FR3111631A1 - SOLAR CONTROL GLASS CONSISTING OF A TITANIUM NITRIDE BASED LAYER AND AN ITO BASED LAYER - Google Patents

SOLAR CONTROL GLASS CONSISTING OF A TITANIUM NITRIDE BASED LAYER AND AN ITO BASED LAYER Download PDF

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Corentin Monmeyran
Laura Jane Singh
Vincent Reymond
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Saint Gobain Glass France SAS
Compagnie de Saint Gobain SA
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Abstract

Article verrier chauffable à propriétés de contrôle solaire comprenant au moins un substrat verrier muni d’un empilement de couches, dans lequel ledit empilement comprend successivement, depuis la surface dudit substrat, deux couches à propriétés de réflexion des infrarouges, dont l’une comprend du nitrure de titane et l’autre comprend un oxyde d’étain et d’indium ITO, lesdites deux couches étant séparées au moins une couche diélectrique.Heatable glass article with solar control properties comprising at least one glass substrate provided with a stack of layers, in which said stack comprises successively, from the surface of said substrate, two layers with infrared reflection properties, one of which comprises titanium nitride and the other comprises indium tin oxide ITO, said two layers being separated by at least one dielectric layer.

Description

VITRAGE DE CONTROLE SOLAIRE COMPRENANT UNE COUCHE A BASE DE NITRURE DE TITANE ET UNE COUCHE A BASE D’ITOSOLAR CONTROL GLAZING COMPRISING A TITANIUM NITRIDE BASED LAYER AND AN ITO BASED LAYER

L'invention concerne les vitrages isolants bas émissifs dits « low-e », munis d'empilements de couches minces dits fonctionnels, c'est-à-dire agissant sur le rayonnement solaire et/ou thermique essentiellement par réflexion et/ou absorption du rayonnement infrarouge proche (solaire) ou lointain (thermique). L'application plus particulièrement visée par l'invention est en premier lieu les vitrages de véhicules, comme les verres latéraux, les toits-autos, les lunettes arrières. Sans sortir du cadre de l’invention le présent vitrage peut également être utilisé dans le domaine du bâtiment, en tant que vitrage de contrôle solaire.The invention relates to so-called "low-e" low-emissivity insulating glazing, provided with stacks of so-called functional thin layers, that is to say acting on solar and/or thermal radiation essentially by reflection and/or absorption of near (solar) or far (thermal) infrared radiation. The application more particularly targeted by the invention is primarily vehicle glazing, such as side windows, car roofs, rear windows. Without departing from the scope of the invention, this glazing can also be used in the building sector, as solar control glazing.

On entend par couche «fonctionnelle» ou encore «active», au sens de la présente demande, les couches de l'empilement qui confèrent à l'empilement l'essentiel de ses propriétés d’isolation thermique. Le plus souvent les empilements en couches minces équipant le vitrage lui confèrent des propriétés sensiblement améliorées d’isolation très essentiellement par les propriétés intrinsèques desdites couches actives. Lesdites couches agissent sur le flux de rayonnement infrarouge thermique traversant ledit vitrage, par opposition aux autres couches, généralement en matériau diélectrique et ayant le plus souvent principalement pour fonction une protection chimique ou mécanique desdites couches fonctionnelles. Par matériau diélectrique, on entend un matériau dont la forme massive et dénuée d’impuretés présente une forte résistivité, notamment une résistivité initialement supérieure 1010ohms.mètres (Ω.m)à 25°C.“Functional” or even “active” layer is understood to mean, within the meaning of the present application, the layers of the stack which give the stack most of its thermal insulation properties. Most often, the stacks of thin layers with which the glazing unit gives it substantially improved insulation properties, very essentially through the intrinsic properties of said active layers. Said layers act on the flux of thermal infrared radiation passing through said glazing, as opposed to the other layers, generally made of dielectric material and most often mainly having the function of chemical or mechanical protection of said functional layers. By dielectric material is meant a material whose massive shape and devoid of impurities has a high resistivity, in particular a resistivity initially greater than 10 10 ohms.meters (Ω.m) at 25°C.

De tels vitrages munis d’empilements de couches minces agissent sur le rayonnement solaire incident soit essentiellement par l’absorption du rayonnement incident par la ou les couches fonctionnelles, soit essentiellement par réflexion par ces mêmes couches.Such glazing provided with stacks of thin layers act on the incident solar radiation either essentially by the absorption of the incident radiation by the functional layer or layers, or essentially by reflection by these same layers.

Ils sont regroupés sous la désignation de vitrage de contrôle solaire. Ils sont commercialisés et utilisés essentiellement :
- soit pour assurer essentiellement une protection de l’habitacle (automobile) ou de l’habitation du rayonnement solaire et en éviter une surchauffe, de tels vitrages étant qualifiés dans le métier d’antisolaire,
- soit essentiellement pour assurer une isolation thermique de l’habitacle ou de l’habitation et éviter les déperditions de chaleur, ces vitrages étant qualifiés de vitrages isolants.
They are grouped under the designation of solar control glazing. They are mainly marketed and used:
- either to essentially ensure protection of the passenger compartment (car) or the dwelling from solar radiation and to avoid overheating, such glazing being qualified in the field of solar protection,
- either essentially to ensure thermal insulation of the passenger compartment or dwelling and to prevent heat loss, these glazings being qualified as insulating glazings.

Par isolant thermique, on entend au sens de la présente invention un vitrage muni d’au moins une couche fonctionnelle lui conférant une déperdition énergétique diminuée, ladite couche présentant des propriétés de réflexion du rayonnement IR compris entre 5 et 50 micromètres. Les couches fonctionnelles utilisées dans cette fonction présentent un coefficient de réflexion du rayonnement IR élevé et sont dites bas-émissives (ou le plus souvent low-e selon le terme anglais). Un paramètre classique utilisé sur le terrain pour évaluer cette capacité est l'émissivité normale εndu vitrage, telle que calculée dans la norme ISO 10292 (1994), annexe A. Plus cette valeur est faible, plus l’empilement comprenant la ou les couches fonctionnelles réfléchissent l’IR thermique et meilleur est l’isolation thermique conféré par l’article verrier muni dudit empilement.By thermal insulation, is meant within the meaning of the present invention a glazing provided with at least one functional layer giving it reduced energy loss, said layer having properties of reflection of IR radiation of between 5 and 50 micrometers. The functional layers used in this function have a high IR radiation reflection coefficient and are called low-emissive (or more often low-e according to the English term). A classic parameter used in the field to assess this capacity is the normal emissivity ε n of the glazing, as calculated in standard ISO 10292 (1994), appendix A. The lower this value, the more the stack comprising the functional layers reflect thermal IR and the better the thermal insulation provided by the glass article provided with said stack.

Il est en outre recherché actuellement des vitrages isolant au sens précédemment décrit tout en procurant en outre un confort visuel amélioré, notamment dans le domaine de l’automobile (comme vitrage latéral, vitrage de lunette arrière ou encore comme toit vitré) ou le bâtiment et en particulier un confort « privatif », c'est-à-dire que les passagers du véhicule ou les occupants du bâtiment équipé desdits vitrages ne soient pas ou peu visibles depuis l’extérieur à la lumière du jour mais puissent de leur côté voir sans aucune gêne l’environnement extérieur.In addition, insulating glazing in the sense described above is currently being sought while also providing improved visual comfort, in particular in the field of automobiles (as side glazing, rear window glazing or even as glazed roof) or building and in particular a "private" comfort, that is to say that the passengers of the vehicle or the occupants of the building fitted with said glazing are not or hardly visible from the outside in daylight but can on their side see without no interference with the external environment.

Pour obtenir un tel effet, il est nécessaire de pouvoir proposer des articles verriers incorporant des empilements réfléchissant les infrarouges présentant les caractéristiques suivantes, lorsque ledit empilement est déposé sur un substrat en verre clair : une émissivité faible, notamment inférieure à 30% et de préférence de l’ordre de 15% à 30%, une transmission lumineuse modérée, de l’ordre de 20 à 60%, une forte réflexion côte de la surface du verre non revêtue, notamment supérieure à 20% associée à une faible réflexion du côté de la face du verre revêtue de l’empilement, notamment inférieure à 10% et une différence entre les réflexions extérieure et intérieure d’au moins 10%, voire d’au moins 15%.To obtain such an effect, it is necessary to be able to offer glass articles incorporating stacks that reflect infrared having the following characteristics, when said stack is deposited on a clear glass substrate: low emissivity, in particular less than 30% and preferably of the order of 15% to 30%, a moderate light transmission, of the order of 20 to 60%, a strong side reflection of the surface of the uncoated glass, in particular greater than 20% associated with a weak reflection of the side of the face of the glass coated with the stack, in particular less than 10% and a difference between the exterior and interior reflections of at least 10%, or even of at least 15%.

Dans la présente description on désigne les surfaces de l’article verrier en fonction soit du positionnement de l’empilement de couches, soit du positionnement de celui-ci dans le véhicule ou le bâtiment qu’il occupe. Plus précisément, on peut décrire indifféremment :In the present description, the surfaces of the glass article are designated as a function either of the positioning of the stack of layers, or of the positioning of the latter in the vehicle or the building which it occupies. More precisely, one can describe indifferently:

  • le côté empilement de l’article, qui correspond à sa face tournée vers l’intérieur du véhicule ou bâtiment et revêtue dudit empilement etthe stacking side of the article, which corresponds to its side facing the interior of the vehicle or building and coated with said stacking and
  • le côté verre de l’article, qui correspond à sa face nue tournée vers l’extérieur du véhicule ou du bâtiment qu’il équipe.the glass side of the item, which corresponds to its bare side facing the outside of the vehicle or building it equips.

