JP2000015040A - Gas separation membrane - Google Patents

Gas separation membrane

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JP2000015040A
JP2000015040A JP10201306A JP20130698A JP2000015040A JP 2000015040 A JP2000015040 A JP 2000015040A JP 10201306 A JP10201306 A JP 10201306A JP 20130698 A JP20130698 A JP 20130698A JP 2000015040 A JP2000015040 A JP 2000015040A
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gas
gas separation
separation
separation membrane
nitrogen
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Japanese (ja)
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Soi Cho
祖依 張
Hajime Wakabayashi
肇 若林
Yoshinori Tanigami
嘉規 谷上
Akio Konishi
明男 小西
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Nihon Yamamura Glass Co Ltd
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Nihon Yamamura Glass Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas separation membrane for separating oxygen from nitrogen or carbon dioxide from nitrogen and usable in environments requiring high heat resistance. SOLUTION: An independent membrane containing polysiloxane, which consists of network composing units having a formula: RnSiO(4-n)/2 (wherein R is selected from methyl, ethyl, n propyl, isopropyl, phenyl, and vinyl; n satisfies 0.5<=n<=1.5) and repeatedly bound as to form a three-dimensional mesh structure, and having 10 μm or thicker thickness is used as this gas separation membrane.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ゾル−ゲル法を用
いて得られた独立膜からなる混合ガスの分離用対称性分
離膜に関し、特に耐熱性を要求される環境で使用され
る、空気の酸素富化用の酸素/窒素分離膜及び二酸化炭
素/窒素分離膜に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a symmetrical separation membrane for separating a mixed gas composed of independent membranes obtained by a sol-gel method, and more particularly to an air separation membrane used in an environment where heat resistance is required. Oxygen / nitrogen separation membrane and carbon dioxide / nitrogen separation membrane for oxygen enrichment.

【0002】従来、排気ガス中の窒素酸化物の低減が環
境問題への対応として重要視され、高純度酸素や酸素富
化ガスが燃焼に使用されるようになってきた。また、医
療分野でも、酸素富化などの技術が求められている。酸
素濃度35%までの富化においては、膜分離法が最も経
済的であると言われている。また、環境問題の観点から
排気ガス中の二酸化炭素の回収や貯蔵などの技術が求め
られている。そこで、高分離性能を有する二酸化炭素/
窒素分離膜が必要になっている。
[0002] Conventionally, reduction of nitrogen oxides in exhaust gas has been regarded as important as a measure against environmental problems, and high-purity oxygen and oxygen-enriched gas have been used for combustion. Also, in the medical field, technologies such as oxygen enrichment are required. For enrichment up to an oxygen concentration of 35%, the membrane separation method is said to be the most economical. Also, from the viewpoint of environmental issues, there is a need for a technique for collecting and storing carbon dioxide in exhaust gas. Therefore, carbon dioxide with high separation performance
A nitrogen separation membrane is needed.

【0003】分離膜としては、通常多孔質基材に分離機
能を有する薄膜をコートした、いわゆる非対称性膜が検
討され一部実用化されている。これまでに、有機高分子
膜、シリコーン膜及びこれらの複合膜が検討されてき
た。ポリジメチルシロキサン(シリコーンゴム)では酸
素ガスの透過係数は高いが、酸素と窒素の分離係数が2
であり、十分ではない。他方、有機高分子膜では分離係
数は高いが、酸素の透過係数が低いという欠点がある。
また、有機高分子は膜形成能力に優れるが、シリコーン
ゴムは膜形成が難しいと言われている。さらに有機高分
子膜は、耐熱性に劣るという欠点があり、耐熱性が要求
される環境での使用は困難である。
As a separation membrane, a so-called asymmetric membrane in which a porous substrate is generally coated with a thin film having a separation function has been studied and partially put to practical use. Until now, organic polymer films, silicone films and composite films thereof have been studied. Polydimethylsiloxane (silicone rubber) has a high permeability coefficient of oxygen gas, but has a separation coefficient of 2 between oxygen and nitrogen.
Is not enough. On the other hand, the organic polymer membrane has a disadvantage that the separation coefficient is high but the oxygen permeability coefficient is low.
Further, it is said that organic polymers are excellent in film-forming ability, but silicone rubber is difficult to form a film. Further, the organic polymer film has a drawback of poor heat resistance, and is difficult to use in an environment where heat resistance is required.

【0004】そこで、ポリオルガノシロキサンと種々の
有機高分子の共重合体が検討されている(例えば、特開
昭54−40868号公報)。また、透過速度を高くす
るために膜厚を薄くする試みとして液表面に膜を展開さ
せ、これを多孔質支持体に積層して高透過速度の分離膜
を得る方法が検討されている(例えば、特開昭61−6
8106号公報)。
Therefore, copolymers of polyorganosiloxane and various organic polymers have been studied (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 54-40868). In addition, as an attempt to reduce the film thickness in order to increase the permeation speed, a method of developing a membrane on the liquid surface, laminating this on a porous support, and obtaining a separation membrane with a high permeation speed has been studied (for example, JP-A-61-6
No. 8106).

