FR805066A - Dispositif pour la production de dépôts par sublimation dans le vide - Google Patents

Dispositif pour la production de dépôts par sublimation dans le vide

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    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2426377A (en) * 1943-12-07 1947-08-26 Ruben Samuel Selenium rectifier and method of making
US2435997A (en) * 1943-11-06 1948-02-17 American Optical Corp Apparatus for vapor coating of large surfaces
DE976803C (de) * 1950-09-12 1964-05-21 Siemens Ag Vorrichtung zum Herstellen von Trockengleichrichterplatten
DE1185896B (de) * 1960-02-20 1965-01-21 Standard Elektrik Lorenz Ag Verfahren zum Stabilisieren der Oberflaeche von Halbleiterkoerpern mit p-n-UEbergaengen
FR2128476A1 (fr) * 1971-03-02 1972-10-20 Dobson Christopher
EP0023149A1 (fr) * 1979-07-19 1981-01-28 Optical & Electrical Coatings Limited Procédé et appareil pour l'obtention d'un revêtement d'épaisseur ou de densité non uniforme par évaporation sous vide
EP0118576A1 (fr) * 1983-03-11 1984-09-19 Hitachi, Ltd. Procédé pour l'obtention de films minces
FR2581793A1 (fr) * 1985-05-07 1986-11-14 Duruy Nicolas Procede et dispositif de fabrication de composants electroniques ou optoelectroniques avec depot par evaporation sous vide

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