D’une manière générale, toutes les caractéristiques lumineuses et thermiques présentées dans la présente description sont obtenues selon les principes et méthodes décrits dans les normes internationales ISO 9050 (2003) et ISO 10292 (1994), se rapportant respectivement à la détermination des caractéristiques lumineuses et énergétiques des vitrages utilisés dans le verre pour la construction.In general, all the luminous and thermal characteristics presented in this description are obtained according to the principles and methods described in the international standards ISO 9050 (2003) and ISO 10292 (1994), relating respectively to the determination of the luminous characteristics and energy of the glazing used in glass for construction.

Les empilements les plus performants commercialisés à l’heure actuelle pour résoudre les problèmes précédents et déposés par les techniques de pulvérisation magnétron incorporent une couche métallique du type Argent fonctionnant essentiellement sur le mode de la réflexion d’une majeure partie du rayonnement IR (infrarouge) incident. Ces empilements sont ainsi utilisés principalement en tant que vitrages du type bas émissifs (ou low-e en anglais) pour l’isolation thermique des bâtiments. Ces couches sont cependant très sensibles à l’humidité et sont donc exclusivement utilisées dans des doubles vitrages, en face 2 ou 3 de celui-ci, pour être protégées de l’humidité. Les empilements selon l’invention ne comprennent pas de telles couches du type argent, ou encore du type or ou platine ou encore cuivre. D’une manière plus générale, les empilements selon l’invention ne contiennent pas de tels métaux précieux, ou alors en quantités très négligeables, notamment sous formes d’impuretés inévitables.The most efficient stacks currently marketed to solve the above problems and deposited by magnetron sputtering techniques incorporate a metallic layer of the Silver type operating essentially in the mode of reflection of a major part of the IR (infrared) radiation. incident. These stacks are thus mainly used as low-emissivity (or low-e) glazing for the thermal insulation of buildings. These layers are however very sensitive to humidity and are therefore exclusively used in double glazing, facing 2 or 3 of them, to be protected from humidity. The stacks according to the invention do not include such layers of the silver type, or else of the gold or platinum type or even copper. More generally, the stacks according to the invention do not contain such precious metals, or else in very negligible quantities, in particular in the form of unavoidable impurities.

La mise au point de nouveaux empilements est rendue nécessaire pour résoudre le problème technique précédemment exposé.The development of new stacks is made necessary to solve the technical problem previously exposed.

Il a déjà été décrit dans les demandes US2016/0002100 et WO2018/156568 un vitrage de contrôle solaire comprenant un empilement comprenant au-dessus de la surface de verre et dans cet ordre une couche réfléchissant les infrarouges en ITO et au-dessus de celle-ci une couche absorbante à base de nitrure de titane, les deux couches étant séparées par une couche de nitrure de silicium. Les expériences et modélisations effectuées par la société déposante ont montré que de tels vitrages ne permettaient cependant pas d’obtenir de façon satisfaisante l’effet privatif recherché, notamment en raison d’une réflexion lumineuse extérieure trop faible, de l’ordre de 15% voire moins.It has already been described in applications US2016/0002100 and WO2018/156568 a solar control glazing comprising a stack comprising above the glass surface and in this order an infrared-reflecting layer in ITO and above that- ci an absorbent layer based on titanium nitride, the two layers being separated by a layer of silicon nitride. The experiments and modeling carried out by the applicant company have shown that such glazing does not, however, make it possible to satisfactorily obtain the desired privacy effect, in particular due to too low an external light reflection, of the order of 15%. even less.

Selon les résultats obtenus par la société déposante, les problèmes précédents ont été résolus par des articles verriers tels que décrits maintenant :According to the results obtained by the applicant company, the previous problems have been solved by glass articles as now described:

Selon un premier aspect, la présente invention se rapporte à un article verrier isolant thermiquement, comprenant au moins un substrat verrier muni d’un empilement de couches, dans lequel l’empilement comprend successivement depuis la surface dudit substrat :According to a first aspect, the present invention relates to a thermally insulating glass article, comprising at least one glass substrate provided with a stack of layers, in which the stack comprises successively from the surface of said substrate:

- préférentiellement un premier module M1constitué par une couche à base d’un matériau diélectrique d’épaisseur e1 ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d’épaisseur cumulée e1,- preferably a first module M 1 constituted by a layer based on a dielectric material of thickness e1 or by a set of layers based on dielectric materials of cumulative thickness e 1 ,

- une première couche TiN comprenant du nitrure de titane, d’épaisseur comprise entre 5 nanomètres et 40 nanomètres,- a first TiN layer comprising titanium nitride, with a thickness of between 5 nanometers and 40 nanometers,

- un second module M2constitué par une couche à base d’un matériau diélectrique d’épaisseur e2ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d’épaisseur cumulée e2,- a second module M 2 constituted by a layer based on a dielectric material of thickness e 2 or by a set of layers based on dielectric materials of cumulative thickness e 2 ,

- une couche ITO comprenant un oxyde d’indium et d’étain, d’épaisseur comprise entre 5 nanomètres et 70 nanomètres,- an ITO layer comprising an oxide of indium and tin, with a thickness of between 5 nanometers and 70 nanometers,

- un troisième module M3constitué par une couche à base d’un matériau diélectrique d’épaisseur e3ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d’épaisseur cumulée e3,- a third module M 3 constituted by a layer based on a dielectric material of thickness e 3 or by a set of layers based on dielectric materials of cumulative thickness e 3 ,

dans lequel e1est inférieure à 70 nanomètres, de préférence comprise entre 1 et 70 nm, e2est compris entre 5 nm et 100 nm et e3est supérieur à 10 nanomètres, de préférence compris entre 10 et 100 nm.in which e 1 is less than 70 nanometers, preferably between 1 and 70 nm, e 2 is between 5 nm and 100 nm and e 3 is greater than 10 nanometers, preferably between 10 and 100 nm.

Selon des modes de réalisations préférés de la présente invention, qui peuvent bien évidemment être combinés le cas échéant entre eux :According to preferred embodiments of the present invention, which can obviously be combined if necessary with each other:

  • Lesdits diélectriques sont choisis parmi un nitrure de silicium, un nitrure d’aluminium, un oxyde d’étain, un oxyde mixte de zinc et d’étain, un oxyde de silicium, un oxyde de titane, un oxynitrure de silicium, de préférence un nitrure de silicium, un oxyde de silicium ou un oxynitrure de silicium.Said dielectrics are chosen from a silicon nitride, an aluminum nitride, a tin oxide, a mixed oxide of zinc and tin, a silicon oxide, a titanium oxide, a silicon oxynitride, preferably a silicon nitride, silicon oxide or silicon oxynitride.
  • Le revêtement ne contient pas de couche à base d’argent ou d’or ou encore de cuivre, de nickel.The coating does not contain a layer based on silver or gold or even copper or nickel.
  • M1est une couche unique comprenant du nitrure de silicium et de préférence à base de nitrure de silicium.M 1 is a single layer comprising silicon nitride and preferably based on silicon nitride.
  • Le module M3comprend et de préférence est constitué par une couche comprenant de l’oxyde de silicium ou de l’oxynitrure de silicium et éventuellement une surcouche en oxyde de titane, en oxyde de zirconium ou en oxyde de titane et de zirconium.The module M 3 comprises and preferably consists of a layer comprising silicon oxide or silicon oxynitride and optionally an overlayer of titanium oxide, zirconium oxide or titanium and zirconium oxide.
  • Le module M2comprend, et de préférence est constitué par, une couche comprenant de l’oxyde de silicium ou de l’oxynitrure de silicium.The module M 2 comprises, and preferably consists of, a layer comprising silicon oxide or silicon oxynitride.
  • Une couche intermédiaire de titane, d'aluminium, de silicium, d'un alliage d'au moins deux de ces éléments, ou d'un alliage nickel-chrome est déposée entre la couche comprenant du nitrure de titane et la couche comprenant un diélectrique choisi parmi un oxyde d’étain, un oxyde mixte de zinc et d’étain, un oxyde de silicium, un oxyde de titane, un oxynitrure de silicium, en particulier un oxyde de silicium ou un oxynitrure de silicium.An intermediate layer of titanium, aluminum, silicon, an alloy of at least two of these elements, or a nickel-chromium alloy is deposited between the layer comprising titanium nitride and the layer comprising a dielectric chosen from a tin oxide, a mixed oxide of zinc and tin, a silicon oxide, a titanium oxide, a silicon oxynitride, in particular a silicon oxide or a silicon oxynitride.
  • M1et M2et préférentiellement M3comprennent, ou sont constitués par, une couche comprenant du nitrure de silicium et de préférence à base de nitrure de silicium.M 1 and M 2 and preferably M 3 comprise, or consist of, a layer comprising silicon nitride and preferably based on silicon nitride.
  • Ledit revêtement comprend, et de préférence est constitué par, la succession de couches suivantes, à partir de la surface du substrat :
    - une couche à base de nitrure de silicium d’épaisseure 1 de préférence comprise entre 5 nm et 60 nm, de préférence entre 10 et 50 nm,
    - une couche comprenant du nitrure de titane, d’épaisseur comprise entre 5 nm et 30 nm, de préférence entre 5 et 25 nm
    - une couche à base de nitrure de silicium, d’épaisseure 2 comprise entre 10 nm et 70 nm, de préférence d’épaisseur comprise entre 10 et 30 nm,
    - une couche comprenant de l’oxyde d’indium et d’étain, d’épaisseur comprise entre 10 et 60 nanomètres, de préférence entre 20 et 50 nm,
    - une couche M3à base de nitrure de silicium d’épaisseure 3 supérieure à 10 nm, de préférence comprise entre 20 nm et 65 nanomètres, ou un ensemble de couches diélectriques M3, dont au moins une couche à base de nitrure de silicium d’épaisseur supérieure à 10 nm, de préférence comprise entre 25 nanomètres et 60 nanomètres,
    Said coating comprises, and preferably consists of, the following succession of layers, starting from the surface of the substrate:
    - a layer based on silicon nitride with a thickness e 1 preferably between 5 nm and 60 nm, preferably between 10 and 50 nm,
    - a layer comprising titanium nitride, with a thickness between 5 nm and 30 nm, preferably between 5 and 25 nm
    - a layer based on silicon nitride, with a thickness e 2 of between 10 nm and 70 nm, preferably with a thickness of between 10 and 30 nm,
    - a layer comprising indium tin oxide, with a thickness of between 10 and 60 nanometers, preferably between 20 and 50 nm,
    - a layer M 3 based on silicon nitride with a thickness e 3 greater than 10 nm, preferably between 20 nm and 65 nanometers, or a set of dielectric layers M 3 , including at least one layer based on silicon nitride silicon with a thickness greater than 10 nm, preferably between 25 nanometers and 60 nanometers,

