HU201385B

HU201385B - Turbomolecular vacuum pump

Info

Publication number: HU201385B
Application number: HU330188A
Authority: HU
Inventors: Nikolajj Mikhajjlovich Novikov; Vladimir Il Ich Vikhrev; Valerijj Borisovich Sholokhov
Original assignee: Nikolajj Mikhajjlovich Novikov; Vladimir Il Ich Vikhrev; Valerijj Borisovich Sholokhov
Priority date: 1988-02-26
Filing date: 1988-02-26
Publication date: 1990-10-28

Abstract

A találmány tárgya turbomolekuláris vákuumszivattyú, amelynek üreges állórésze, ennek tengelyirányú furatában ágyazott, legalább két lapátkerékkel kialakított forgórésze és a lapátkerekek között az állórészhez erősített lapáttárcsái vannak, a lapáttárcsák a forgórész lapátkerekeinek sík lapátjaival szöget bezáróan vannak elrendezve és a lapátok a hozzájuk tartozó lapátkerék kör alakú kerületén úgy vannak elhelyezve, hogy a szomszédos lapátok egymás felé levő síkjai közötti csatornák átbocsátó keresztmetszetei a gázszívási oldalon levő lapátkeréktől a gáznyomási oldalon levő lapátkerékig csökkennek és a lapátok síkjai a forgórész forgástengelyre merőleges síkjaihoz a forgórész forgásirányában hajlanak. A találmány lényege, hogy legalább az egyik lapátkeréknek (7, 8, 9, 10) mindegyik lapátja (29, 30. 31. 32) úgy van elrendezve, hogy síkjuknak a forgórész (3) forgástengelyére merőleges síkkal való metszésvonala az agy kör alakú kerületének ahhoz a pontjához húzott sugárral szöget képez, amely pontban a metszésvonal az agy kerületét metszi, és hogy legalább egy a gáznyomási oldal (N) felé levő lapátkerék (10) a forgórész (3) forgásirányában (ω) és legalább egy a gázszívási oldal (V) felé levő lapátkerék (7) az ellentétes oldal felé hajlik. (1. ábra) A leírás terjedelme: I2 oldal, 4 ábra HU 201385 B -1-SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a turbo molecular vacuum pump having a hollow stator, its rotor mounted in its axial bore, with at least two impellers, and a blade disc attached to the stator, mounted on the stator. are located so that the passages of the channels between adjacent planes of adjacent blades are reduced from the impeller on the gas suction side to the impeller on the gas pressure side and the blades of the blades are inclined towards the rotor axis perpendicular to the rotor axis. It is an object of the invention that each blade (29, 30. 31. 32) of at least one impeller (7, 8, 9, 10) is arranged so that its plane is intersected by a plane perpendicular to the axis of rotation of the rotor (3) for the circular circumference of the brain. forming an angle to the point at which the intersection intersects the perimeter of the brain and at least one impeller (10) toward the gas pressure side (N) in the direction of rotation (ω) of the rotor (3) and at least one gas inlet (V). ) to the opposite side. (Figure 1) Scope of the description: page I2, Figure 4 EN 201385 B -1-

Description

A találmány tárgya turbomolekuláris vákuumszivattyú, amelynek üreges állórész tengelyirányú furatában ágyazott forgórésze, a forgórészen legalább két lapátkereke, a lapátkerekeken sík lapátjai, valamint a lapátkerekek között az állórészhez erősített sík lapáttárcsái vannak.BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a turbomolecular vacuum pump having a rotor embedded in an axial bore of a hollow stator, having at least two impellers on the rotor, flat blades on the blades and flat blades disposed between the blades.

A találmány tárgya lényegében nem volumetrikus gázkiszorításra alkalmas forgó szivattyú, amelynél a gáz tengelyirányban áramlik és nagyvákuum létrehozására használható.BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a rotary pump for substantially non-volumetric displacement of gas in which the gas flows axially and can be used to create a high vacuum.

A tudomány és technika modem fejlesztéséhez nélkülözhetetlenek a molekuláris vákuumszivattyúk, amelyek igen sokféle szerkezeti nagyságúak. Ezeknek evakuáló tulajdonságaik különbözők. Ilyen tulajdonság például a szívássebesség és a gáz kompresszióviszony, amelyek gyakorlatilag meghatározzák a legfontosabb szerkezetelemek méreteit.Molecular vacuum pumps, which are of many structural sizes, are essential for the development of a science and technology modem. They have different evacuation properties. Such properties include the suction rate and the gas compression ratio, which virtually determine the dimensions of the most important structural members.

Az evakuáló tulajdonságok alapján megkülönböztetünk csak egy molekuláris gázevakuáló fokozattal rendelkező, tulajdonképpeni molekuláris vákuumszivattyút, valamint egy járulékos turbomolekuláris gázevakuáló fokozattal rendelkező turbomolekuláris, illetve kombinált vákuumszivattyút. Az utóbbinak olyan forgórésze és állórésze van. amelyek a szívási oldalon levő molekuláris gázevakuáló fokozat forgórészével és állórészével egytengelyűén vannak elhelyezve. A turbomolekuláris gázevakuáló fokozat forgórészén és állórészén váltakozva lapátkerekek és lapáttárcsák vannak elhelyezve, amelyeknek lapátjai egymáshoz képest szögben vannak elrendezve. A lapátkerekek lapátjai a forgórész forgástengelyére merőleges síkhoz a forgórész forgása irányában hajlanak és a lapátcsatornák átbocsátási keresztmetszete a szívási oldalon levő lapátkeréktől a nyomási oldalon levő lapátkerékig csökken. A turbomolekuláris vákuumszivattyúk nagy szívássebességűek. azonban konstrukciós kialakításuk igen bonyolult.On the basis of the evacuation properties, we can distinguish only a molecular vacuum pump with a molecular gas evacuation stage and a turbomolecular or combined vacuum pump with an additional turbomolecular gas evacuation stage. The latter has a rotor and a stator. which are arranged in the same axis as the rotor and stator of the molecular gas evacuation stage on the suction side. The rotor and stator of the turbomolecular gas evacuation stage are alternately provided with paddle wheels and paddles having angled paddles relative to one another. The impellers of the impellers are inclined in the direction of rotation of the impeller to a plane perpendicular to the axis of rotation of the rotor and the passage cross-section of the impeller passages is reduced from the impeller on the suction side to the impeller on the pressure side. Turbomolecular vacuum pumps have high suction speeds. however, their construction is very complicated.