【0005】また、特開昭56−26508号公報には
架橋構造を有するポリオルガノシロキサンと直鎖状ポリ
オルガノシロキサンとの共重合体を主成分とする選択性
気体透過膜が開示されている。また、特開平7−213
877号公報には二酸化炭素/窒素分離用の無機キセロ
ゲルの非対称性分離膜が開示されている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-26508 discloses a selective gas permeable membrane containing a copolymer of a polyorganosiloxane having a crosslinked structure and a linear polyorganosiloxane as a main component. Also, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-213
No. 877 discloses an asymmetric separation membrane of inorganic xerogel for carbon dioxide / nitrogen separation.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の有機ポリマ
ーが含まれている分離膜は、無機−有機複合体とはいっ
ても耐熱性は十分ではない。特に、温度の高い環境下で
使用できる高性能の分離膜はまだ開発されていない。従
って、発達した無機ネットワークを持ち、しかも分離特
性が良好な完全無機ネットワークを持つ分離膜が望まれ
ていた。また、非対称性分離膜の形成においては多孔質
基材の欠陥に由来するピンホール発生の問題がある。こ
れを解決するために膜厚を上げるとクラックの発生や反
りの問題が生じる。さらに特開平7−213877号公
報に開示されている無機キセロゲル膜では、表面OH基
がかなり残存しているため、水分の影響が大きいという
欠点がある。従って、ピンホールがなく、しかも機械的
強度及び耐熱性に優れ、かつ表面OH基の少ない対称性
分離膜が望まれていた。
The separation membrane containing the above-mentioned conventional organic polymer has insufficient heat resistance even though it is an inorganic-organic composite. In particular, a high-performance separation membrane that can be used in a high-temperature environment has not yet been developed. Therefore, a separation membrane having a developed inorganic network and a perfect inorganic network having good separation characteristics has been desired. Further, in the formation of the asymmetric separation membrane, there is a problem of generation of pinholes derived from defects in the porous substrate. If the film thickness is increased to solve this problem, problems such as cracks and warpage occur. Further, the inorganic xerogel film disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-213877 has a disadvantage that the surface OH groups are considerably left, so that the influence of moisture is large. Therefore, a symmetric separation membrane having no pinholes, having excellent mechanical strength and heat resistance, and having few surface OH groups has been desired.

【0007】そこで、本発明はピンホールの無いポリシ
ロキサンネットワークを有する無機高分子からなるOH
基の少ない安定な対称性分離膜を開発し、高い酸素及び
二酸化炭素透過係数と高分離係数を両立させることを課
題とする。
Accordingly, the present invention provides an OH comprising an inorganic polymer having a polysiloxane network having no pinhole.
It is an object of the present invention to develop a stable symmetric separation membrane having a small number of groups and to achieve both a high oxygen and carbon dioxide permeability coefficient and a high separation coefficient.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記の課題
を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、特定組成のポリシ
ロキサンを含む10μm以上の膜厚を有する独立膜をガ
ス分離膜として用いると、ピンホールがなく、且つ高い
分離特性を有することを見出し、この知見に基づいて本
発明を完成するに至った。更にこれらの膜を使用したガ
ス分離法に見出した。既に、本発明者らは水溶液上或い
は基材上に無機高分子膜を製造する方法を発明している
(特開平9−77509号公報、特開平9−30971
7号公報)。本発明は上記本発明者らの発明により作製
された独立膜を酸素と窒素の分離又は二酸化炭素と窒素
の分離に適用しようとするものである。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have made intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, have used an independent membrane having a thickness of 10 μm or more containing a polysiloxane of a specific composition as a gas separation membrane. With no pinholes and high separation characteristics, the present invention was completed based on this finding. Further, they have found a gas separation method using these membranes. The present inventors have already invented a method for producing an inorganic polymer film on an aqueous solution or a substrate (JP-A-9-77509, JP-A-9-30971).
No. 7). The present invention intends to apply the independent membrane produced according to the invention of the present inventors to separation of oxygen and nitrogen or separation of carbon dioxide and nitrogen.

【0009】[0009]

【発明実施の形態】本発明は、式:Rn SiO(4-n)/2
(0.5≦n≦1.5)(Rはメチル基、エチル基、n
−プロピル基、イソプロピル基、フェニル基、ビニル基
から選ばれる有機基)で示されるネットワーク構成単位
が三次元網目構造を形成するように反復結合しているポ
リシロキサンを含む10μm以上の膜厚を有する独立膜
からなるガス分離膜である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention has the formula: R n SiO (4-n) / 2
(0.5 ≦ n ≦ 1.5) (R is a methyl group, an ethyl group, n
-A propyl group, an isopropyl group, a phenyl group, and an organic group selected from a vinyl group) having a film thickness of 10 μm or more containing polysiloxane that is repeatedly bonded to form a three-dimensional network structure. It is a gas separation membrane composed of an independent membrane.

【0010】Rn SiO(4-n)/2 (0.5≦n≦1.
5)においてn≧0.5としたのは、nが0.5未満で
あると独立膜の膜厚を10μm以上にするのが困難にな
るためである。n≦1.5としたのは、nが1.5を越
えると三次元網目構造が形成し難くなり、機械的強度が
劣るためである。また、nの値は0.8≦n≦1.4で
あることが更に好ましい。n≧0.8とすることにより
乾燥段階においてゲル中の歪みがより確実に緩和でき、
厚膜を得るのがより容易になる。n≦1.4とすること
により、より機械的性質に優れた材料が得られる。換言
すればSiO2 を構成単位とする架橋シリカポリマー
と、R2 SiOを構成単位とするポリオルガノシロキサ
ンエラストマーとの中間の性質を有する。本発明のガス
分離膜は酸素、二酸化炭素共に110℃で2×10-12
cc・cm・cm-2・s-1・Pa-1以上の透過係数を持
つことが好ましい。110℃における透過係数が2×1
-12cc・cm・cm-2・s-1・Pa-1未満であると
大面積の分離膜が必要になり、経済的に不利になる。ま
た、分離係数(酸素/窒素)は2以上、分離係数(二酸
化炭素/窒素)は4以上であることが好ましい。分離係
数がそれぞれ2未満及び4未満であると、高濃度の所望
のガスを得るには多くの工程が必要になり、実用的では
ない。
R n SiO (4-n) / 2 (0.5 ≦ n ≦ 1.
The reason why n ≧ 0.5 in 5) is that if n is less than 0.5, it becomes difficult to make the thickness of the independent film 10 μm or more. The reason for setting n ≦ 1.5 is that if n exceeds 1.5, it is difficult to form a three-dimensional network structure and mechanical strength is poor. Further, the value of n is more preferably 0.8 ≦ n ≦ 1.4. By setting n ≧ 0.8, the strain in the gel can be more reliably reduced in the drying stage,
It becomes easier to obtain a thick film. By setting n ≦ 1.4, a material having more excellent mechanical properties can be obtained. In other words, it has an intermediate property between a crosslinked silica polymer having SiO 2 as a constitutional unit and a polyorganosiloxane elastomer having R 2 SiO as a constitutional unit. In the gas separation membrane of the present invention, both oxygen and carbon dioxide are 2 × 10 −12 at 110 ° C.
It preferably has a transmission coefficient of cc · cm · cm −2 · s −1 · Pa −1 or more. 2 × 1 transmission coefficient at 110 ° C.
If it is less than 0 -12 cc · cm · cm −2 · s −1 · Pa −1 , a large-area separation membrane is required, which is economically disadvantageous. The separation coefficient (oxygen / nitrogen) is preferably 2 or more, and the separation coefficient (carbon dioxide / nitrogen) is preferably 4 or more. If the separation factor is less than 2 and less than 4, respectively, many steps are required to obtain a high concentration of the desired gas, which is not practical.