- optionnellement une couche à base d’oxyde de titane, d’oxyde de titane et de zirconium ou une couche d’oxyde de zirconium, d’épaisseur comprise de préférence entre 1 et 10 nm.- optionally a layer based on titanium oxide, titanium oxide and zirconium or a layer of zirconium oxide, with a thickness preferably between 1 and 10 nm.

- Ledit revêtement comprend, et de préférence est constitué par, la succession de couches suivantes, à partir de la surface du substrat :
- une première couche M1à base de nitrure de silicium d’épaisseure 1 de préférence comprise entre 1 nm et 50 nm, de préférence entre 2 et 30 nm,
- une couche comprenant du nitrure de titane, d’épaisseur comprise entre 5 nm et 30 nanomètres, de préférence entre 7 et 25 nm,
- optionnellement une couche intermédiaire de titane, d'aluminium, de silicium, d'un alliage d'au moins deux de ces éléments, ou d'un alliage nickel-chrome, d’épaisseur comprise entre 0,5 et 7 nm, de préférence comprise entre 1 et 6 nm,
- Said coating comprises, and preferably consists of, the following succession of layers, starting from the surface of the substrate:
- a first layer M 1 based on silicon nitride with a thickness e 1 preferably between 1 nm and 50 nm, preferably between 2 and 30 nm,
- a layer comprising titanium nitride, with a thickness between 5 nm and 30 nanometers, preferably between 7 and 25 nm,
- optionally an intermediate layer of titanium, aluminum, silicon, an alloy of at least two of these elements, or a nickel-chromium alloy, with a thickness between 0.5 and 7 nm, of preferably between 1 and 6 nm,

- une couche M2à base d’oxyde de silicium ou d’oxynitrure de silicium, d’épaisseure 2 comprise entre 20 nm et 65 nm,
- une couche comprenant de l’oxyde d’indium et d’étain, d’épaisseur comprise entre 10 et 60 nanomètres, de préférence comprise entre 20 et 50 nm,
- une troisième couche unique M3comprenant de l’oxyde de silicium ou de l’oxynitrure de silicium d’épaisseure 3 supérieure à 10 nm, notamment comprise entre 20 nm et 80 nanomètres, de préférence entre 30 et 70 nm,
- a layer M 2 based on silicon oxide or silicon oxynitride, with a thickness e 2 of between 20 nm and 65 nm,
- a layer comprising indium and tin oxide, with a thickness of between 10 and 60 nanometers, preferably between 20 and 50 nm,
- a single third layer M 3 comprising silicon oxide or silicon oxynitride with a thickness e 3 greater than 10 nm, in particular between 20 nm and 80 nanometers, preferably between 30 and 70 nm,

- optionnellement une couche à base d’oxyde de titane, d’oxyde de titane et de zirconium ou une couche d’oxyde de zirconium, d’épaisseur comprise entre 1 et 10 nm.- optionally a layer based on titanium oxide, titanium oxide and zirconium or a layer of zirconium oxide, with a thickness of between 1 and 10 nm.

  • L’empilement comprend, et de préférence est constitué par, successivement depuis la surface dudit substrat:
    - un premier module M1constitué par une couche à base d’un matériau diélectrique d’épaisseure 1 ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d’épaisseur cumuléee 1 , ladite épaisseure 1 étant de préférence comprise entre 1 et 50 nm, de préférence encore comprise entre 5 et 30 nm,
    The stack comprises, and preferably consists of, successively from the surface of said substrate:
    - a first module M1consisting of a layer based on a dielectric material of thicknesse 1 or by a set of layers based on dielectric materials of cumulative thicknesse 1 , said thicknesse 1 being preferably between 1 and 50 nm, more preferably between 5 and 30 nm,

- une première couche TiN1comprenant du nitrure de titane, d’épaisseur comprise entre 5 nanomètres et 40 nanomètres, de préférence comprise entre 5 et 30 nm,
- un second module M2constitué par une couche à base d’un matériau diélectrique d’épaisseure 2 ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d’épaisseur cumuléee 2 ,ladite épaisseure 2 étant de préférence comprise entre 10 et 80 nm, de préférence encore comprise entre 20 et 70 nm,
- une couche ITO comprenant un oxyde d’indium et d’étain, d’épaisseur comprise entre 5 nanomètres et 70 nanomètres, de préférence entre 10 et 50 nm,
- un troisième module M3constitué par une couche à base d’un matériau diélectrique d’épaisseure 3 ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d’épaisseur cumuléee 3 , ladite épaisseure 3 étant de préférence comprise entre 10 et 80 nm, de préférence encore comprise entre 20 et 50 nm,
- une seconde couche TiN2comprenant du nitrure de titane, d’épaisseur comprise entre 5 nanomètres et 40 nanomètres, de préférence comprise entre 10 et 35 nm,
- a first TiN layer1comprising titanium nitride, with a thickness of between 5 nanometers and 40 nanometers, preferably between 5 and 30 nm,
- a second module M2consisting of a layer based on a dielectric material of thicknesse 2 or by a set of layers based on dielectric materials of cumulative thicknesse 2 ,said thicknesse 2 being preferably between 10 and 80 nm, more preferably between 20 and 70 nm,
- an ITO layer comprising an oxide of indium and tin, with a thickness of between 5 nanometers and 70 nanometers, preferably between 10 and 50 nm,
- a third module M3consisting of a layer based on a dielectric material of thicknesse 3 or by a set of layers based on dielectric materials of cumulative thicknesse 3 , said thicknesse 3 being preferably between 10 and 80 nm, more preferably between 20 and 50 nm,
- a second TiN layer2comprising titanium nitride, with a thickness of between 5 nanometers and 40 nanometers, preferably between 10 and 35 nm,

- un quatrième module M4constitué par une couche à base d’un matériau diélectrique d’épaisseure 4 ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d’épaisseur cumuléee 4 , dans lequele 4 est supérieur à 10 nanomètres, de préférence compris entre 20 et 80 nm.- a fourth module M 4 constituted by a layer based on a dielectric material with a thickness e 4 or by a set of layers based on dielectric materials with a cumulative thickness e 4 , in which e 4 is greater than 10 nanometers, preferably between 20 and 80 nm.

- Selon ce dernier mode, le module M4comprend, et de préférence est constitué par, une couche comprenant du nitrure de silicium, de l’oxyde de silicium ou de l’oxynitrure de silicium et éventuellement une surcouche en oxyde de titane, en oxyde de zirconium ou en oxyde de titane et de zirconium.- According to this last mode, the module M 4 comprises, and preferably consists of, a layer comprising silicon nitride, silicon oxide or silicon oxynitride and optionally an overlayer of titanium oxide, in zirconium oxide or titanium and zirconium oxide.

- Le substrat verrier est trempé ou bombé.- The glass substrate is tempered or curved.

L’invention se rapporte également à un vitrage automobile, en particulier un toit auto pour automobile, comprenant un article verrier tel que décrit précédemment et comprenant un seul substrat verrier, dans lequel ledit substrat est préférentiellement teinté dans sa masse, et dans lequel ledit empilement est préférentiellement positionné vers la face du vitrage exposée vers l’intérieur du véhicule ou du bâtiment qu’il équipe.The invention also relates to automobile glazing, in particular a car roof for a car, comprising a glass article as described above and comprising a single glass substrate, in which said substrate is preferentially tinted in its mass, and in which said stack is preferably positioned towards the face of the glazing exposed towards the interior of the vehicle or of the building that it equips.

L’invention se rapporte en particulier à un vitrage automobile, en particulier toit auto pour automobile, comprenant un premier substrat verrier, de préférence coloré dans sa masse, lié par un feuillet thermoplastique intermédiaire, notamment en PVB, à un article verrier tel que décrit précédemment, dont le substrat est de préférence en verre clair et dans lequel l’empilement de couches est de préférence disposé sur la face exposée vers l’extérieur dudit vitrage.The invention relates in particular to automobile glazing, in particular automobile roof for automobile, comprising a first glass substrate, preferably colored in its mass, bonded by an intermediate thermoplastic sheet, in particular in PVB, to a glass article as described previously, whose substrate is preferably made of clear glass and in which the stack of layers is preferably arranged on the face exposed towards the outside of said glazing.