A turbomolekuláris vákuumszivattyúknak az a működési módja, hogy a gázmolekulák a körben forgó lapátkerék lapátjaira való felütközéseik során egy erőimpulzust kapnak, úgy hogy a lapátkerék forgásirányában a saját hősebességükhöz egy érintőirányú sebességkomponens adódik. A gázmolekuláknak a forgórész lapátkerekei lapátjaival való ismételt ütközése a gázmolekulák rendezetlen mozgását olyan mozgássá alakítja, amely a gázszívási oldaltól a gáznyomási oldal felé történik, azaz létrejön a gázmolekulák evakuálása.The mode of operation of turbomolecular vacuum pumps is that a gas impulse is imparted to the gas molecules during their impact on the rotor blades of the rotating impeller so that a tangential velocity component is added to their own thermal velocity in the rotational direction of the impeller. Repeated collision of the gas molecules with the blades of the rotor impellers impairs the disordered movement of the gas molecules into a movement from the gas suction side to the gas pressure side, thus evacuating the gas molecules.

A molekuláris gázáramlás olyan, hogy a gázmolekulák közepes szabad úthossza nagyobb a szomszédos lapátok közötti távolságnál és az evakuálási folyamat azáltal jön létre, hogy a gázmolekulák sokkal gyakrabban ütköznek a forgórész lapátjaival, mint egymással.The molecular gas flow is such that the average free path length of the gas molecules is greater than the distance between adjacent vanes and the evacuation process is created by the gas molecules colliding more frequently with the rotor vanes than with each other.

Egy turbomolekuláris vákuumszivattyú munka-hatásfoka, illetve szívássebessége attól függ, hogy a gázszívási oldaltól a gáznyomási oldalig mennyi gázmolekula. illetve a gázmolekulák mekkora része halad keresztül a lapátkerekek és lapáttárcsák között.The efficiency and suction rate of a turbomolecular vacuum pump depends on the number of gas molecules from the gas suction side to the gas pressure side. and how much of the gas molecules pass between the paddle wheels and paddle wheels.

Már ismert olyan turbomolekuláris vákuumszivattyú (335 443 1. sz. SU szabadalom) amelynek üreges állórésze tengelyfuratában legalább két lapátkerékkel kialakított forgórész van ágyazva. A lapátkerekek között az állórészhez erősített lapáttárcsák vannak elrendezve, amelyeknek sík lapátjai a forgórész lapátkerekei sík lapátjaival szöget zárnak be. A sík lapátok a lapátkerekük agyának kör alakú kerületén úgy vannak elrendezve, hogy a szomszédos lapátok egymás felé levő síkjai közötti csatornák átbocsátó keresztmetszetei a gázszívási oldalon levő lapátkeréktől a gáznyomási oldalon levő lapátkerékig csökkennek, és hogy a lapátok síkjai a forgórész forgástengelyére merőleges síkokhoz képest a forgórész forgásirányában hajlók.There is already known a turbomolecular vacuum pump (SU Patent No. 335,443, No. 1) having a rotor formed by at least two impellers in the shaft bore of a hollow stator. Between the blades there are disposed blades disposed on the stator, the planar blades of which are at an angle to the planar blades of the rotor blades. The flat blades are arranged in a circumferential circumference of their impeller hubs such that the transverse cross-sections of the channels between the adjacent blades of each other are reduced from the suction impeller to the gas pressure side, and inclined in the direction of rotation.

A lapátkerekek lapátjai az agyakon úgy vannak elhelyezve, hogy mindegyik lapát síkjának a forgástengelyre merőleges síkkal való metszésvonala az agy kör alakú kerületénél sugárirányú.The vanes of the impellers are disposed on the hubs so that the intersection of the plane of each blade with a plane perpendicular to the axis of rotation is radial to the circular circumference of the hub.

A turbomolekuláris vákuumszivattyúk evakuálási tulajdonságai szempontjából döntő jelentőségű a gázszívási sebesség és a gázkompresszió fok közötti viszony. Ezt a viszonyt a lapátkerekek és lapáttárcsák paraméterei, valamint a szivattyú legfontosabb konstrukciós szerkezetelemei határozzák meg.The relationship between the gas aspiration rate and the gas compression ratio is crucial for the evacuation properties of turbomolecular vacuum pumps. This relationship is determined by the parameters of the impellers and impellers as well as the most important structural components of the pump.

Az ismert turbomolekuláris vákuumszivattyúknál, amelyeknél a molekulák a síkokon való visszaverődési törvénynek megfelelően mozognak, a lapátokkal ütköző molekulák érintőirányú sebességkomponenst kapnak és a molekulák egy része viszatér az evakuálni kívánt térbe, majd részben ugyanazokon a síkokon újból fölütköznek és ugyanolyan erőimpulzust kapnak. Ez a jelenség korlátozza a szivattyú szívássebességét. A forgórész és az állórész közötti térben a gázmolekulák szóródási visszaáramlása állapítható meg.In the known turbomolecular vacuum pumps, in which the molecules move in accordance with the law of reflection on the planes, the molecules impinging on the blades receive a tangential velocity component, and some of the molecules return to the space to be evacuated and then collide on the same planes This phenomenon limits the suction speed of the pump. In the space between the rotor and the stator, the scattering backflow of the gas molecules can be determined.

A találmány feladata olyan turbomolekuláris vákuumszivattyú létrehozása, amelynél a lapátkerekek lapátsíkjai úgy vannak elrendezve, hogy ennek révén a turbomolekuláris vákuumszivattyú evakuálási tulajdonságai jelentősen javulnak anélkül, hogy a méreteket meg kellene növelni.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a turbomolecular vacuum pump in which the blade planes of the impellers are arranged such that the evacuation properties of the turbomolecular vacuum pump are significantly improved without having to be increased in size.

A találmány a kitűzött feladatot olyan turbomolekuláris vákuumszivattyú létrehozása révén oldja meg, amelynek üreges állórésze, ennek tengelyirányú furatában ágyazott, legalább két lapátkerékkel kialakított forgórésze és a lapátkerekek között az állórészhez erősített lapáttárcsái vannak, a lapáttárcsák a forgórész lapátkerekeinek sík lapátjaival szöget bezáróan vannak elrendezve és a lapátok a hozzájuk tartozó lapátkerék agyának kör alakú kerületén úgy vannak elhelyezve, hogy a szomszédos lapátok egymás felé levő síkjai közötti csatornák áteresztő keresztmetszetei a gázszívási oldalon levő lapátkeréktől a gáznyomási oldalon levő lapátkerékig csökkennek és a lapátok síkjai a forgórész forgástengelyére merőleges síkjaihoz a forgórész forgásirányában hajlanak, és amelynek jellemzője, hogy legalább az egyik lapátkeréknek mindegyik lapátja úgy van elrendezve, hogy síkjuknak a forgórész forgástengelyére merőleges síkkal való metszésvonala az agy kör alakú kerületének ahhoz a pontjához húzott sugárral, amely pontban a metszésvonal az agy kerületét metszi, szöget képez, és hogy legalább egy a gáznyomási oldal felé levő lapátkerék a forgórész forgásirányában és legalább egy a gázszívási oldal felé levő lapátkerék az ellentétes oldal felé hajlik.SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is to provide a turbomolecular vacuum pump having a hollow stator, an axially bore rotor formed by at least two impellers and blades mounted on the stator, the vanes being disposed on the rotor blades and the blades are disposed in a circular circumference of the associated impeller hub such that the transverse cross-sections of the passageways between adjacent blade planes are reduced from the gas intake side to the gas pressure side blade and the blade planes rotate perpendicular to the rotor and characterized in that each of the blades of at least one of the impellers is arranged so that they are flush with the rotor intersection with a radius drawn to a point on the circumferential circumference of the hub at which the intersection line intersects the periphery of the hub and that at least one impeller toward the gas pressure side is in the direction of rotation of the rotor and at least one the impeller is inclined towards the opposite side.