【0011】本発明のガス分離膜の製造において、原料
としてテトラエトキシシラン(TEOS)、テトラメト
キシシラン(TMOS)等のテトラアルコキシシラン、
メチルトリメトキシシラン(MTMS)、メチルトリエ
トキシシラン(MTES)、エチルトリメトキシシラン
(ETMS)、フェニルトリエトキシシラン(PhTE
S)、ビニルトリエトキシシラン(VTES)、n−プ
ロピルトリメトキシシラン(n−PrTMS)、イソプ
ロピルトリメトキシシラン(iso−PrTMS)等の
トリアルコキシシラン、ジメチルジエトキシシラン(D
MDE)、ジフェニルジメトキシシラン(DPhDM)
等のジアルコキシシランの混合物を用いることができ
る。また、トリアルコキシシランを単独で用いても良
い。さらに材料の機械的性質を改善するために、固形分
換算で50重量%以下のシリカ、アルミナ、ジルコニ
ア、ゼオライト等を添加することもできる。これらの成
分は、分散媒をアルコール等としたオルガノゾルとして
添加すれば良い。アルミナ、ジルコニアはアルコキシド
を出発原料として添加しても良い。
In the production of the gas separation membrane of the present invention, tetraalkoxysilanes such as tetraethoxysilane (TEOS) and tetramethoxysilane (TMOS) are used as raw materials.
Methyltrimethoxysilane (MTMS), methyltriethoxysilane (MTES), ethyltrimethoxysilane (ETMS), phenyltriethoxysilane (PhTE
S), trialkoxysilanes such as vinyltriethoxysilane (VTES), n-propyltrimethoxysilane (n-PrTMS), and isopropyltrimethoxysilane (iso-PrTMS); dimethyldiethoxysilane (D
MDE), diphenyldimethoxysilane (DPhDM)
And the like. Further, trialkoxysilane may be used alone. Further, in order to improve the mechanical properties of the material, silica, alumina, zirconia, zeolite or the like can be added in an amount of 50% by weight or less in terms of solid content. These components may be added as an organosol in which the dispersion medium is alcohol or the like. Alumina and zirconia may be added with an alkoxide as a starting material.

【0012】上記原料に1.4≦H2 O/Si≦4.0
(モル比)となるように水を添加し、加水分解・重縮合
反応を行うことが好ましい。H2 O/Si<1.4(モ
ル比)では未反応のアルコキシ基が残り、材料強度が劣
化する恐れがある。逆に、H2 O/Si>4.0(モル
比)ではオルガノアルコキシシランが多量に含まれる場
合特に分相が起こりやすく、均一な材料が得られ難くな
る。水の添加量は1.4≦H2 O/Si≦2.5(モル
比)とするのが更に好ましい。
[0012] The above raw materials are given as follows: 1.4 ≦ H 2 O / Si ≦ 4.0
(Molar ratio), it is preferable to add water so as to carry out a hydrolysis / polycondensation reaction. If H 2 O / Si <1.4 (molar ratio), unreacted alkoxy groups remain, and the material strength may be degraded. Conversely, when H 2 O / Si> 4.0 (molar ratio), when the organoalkoxysilane is contained in a large amount, phase separation is particularly likely to occur, making it difficult to obtain a uniform material. More preferably, the amount of water added is 1.4 ≦ H 2 O / Si ≦ 2.5 (molar ratio).

【0013】反応溶液のpHは反応溶液調製直後の初期
値で7.0以下が好ましい。pH>7.0の条件では、
所望の反応が進行し難い。反応の進行を速めるため酸触
媒を添加し、反応溶液の初期pHを5.0以下とするの
が更に好ましい。使用する酸触媒は特に限定されず、硝
酸、塩酸等の無機酸触媒、酢酸等の有機酸触媒が常法に
従って使用される。
The pH of the reaction solution is preferably 7.0 or less as an initial value immediately after preparation of the reaction solution. Under the condition of pH> 7.0,
The desired reaction hardly proceeds. More preferably, an acid catalyst is added to accelerate the progress of the reaction, and the initial pH of the reaction solution is adjusted to 5.0 or less. The acid catalyst to be used is not particularly limited, and an inorganic acid catalyst such as nitric acid and hydrochloric acid and an organic acid catalyst such as acetic acid are used according to a conventional method.

【0014】また、特に原料に多量のメチルトリアルコ
キシシランを用いる場合には、結晶の析出を抑制するた
めに特開平8−165114号公報に記載したように、
この原料に可溶の金属キレート化合物を添加することが
好ましい。上記条件を満たす金属キレート化合物として
は、β−ジケトン類(1,3−ジオキソプロピレン鎖を
有する化合物)の金属キレートおよび大環状ポリエーテ
ル化合物金属キレート等が挙げられる。
Further, particularly when a large amount of methyltrialkoxysilane is used as a raw material, as described in JP-A-8-165114,
It is preferable to add a soluble metal chelate compound to this raw material. Examples of the metal chelate compound satisfying the above conditions include metal chelates of β-diketones (compounds having a 1,3-dioxopropylene chain) and metal chelates of macrocyclic polyether compounds.