L’invention se rapporte également à un vitrage pour bâtiment, comprenant un article verrier tel que décrit précédemment. Ledit vitrage pour bâtiment peut comprendre un, deux ou trois substrats verriers sous la forme d’un vitrage simple ou d’un double vitrage ou encore d’un triple vitrage pour bâtiment, dans lequel les substrats verriers successifs sont séparés les uns des autres par des lames de gaz et le plus souvent reliés entre eux par des espaceurs.The invention also relates to glazing for buildings, comprising a glass article as described above. Said glazing for buildings may comprise one, two or three glass substrates in the form of single glazing or double glazing or even triple glazing for buildings, in which the successive glass substrates are separated from each other by gas blades and most often interconnected by spacers.

Selon d’autres caractéristiques préférées de l’invention qui peuvent bien entendu le cas échéant être combinées entre elles :According to other preferred characteristics of the invention which can of course be combined with each other if necessary:

- L’épaisseure 1 du premier module M1est inférieure à 60 nm, ou même inférieur à 50 nm, en particulier comprise entre 1 nm et 50 nanomètres, bornes comprises.- The thickness e 1 of the first module M 1 is less than 60 nm, or even less than 50 nm, in particular between 1 nm and 50 nanometers, limits included.

- L’épaisseure 2 du second module M2est comprise entre 10 nm et 80 nm bornes incluses, de préférence est comprise entre 20 nm et 60 nm, bornes incluses- The thickness e 2 of the second module M 2 is between 10 nm and 80 nm inclusive terminals, preferably is between 20 nm and 60 nm inclusive terminals

- L’épaisseure 3 du troisième module M3est comprise entre 20 nm et 80 nanomètres, bornes comprises, de préférence est comprise entre 25 nm et 70 nanomètres, bornes incluses et de manière très préférée est comprise entre 30 nm et 60 nanomètres, bornes incluses- The thickness e 3 of the third module M 3 is between 20 nm and 80 nanometers, terminals included, preferably is between 25 nm and 70 nanometers, terminals included and very preferably is between 30 nm and 60 nanometers, terminals included

- L’épaisseure 4 du quatrième module M4est comprise entre 20 nm et 65 nanomètres, bornes comprises, de préférence est comprise entre 25 nm et 60 nanomètres, bornes incluses et de manière très préférée est comprise entre 30 nm et 50 nanomètres, bornes incluses.- The thickness e 4 of the fourth module M 4 is between 20 nm and 65 nanometers, terminals included, preferably is between 25 nm and 60 nanometers, terminals included and very preferably is between 30 nm and 50 nanometers, terminals included.

- L’épaisseur TiN de première couche à base de nitrure de titane en dessous de la couche d’ITO est comprise entre 10 nm et 40 nanomètres, bornes comprises, de préférence entre 15 nm et 30 nanomètres bornes incluses.- The TiN thickness of the first layer based on titanium nitride below the ITO layer is between 10 nm and 40 nanometers, limits included, preferably between 15 nm and 30 nanometers, limits included.

- L’épaisseur TiN de la seconde couche optionnelle à base de nitrure de titane au-dessus de la couche d’ITO est comprise entre 5 nm et 20 nanomètres, bornes comprises, de préférence entre 7 nm et 15 nanomètres bornes incluses.- The TiN thickness of the second optional layer based on titanium nitride above the ITO layer is between 5 nm and 20 nanometers, limits included, preferably between 7 nm and 15 nanometers, limits included.

- La couche à base d’ITO comprend, en proportions massiques et sur la base des oxydes simples, entre 70 et 95% d’oxyde d’indium et 5 à 20% d’oxyde d’étain. Une proportion massique typique, toujours sur la base des oxydes simples, est d’environ 90 % massique d’oxyde d’indium In2O3pour environ 10 % massique de SnO2.- The ITO-based layer comprises, in mass proportions and on the basis of simple oxides, between 70 and 95% indium oxide and 5 to 20% tin oxide. A typical proportion by mass, still on the basis of simple oxides, is about 90% by mass of indium oxide In 2 O 3 for about 10% by mass of SnO 2 .

- Les modules M1, M2et de préférence M3comprennent du nitrure de silicium, sous la forme d’une couche unique ou d’un ensemble de couches dont au moins une couche comprenant du nitrure de silicium.- The modules M 1 , M 2 and preferably M 3 comprise silicon nitride, in the form of a single layer or a set of layers including at least one layer comprising silicon nitride.

- M1comprend une couche comprenant du nitrure de silicium,- M 1 comprises a layer comprising silicon nitride,

- M2comprend une couche comprenant du nitrure de silicium.- M 2 comprises a layer comprising silicon nitride.

- M3comprend une couche comprenant du nitrure de silicium.- M 3 comprises a layer comprising silicon nitride.

- M4comprend une couche comprenant du nitrure de silicium.- M 4 comprises a layer comprising silicon nitride.

- M1et M2sont des couches uniques.- M 1 and M 2 are single layers.

- M1et M2et M3sont des couches uniques.- M 1 and M 2 and M 3 are single layers.

- M1et M2sont à base de nitrure de silicium.- M 1 and M 2 are based on silicon nitride.

- M1, M2et M3sont à base de nitrure de silicium.- M 1 , M 2 and M 3 are based on silicon nitride.

- M1, M2, M3et le cas échéant M4sont à base de nitrure de silicium.- M 1 , M 2 , M 3 and if necessary M 4 are based on silicon nitride.

- M1est une couche unique à base de nitrure de silicium ou est constituée essentiellement de nitrure de silicium et est au contact direct de la couche comprenant du nitrure de titane,- M 1 is a single layer based on silicon nitride or consists essentially of silicon nitride and is in direct contact with the layer comprising titanium nitride,

- Le ou les modules M2et M3et le cas échéant M4comprennent et de préférence sont à base de matériaux choisis parmi un oxyde de silicium, un oxyde de titane, ou un oxynitrure de silicium, de préférence encore un oxyde de silicium ou un oxynitrure de silicium.- The module(s) M 2 and M 3 and where appropriate M 4 comprise and preferably are based on materials chosen from among a silicon oxide, a titanium oxide, or a silicon oxynitride, more preferably a silicon oxide or a silicon oxynitride.

- Les couches à base d'oxynitrure de silicium sont de préférence caractérisées par un indice de réfraction à 550 nm, intermédiaire entre une couche d'oxyde non nitrurée et une couche de nitrure non oxydée. Les couches à base d'oxynitrure de silicium ont de préférence un indice de réfraction à 550 nm supérieur à 1,55, de préférence supérieur à 1,60 ou même supérieur à 1,70 ou alternativement compris entre 1,55 et 1,99 ; de préférence encore compris entre 1,60 et 1,97 ; voire entre 1,70 et 1,95 ou même entre 1,70 et 1,90.- Layers based on silicon oxynitride are preferably characterized by a refractive index at 550 nm, intermediate between a non-nitrided oxide layer and a non-oxidized nitride layer. The layers based on silicon oxynitride preferably have a refractive index at 550 nm greater than 1.55, preferably greater than 1.60 or even greater than 1.70 or alternatively between 1.55 and 1.99 ; more preferably between 1.60 and 1.97; even between 1.70 and 1.95 or even between 1.70 and 1.90.

- Le matériau d'oxynitrure de silicium selon l’invention peut notamment présenter un rapport molaire O/(O+N) compris entre 0,94 et 0,25, de préférence encore entre 0,87 et 0,36.- The silicon oxynitride material according to the invention may in particular have an O/(O+N) molar ratio of between 0.94 and 0.25, more preferably between 0.87 and 0.36.

- Le substrat verrier sur lequel est déposé l’empilement est en verre clair.- The glass substrate on which the stack is placed is made of clear glass.

- L’article verrier est inséré dans un vitrage feuilleté comprenant deux substrats verriers assemblés par un feuillet thermoplastique dont l’un correspond à celui de l’article verrier précédemment décrit, de telle façon que l’empilement de couches décrit précédemment est disposé vers une surface extérieure dudit vitrage.- The glass article is inserted into a laminated glazing comprising two glass substrates assembled by a thermoplastic sheet, one of which corresponds to that of the glass article previously described, in such a way that the stack of layers described above is arranged towards a outer surface of said glazing.

- Le vitrage précédent comprend un premier substrat verrier, de préférence coloré dans sa masse, lié à un deuxième substrat par un feuillet thermoplastique intermédiaire, notamment en PVB, ledit deuxième substrat étant en verre clair et muni dudit empilement de couches disposé de préférence sur sa face exposée vers l’extérieur dudit article ou vitrage. Par coloré dans sa masse, on entend que le substrat comprend dans sa composition de verre des éléments visant à lui conférer une coloration (i.e. différente de celle d’un verre dit « clair »), notamment des éléments tels que le cobalt, le fer, le sélénium, voire le chrome, qui peuvent également viser à en diminuer la transmission lumineuse.- The preceding glazing comprises a first glass substrate, preferably colored in its mass, bonded to a second substrate by an intermediate thermoplastic sheet, in particular of PVB, said second substrate being made of clear glass and provided with said stack of layers preferably arranged on its face exposed towards the outside of said article or glazing. By colored in its mass, it is meant that the substrate includes in its glass composition elements aimed at giving it a coloring (i.e. different from that of a so-called "clear" glass), in particular elements such as cobalt, iron , selenium, or even chromium, which can also aim to reduce light transmission.