A találmány szerinti turbomolekuláris vákuumszivattyú további jellemzője, hogy valamennyi lapátkerék lapátjai síkjának a forgórész forgástengelyére merőleges síkhoz való egyforma hajlásszöge és a forgórész valamennyi lapátkerekén azonos számú lapát esetén egy olyan síkja van, amely a forgástengelyére merő-21A further feature of the turbomolecular vacuum pump of the present invention is that the plane of the blades of each impeller is uniformly inclined to a plane perpendicular to the axis of rotation of the impeller and has a plane perpendicular to its axis of rotation.

HU 201385 Β leges és amelynek egyik oldalán e síktól való távolsággal együtt nő a lapátok síkjai metszésvonalainak hajlásszöge és amelynek különböző oldalain a lapátok síkjainak metszésvonalai a forgórész forgásirányára vonatkozóan ellentétes irányokban hajlanak, és hogy mindegyik lapátkerék a többi lapátkerékhez képest egy meghatározott szöggel el van tolva, továbbá minden lapátkerék mindegyik lapátjához mindegyik másik lapátkeréken egy-egy lapát van amellyel az azonos oldalra irányított síkjai egy közös síkban vannak.EN 201385 Β which has a gradient on one side which increases the inclination of the blade planes intersecting the blade planes, and on each side of which the blade planes intersect in the opposite direction of rotation, and each impeller is offset from the other blades and, for each paddle on each paddle wheel, each paddle wheel has a paddle with its planes facing the same side in a common plane.

A turbomolekuláris vákuumszivattyú ilyen konstrukciós fölépítésének eredményeként ennek evakuálási tulajdonságai jelentősen jobbak, mint az eddig ismert megoldásoknál. A szívássebesség nő, mert a gázszívási oldalon levő lapátkerék lapátfelületeivel való ütközések során a gázmolekulák lineáris sebessége nő, és mert a gázmolekulák az érintőleges sebességkomponensek mellett sugárirányú sebességkomponenseket is kapnak.As a result of this construction of the turbomolecular vacuum pump, its evacuation properties are significantly better than in prior art solutions. The suction rate increases because the linear velocity of the gas molecules increases in collisions with the blade surfaces of the impeller on the gas suction side, and because the gas molecules receive radial velocity components in addition to tangential velocity components.

A gázkompresszió fok nő annak következtében, hogy megnő a molekulák gázszívási oldalról gáznyomási oldalra való áthaladásának valószínűsége, a gázszóródási-visszaáramlás pedig csökken, mert a gáznyomási oldalon levő lapátkerék lapátjaival való ütközés révén a gázmolekulák a lapát szabad végétől a lapátkerék közepe felé irányuló sugárirányú komponenst kapnak.The degree of gas compression increases due to the increased probability of molecules passing from the gas suction side to the gas pressure side, and the gas scattering backflow decreasing because, by collision with the impeller blades on the gas pressure side, gas molecules are directed from the free end of the blade .

A találmány szerinti turbomolekuláris vákuumszivattyúnak az ismert turbomolekuláris vákuumszivattyúkhoz képest azonos méretek esetén legkevesebb 20 %-kal nagyobb a szívássebessége és gázkompresszió foka legalább ötszörös.The turbomolecular vacuum pump of the present invention has at least 20% higher suction speed and gas compression ratio of at least five times the same size as known turbomolecular vacuum pumps.

A találmány szerinti turbomolekuláris vákuumszivattyút részleteiben egy a rajzokon vázolt példaképpeni kiviteli alakjával kapcsolatban ismertetjük.The turbomolecular vacuum pump of the present invention will be described in detail with reference to an exemplary embodiment illustrated in the drawings.

Az /. ábra a turbomolekuláris vákuumszivattyú egy példaképpeni kiviteli alakjának vázlatos hosszmetszete.The /. Fig. 4A is a schematic longitudinal section through an exemplary embodiment of a turbomolecular vacuum pump.

A 2. ábra a turbomolekuláris vákuumszivattyú forgórészének oldalnézete, amelyen egy turbomolekuláris gázevakuáló fokozat négy lapátkereke és egy molekuláris gázevakuáló fokozat csavarvonal alakban futó rései vannak föltüntetve.Figure 2 is a side view of the rotor portion of a turbomolecular vacuum pump showing four blades of a turbomolecular gas evacuation stage and helical gaps of a molecular gas evacuation stage.

A 3. ábra a 2. ábrán föltüntetett A nyíl irányú nézet, amely egy első, a gázszívási oldalon levő lapátkerék egy részét mutatja.Figure 3 is an arrow view A in Figure 2 showing a portion of a first impeller on the gas inlet side.

A 4. ábra a 2. ábrán föltüntetett A nyíl irányú nézet, amely a gázszívási oldal felé levő második lapátkerék egy részét mutatja.Figure 4 is an arrow view A in Figure 2 showing a portion of a second impeller toward the gas inlet side.

Az 5. ábra a 2. ábrán föltüntetett A nyíl irányú nézet, amely a gázszívási oldal felől számolt harmadik lapátkerék egy részét szemlélteti.Fig. 5 is an arrow view A in Fig. 2 illustrating a portion of a third impeller from the suction side.

A 6. ábra a 2. ábrán föltüntetett A nyíl irányú nézet, amelyen a gázszívási oldaltól számolt negyedik lapátkerék egy része látható.Fig. 6 is an arrow view of Fig. 2 showing a portion of a fourth impeller from the gas inlet side.

A 7. ábra a 2. ábrán föltüntetett VII-VII vonal menti metszet.Figure 7 is a sectional view taken along line VII-VII in Figure 2.

A 8. ábra a 2. ábrán föltüntetett VIII-VIII vonal menti metszet.Figure 8 is a sectional view taken along line VIII-VIII in Figure 2.