【0015】金属イオンの種類は特に限定されないが、
配位子との錯体生成定数の大きいものを選ぶ必要があ
る。具体的な例として、トリス(アセチルアセトナト)
アルミニウム(III )、トリス(エチルアセトアセタ
ト)アルミニウム(III )、トリス(ジエチルマロナ
ト)アルミニウム(III )、ビス(アセチルアセトナ
ト)銅(II)、テトラキス(アセチルアセトナト)ジル
コニウム(IV)、トリス(アセチルアセトナト)クロム
(III )、トリス(アセチルアセトナト)コバルト(II
I )、及び酸化チタン(II)アセチルアセトネート〔C
3 COCHCOCH32 TiO〕等のβ−ジケトン
類金属キレート、希土類金属のβ−ジケトン類金属キレ
ート、18−クラウン−6−カリウムキレート化合物
塩、12−クラウン−4−リチウムキレート化合物塩、
15−クラウン−5−ナトリウムキレート化合物塩等の
大環状ポリエーテル化合物金属キレート等の金属キレー
トを挙げることができる。
The type of metal ion is not particularly limited,
It is necessary to select one having a large complex formation constant with the ligand. As a specific example, tris (acetylacetonato)
Aluminum (III), tris (ethylacetoacetato) aluminum (III), tris (diethylmalonato) aluminum (III), bis (acetylacetonato) copper (II), tetrakis (acetylacetonato) zirconium (IV), Tris (acetylacetonato) chromium (III), tris (acetylacetonato) cobalt (II)
I) and titanium (II) oxide acetylacetonate [C
Β-diketone metal chelates such as H 3 COCHCOCH 3 ) 2 TiO], β-diketone metal chelates of rare earth metals, 18-crown-6-potassium chelate compound salts, 12-crown-4-lithium chelate compound salts,
Metal chelates such as metal chelates of macrocyclic polyether compounds such as 15-crown-5-sodium chelate compound salts.

【0016】添加量に関しては、その効果に応じてメチ
ルトリアルコキシシランに対して0.001〜5モル%
の範囲で添加するのが好ましい。0.001モル%より
少ない場合は、結晶析出抑制効果が得られ難い。逆に5
モル%より多く添加するとキレート化合物が析出した
り、膜の性質に影響を及ぼす恐れがある。このような金
属キレート化合物は反応系へ配位子成分と金属成分を別
々に添加し、その場でキレート化しても良い。金属キレ
ート化合物の添加量は、メチルトリアルコキシシランに
対して0.01〜1モル%とするのがより好ましい。
The amount of addition is from 0.001 to 5 mol% based on methyltrialkoxysilane depending on the effect.
It is preferable to add in the range. If the amount is less than 0.001 mol%, it is difficult to obtain the effect of suppressing crystal precipitation. Conversely 5
If more than mol% is added, there is a possibility that a chelate compound is precipitated or the properties of the film are affected. For such a metal chelate compound, a ligand component and a metal component may be separately added to the reaction system and chelated in situ. The addition amount of the metal chelate compound is more preferably 0.01 to 1 mol% based on methyltrialkoxysilane.

【0017】上記のキレート化合物は重縮合反応を制御
し、反応初期に線状ポリマーが生成しやすくなるので、
沈殿生成が起こらない。この結果、膜の形成に有利に働
く。メチルトリアルコキシシランを出発原料に含まない
場合にはキレート化合物を添加しなくても沈殿は生成し
ないが、膜の形成を容易にするために、同様に上記キレ
ート化合物を添加することが好ましい。
The above-mentioned chelate compound controls the polycondensation reaction and makes it easier to form a linear polymer at the beginning of the reaction.
No precipitation occurs. As a result, it works advantageously for the formation of a film. When methyltrialkoxysilane is not included in the starting material, no precipitate is formed even if the chelate compound is not added. However, in order to facilitate formation of a film, it is preferable to similarly add the above chelate compound.

【0018】また、原料に多量のテトラアルコキシシラ
ンを用いる場合には、均一なゾルを得るため溶媒として
アルコールを添加する方が好ましい。
When a large amount of tetraalkoxysilane is used as a raw material, it is preferable to add an alcohol as a solvent in order to obtain a uniform sol.

【0019】膜の製造方法として、公知のシート成形に
使用されている種々の成形法が適用できる。基材はゲル
膜との剥離性が良いものであれば使用できる。例えば、
ゲル膜に含まれるシラノール基と非結合性の有機材料即
ちカルボニル基、イミド基及びシアノ基などの官能基を
含まない有機材料によって、または該有機材料によって
表面を被覆されたガラス、プラスチック及び金属によっ
て、好ましくは形成された基材を用いる。基材の表面が
ゾル中のシラノール基と水素結合し得るような材料例え
ば金属酸化物、ポリメタクリル酸メチル等から形成され
ている場合には、目的の膜の剥離が困難になる恐れがあ
る。この点から、用いられる有機材料としては、ポリエ
チレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリテトラフ
ルオロエチレン、シリコーン、ポリ塩化ビニル等が好ま
しい。
As a method for producing a film, various known molding methods used for sheet molding can be applied. The substrate can be used as long as it has good releasability from the gel film. For example,
By an organic material which is not bonded to a silanol group contained in the gel film, that is, an organic material which does not have a functional group such as a carbonyl group, an imide group and a cyano group, or a glass, plastic or metal whose surface is coated with the organic material , Preferably a formed substrate. If the surface of the substrate is formed of a material capable of hydrogen bonding with a silanol group in the sol, for example, a metal oxide, polymethyl methacrylate, or the like, it may be difficult to peel off the target film. From this point, as the organic material to be used, polyethylene, polypropylene, polystyrene, polytetrafluoroethylene, silicone, polyvinyl chloride and the like are preferable.