- Le ou lesdits substrats verriers sont trempés ou bombés.- The said glass substrate or substrates are tempered or curved.

De préférence, les couches de nitrure de titane sont à base de nitrure de titane ou de préférence encore sont constituées essentiellement de nitrure de titane.Preferably, the titanium nitride layers are based on titanium nitride or more preferably consist essentially of titanium nitride.

Des couches à base de titane selon l’invention comprennent par exemple plus de 50% poids de nitrure de titane, de préférence plus de 80% ou même plus de 90% poids de nitrure de titane.Layers based on titanium according to the invention comprise for example more than 50% by weight of titanium nitride, preferably more than 80% or even more than 90% by weight of titanium nitride.

Le nitrure de titane selon l’invention n’est pas nécessairement stœchiométrique (ratio atomique Ti/N de 1) mais peut être sur- ou sous-stœchiométrique. Selon un mode avantageux, le ratio N/Ti est compris entre 1 et 1,2. Egalement, le nitrure de titane selon l’invention peut comprendre une quantité mineure d’oxygène, par exemple entre 1 et 10% molaire d’oxygène, notamment entre 1 et 5% molaire d’oxygène.The titanium nitride according to the invention is not necessarily stoichiometric (Ti/N atomic ratio of 1) but can be over- or under-stoichiometric. According to an advantageous mode, the N/Ti ratio is between 1 and 1.2. Also, the titanium nitride according to the invention can comprise a minor quantity of oxygen, for example between 1 and 10% molar of oxygen, in particular between 1 and 5% molar of oxygen.

Selon un mode particulièrement préféré, les couches en nitrure de titane selon l’invention répondent à la formule générale TiNxOy, dans laquelle 1,00 < x < 1,20 et dans laquelle 0,01 < y < 0,10.According to a particularly preferred mode, the titanium nitride layers according to the invention correspond to the general formula TiN x O y , in which 1.00 <x <1.20 and in which 0.01 <y <0.10.

Au sens de la présente invention on entend par oxyde d'indium-étain (ou encore oxyde d'indium dopé à l'étain ou ITO pour l'appellation anglaise : Indium tin oxide) un oxyde mixte ou un mélange obtenu à partir des oxydes d'indium(III) (In2O3) et d'étain (IV) (SnO2), de préférence dans les proportions massiques comprises entre 70 et 95% pour le premier oxyde et 5 à 20% pour le second oxyde. Une proportion massique typique est d’environ 90 % massique d’In2O3pour environ 10 % massique de SnO2.Within the meaning of the present invention, the term indium-tin oxide (or indium oxide doped with tin or ITO for the English name: Indium tin oxide) is understood to mean a mixed oxide or a mixture obtained from the oxides indium(III) (In 2 O 3 ) and tin (IV) (SnO 2 ), preferably in mass proportions of between 70 and 95% for the first oxide and 5 to 20% for the second oxide. A typical mass proportion is approximately 90% by mass of In 2 O 3 for approximately 10% by mass of SnO 2 .

Les matériaux diélectriques, une fois déposés en couches minces, peuvent cependant comprendre des éléments supplémentaires augmentant sensiblement leur conductivité électrique, utiles par exemple pour améliorer le rendement de pulvérisation cathodique du matériau précurseur constituant la cible magnétron. Les couches diélectriques des modules M1, M2et M3selon l’invention peuvent être des couches à base d’un matériau choisi parmi un nitrure de silicium, un nitrure d’aluminium, un oxyde d’étain, un oxyde mixte de zinc ou d’étain, un oxyde de silicium, un oxyde de titane, un oxynitrure de silicium. De préférence les modules M1, M2et M3sont constitués d’une couche unique. La couche unique constituant le module M1 est préférentiellement à base de nitrure de silicium. La couche unique constituant le module M2est préférentiellement à base d’oxyde d’étain, d’oxyde mixte de zinc et d’étain, d’oxyde de silicium, d’oxyde de titane, d’oxynitrure de silicium. En particulier une couche à base d’un matériau est constituée majoritairement, par exemple pour plus de 50% poids, de préférence pour plus de 80% ou même plus de 90% poids, d’un tel matériau. Elle peut en particulier contenir d’autres éléments minoritaires, en particulier en substitution des cations, en particulier pour en favoriser le dépôt sous forme de couches minces par les techniques habituelles de la pulvérisation magnétron comme décrit précédemment. A titre d’exemple, les couches selon la présente invention à base de nitrure de silicium ou à base d’oxynitrure de silicium, voire à base d’oxyde de silicium, notamment celles déposées par magnétron, comprennent le plus souvent des éléments du type Al, Zr, B, etc., en des proportions pouvant aller par exemple jusqu’à 10% atomique ou même parfois jusqu’à 20% atomique voire 30% atomique, sur la base de la teneur molaire totale de la couche en éléments autres que l’oxygène et l’azote. De même, les couches en oxyde de titane peuvent comprendre en substitution du titane d’autres cations métalliques tels que du zirconium, sans sortir du cadre de la présente invention.The dielectric materials, once deposited in thin layers, can however comprise additional elements which substantially increase their electrical conductivity, useful for example for improving the yield of cathode sputtering of the precursor material constituting the magnetron target. The dielectric layers of the modules M 1 , M 2 and M 3 according to the invention can be layers based on a material chosen from among a silicon nitride, an aluminum nitride, a tin oxide, a mixed oxide of zinc or tin, a silicon oxide, a titanium oxide, a silicon oxynitride. Preferably the modules M 1 , M 2 and M 3 consist of a single layer. The single layer constituting the module M1 is preferably based on silicon nitride. The single layer constituting the module M 2 is preferably based on tin oxide, mixed oxide of zinc and tin, silicon oxide, titanium oxide, silicon oxynitride. In particular, a layer based on a material consists mainly, for example for more than 50% by weight, preferably for more than 80% or even more than 90% by weight, of such a material. It may in particular contain other minority elements, in particular in substitution for the cations, in particular to promote their deposition in the form of thin layers by the usual techniques of magnetron sputtering as described previously. By way of example, the layers according to the present invention based on silicon nitride or based on silicon oxynitride, or even based on silicon oxide, in particular those deposited by magnetron, most often comprise elements of the type Al, Zr, B, etc., in proportions which can go for example up to 10 atomic % or even sometimes up to 20 atomic % or even 30 atomic %, on the basis of the total molar content of the layer in elements other than oxygen and nitrogen. Similarly, the titanium oxide layers may comprise, in substitution for titanium, other metal cations such as zirconium, without departing from the scope of the present invention.

Selon un aspect avantageux de la présente invention, les couches à base d’oxyde ou d’oxynitrure tels que décrits précédemment, lorsqu’elles sont à proximité immédiate d’une couche comprenant du nitrure de titane dans l’empilement selon l’invention, sont séparés de celui par une couche intermédiaire à base de titane, d'aluminium, de silicium, d'un alliage d'au moins deux de ces éléments, ou selon une alternative moins préféré, d'un alliage nickel-chrome. De préférence cette couche intermédiaire est à base de titane.According to an advantageous aspect of the present invention, the layers based on oxide or oxynitride as described above, when they are in the immediate vicinity of a layer comprising titanium nitride in the stack according to the invention, are separated from that by an intermediate layer based on titanium, aluminum, silicon, an alloy of at least two of these elements, or according to a less preferred alternative, a nickel-chromium alloy. Preferably this intermediate layer is based on titanium.

Les empilements ou revêtements selon l’invention sont de façon classique déposés par des techniques de dépôt du type pulvérisation sous vide assistée par champ magnétique d’une cathode du matériau ou d’un précurseur du matériau à déposer, souvent appelée technique de pulvérisation magnétron dans le domaine. Une telle technique est aujourd’hui classiquement utilisée notamment lorsque le revêtement à déposer est constitué d’un empilement plus complexe de couches successives d’épaisseurs de quelques nanomètres ou quelques dizaines de nanomètres.The stacks or coatings according to the invention are conventionally deposited by deposition techniques of the magnetic field-assisted vacuum sputtering type of a cathode of the material or of a precursor of the material to be deposited, often referred to as a magnetron sputtering technique in the domain. Such a technique is now conventionally used, in particular when the coating to be deposited consists of a more complex stack of successive layers with thicknesses of a few nanometers or a few tens of nanometers.

L’article verrier ou le vitrage selon l’invention peut être un vitrage simple dans lequel l'empilement de couches minces étant disposé en face 2 du vitrage simple en numérotant les faces du substrat de l’extérieur vers l’intérieur du bâtiment ou de l’habitacle qu’il équipe.The glass article or the glazing according to the invention can be a single glazing in which the stack of thin layers being arranged on face 2 of the single glazing by numbering the faces of the substrate from the outside towards the inside of the building or the passenger compartment it equips.

Selon une autre réalisation, notamment pour une utilisation dans le domaine automobile, l’article selon l’invention peut être intégré dans un vitrage feuilleté, comprenant deux substrats verriers assemblés par un feuillet thermoplastique, un desdits substrats étant muni d’un empilement de couches tel que décrit précédemment. De préférence l’empilement est déposé sur la face du substrat tournée vers l’intérieur du bâtiment ou de l’habitacle qu’il équipe.According to another embodiment, in particular for use in the automotive field, the article according to the invention can be integrated into a laminated glazing, comprising two glass substrates assembled by a thermoplastic sheet, one of said substrates being provided with a stack of layers as previously described. Preferably, the stack is deposited on the face of the substrate facing the interior of the building or the passenger compartment that it equips.