A turbomolekuláris vákuumszivattyúnak üreges 1 állórésze van (I. ábra), amelynek tengelyirányú 2 furatában 3 forgórész van ágyazva. A 3 forgórész 5 hengeres külső felülete és az 1 állórész 6 hengeres belső felülete közötti 4 rés megfelelően kicsi, ismert módon 0,15 mm és 0.3 mm között van. E keskeny rés a gáz visszaáramlásával szemben aránylag nagy ellenállást képez, azaz meggátolja, hogy a gáz az N gáznyomási oldalról a V gázszívási oldalra áramoljon. Az N gáznyomási oldal és V gázszívási oldal nyilakkal van föltüntetve, amely nyilak az áramlás szükséges irányát mutatják.The turbomolecular vacuum pump has a hollow stator 1 (Fig. I) having a rotor 3 in its axial bore 2. The gap 4 between the cylindrical outer surface 5 of the rotor 3 and the cylindrical inner surface 6 of the stator 1 is suitably small, in the known manner between 0.15 mm and 0.3 mm. This narrow gap provides a relatively high resistance to the return of the gas, i.e. it prevents the gas from flowing from the gas pressure side N to the gas inlet side V. The gas pressure side N and the gas aspiration side V are indicated by arrows indicating the required direction of flow.

A turbomolekuláris vákuumszivattyú kétfokozatú vákuumszivattyú és egy turbomolekuláris, valamint egy molekuláris gázevakuáló fokozata van.The turbomolecular vacuum pump has a two-stage vacuum pump and a turbomolecular and molecular gas evacuation stage.

A turbomolekuláris gázevakuáló fokozatnak legkevesebb két lapátkereke és ezek között egy lapáttárcsája van. A lapátkerekek száma - éppen úgy, mint más ismert turbomolekuláris vákuumszivattyúknál - különböző lehet. Számuk kettőtől húszig, sőt ennél is több lehet. A lapátkerekek száma - ismert módon - a szivattyú konstrukciós szerkezetelemeinek geometriai paramétereitől, például a lapátkerekek lapátcsatornáinak átbocsátó keresztmetszeteitől, valamint a turbomolekuláris vákuumszivattyú kívánt evakuáló tulajdonságaitól függ.The turbomolecular gas evacuation stage has at least two paddle wheels and one paddle wheel between them. As with other known vacuum pumps, the number of impellers may be different. Their numbers can range from two to twenty or even more. The number of impellers is known to depend on the geometrical parameters of the pump structural members, such as the cross-sections of the impeller passageways and the desired evacuation characteristics of the turbomolecular vacuum pump.

A rajzokon szemléltetett turbomolekuláris vákuumszivattyúnak négy, azaz 7, 8, 9, 10 lapátkereke és három, azaz 11, 12 és 13 lapáttárcsája van.The turbomolecular vacuum pump illustrated in the drawings has four, i.e., 7, 8, 9, 10 impellers and three, i.e., 11, 12 and 13, impellers.

A molekuláris gázevakuáló fokozatot a 3 forgórész hengeres külső felületén csavarvonal alakban elnyúló 14 hornyok képezik, amelyek derékszögű profilú több menetes (több bekezdésű) csavarmenetet alkotnak. A 14 hornyok az 1 állórész 6 hengeres belső felületével együtt gázevakuáló csatornákat képeznek, amelyeknek áteresztő keresztmetszete a V gázszívási oldaltól az N gáznyomási oldalig csökken. A 3 forgórész 15 tengelyen ül és egyik végén 16 csavar révén van fölerősítve. A 15 tengely másik vége egy a rajzokon nem ábrázolt elektromotorral van összeerősítve. Az 1 állórésznek 17 háza van, amely csavarozás révén 18 karimára van erősítve. Az 1 állórész üregterének tömítésére, lezárására a 18 karima és a 17 ház alsó homlokoldala között 19 tömítőgyűrű van. A 18 karimában 20 furat van, amellyel egytengelyűén a 18 karimára az N gáznyomási oldalon 21 csatlakozócsonk van erősítve, amelyhez egy a rajzokon nem ábrázolt, elővákuumot előállító készülék megfelelő vezetéken keresztül csatlakoztatható.The molecular gas evacuation stage is formed by helical grooves 14 on the cylindrical outer surface of the rotor 3 which form a multi-threaded (multi-threaded) thread with a rectangular profile. The grooves 14, together with the cylindrical inner surface 6 of the stator 1, form gas evacuation channels, the permeability of which is reduced from the gas suction side V to the gas pressure side N. The rotor 3 sits on an axis 15 and is fastened at one end by 16 screws. The other end of the shaft 15 is connected to an electric motor (not shown in the drawings). The stator 1 has a housing 17 which is fastened to the flange 18 by screwing. A sealing ring 19 is provided between the flange 18 and the lower front face of the housing 17 for sealing the cavity of the stator 1. The flange 18 has a bore 20 for unidirectional mounting on the flange 18 at the gas pressure side N, to which a pre-vacuum device (not shown in the drawings) can be connected via a suitable line.

A 11, 12 és 13 lapáttárcsák a 17 ház belső felületére úgy vannak erősítve, hogy ezeknek szabad végei az 1 állórész 17 házának 22 válla és 23, 24, 25 gyűrűk közé vannak befogva. Az 1 állórész 17 házának 26 válla és a 25 gyűrű között 27 nyomórugók vannak. A 17 háznak a V gázszívási oldalon 28 karimája van, amely egy megfelelő technológiai berendezésnek a rajzokon nem ábrázolt, kiszívni kívánt kamrájához csatlakoztatható.The blades 11, 12 and 13 are mounted on the inner surface of the housing 17 such that their free ends are clamped between the shoulder 22 of the housing 17 of the stator 1 and the rings 23, 24, 25. Compression springs 27 are provided between the shoulder 26 of the housing 17 of the stator 1 and the ring 25. The housing 17 has a flange 28 on the gas suction side V, which can be connected to a suction chamber of a suitable technological device (not shown in the drawings).

A V gázszívási oldaltól számolva az első. második, harmadik és negyedik 7, 8, 9 és 10 lapátkerekek sík 29, 30, 31 és 32 lapátjai a 2. ábrán feltüntetett ai. 0C2, aj, CX4 szögben hajlanak a 3 forgórész O forgástengelyére merőleges síkhoz a 3 forgórész forgásirányában (a forgásirány az 1., 2„ 3., 4., 5., 6. és 8. ábrákon ω betűvel van jelölve).First from the V gas extraction side. planes 29, 30, 31 and 32 of the second, third and fourth blades 7, 8, 9 and 10 of Figs. They are inclined at 0C2, j, CX4 to a plane perpendicular to the axis of rotation of the rotor 3 in the direction of rotation of the rotor 3 (the direction of rotation is denoted by ω in Figures 1, 2, 3, 4, 5, 6 and 8).

