vacuum valve according to the present invention
With the above configuration, the following effects can be obtained. That is, since either the outside or inside (valve plate side) heater of the vacuum valve is constituted by the PTC thermistor, the positive temperature characteristic of the PTC thermistor automatically makes it possible without using a conventional heater control device. Temperature control can be performed, the number of wires connected from the outside to the inside can be reduced, and wire saving can be achieved.
Also, the power supply is turned on / off only by the temperature characteristics of the PTC thermistor.
Performs the same function as off, so
A switching contact or the like for turning off is not required, and the above-described line saving and reliability can be improved.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】本発明による真空バルブの加熱装置を示す断面
図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a vacuum valve heating device according to the present invention.
【図２】図１の外観図である。FIG. 2 is an external view of FIG.
【図３】図１の真空バルブと電源を接続した状態を示す
構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram showing a state in which a power supply is connected to the vacuum valve of FIG. 1;
【図４】図１の各ヒータの並直列回路図である。FIG. 4 is a parallel series circuit diagram of each heater of FIG. 1;
【図５】図１のＰＴＣサーミスタの温度−抵抗値特性図
である。FIG. 5 is a temperature-resistance characteristic diagram of the PTC thermistor of FIG. 1;
【図６】図１のＰＴＣサーミスタの並直列回路の温度−
抵抗値特性図である。FIG. 6 shows a temperature of a parallel series circuit of the PTC thermistor of FIG. 1;
FIG. 4 is a resistance characteristic diagram.
【図７】図４の他の形態を示す直列回路図である。FIG. 7 is a series circuit diagram showing another embodiment of FIG. 4;
【図８】図７の直列回路の温度−抵抗値特性図である。FIG. 8 is a temperature-resistance characteristic diagram of the series circuit of FIG. 7;
【符号の説明】 １ 弁箱 ２ エア入口 ３ エア出口 ４ 第１ヒータ ８ 弁体 １２ 第２ヒータ ４ａ，４ｂ 第１、第２ヒータ部[Description of Signs] 1 valve box 2 air inlet 3 air outlet 4 first heater 8 valve body 12 second heater 4a, 4b first and second heater sections
Claims (4)
した弁箱(1)と、前記弁箱(1)の外周に形成された第１ヒ
ータ(4)と、前記エア出口(3)を開閉するための弁体(8)
と、前記弁体(8)を加熱するための第２ヒータ(12)とを
用いて前記弁箱(1)及び弁体(8)を加熱する真空バルブの
加熱方法において、前記第１、第２ヒータ(4,12)の何れ
かは正の温度係数を有するＰＴＣサーミスタを用いるこ
とを特徴とする真空バルブの加熱方法。1. A valve box (1) having an air inlet (2) and an air outlet (3) arranged in an L-shape, a first heater (4) formed on the outer periphery of the valve box (1), Valve (8) for opening and closing the air outlet (3)
And a method of heating the valve box (1) and the valve element (8) using a second heater (12) for heating the valve element (8). A method for heating a vacuum valve, characterized in that one of the two heaters (4, 12) uses a PTC thermistor having a positive temperature coefficient.
した弁箱(1)と、前記弁箱(1)の外周に形成された第１ヒ
ータ(4)と、前記エア出口(3)を開閉するための弁体(8)
と、前記弁体(8)を加熱するための第２ヒータ(12)とを
用いて前記弁箱(1)及び弁体(8)を加熱する真空バルブの
加熱装置において、前記第１、第２ヒータ(4,12)の何れ
かは正の温度係数を有するＰＴＣサーミスタよりなるこ
とを特徴とする真空バルブの加熱装置。2. A valve box (1) having an air inlet (2) and an air outlet (3) arranged in an L-shape, a first heater (4) formed on the outer periphery of the valve box (1), Valve (8) for opening and closing the air outlet (3)
And a vacuum valve heating device for heating the valve box (1) and the valve element (8) using a second heater (12) for heating the valve element (8), A heating device for a vacuum valve, characterized in that one of the two heaters (4, 12) comprises a PTC thermistor having a positive temperature coefficient.
れた第１、第２ヒータ部(4a,4b)よりなり、前記第２ヒ
ータ(12)は前記ＰＴＣサーミスタよりなると共に前記第
１ヒータ部(4a)と並列に接続され、前記第１、第２ヒー
タ(4,12)は並直列回路を構成したことを特徴とする請求
項２記載の真空バルブの加熱装置。3. The first heater (4) comprises a pair of first and second heater sections (4a, 4b) connected in series, and the second heater (12) comprises the PTC thermistor. 3. The heating device for a vacuum valve according to claim 2, wherein the first and second heaters (4, 12) are connected in parallel with the first heater section (4a), and form a parallel series circuit.
は、直列接続された直列回路よりなることを特徴とする
請求項２記載の真空バルブの加熱装置。4. The first heater (4) and the second heater (12).
The heating device for a vacuum valve according to claim 2, wherein the heating device comprises a series circuit connected in series.
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| JP10206563A JP3012831B2 (en) | 1998-07-22 | 1998-07-22 | Vacuum valve heating device |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN1328525C (en) * | 2002-11-07 | 2007-07-25 | Smc株式会社 | Poppet valve with heater |
| CN104879502A (en) * | 2015-04-28 | 2015-09-02 | 成都无极真空科技有限公司 | Temperature-resistant, pressure-proof and high-vacuum valve |
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