【0020】膜厚調整はエアーナイフ、バーコーター、
ドクターブレード、メータリングロール及びドクターロ
ール等を用いて行うことができ、10〜250μmの膜
厚のものを容易に得ることができる。この製造条件下、
ピンホールが発生することなく、均一且つ平滑なシート
が得られる。
The film thickness is adjusted by an air knife, a bar coater,
It can be performed using a doctor blade, a metering roll, a doctor roll, or the like, and a film having a thickness of 10 to 250 μm can be easily obtained. Under these manufacturing conditions,
A uniform and smooth sheet can be obtained without generating pinholes.

【0021】膜中のシラノール基の重縮合を促進するた
めに熱処理を行うことが好ましい。膜中に多くのシラノ
ールが残存する場合、空気中の水分を吸着し、分離特性
が不安定になるという問題が生じる。膜の熱処理温度を
100℃以上特に120〜250℃にすることにより、
膜中に残存するシラノールの量が減少するため空気中の
水分の影響を受け難くなり、安定な分離特性が得られ
る。
It is preferable to perform a heat treatment to promote the polycondensation of silanol groups in the film. When a large amount of silanol remains in the membrane, a problem arises in that moisture in the air is adsorbed and the separation characteristics become unstable. By setting the heat treatment temperature of the film to 100 ° C. or more, particularly 120 to 250 ° C.,
Since the amount of silanol remaining in the membrane is reduced, it is less affected by moisture in the air, and stable separation characteristics can be obtained.

【0022】本発明の分離膜を用いるガス分離法は、4
0〜300℃の温度で行うことが好ましい。40℃未満
では酸素と窒素及び二酸化炭素と窒素の分離係数はあま
り変わらないが、ガスの透過速度が低いため、全体の分
離機能が低くなる。逆に、温度が300℃を越えると、
シロキサン膜中の有機基の分解が徐々に起こり、膜の劣
化が生じる。本発明の分離膜を用いる混合ガス分離法
は、100〜250℃の温度で行うことが更に好まし
い。
The gas separation method using the separation membrane according to the present invention comprises:
It is preferable to carry out at a temperature of 0 to 300 ° C. When the temperature is lower than 40 ° C., the separation coefficients of oxygen and nitrogen and carbon dioxide and nitrogen do not change much. Conversely, if the temperature exceeds 300 ° C,
Organic groups in the siloxane film are gradually decomposed, and the film is deteriorated. The mixed gas separation method using the separation membrane of the present invention is more preferably performed at a temperature of 100 to 250 ° C.

【0023】本発明の分離膜を用いるガス分離装置は、
一対の分離膜を第1のスペーサー部材の対向面に配置
し、その周縁を気密にシールしてなる膜エンベロープを
使用する。この膜エンベロープは、例えば長四角形、楕
円形等の任意の輪郭形状を有する、例えば焼結した金
属、ガラス、セラミックス等の通気性の多孔質プレート
よりなるスペーサー部材の対向面に、一対の分離膜を配
置し、スペーサー部材の輪郭からはみ出した分離膜の周
縁を例えば接着により気密にシールすることによって形
成することができる。代わりにガスケットを使って周縁
をシールするか、スペーサー部材の周縁を緻密構造と
し、この緻密部分へ分離膜の周縁を接着してエンベロー
プを形成してもよい。
The gas separation apparatus using the separation membrane of the present invention comprises:
A pair of separation membranes is disposed on the opposing surface of the first spacer member, and a membrane envelope is used in which the peripheral edges thereof are hermetically sealed. The membrane envelope has an arbitrary contour such as a rectangle, an ellipse, or the like. For example, a pair of separation membranes is formed on a facing surface of a spacer member formed of a gas-permeable porous plate of, for example, sintered metal, glass, or ceramic. Is disposed, and the periphery of the separation membrane that protrudes from the contour of the spacer member is hermetically sealed by, for example, bonding. Alternatively, the periphery may be sealed using a gasket, or the periphery of the spacer member may have a dense structure, and the periphery of the separation membrane may be bonded to the dense portion to form an envelope.

【0024】このようにして形成された複数の膜エンベ
ロープと複数の第2のスペーサー部材を交互に積層して
モジュールを形成する。第2のスペーサー部材は第1の
スペーサー部材と同じ材質のものでよい。そのようなモ
ジュールの一具体例が概略図として図1に示されてい
る。装置は、このモジュールを内部に収容するハウジン
グと、入口および出口を含むハウジング内の原料ガスの
通路と、分離膜を通過してエンベロープ内部へ入った分
離ガスのための出口を備える。装置は、また、ハウジン
グ内で原料ガスの圧力を分離ガスの圧力より高いレベル
に維持するための手段を備える。これは原料ガス入口を
ポンプに連結して加圧するか、または分離ガス出口に吸
引ポンプを連結して減圧することによって達成すること
ができる。
A module is formed by alternately laminating the plurality of membrane envelopes thus formed and the plurality of second spacer members. The second spacer member may be made of the same material as the first spacer member. One specific example of such a module is shown schematically in FIG. The apparatus includes a housing for housing the module therein, a source gas passage in the housing including an inlet and an outlet, and an outlet for the separation gas passing through the separation membrane and into the envelope. The apparatus also comprises means for maintaining the pressure of the feed gas in the housing at a level higher than the pressure of the separation gas. This can be achieved by connecting the source gas inlet to a pump and increasing the pressure, or connecting a suction pump to the separation gas outlet and reducing the pressure.