Az <xi szög a V gázszívási oldaltól számolva az első 7 lapátkerék homlokfelülete és a 29 lapát síkja közötti hegyesszög.The angle xi calculated from the gas suction side V is the acute angle between the front face of the first impeller 7 and the plane of the blade 29.

Az ot? szög a V gázszívási oldaltól számolva a második 8 lapátkerék homlokfelülete és a 30 lapát síkja közötti hegyesszög.The ot? angle from the gas suction side V, the acute angle between the front face of the second impeller 8 and the plane of the blade 30.

-3HU 201385 Β-3HU 201385 Β

Az α₃ szög a V gázszívási oldaltól számolva a harmadik 9 lapátkerék homlokfelülete és a 31 lapát síkja közötti hegyesszög.The angle α ₃ is the acute angle from the gas suction side V of the third impeller 9 to the plane of the blade 31.

Az óta szög a V gázszívási oldaltól számolva a negyedik 10 lapátkerék homlokfelülete és a 32 lapát síkja közötti hegyesszög.Since then, the angle from the gas suction side V is the acute angle between the front face of the fourth impeller 10 and the plane of the blade 32.

Az ai, a?, a₃, 04 szöget 10° és 60° közöttiek lehetnek éppen úgy. mint más ismert turbomolekuláris vákuumszivattyúknál. Ezek az αι, αζ, a₃, 04 szögek lehetnek valamennyi, azaz a 7, 8, 9, 10 lapátkerekeknél egyformák, de lehetnek különbözők is. Abban az esetben, ha 01^ 0.2^ 03;* 0C4, akkor ezeknek a 7, 8, 9, 10 lapátkerekeknél olyanoknak kell lenni, hogy a V gázszívási oldalon levő 7 lapátkeréktől az N gáznyomási oldalon levő 10 lapátkerékig csökkenjenek, azaz a Oi> O2> O₃> 04. Ha a szögek egyformák, azaz 01=02=03=04, akkor ismert módon hatásos gázevakuálás elérése érdekében célszerű a 29, 30, 31 és 32 lapátok számát a V gázszívási oldalon levő első lapátkeréktől az N gáznyomási oldalon levő 10 lapátkerékig növelni, vagy a 7, 8, 9. 10 lapátkerekek szélességét növelni, vagy egyidejűleg mindkét rendszabályt alkalmazni.Ai, ₃ ?, the 04 angle of 10 ° to 60 °, to be even so. as with other known turbomolecular vacuum pumps. These angles αι, αζ, ₃ , 04 may be the same for each of the impellers 7, 8, 9, 10, but they may also be different. In the case of 01 ^ 0.2 ^ 03; * 0C4, these impellers 7, 8, 9, 10 must be such that they decrease from the impeller 7 on the gas intake side V to the impeller 10 on the gas pressure side N, i.e. O2> O ₃ > 04. If the angles are equal, i.e., 01 = 02 = 03 = 04, it is advisable to have the number of blades 29, 30, 31 and 32 from the first impeller on the gas intake side V on the gas pressure side N to achieve effective gas evacuation either to increase the width of the blades 7, 8, 9, 10, or apply both rules at the same time.

A 7, 8, 9, 10 lapátkerekeken a 29, 30, 31. 32 lapátok száma - mint más ismert turbomolekuláris vákuumszivattyúknál is - egyforma vagy különböző lehet.As with other known turbomolecular vacuum pumps, the number of blades 29, 30, 31 on the impellers 7, 8, 9, 10 may be the same or different.

A turbomolekuláris vákuumszivattyú ismertetett kiviteli alakjánál a 29, 30, 31, 32 lapátok száma a 7, 8, 9, 10 lapátkerekek mindegyikén egyformán harminchat. A 29, 30. 31.32 lapátok αι, az, az, 04 hajlásszöge egyforma. 45°. azaz αι. az, az, 04 = 45°.In the disclosed embodiment of the turbomolecular vacuum pump, the number of blades 29, 30, 31, 32 on each of the blades 7, 8, 9, 10 is equal to thirty-six. The angles αι, az, 04 of the blades 29, 30. 31.32 are the same. 45 °. that is, αι. az, az, 04 = 45 °.

A V gázszívási oldalról számolva első 7 lapátkerék sík 29 lapátjai (3. ábra) a 33 agy R| sugarú kerületén egyenletesen vannak elosztva és az egymás felé levő síkjaik között 34 csatornákat képeznek. A V gázszívási oldalról számolva második 8 lapátkerék sík 30 lapátjai 35 agy R2 sugarú kerületén egyenletesen vannak elosztva és 36 csatornákat képeznek, amint a 4. ábrán látható. A V gázszívási oldalról számolva harmadik lapátkerék sík 31 lapátjai az 5. ábrán látható módon 37 agy Rz sugarú kör kerületén egyenletesen vannak elosztva és 38 csatornákat képeznek. A V gázszívási oldalról számolva negyedik 10 lapátkerék 32 lapátjai agy R4 sugarú kerületén egyenletesen vannak elosztva és 40 csatornákat képeznek, amint a 6. ábra mutatja.Calculated from the gas suction side V, the planar blades 29 of the first impeller 7 (Fig. 3) are the R | They are evenly distributed in their circumference and form channels 34 between their planes facing each other. Calculated from the gas suction side V, the planar blades 30 of the second impeller 8 are evenly distributed around the radius R2 of the hub 35 and form channels 36 as shown in FIG. Calculated from the gas suction side V, the planar blades 31 of the third impeller are uniformly distributed in the circumference of the circle 37 of radius Rz and form channels 38 as shown in FIG. Calculated from the gas suction side V, the blades 32 of the fourth blade wheel 10 are evenly distributed around the radius R4 of the hub and form channels 40 as shown in Figure 6.

A 7, 8, 9, 10 lapátkerekek aj, az, az, illetve a 34 vastagsága a V gázszívási oldalon levő 7 lapátkeréktől a gáznyomási oldal felé haladva egyre nagyobb, legvastagabb az N gáznyomási oldalon levő lapátkerék, azaz ai<az<az<a4. A 34. 36. 38 és csatornák (3-6. ábra) átbocsátási keresztmetszetei a V gázszívási oldalon levő 7 lapátkeréktől az N gáznyomási oldalon levő 10 lapátkerék felé haladva fokozatosan csökkennek annak következtében, hogy a 30. 31. 32 lapátok hossza csökken, azaz 1i>lz>l₃>14 (7. ábra), aholThe thicknesses j, a, a, and 34 of the blades 7, 8, 9, 10, respectively, extend from the blade wheel 7 on the gas intake side V to the gas pressure side, with the thicker wheel on the gas pressure side N being ai <a <a <a4 . The passage cross-sections of channels 34. 36. 38 and channels (FIG. 3-6) from the impeller 7 on the gas suction side V to the impeller 10 on the gas pressure side N are gradually reduced as the length of the blades 30. 31. 32 decreases, i.e. 1i>lz> l ₃ > 14 (Fig. 7), where

1] a 7 lapátkerék 29 lapátjainak hossza.1] is the length of the blades 29 of the impeller 7.