Les substrats et vitrages précédemment décrits peuvent bien évidemment être trempés le cas échéant thermiquement et/ou bombés.The substrates and glazings described above can of course be heat-tempered and/or bent if necessary.

Un procédé de fabrication d’un article verrier ou d’un vitrage selon l’invention comprend par exemple au moins les étapes suivantes :
- on introduit un substrat verrier dans un dispositif de pulvérisation cathodique,
- dans un premier compartiment on dépose au moins une sous-couche d’un matériau diélectrique,
- dans un compartiment ultérieur, on pulvérise une cible en titane au moyen d’un plasma généré à partir d’un gaz comprenant de l’azote,
- dans un compartiment ultérieur on dépose au moins une couche intermédiaire d’un matériau diélectrique,
- dans un compartiment ultérieur, on pulvérise une cible en oxyde d’étain et d’indium au moyen d’un plasma généré à partir d’un gaz comprenant de l’azote,
- dans un compartiment ultérieur, on dépose au moins une surcouche d’un matériau diélectrique.
A method of manufacturing a glass article or a glazing according to the invention comprises for example at least the following steps:
- a glass substrate is introduced into a sputtering device,
- in a first compartment, at least one sub-layer of a dielectric material is deposited,
- in a subsequent compartment, a titanium target is sputtered by means of a plasma generated from a gas comprising nitrogen,
- in a subsequent compartment, at least one intermediate layer of a dielectric material is deposited,
- in a subsequent compartment, a tin and indium oxide target is sputtered by means of a plasma generated from a gas comprising nitrogen,
- In a subsequent compartment, at least one overlayer of a dielectric material is deposited.

Par les termes « au-dessus » et « en dessous », il est fait référence à un point d’observation correspondant à la surface du substrat verrier.The terms “above” and “below” refer to an observation point corresponding to the surface of the glass substrate.

Par les termes «sous-couche» et «sur-couche», il est fait référence dans la présente description à la position respective desdites couches par rapport à la ou les couches fonctionnelles dans l’empilement, ledit empilement étant supporté par le substrat verrier. En particulier, lorsque l’empilement contient une sous couche unique et une surcouche unique, la sous-couche est la couche au contact du substrat verrier et la surcouche est la couche la plus externe de l’empilement, tournée à l’opposé du substrat.By the terms “under-layer” and “over-layer”, reference is made in the present description to the respective position of said layers with respect to the functional layer(s) in the stack, said stack being supported by the glass substrate . In particular, when the stack contains a single underlayer and a single overlayer, the underlayer is the layer in contact with the glass substrate and the overlayer is the outermost layer of the stack, facing away from the substrate .

Par le terme «couche intermédiaire», on désigne la ou les couches disposées entre deux couches fonctionnelles.The term “intermediate layer” denotes the layer or layers arranged between two functional layers.

Par épaisseur d’une couche, on entend au sens de la présente invention l’épaisseur géométrique réelle de la couche, telle qu’elle peut être mesurée notamment par les techniques classiques de microscopie électronique ou autre.By thickness of a layer, is meant within the meaning of the present invention the actual geometric thickness of the layer, such as it can be measured in particular by the conventional techniques of electron microscopy or other.

L'invention et ses avantages sont décrits avec plus de détails, ci-après, au moyen des exemples non limitatifs ci-dessous, selon l’invention et comparatifs. Dans tous les exemples et la description, à moins qu’autrement spécifié, les épaisseurs données sont géométriques.The invention and its advantages are described in more detail, below, by means of the non-limiting examples below, according to the invention and comparative. In all examples and description, unless otherwise specified, thicknesses given are geometric.

Tous les substrats sont en verre clair de 2 mm d'épaisseur de type Planiclear™ commercialisé par la société Saint-Gobain Glass France. Toutes les couches sont déposées de façon connue par pulvérisation cathodique assistée par champ magnétique (souvent appelé magnétron).All substrates are 2 clear glass mm thickness of the Planiclear™ type marketed by Saint-Gobain Glass France. All the layers are deposited in a known manner by sputtering assisted by a magnetic field (often called a magnetron).

De façon bien connue, les différentes couches successives sont déposées dans les compartiments successifs du dispositif de pulvérisation cathodique, chaque compartiment étant muni d’une cible métallique spécifique en Si, Ti, choisie pour le dépôt d’une couche spécifique de l’empilement.In a well-known way, the various successive layers are deposited in the successive compartments of the sputtering device, each compartment being provided with a specific metal target in Si, Ti, chosen for the deposition of a specific layer of the stack.

Plus précisément, les couches en nitrure de silicium sont déposées dans des compartiments du dispositif à partir d’une cible de silicium métallique (dopé avec 8% en masse d'aluminium), dans une atmosphère réactive contenant de l'azote. Les couches en nitrure de silicium contiennent donc également de l’aluminium.More precisely, the silicon nitride layers are deposited in the device compartments from a metallic silicon target (doped with 8% by mass of aluminium), in a reactive atmosphere containing nitrogen. Silicon nitride layers therefore also contain aluminum.

La ou les couches en nitrure de titane sont déposées dans d’autres compartiments du dispositif à partir d’une cible de titane pur métallique dans une atmosphère réactive contenant de l'azote et de l’argon.The titanium nitride layer(s) are deposited in other compartments of the device from a pure metallic titanium target in a reactive atmosphere containing nitrogen and argon.

Les couches en ITO sont déposées à partir d’une cible céramique comprenant, sur la base des oxydes simples, environ 90 % massique d’oxyde d’indium In2O3pour environ 10 % massique de SnO2dans une atmosphère d’argon comprenant une faible proportion d’oxygène.The ITO layers are deposited from a ceramic target comprising, on the basis of simple oxides, approximately 90% by mass of indium oxide In 2 O 3 for approximately 10% by mass of SnO 2 in an argon atmosphere. containing a small proportion of oxygen.

Les conditions de dépôt par magnétron de telles couches sont techniquement bien connues dans le domaine.The magnetron deposition conditions of such layers are technically well known in the field.

Dans l’exemple 1 selon l’invention qui suivent, le substrat verrier a ainsi été recouvert successivement d’un empilement de couches comprenant une couche fonctionnelle en nitrure de titane (notées par commodité TiN par la suite même si la stœchiométrie réelle de la couche n’est pas forcément celle-ci), une couche fonctionnelle en oxyde d’indium et d’étain ITO et des sous-couche (première couche M1), sur-couche (troisième couche M3) et couche intermédiaire (seconde couche M2) à base de nitrure de silicium (notées par commodité Si3N4par la suite même si la stoechiométrie réelle de la couche n’est pas forcément celle-ci) ou à base d’oxyde de silicium.In example 1 according to the invention which follow, the glass substrate was thus covered successively with a stack of layers comprising a functional layer of titanium nitride (denoted for convenience TiN thereafter even if the actual stoichiometry of the layer is not necessarily this one), a functional layer of indium and tin oxide ITO and sub-layer (first layer M 1 ), over-layer (third layer M 3 ) and intermediate layer (second layer M 2 ) based on silicon nitride (denoted for convenience Si 3 N 4 hereinafter even if the actual stoichiometry of the layer is not necessarily this) or based on silicon oxide.

Dans l’exemple 2 selon un mode de réalisation particulièrement avantageux de l’invention, une deuxième couche fonctionnelle en nitrure de titane a été ajoutée au-dessus de l’empilement, séparée de la couche d’ITO par une couche de nitrure de silicium.In example 2 according to a particularly advantageous embodiment of the invention, a second functional layer of titanium nitride was added above the stack, separated from the ITO layer by a layer of silicon nitride .

Dans les exemples 3 à 5 selon l’invention on a utilisé des couches à base d’oxyde de silicium pour constituer les modules M2et M3.In examples 3 to 5 according to the invention, layers based on silicon oxide were used to form the modules M 2 and M 3 .

L’exemple 6 comparatif se rapporte à un empilement ne comprenant qu’une seule couche à base de nitrure de titane.Comparative Example 6 relates to a stack comprising only a single layer based on titanium nitride.

Les conditions de dépôt ont été ajustées selon les techniques classiques pour un dépôt magnétron pour l’obtention de différents empilements dont la succession de couches et leurs épaisseurs (en nanomètres nm) est reportée dans le tableau 1 qui suit.The deposition conditions were adjusted according to conventional techniques for magnetron deposition to obtain different stacks, the succession of layers and their thicknesses (in nanometers nm) of which are reported in Table 1 below.

Les caractéristiques thermique et optique des articles verriers ont été mesurées selon les principes et normes suivants :The thermal and optical characteristics of the glass articles have been measured according to the following principles and standards:

1°) Propriétés optiques :1°) Optical properties:

Les mesures des exemples 1 à 6 sont effectuées sur les articles verriers obtenus expérimentalement conformément à la norme européenne ISO 9050 (2003). Plus précisément, la transmission lumineuse TLet les réflexions lumineuses du côté revêtu par l’empilement (Rc) et du côté de la surface du verre non revêtu (Rg) sont mesurées entre 380 et 780 nm selon l’illuminant D65. Les mêmes caractéristiques sont calculées pour les exemples 7 à 9 selon les techniques et principes aujourd’hui bien connues et maitrisées dans le domaine des empilements de couches minces.The measurements of examples 1 to 6 are carried out on glass articles obtained experimentally in accordance with European standard ISO 9050 (2003). More specifically, the light transmission T L and the light reflections on the side coated by the stack (Rc) and on the side of the surface of the uncoated glass (Rg) are measured between 380 and 780 nm depending on the illuminant D 65 . The same characteristics are calculated for examples 7 to 9 according to the techniques and principles that are well known and mastered today in the field of stacks of thin layers.