【0025】作動において、ハウジング内へ入った原料
ガスは第2のスペーサーを通過し、出口を通って原料ガ
ス出口から出て行く。その間分離膜の酸素ガス又は二酸
化炭素に対する優先的選択透過性および圧力差により、
分離膜を通過した酸素又は二酸化炭素に富むガスがエン
ベロープ内部へ入り、原料ガス出口とは別の分離ガス出
口から出て行く。
In operation, the feed gas entering the housing passes through the second spacer and exits the feed gas outlet through the outlet. Meanwhile, due to the preferential permselectivity and pressure difference of the separation membrane to oxygen gas or carbon dioxide,
The gas rich in oxygen or carbon dioxide that has passed through the separation membrane enters the inside of the envelope and exits from a separation gas outlet different from the source gas outlet.

【0026】[0026]

【実施例】酸素、二酸化炭素及び窒素の透過係数は、直
径12cmのセルを用いて10気圧をかけて測定を行っ
た。膜中を透過した流量は、0.001cc/minの
感度を持つガスフローメーター(Stec.SEC42
00)で検出した。それぞれの透過係数p〔cc・cm
・cm-2・s-1・Pa-1〕の次の式で計算した。
EXAMPLES The permeability coefficients of oxygen, carbon dioxide and nitrogen were measured by using a cell having a diameter of 12 cm and applying 10 atm. The flow rate permeating through the membrane is a gas flow meter (Sect. SEC42) having a sensitivity of 0.001 cc / min.
00). Each transmission coefficient p [cc · cm
· Cm -2 · s -1 · Pa -1 ].

【0027】[0027]

【数1】 (Equation 1)

【0028】ここで、Fはガス流量〔cc・s-1〕、t
は分離膜の膜厚〔cm〕、Sは膜の面積〔cm2 〕、Δ
Pは圧力差〔Pa〕である。また、分離係数は透過係数
の比で表わされる。
Here, F is the gas flow rate [cc · s −1 ], t
Is the thickness of the separation membrane [cm], S is the area of the membrane [cm 2 ], Δ
P is a pressure difference [Pa]. The separation coefficient is represented by the ratio of the transmission coefficients.

【0029】実施例1 メチルトリエトキシシラン(信越化学工業、LS−18
90)178gに22.5gの硝酸水溶液を添加した。
上記硝酸水溶液は、0.1mol/l濃度の硝酸水溶液
10wt%と、蒸留水90wt%を混合して調製した。
2日間室温で攪拌し、反応させた後、反応で生成したエ
タノール92gをエバポレーターで留去し、108gの
オリゴマー溶液を得た。このオリゴマー溶液に0.32
gのトリス(アセチルアセトナト)アルミニウム(III
)と9gの蒸留水を追加した。この混合液を50℃で
攪拌し、透明な溶液になってから、40℃で22時間静
置した。得られた液を用いてドクターブレードで膜を形
成した。空気中120℃で1時間乾燥し、シートから剥
離して、厚さ50μmのCH3 SiO3/2 独立膜を得
た。この膜の110℃での窒素、酸素及び二酸化炭素の
透過速度はそれぞれ2.2×10-12 cc・cm・cm
-2・s-1・Pa-1、6.2×10-12 cc・cm・cm
-2・s-1・Pa-1及び2.1×10-11 cc・cm・c
-2・s-1・Pa-1であった。分離係数はそれぞれ2.
8(O2 /N2 )及び9.5(CO2 /N2 )であっ
た。
Example 1 Methyltriethoxysilane (LS-18, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
90) 22.5 g of aqueous nitric acid solution was added to 178 g.
The aqueous nitric acid solution was prepared by mixing 10 wt% of a 0.1 mol / l aqueous nitric acid solution and 90 wt% of distilled water.
After stirring at room temperature for 2 days to react, 92 g of ethanol produced by the reaction was distilled off by an evaporator to obtain 108 g of an oligomer solution. 0.32 to this oligomer solution
g of tris (acetylacetonato) aluminum (III
) And 9 g of distilled water. The mixture was stirred at 50 ° C. to form a clear solution, and then allowed to stand at 40 ° C. for 22 hours. Using the obtained liquid, a film was formed with a doctor blade. It was dried in air at 120 ° C. for 1 hour and peeled from the sheet to obtain a 50 μm-thick CH 3 SiO 3/2 independent film. The permeation rate of nitrogen, oxygen and carbon dioxide at 110 ° C. of this film was 2.2 × 10 −12 cc · cm · cm, respectively.
-2 · s -1 · Pa -1 , 6.2 × 10 -12 cc · cm · cm
-2 · s -1 · Pa -1 and 2.1 × 10 -11 cc · cm · c
m -2 · s -1 · Pa -1 . The separation coefficients are 2.
8 (O 2 / N 2 ) and 9.5 (CO 2 / N 2 ).