Íz a 8 lapátkerék 30 lapátjainak hossza,Taste the length of the 30 blades of the 8 blades,

Íz a 9 lapátkerék 31 lapátjainak hossza ésTaste is the length of the 31 blades of the impeller 9 and

U a 10 lapátkerék 32 lapátjainak hossza.U is the length of the 32 blades of the impeller 10.

Ennek megfeleleően a 8. 9. 10 lapátkerekek 35.Correspondingly, the blades 8.9.10 35.

37. illetve 39 agyainak Rz. Rz· illetve R4 sugarai növekednek, azaz Ri<Rz<R₃<R4.37 and 39 of his brain Rz. The radii of Rz · and R4 are increased, i.e. Ri <Rz <R ₃ <R4.

Legalább egy lapátkeréknek mindegyik lapátja úgy van elrendezve, hogy a lapátok síkjainak a forgórész forgástengelyére merőleges síkokkal való metszésvonalai szöget zárnak be az agy kerületének azzal a sugarával, amely az adott metszésvonal és az agy kerülete metszéspontjához van húzva, és hogy a lapátok legalább egy a gáznyomási oldalon levő lapátkeréken a forgórész forgásirányában és legalább egy a gázszívási oldalon levő lapátkeréken az ellenkező oldalra hajlanak.Each blade of at least one impeller is arranged such that the intersection lines of the blade planes with planes perpendicular to the axis of rotation of the blades are at an angle to the radius of the hub circumference drawn to the intersection of said intersection and the periphery of the hub; on the side impeller in the direction of rotation of the rotor and at least one impeller on the gas inlet side to the opposite side.

A turbomolekuláris vákuumszivattyú ismertetett kiviteli alakjánál a gázszívási oldal felőli első 7 lapátkerék mindegyik 29 lapátja úgy van elrendezve (3. ábra), hogy egyik síkjának a 7 lapátkerék V gázszívási oldal felé levő homlokfelületével való m metszésvonala pi=30°-os szöget zár be a 33 agy kerületének azzal az Rí sugarával, amely az m metszésvonal és a 33 agy kerülete Sí metszéspontjához tartozik és a 3 forgórész ω forgásirányával ellentétes oldal felé hajlik.In the disclosed embodiment of the turbomolecular vacuum pump, each blade 29 of the gas suction side first impeller 7 is arranged (Fig. 3) such that the intersection line m of one of its planes to the gas suction side V of the impeller 7 is at an angle pi = 30 °. With the radius R1 of the circumference of the hub 33 at the intersection S1 of the intersection line m and the circumference of the hub 33 and inclined to the side opposite to the direction of rotation ω of the rotor 3.

A V gázszívási oldal felől nézve második 8 lapátkerék mindegyik 30 lapátja úgy van elrendezve (2. és 8. ábra), hogy - ha a lapátvastagságot nem vesszük figyelembe - síkjaiknak a 8 lapátkerék közép keresztmetszetében levő, a 3 forgórész O forgástengelyére merőleges K síkjával való n metszésvonala sugárirányú. A 30 lapátok síkjainak más. a 3 forgórész O forgástengelyére merőleges síkokkal való metszésvonalának hajlásszöge aránylag kicsi és e hajlásszögek a K síktól távolodva nőnek. Ezenkívül a 30 lapátok síkjainak a K sík ellentétes oldalain levő síkokkal való n metszésvonalai a 35 agy kerülete adott Rz sugarának különböző oldalai felé nyúlnak.As seen from the V gas suction side, each of the blades 30 of the second impeller 8 is arranged (Figs. 2 and 8) such that, except for the blade thickness, their planes are n with a plane K perpendicular to the rotation axis O of the rotor 3. its intersection is radial. The planes of the blades 30 are different. the angle of intersection of the rotor 3 with planes perpendicular to the axis of rotation O is relatively small and these angles increase away from the plane K. In addition, the lines of intersection of the planes of the vanes 30 with the planes on opposite sides of plane K extend to different sides of a given radius Rz of the circumference of the hub 35.

A V gázszívási oldal felől számolt harmadik, illetve az N gáznyomási oldal felől számolt második 9 lapátkerék mindegyik 31 lapátja úgy van elrendezve (5. ábra), hogy a 31 lapátok síkjai egyikének a 9 lapátkerék V gázszívási oldal felé levő homlokfelületével való p metszésvonala p₃=20°-os szöget zár be a 37 agynak azzal az R₃ sugarával, amely a p metszésvonal által a 37 agy kerületén kimetszett S3 metszésponthoz van húzva és a 31 lapátok a 3 forgórész ω forgásirányában hajlanak.Each blade 31 of the third gas impeller side V and the second impeller 9 of the second gas pressure side N (Fig. 5) are arranged such that the intersection line p of one of the planes of the blades 31 to the gas extraction side V of the impeller p ₃ = It has an angle of 20 ° with the radius R _{3 of} the hub 37, which is drawn by the intersection line p to the intersection S3 of the circumference of the hub 37 and the blades 31 are inclined in the direction of rotation ω of the rotor 3.

A V gázszívási oldalról számolva negyedik, illetve az N gáznyomási oldalról számolva első 10 lapátkerék mindegyik 32 lapátja úgy van elrendezve, hogy síkjaiknak a 10 lapátkerék V gázszívási oldal felé levő homlokfelületével való f metszésvonala p4=30°-os szöget zár be a 39 agy kerületéhez tartozó azzal az R4 sugárral, amely a 39 agy kerülete és az f metszésvonal S4 metszéspontjához van húzva és a 3 forgórész ω forgásirányában hajló. A 29. 30, 31, 32 lapátok síkjai metszésvonalainak β hajlásszöge a K síktól való távolsággal nő. E szögek maximális értéke a lapátok a hajlásszögeitől és a turbomolekuláris vákuumszivattyú kívánt evakuálási tulajdonságaitól függ.The fourth blade 32 on the gas suction side V and each blade 32 on the first impeller 10 are arranged such that the plane f intersects their planes with the face of the blade 10 towards the gas suction side V at an angle of p4 = 30 °. with the radius R4 drawn to the intersection S4 of the circumference of the hub 39 and the intersection line f and inclined in the direction of rotation ω of the rotor 3. The inclination angle β of the intersection lines of the planes 29, 30, 31, 32 increases with distance from plane K. The maximum value of these angles depends on the inclination angles of the blades and the desired evacuation characteristics of the turbomolecular vacuum pump.

