FR3112420B1 - Procédé pour la production d’un faisceau d’espèces chargées en phase gazeuse et dispositif associé - Google Patents

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Procédé pour la production d’un faisceau d’espèces chargées en phase gazeuse et dispositif associé L’invention concerne un procédé de production d’un faisceau d’espèces chargées en phase gazeuse à base d’une composition comprenant au moins un polymère et au moins une espèce précurseur du faisceau. L’invention concerne encore dispositif adapté à la mise en œuvre du procédé selon l’invention. Figure pour l'abrégé : Figure 2
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DE69432899D1 (de) 1994-10-07 2003-08-07 Ibm Flüssige ionische Zusammensetzungen verwendende Ionenpunktquellen hoher Luminosität
US7411182B2 (en) * 2006-01-19 2008-08-12 Georgia Tech Research Corp Reverse-taylor cone ionization systems and methods of use thereof
US8030621B2 (en) 2007-06-08 2011-10-04 Massachusetts Institute Of Technology Focused ion beam field source
FR2918790A1 (fr) 2007-07-09 2009-01-16 Orsay Physics Sa Source micronique d'emission ionique
GB201413817D0 (en) * 2014-08-05 2014-09-17 Micromass Ltd Method of introducing ions into a vacuum region of a mass spectrometer
US9704685B2 (en) 2015-06-11 2017-07-11 Massachusetts Institute Of Technology Pyrolyzed porous carbon materials and ion emitters

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