【0030】実施例2 メチルトリエトキシシラン(信越化学工業、LS−18
90)178gとテトラエトキシシラン(信越化学工
業、LS−2430)41gとエタノール50gを混合
し、27gの硝酸水溶液を添加した。上記硝酸水溶液
は、0.1mol/l濃度の硝酸水溶液10wt%と、
蒸留水90wt%を混合して調製した。2日間室温で攪
拌し、反応させた後、反応で生成したエタノール140
gをエバポレーターで留去し、152gのオリゴマー溶
液を得た。このオリゴマー溶液に0.32gのトリス
(アセチルアセトナト)アルミニウム(III )と14g
の蒸留水を追加した。この混合液を50℃で攪拌し、透
明な溶液になってから、40℃で8時間静置した。得ら
れた液を用いてドクターブレードで膜を形成した。空気
中120℃で1時間乾燥し、シートから剥離して、厚さ
80μmの17SiO2 ・83CH3 SiO3/2 独立膜
を得た。この膜の110℃での窒素と酸素の透過速度は
それぞれ2.0×10-12 cc・cm・cm-2・s-1
Pa-1及び5.6×10-12 cc・cm・cm-2・s-1
・Pa-1であった。分離係数(O2 /N2 )は2.8で
あった。
Example 2 Methyltriethoxysilane (LS-18, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
90) 178 g, tetraethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., LS-2430) 41 g and ethanol 50 g were mixed, and 27 g of nitric acid aqueous solution was added. The aqueous nitric acid solution includes 10 wt% of a 0.1 mol / l aqueous nitric acid solution,
It was prepared by mixing 90 wt% of distilled water. After stirring at room temperature for 2 days to react, ethanol 140
g was distilled off with an evaporator to obtain 152 g of an oligomer solution. To this oligomer solution was added 0.32 g of tris (acetylacetonato) aluminum (III) and 14 g
Of distilled water was added. This mixed solution was stirred at 50 ° C. to form a clear solution, and then allowed to stand at 40 ° C. for 8 hours. Using the obtained liquid, a film was formed with a doctor blade. Dried 1 hour at 120 ° C. in air, it is peeled off from the sheet, to obtain a 17SiO 2 · 83CH 3 SiO 3/2 independent film having a thickness of 80 [mu] m. The permeation rates of nitrogen and oxygen at 110 ° C. of this film were 2.0 × 10 −12 cc · cm · cm −2 · s −1.
Pa -1 and 5.6 × 10 -12 cc · cm · cm -2 · s -1
-It was Pa- 1 . The separation factor (O 2 / N 2 ) was 2.8.

【0031】実施例3 メチルトリエトキシシラン(信越化学工業、LS−18
90)178gとジメチルジエトキシシラン(信越化学
工業、LS−1370)29gを混合し、27gの硝酸
水溶液を添加した。上記硝酸水溶液は、0.1mol/
l濃度の硝酸水溶液10wt%と、蒸留水90wt%を
混合して調製した。2日間室温で攪拌し、反応させた
後、反応で生成したエタノール110gをエバポレータ
ーで留去し、122gのオリゴマー溶液を得た。このオ
リゴマー溶液に0.32gのトリス(アセチルアセトナ
ト)アルミニウム(III )と11gの蒸留水を追加し
た。この混合液を50℃で攪拌し、透明な溶液になって
から、40℃で8時間静置した。得られた液を用いてド
クターブレードで膜を形成した。空気中120℃で1時
間乾燥し、シートから剥離して、厚さ30μmの83C
3 SiO3/2 ・17(CH3 2 SiO独立膜を得
た。この膜の110℃での窒素と酸素の透過速度はそれ
ぞれ2.5×10-12 cc・cm・cm-2・s-1・Pa
-1及び6.8×10-12 cc・cm・cm-2・s-1・P
-1であった。分離係数(O2 /N2 )は2.7であっ
た。
Example 3 Methyltriethoxysilane (LS-18, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
178 g of 90) and 29 g of dimethyldiethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., LS-1370) were mixed, and 27 g of an aqueous nitric acid solution was added. The nitric acid aqueous solution is 0.1 mol /
It was prepared by mixing 10% by weight of a 1% aqueous nitric acid solution and 90% by weight of distilled water. After stirring at room temperature for 2 days to react, 110 g of ethanol produced by the reaction was distilled off by an evaporator to obtain 122 g of an oligomer solution. To this oligomer solution was added 0.32 g of tris (acetylacetonato) aluminum (III) and 11 g of distilled water. This mixed solution was stirred at 50 ° C. to form a clear solution, and then allowed to stand at 40 ° C. for 8 hours. Using the obtained liquid, a film was formed with a doctor blade. Dry in air at 120 ° C. for 1 hour, peel off from the sheet, and use 83C with a thickness of 30 μm.
An H 3 SiO 3 / 2.17 (CH 3 ) 2 SiO independent film was obtained. The permeation rates of nitrogen and oxygen at 110 ° C. of this film were 2.5 × 10 −12 cc · cm · cm −2 · s −1 · Pa, respectively.
-1 and 6.8 × 10 -12 cc · cm · cm -2 · s −1 · P
a- 1 . The separation factor (O 2 / N 2 ) was 2.7.