A 2. ábrán szemléltetett kiviteli alaknál a K sík a második 8 lapátkerék középmetszetében van. A 8 lapátkerék 30 lapátjai közel sugárirányban vannak elrendezve, a többi, a 7. 9, 10 lapátkerék 29, 31. 32 lapátjai pedig, amelyek e K sík különböző oldalain vannak, a sugáriránytól az ellentétes oldalakra hajlanak.In the embodiment illustrated in Figure 2, the plane K is in the middle section of the second impeller 8. The blades 30 of the impeller 8 are arranged in a radial direction, while the other blades 29, 31 32 of the impeller 7 9, 10, which are on different sides of this plane K, are inclined from the radial direction to the opposite sides.

E K sík helye mindegyik adott turbomolekuláris vákuumszivattyúnál számítással határozható meg és a lapátkerekek kívánt geometriai paramétereitől, aThe location of this K plane can be determined by calculation for each given turbomolecular vacuum pump and from the desired geometry of the impellers,

HU 201385 Β lapátszámtól, a lapátok közötti csatornák átbocsátó keresztmetszeteitől és a lapátok a hajlásszögeitől függ.EN 201385 Β depends on the number of blades, the through cross sections of the channels between the blades and the inclination angles of the blades.

Az ismertetett kiviteli alaknál a 7, 8, 9, 10 lapátkerekek egymással kapcsolatban a 3 forgórész O forgástengelye körül úgy vannak forgatva, hogy a 7, 8, 9, 10 lapátkerekek mindegyikén van egy olyan 29, 30, 31, 32 lapát, amellyel a közös oldal felé levő síkjai egy közös síkban vannak.In the embodiment described, the impellers 7, 8, 9, 10 are rotated in relation to each other about the axis of rotation O of the rotor 3 such that each of the impellers 7, 8, 9, 10 has a blade 29, 30, 31, 32 its planes facing the common side are in a common plane.

A turbomolekuláris vákuumszivattyú ilyen konstrukciós kialakítása lehetőséget nyújt a 3 forgórésznek egydarabként való kialakítására, ami egyszerűbbé teszi a 3 forgórész elkészítésének technológiai folyamatát, a legyártáshoz szükséges időt az ötödére csökkenti és a turbomolekuláris vákuumszivattyú működési tulajdonságait javítja.Such a design of the turbomolecular vacuum pump provides the opportunity to form the rotor 3 in one piece, which simplifies the technological process of making the rotor 3, reduces the production time by a fifth and improves the performance of the turbomolecular vacuum pump.

A turbomolekuláris vákuumszivattyú a következőképpen működik:The turbomolecular vacuum pump operates as follows:

A vákuumszivattyú üzembe állításakor a 28 karimáját összeerősítjük az adott technológiai berendezés rajzon nem ábrázolt, evakuálni kívánt kamrájával (1. ábra). A 21 csatlakozócsonkot egy a rajzokon nem látható csővezetéken keresztül összekapcsoljuk egy elővákuumot létrehozó készülékkel. Az elővákuumot létrehozó készülék révén az evakuálni kívánt, légmentesen lezárt kamrában 1 és 10^_l Pa közötti nyomást hozunk létre. Ezután a rajzokon nem ábrázolt elektromotor révén forgásba hozzuk a 15 tengelyt és az ezen levő 3 forgórészt, minek következtében a 7, 8, 9. 10 lapátkerekek is forognak ω f orgásirányban.When the vacuum pump is commissioned, the flange 28 is secured to the evacuation chamber (Figure 1) of the technological equipment (not shown). The connector 21 is connected to a pre-vacuum device via a pipeline not shown in the drawings. The pre-vacuum ^{generator creates a} pressure of between 1 and 10 ^{bar in the} airtight chamber to be evacuated. Then, by means of an electric motor (not shown in the drawings), the shaft 15 and the rotor 3 on it are rotated, whereby the impellers 7, 8, 9 10 also rotate ω f in the direction of the organ.

A 3 forgórész forgása közben az evakuálni kívánt kamra teréből gázmolekulák jutnak a vákuumszivattyú üregterébe és ezeket a gázmolekulákat a V gázszívási oldalon levő első 7 lapátkerék 29 lapátjai megfogják. A gázmolekulák saját hősebességéhez a forgó 29 lapátkerekekkel való ütközés által létrehozott sebességimpulzusok adódnak. A 7 lapátkerékkel való többszöri ütközés, a 29 lapátokról való többszöri viszszaverődés következtében a gázmolekulák a 11 lapáttárcsára, majd tovább a második 8 lapátkerék 30 lapátjaira ütköznek. A gázmolekulák, amelyek a visszaverődési törvény alapján azokban a síkokban vándorolnak, amelyek az agy kerületével egytengelyű kerületen vannak és a 29 lapátok síkjait metszik, érintőlegesen haladnak, fölütköznek az első 7 lapátkerékre és a tangenciális sebességkomponens mellett egy radiális sebességkomponenst is kapnak, ami ezeknek a 29 lapátok kerületéig való vándorlását elősegíti, ahol a 29 lapátok lineáris sebességei nőnek. Mindennek eredményeként a gázmolekulák erőimpulzusa megnövekedik és ezek a V gázszívási oldaltól gyorsabban mozognak az N gáznyomási oldal felé. Ezáltal a turbomolekuláris vákuumszivattyú szívássebessége nő. Miután a gázmolekulák áthaladtak a 11 lapáttárcsán, fel ütköznek a második 8 lapátkeréken, amelynek metszésvonalai a 30 lapátok síkjaival majdnem sugárirányúak. A gázmolekulák a 8 lapátkerék 30 lapátjaival való ütközés révén csupán egy tangenciális komponenst kapnak és a gázevakuálás pontosan úgy megy végbe, mint más ismert turbomolekuláris vákuumszivattyúknál. A gázmolekuláknak a 8 lapátkerék 30 lapátjain való visszaverődése után a gázmolekulák a 12 lapáttárcsára és tovább, a 9 lapátkerékre ütköznek föl. amelynek 31 lapátok síkjaival való metszésvonalai a 3 forgórész ω forgásirányában hajlanak. A 9 lapátkerék 31 lapátjainak felfutó oldalaival való ütközéskor a gázmolekulák egy a 9 lapátkerék kerületétől a 3 forgórész O forgástengelye felé ható erőimpulzust kapnak úgy, hogy a gázmolekuláknak 4 résből való evakuálása biztosítva van és a gázmolekuláknak szóródási visszaáramlása is csökkent mértékű. Miután a gázmolekulák áthaladtak a 9 lapátkeréken, felütköznek a 13 lapáttárcsára és ezután a 10 lapátkerék 32 lapátjaira. A 10 lapátkerék munkamódja pontosan olyan, mint a 9 lapátkeréké. Mivel azonban a β4 szög nagyobb a β.3 szögnél, a gázmolekulának a 4 résből való eltávolodásánál a gáz szóródó áramlása csökkenésének következtében a hatásosság javul, aminek következménye pedig a gázkompresszió fokának növekedése.During rotation of the rotor 3, gas molecules enter the vacuum pump cavity from the space of the chamber to be evacuated and are trapped by the vanes 29 of the first impeller 7 on the gas suction side V. The gas molecules at their own thermal velocity are accompanied by velocity pulses generated by collision with the rotating paddle wheels 29. As a result of multiple collision with the impeller 7, multiple reflections from the blades 29, the gas molecules collide with the blade disc 11 and then with the blades 30 of the second impeller 8. The gas molecules that migrate, according to the law of reflection, in planes that are perpendicular to the periphery of the brain and intersect the blade planes 29, move tangentially, collide with the first blade wheel 7 and receive a radial velocity component 29 in addition to the tangential velocity component. facilitates migration of the blades to the periphery, where the linear velocities of the blades 29 increase. As a result, the force pulse of the gas molecules is increased and they move faster from the gas suction side V to the gas pressure side N. This increases the suction speed of the turbomolecular vacuum pump. After the gas molecules have passed through the paddle wheel 11, they collide with the second paddle wheel 8, the intersection lines of which are almost radial to the plane of the paddles 30. The gas molecules, by collision with the blades 30 of the impeller 8, receive only a tangential component, and the gas evacuation occurs exactly as with other known turbomolecular vacuum pumps. After reflection of the gas molecules on the blades 30 of the impeller 8, the gas molecules collide with the blade disc 12 and further on the impeller 9. the lines of intersection of which with the planes of the blades 31 are inclined in the direction of rotation ω of the rotor 3. Upon collision with the upstream faces of the vanes 31 of the impeller 9, the gas molecules receive a pulse of force acting from the periphery of the impeller 9 toward the rotation axis O of the rotor 3 such that the gas molecules are evacuated from the slot and reduce scattering backflow. After the gas molecules have passed through the paddle wheel 9, they hit the paddle wheel 13 and then the paddle wheels 32 of the paddle wheel. The impeller 10 has the same mode of operation as the impeller 9. However, since the angle β4 is larger than the angle β.3, as the gas molecule moves away from the slot 4, the efficiency is improved due to a decrease in the scattering gas flow, which results in an increase in the degree of gas compression.

