FR707671A - Procédé pour l'obtention de revêtements par pulvérisation cathodique - Google Patents

Procédé pour l'obtention de revêtements par pulvérisation cathodique

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    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G13/00—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
    • H01G13/06—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00 with provision for removing metal surfaces
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE765703C (de) * 1934-03-16 1951-07-26 Bosch Gmbh Robert Elektrostatischer Wickelkondensator
DE1129621B (de) * 1954-12-20 1962-05-17 Joseph Barry Brennan Verfahren zur Herstellung von metallisierten Folienbaendern fuer Elektrolytkondensatoren und Anordnung zur Durchfuehrung dieses Verfahrens
FR2322666A1 (fr) * 1973-01-12 1977-04-01 Coulter Information Systems Appareil pour deposer une pellicule mince en utilisant un moyen formant cible segmentee

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