【0032】実施例4 メチルトリエトキシシラン(信越化学工業、LS−18
90)178gとフェニルトリエトキシシラン(信越化
学工業、LS−4480)48gを混合し、27gの硝
酸水溶液を添加した。上記硝酸水溶液は、0.1mol
/l濃度の硝酸水溶液10wt%と、蒸留水90wt%
を混合して調製した。2日間室温で攪拌し、反応させた
後、反応で生成したエタノール105gをエバポレータ
ーで留去し、146gのオリゴマー溶液を得た。このオ
リゴマー溶液に0.32gのトリス(アセチルアセトナ
ト)アルミニウム(III )と11gの蒸留水を追加し
た。この混合液を50℃で攪拌し、透明な溶液になって
から、40℃で8時間静置した。得られた液を用いてド
クターブレードで膜を形成した。空気中120℃で1時
間乾燥し、シートから剥離して、厚さ40μmの83C
3 SiO3/2 ・17C6 5 SiO3/2 独立膜を得
た。この膜の110℃での窒素と酸素の透過速度はそれ
ぞれ1.8×10-12 cc・cm・cm-2・s-1・Pa
-1及び4.7×10-12 cc・cm・cm-2・s-1・P
-1であった。分離係数(O2 /N2 )は2.6であっ
た。
Example 4 Methyltriethoxysilane (LS-18, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
90) 178 g and phenyltriethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., LS-4480) 48 g were mixed, and 27 g of nitric acid aqueous solution was added. The aqueous nitric acid solution is 0.1 mol
/ Wt concentration of nitric acid aqueous solution 10wt% and distilled water 90wt%
Was prepared by mixing. After stirring at room temperature for 2 days to react, 105 g of ethanol produced by the reaction was distilled off by an evaporator to obtain 146 g of an oligomer solution. To this oligomer solution was added 0.32 g of tris (acetylacetonato) aluminum (III) and 11 g of distilled water. This mixed solution was stirred at 50 ° C. to form a clear solution, and then allowed to stand at 40 ° C. for 8 hours. Using the obtained liquid, a film was formed with a doctor blade. Dry in air at 120 ° C. for 1 hour, peel off from sheet, 40 μm thick 83C
An H 3 SiO 3/2 .17C 6 H 5 SiO 3/2 independent film was obtained. The permeation rates of nitrogen and oxygen at 110 ° C. of this film are 1.8 × 10 −12 cc · cm · cm −2 · s −1 · Pa, respectively.
-1 and 4.7 × 10 -12 cc · cm · cm -2 · s −1 · P
a- 1 . The separation factor (O 2 / N 2 ) was 2.6.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の分離膜を使用するガス分離装置のハ
ウジング内に収容される膜モジールの一具体例の概略図
である。
FIG. 1 is a schematic view of a specific example of a membrane module housed in a housing of a gas separation device using the separation membrane of the present invention.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C01B 31/20 C01B 31/20 B (72)発明者 谷上 嘉規 兵庫県西宮市浜松原町2番21号 山村硝子 株式会社内 (72)発明者 小西 明男 兵庫県西宮市浜松原町2番21号 山村硝子 株式会社内 Fターム(参考) 4D006 GA41 JA04A MA28 MA31 MB15 MC65 4G042 BA29 BA30 BA39 BB02 4G046 JA04 JB06 JC02 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C01B 31/20 C01B 31/20 B (72) Inventor Yoshinori Tanigami 2-21 Hamamatsubaramachi, Nishinomiya-shi, Hyogo Prefecture No. Yamamura Glass Co., Ltd. (72) Inventor Akio Konishi 2-21 Hamamatsubara-cho, Nishinomiya City, Hyogo Prefecture Yamamura Glass Co., Ltd. F-term (reference) 4D006 GA41 JA04A MA28 MA31 MB15 MC65 4G042 BA29 BA30 BA39 BB02 4G046 JA04 JB06 JC02

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】式:Rn SiO(4-n)/2 (0.5≦n≦
1.5)(Rはメチル基、エチル基、n−プロピル基、
イソプロピル基、フェニル基、ビニル基から選ばれる有
機基)で示されるネットワーク構成単位が三次元網目構
造を形成するように反復結合しているポリシロキサンを
含む10μm以上の膜厚を有する独立膜からなることを
特徴とするガス分離膜。
The formula: R n SiO (4-n) / 2 (0.5 ≦ n ≦
1.5) (R is a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group,
An organic group selected from the group consisting of isopropyl group, phenyl group, and vinyl group) is composed of an independent film having a film thickness of 10 μm or more containing polysiloxane repeatedly bonded to form a three-dimensional network structure. A gas separation membrane characterized by the above-mentioned.
【請求項2】酸素と窒素の分離又は二酸化炭素と窒素の
分離に用いることを特徴とする請求項1に記載のガス分
離膜。
2. The gas separation membrane according to claim 1, which is used for separating oxygen and nitrogen or carbon dioxide and nitrogen.
【請求項3】110℃における酸素透過係数が、2×1
-12 cc・cm・cm-2・s-1・Pa-1以上、かつ分
離係数(酸素/窒素)が2以上である請求項1又は2に
記載のガス分離膜。
3. An oxygen permeability coefficient at 110 ° C. of 2 × 1
The gas separation membrane according to claim 1, wherein the gas separation membrane has a separation coefficient (oxygen / nitrogen) of at least 0 −12 cc · cm · cm −2 −s −1 · Pa −1 .
【請求項4】110℃における二酸化炭素透過係数が、
2×10-12 cc・cm・cm-2・s-1・Pa-1以上、
かつ分離係数(二酸化炭素/窒素)が4以上である請求
項1又は2に記載のガス分離膜。
4. The carbon dioxide permeation coefficient at 110 ° C.
2 × 10 −12 cc · cm · cm −2 · s −1 · Pa −1 or more,
3. The gas separation membrane according to claim 1, wherein the separation coefficient (carbon dioxide / nitrogen) is 4 or more.
【請求項5】耐熱性が300℃である請求項1乃至4の
いずれかに記載のガス分離膜。
5. The gas separation membrane according to claim 1, which has a heat resistance of 300 ° C.
【請求項6】請求項1乃至5のいずれかに記載のガス分
離膜を用い、40〜300℃の温度でガス分離を行うこ
とを特徴とするガス分離法。
6. A gas separation method comprising performing gas separation at a temperature of 40 to 300 ° C. using the gas separation membrane according to claim 1.
【請求項7】(a)一対の請求項1に記載のガス分離膜
を第1の通気性スペーサー部材の対向面に配置し、周縁
を気密にシールしてなる複数の膜エンベロープユニッ
ト、 (b)前記複数の膜エンベロープユニットと交互に積層
した複数の第2の通気性スペーサー部材、 (c)前記複数の第2のスペーサー部材と連通にある原
料ガス入口および出口、 (d)前記複数の膜エンベローブユニットの内部と連通
にある分離ガス出口、 (e)前記原料ガス入口側の気体圧力を前記分離ガス出
口側の気体圧力より高いレベルに維持するための手段を
備えていることを特徴とするガス分離装置。
7. A plurality of membrane envelope units comprising: a pair of the gas separation membranes according to claim 1 disposed on opposing surfaces of a first air-permeable spacer member, and a peripheral edge hermetically sealed; A) a plurality of second gas permeable spacer members alternately stacked with the plurality of membrane envelope units; (c) a source gas inlet and an outlet in communication with the plurality of second spacer members; A separation gas outlet communicating with the interior of the envelope unit; and (e) means for maintaining the gas pressure at the source gas inlet side at a higher level than the gas pressure at the separation gas outlet side. Gas separation equipment.
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