A gázmolekulák ezután a 10 lapátkerék 32 lapátjairól a molekuláris gázevakuáló fokozat 14 hornyaiba jutnak. A molekuláris gázevakuáló fokozat az ismert módon működik.The gas molecules then pass from the vanes 32 of the impeller 10 to the grooves 14 of the molecular gas evacuation stage. The molecular gas evacuation stage operates in a known manner.

Az előbbiek szerint a turbomolekuláris vákuumszivattyú üzemelése közben a lapátsíkok metszésvonalainak sugáriránytól a forgórész forgásiránya felé való hajlása a gázkompresszió fok növekedését, és az ellentétes irányban való hajtás a szívássebesség növekedését eredményezi. Végeredményként a turbomolekuláris vákuumszivattyú valamennyi evakuáló tulajdonsága javul anélkül, hogy méretei megnövekednének.According to the foregoing, during operation of the turbomolecular vacuum pump, the bending of the blade plane intersection lines from the radial direction to the rotor rotation direction increases the gas compression ratio and the opposite direction drive increases the suction speed. As a result, all the evacuation properties of the turbomolecular vacuum pump are improved without increasing its dimensions.

A találmány szerinti turbomolekuláris vákuumszivattyú különféle technológiai berendezésekhez alkalmazható olyan vákuum létrehozására és fenntartására, amelynél a maradó gáznyomás 10^-1 Pa és 10^-7 Pa közötti. így például használható az elektronikában mikrokapcsolások előállítására, mesterséges kristályok tenyésztésére, valamint különböző olyan kutató berendezések és készülékek alkalmazásához, amelyek vákuummal dolgoznak, mint például az elemirészecske gyorsítók, tömegspektrométerek és elektronmikroszkópok.Turbomolecular vacuum pump according to the invention is applicable to various technological equipment a vacuum to create and maintain, wherein the residual gas pressure of 10 ^-1 Pa to 10 ^-7 Pa. For example, it can be used in electronics to produce microswitches, to cultivate artificial crystals, and to use various research equipment and instruments that work with vacuum, such as elementary particle accelerators, mass spectrometers, and electron microscopes.

Claims

PATENT CLAIMS

1. A turbomolecular vacuum pump having a hollow stator, an axial bore having a rotor formed by at least two impellers, and impellers mounted on the stator, the vanes being disposed at an angle to the blades of the rotor impeller, are arranged such that the cross-sections of the passageways between adjacent blades of adjacent blades are reduced from the impeller on the gas suction side to the impeller on the gas pressure side and the planes of the blades are at least perpendicular to 7, 8, 9, 10), each blade (29, 30, 31, 32) being arranged so that its plane is perpendicular to the plane of rotation (O) of the rotor (3). line is the angle (βι β?) drawn to the point on the circular circumference of the brain (33, 35, 37, 39) to the point on the circular circumference (R1, R5, R4). βί β4), at which point the intersection line (m, n, p, f) intersects the periphery of the hub (33, 35. 37. 39) and that at least one impeller (10) towards the gas pressure side (N) is the rotor. (3) in the direction of rotation (ω) and at least one of the gas aspirators

-5HU 201385 Β

Ί The impeller (7) towards the side (V) is inclined towards the opposite side.

The turbomolecular vacuum pump according to claim 1, characterized in that the plane of each blade wheel (7, 8, 9, 10) has a uniform inclination to the plane of the blades (29, 30. 31, 32) perpendicular to the axis of rotation (0) of the rotor (3). and each rotor wheel (7,8,9,9,10) having an equal number of vanes (29,30,31,32) having a plane perpendicular to the axis of rotation (O) and having on one side a distance from this plane the inclination angle (m, n, p, f) of the planes of the blades (29, 30, 31, 32) and the planes of rotation (3) of the blades (29, 30, 31, 32) ω) are inclined in opposite directions and that each paddle wheel (7, 8, 9, 10) is connected to the other paddle wheels (7, 8, 9,

10) is offset by a specific angle (txi 02 0.3 OH) and each impeller (7, 8, 9,

10) for each of the blades (29, 30, 31, 32) on each of the other blades (7, 8, 9, 10)

10 (29, 30, 31, 32) having planes facing the same side in a common plane.