2°) Propriétés thermiques :2°) Thermal properties:

Les propriétés d’isolation thermique des articles verriers selon les exemples 1 à 6 sont évaluées par la détermination de l’émissivité à incidence normale εnmesurée sur la face intérieure du substrat recouverte de l’empilement de couches, selon les conditions décrites dans la norme ISO 10292 (1994), annexe A.The thermal insulation properties of the glass articles according to Examples 1 to 6 are evaluated by determining the emissivity at normal incidence ε n measured on the inner face of the substrate covered with the stack of layers, according to the conditions described in the ISO 10292 (1994), Annex A.

Les valeurs de transmission lumineuse TL, de réflexion lumineuse côté empilement et côté verre et de l’émissivité normale εn(en pourcentages) sont mesurées pour les substrats muni des empilements selon les exemples 1 à 6.The values of light transmission T L , of light reflection on the stack side and on the glass side and of the normal emissivity ε n (in percentages) are measured for the substrates provided with the stacks according to Examples 1 to 6.

Les exemples 7 et 8 sont des exemples modélisés et correspondants à l’enseignement de la publication WO201815658 de l’art antérieur se rapportant à un vitrage muni d’un empilement comprenant d’abord une couche d’ITO à proximité du substrat et surmontée par une couche de nitrure de titane.Examples 7 and 8 are examples modeled and corresponding to the teaching of publication WO201815658 of the prior art relating to a glazing provided with a stack first comprising a layer of ITO close to the substrate and surmounted by a layer of titanium nitride.

L’exemple 9 est un exemple modélisé correspondant à l’enseignement de la publication US2016/002100 appartenant au présent demandeur et décrivant (voir l’exemple 8 de US2016/002100) un vitrage comprenant un substrat clair ou tinté dans sa masse sur lequel est déposé un empilement comprenant également la succession tout d’abord d’une couche d’ITO puis d’une couche de TiN.Example 9 is a modeled example corresponding to the teaching of publication US2016/002100 belonging to the present applicant and describing (see example 8 of US2016/002100) a glazing comprising a clear or tinted substrate in its mass on which is deposited a stack also comprising the succession firstly of an ITO layer then of a TiN layer.

Ex.Ex. Ex.1Ex.1 Ex.2Ex.2 Ex. 3Example 3 Ex.4Ex.4 Ex. 5Example 5 Ex 6*Formerly 6* Ex 7*Formerly 7* Ex 8*Ex 8* Ex 9*Ex 9* Surface du substrat de verre clairClear glass substrate surface s. verre clairs. clear glass s. verre tintés. tinted glass Si3N4(M1)If 3 N 4 (M 1 ) 2020 1616 1313 55 55 2020 -- -- 35 (SiO2)35 ( SiO2 ) TiNTiN 2020 88 1616 1616 1515 2020 -- -- -- -- TiYou -- -- 55 55 55 -- -- -- -- -- SiO2(M2)SiO 2 (M 2 ) -- -- 1515 1616 1515 -- -- -- -- -- Si3N4(M2)If 3 N 4 (M 2 ) 2020 6060 -- -- -- 7070 -- -- -- -- ITOIoT 3030 3030 4040 4040 3232 -- 3333 3333 120120 Si3N4(M3)If 3 N 4 (M 3 ) 2020 3636 -- -- -- -- 3030 22 2020 SiO2(M3)SiO 2 (M 3 ) -- -- 5858 4444 4848 -- -- -- -- TiNTiN -- 2828 -- -- -- -- 2020 1818 2020 Si3N4(M4)If 3 N 4 (M 4 ) -- 3838 -- -- -- -- 4545 3939 70 (SiO2)70 ( SiO2 ) Propriétés optiques et thermiquesOptical and thermal properties TL(%)T L (%) 5454 3434 4343 4242 4545 5353 5050 5858 5252 1616 Rc (%)RC (%) 66 33 99 77 44 99 33 77 44 33 Rg (%)Rg (%) 2222 2525 2121 2626 2525 2424 1515 1515 1515 55 εn(%) εn (%) 2828 2020 2525 2525 2828 4040 NMNM NMNM NMNM NMNM

*hors invention ; NM = Non Mesuré*excluding invention; NM = Not Measured

On observe que les articles verriers selon les exemples 1 à 6 conformes à la présente invention présentent une réflexion lumineuse faible du côté de l’empilement (Rcinférieure à 10%) et au contraire une réflexion lumineuse élevée côté verre (RLsupérieure à 20%) pour selon sans toutefois que la transmission lumineuse ne soit trop élevée. De telles caractéristiques rendent de tels articles aptes à une utilisation permettant une vision sans gêne de l’extérieur du véhicule pour les occupants du véhicule ou du bâtiment équipé de tels vitrages et l’effet privatif décrit précédemment.It is observed that the glass articles according to Examples 1 to 6 in accordance with the present invention have a low light reflection on the side of the stack (R c less than 10%) and on the contrary a high light reflection on the glass side (R L greater than 20%) for according without however the light transmission being too high. Such characteristics make such articles suitable for use allowing unobstructed vision of the exterior of the vehicle for the occupants of the vehicle or of the building equipped with such glazing and the privacy effect described above.

L’exemple 2 selon l’invention présente en outre l’avantage de fournir une isolation thermique encore améliorée avec une valeur de l’émissivité significativement plus faible.Example 2 according to the invention also has the advantage of providing further improved thermal insulation with a significantly lower emissivity value.

En outre, tous les exemples selon l’invention montrent une amélioration significative de l’émissivité normale par comparaison avec l’exemple comparatif 6 ne comprenant qu’une seule couche en nitrure de titane. Une plus faible émissivité permet de conclure à une meilleure isolation thermique des vitrages obtenus à partir d’articles verriers selon l’invention.In addition, all the examples according to the invention show a significant improvement in the normal emissivity compared with comparative example 6 comprising only a single layer of titanium nitride. A lower emissivity makes it possible to conclude that the glazing obtained from glass articles according to the invention is better thermally insulated.

Les exemples 7 à 9 selon l’art antérieur présentent des valeurs de la réflexion extérieure (c'est-à-dire côté surface nue du verre) trop faibles pour assurer efficacement la fonction recherchée selon l’invention (effet privatif).Examples 7 to 9 according to the prior art have values of the external reflection (that is to say on the bare surface side of the glass) that are too low to effectively perform the function sought according to the invention (private effect).

Claims (17)

Article verrier comprenant au moins un substrat verrier muni d’un empilement de couches, dans lequel l’empilement comprend successivement depuis la surface dudit substrat:
- préférentiellement un premier module M1constitué par une couche à base d’un matériau diélectrique d’épaisseure 1 ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d’épaisseur cumuléee 1 ,
- une première couche TiN comprenant du nitrure de titane, d’épaisseur comprise entre 5 nanomètres et 40 nanomètres,
- un second module M2constitué par une couche à base d’un matériau diélectrique d’épaisseure 2 ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d’épaisseur cumuléee 2 ,
- une couche ITO comprenant un oxyde d’indium et d’étain, d’épaisseur comprise entre 5 nanomètres et 70 nanomètres,
- un troisième module M3constitué par une couche à base d’un matériau diélectrique d’épaisseure 3 ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d’épaisseur cumuléee 3 ,
dans lequele 1 est inférieure à 70 nanomètres, de préférence comprise entre 1 et 70 nm,e 2 est compris entre 5 nm et 100 nm ete 3 est supérieur à 10 nanomètres, de préférence compris entre 10 et 100 nm.
Glass article comprising at least one glass substrate provided with a stack of layers, in which the stack comprises successively from the surface of said substrate:
- preferably a first module M1consisting of a layer based on a dielectric material of thicknesse 1 or by a set of layers based on dielectric materials of cumulative thicknesse 1 ,
- a first TiN layer comprising titanium nitride, with a thickness of between 5 nanometers and 40 nanometers,
- a second module M2consisting of a layer based on a dielectric material of thicknesse 2 or by a set of layers based on dielectric materials of cumulative thicknesse 2 ,
- an ITO layer comprising an oxide of indium and tin, with a thickness of between 5 nanometers and 70 nanometers,
- a third module M3consisting of a layer based on a dielectric material of thicknesse 3 or by a set of layers based on dielectric materials of cumulative thicknesse 3 ,
in whiche 1 is less than 70 nanometers, preferably between 1 and 70 nm,e 2 is between 5 nm and 100 nm ande 3 is greater than 10 nanometers, preferably between 10 and 100 nm.
Article verrier selon la revendication 1, dans lequel lesdits matériaux diélectriques sont choisis parmi un nitrure de silicium, un nitrure d’aluminium, un oxyde d’étain, un oxyde mixte de zinc et d’étain, un oxyde de silicium, un oxyde de titane, un oxynitrure de silicium, de préférence un nitrure de silicium, un oxyde de silicium ou un oxynitrure de silicium.Glass article according to Claim 1, in which the said dielectric materials are chosen from among a silicon nitride, an aluminum nitride, a tin oxide, a mixed oxide of zinc and tin, a silicon oxide, a titanium, silicon oxynitride, preferably silicon nitride, silicon oxide or silicon oxynitride. Article verrier selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le revêtement ne contient pas de couche à base d’argent ou d’or.Glass article according to one of the preceding claims, in which the coating does not contain a layer based on silver or gold. Article verrier selon l’une des revendications précédentes, dans lequel M1est une couche unique comprenant du nitrure de silicium.Glass article according to one of the preceding claims, in which M 1 is a single layer comprising silicon nitride. Article verrier selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le module M3comprend et de préférence est constitué par une couche comprenant de l’oxyde de silicium ou de l’oxynitrure de silicium et éventuellement une surcouche en oxyde de titane, en oxyde de zirconium ou en oxyde de titane et de zirconium.Glass article according to one of the preceding claims, in which the module M 3 comprises and preferably consists of a layer comprising silicon oxide or silicon oxynitride and optionally an overlayer of titanium oxide, silicon oxide zirconium or titanium oxide and zirconium. Article verrier selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le module M2comprend, et de préférence est constitué par, une couche comprenant de l’oxyde de silicium ou de l’oxynitrure de silicium.Glass article according to one of the preceding claims, in which the module M 2 comprises, and preferably consists of, a layer comprising silicon oxide or silicon oxynitride. Article verrier selon l’une des revendications 5 ou 6, dans lequel une couche intermédiaire de titane, d'aluminium, de silicium, d'un alliage d'au moins deux de ces éléments, ou d'un alliage nickel-chrome est déposée entre la couche comprenant du nitrure de titane et la couche comprenant un matériau diélectrique choisi parmi un oxyde d’étain, un oxyde mixte de zinc et d’étain, un oxyde de silicium, un oxyde de titane, un oxynitrure de silicium, en particulier un oxyde ou un oxynitrure de silicium.Glass article according to one of Claims 5 or 6, in which an intermediate layer of titanium, aluminium, silicon, an alloy of at least two of these elements, or a nickel-chromium alloy is deposited between the layer comprising titanium nitride and the layer comprising a dielectric material chosen from a tin oxide, a mixed oxide of zinc and tin, a silicon oxide, a titanium oxide, a silicon oxynitride, in particular an oxide or an oxynitride of silicon. Article verrier selon l’une des revendications précédentes, dans lequel M1et M2et préférentiellement M3comprennent, ou sont constitués par, une couche comprenant du nitrure de silicium et de préférence à base de nitrure de silicium.Glass article according to one of the preceding claims, in which M 1 and M 2 and preferably M 3 comprise, or consist of, a layer comprising silicon nitride and preferably based on silicon nitride. Article verrier selon la revendication précédente, dans lequel ledit revêtement comprend, et de préférence est constitué par, la succession de couches suivantes, à partir de la surface du substrat :
- une couche à base de nitrure de silicium d’épaisseure 1 de préférence comprise entre 5 nm et 60 nm, de préférence entre 10 et 50 nm,
- une couche comprenant du nitrure de titane, d’épaisseur comprise entre 5 nm et 30 nm, de préférence entre 5 et 25 nm
- une couche à base de nitrure de silicium, d’épaisseure 2 comprise entre 10 nm et 70 nm, de préférence d’épaisseur comprise entre 10 et 30 nm,
- une couche comprenant de l’oxyde d’indium et d’étain, d’épaisseur comprise entre 10 et 60 nanomètres, de préférence entre 20 et 50 nm,
- une couche M3à base de nitrure de silicium d’épaisseure 3 supérieure à 10 nm, de préférence comprise entre 20 nm et 65 nanomètres, ou un ensemble de couches diélectriques M3, dont au moins une couche à base de nitrure de silicium d’épaisseur supérieure à 10 nm, de préférence comprise entre 25 nanomètres et 60 nanomètres,
- optionnellement une couche à base d’oxyde de titane, d’oxyde de titane et de zirconium ou une couche d’oxyde de zirconium, d’épaisseur comprise de préférence entre 1 et 10 nm.
Glass article according to the preceding claim, in which said coating comprises, and preferably consists of, the following succession of layers, starting from the surface of the substrate:
- a layer based on silicon nitride with a thickness e 1 preferably between 5 nm and 60 nm, preferably between 10 and 50 nm,
- a layer comprising titanium nitride, with a thickness between 5 nm and 30 nm, preferably between 5 and 25 nm
- a layer based on silicon nitride, with a thickness e 2 of between 10 nm and 70 nm, preferably with a thickness of between 10 and 30 nm,
- a layer comprising indium tin oxide, with a thickness of between 10 and 60 nanometers, preferably between 20 and 50 nm,
- a layer M 3 based on silicon nitride with a thickness e 3 greater than 10 nm, preferably between 20 nm and 65 nanometers, or a set of dielectric layers M 3 , including at least one layer based on silicon nitride silicon with a thickness greater than 10 nm, preferably between 25 nanometers and 60 nanometers,
- optionally a layer based on titanium oxide, titanium oxide and zirconium or a layer of zirconium oxide, with a thickness preferably between 1 and 10 nm.
Article verrier l’une des revendications 1 à 7, dans lequel ledit revêtement comprend, et de préférence est constitué par, la succession de couches suivantes, à partir de la surface du substrat :
- une première couche M1à base de nitrure de silicium d’épaisseure 1 de préférence comprise entre 1 nm et 50 nm, de préférence entre 2 et 30 nm,
- une couche comprenant du nitrure de titane, d’épaisseur comprise entre 5 nm et 30 nanomètres, de préférence entre 7 et 25 nm,
- optionnellement une couche intermédiaire de titane, d'aluminium, de silicium, d'un alliage d'au moins deux de ces éléments, ou d'un alliage nickel-chrome, d’épaisseur comprise entre 0,5 et 7 nm, de préférence comprise entre 1 et 6 nm,
- une couche M2à base d’oxyde de silicium ou d’oxynitrure de silicium, d’épaisseure 2 comprise entre 20 nm et 65 nm,
- une couche comprenant de l’oxyde d’indium et d’étain, d’épaisseur comprise entre 10 et 60 nanomètres, de préférence comprise entre 20 et 50 nm,
- une troisième couche unique M3comprenant de l’oxyde de silicium ou de l’oxynitrure de silicium d’épaisseure 3 supérieure à 10 nm, notamment comprise entre 20 nm et 80 nanomètres, de préférence entre 30 et 70 nm,
- optionnellement une couche à base d’oxyde de titane, d’oxyde de titane et de zirconium ou une couche d’oxyde de zirconium, d’épaisseur comprise entre 1 et 10 nm.
Glass article according to one of Claims 1 to 7, in which the said coating comprises, and preferably consists of, the following succession of layers, starting from the surface of the substrate:
- a first layer M 1 based on silicon nitride with a thickness e 1 preferably between 1 nm and 50 nm, preferably between 2 and 30 nm,
- a layer comprising titanium nitride, with a thickness between 5 nm and 30 nanometers, preferably between 7 and 25 nm,
- optionally an intermediate layer of titanium, aluminum, silicon, an alloy of at least two of these elements, or a nickel-chromium alloy, with a thickness between 0.5 and 7 nm, of preferably between 1 and 6 nm,
- a layer M 2 based on silicon oxide or silicon oxynitride, with a thickness e 2 of between 20 nm and 65 nm,
- a layer comprising indium and tin oxide, with a thickness of between 10 and 60 nanometers, preferably between 20 and 50 nm,
- a single third layer M 3 comprising silicon oxide or silicon oxynitride with a thickness e 3 greater than 10 nm, in particular between 20 nm and 80 nanometers, preferably between 30 and 70 nm,
- optionally a layer based on titanium oxide, titanium oxide and zirconium or a layer of zirconium oxide, with a thickness of between 1 and 10 nm.
Article verrier selon l’une des revendications précédentes, dans lequel l’empilement comprend, et de préférence est constitué par, successivement depuis la surface dudit substrat:
- un premier module M1constitué par une couche à base d’un matériau diélectrique d’épaisseure 1 ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d’épaisseur cumuléee 1 , ladite épaisseure 1 étant de préférence comprise entre 1 et 50 nm, de préférence encore comprise entre 5 et 30 nm,
- une première couche TiN1comprenant du nitrure de titane, d’épaisseur comprise entre 5 nanomètres et 40 nanomètres, de préférence comprise entre 5 et 30 nm
- un second module M2constitué par une couche à base d’un matériau diélectrique d’épaisseure 2 ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d’épaisseur cumuléee 2 ,ladite épaisseure 2 étant de préférence comprise entre 10 et 80 nm, de préférence encore comprise entre 20 et 70 nm,
- une couche ITO comprenant un oxyde d’indium et d’étain, d’épaisseur comprise entre 5 nanomètres et 70 nanomètres, de préférence entre 10 et 50 nm,
- un troisième module M3constitué par une couche à base d’un matériau diélectrique d’épaisseure 3 ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d’épaisseur cumuléee 3 , ladite épaisseure 3 étant de préférence comprise entre 10 et 80 nm, de préférence encore comprise entre 20 et 50 nm,
- une seconde couche TiN2comprenant du nitrure de titane, d’épaisseur comprise entre 5 nanomètres et 40 nanomètres, de préférence comprise entre 10 et 35 nm
- un quatrième module M4constitué par une couche à base d’un matériau diélectrique d’épaisseure 4 ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d’épaisseur cumuléee 4 , dans lequele 4 est supérieur à 10 nanomètres, de préférence compris entre 20 et 80 nm.
Glass article according to one of the preceding claims, in which the stack comprises, and preferably consists of, successively from the surface of the said substrate:
- a first module M1consisting of a layer based on a dielectric material of thicknesse 1 or by a set of layers based on dielectric materials of cumulative thicknesse 1 , said thicknesse 1 being preferably between 1 and 50 nm, more preferably between 5 and 30 nm,
- a first TiN layer1comprising titanium nitride, with a thickness between 5 nanometers and 40 nanometers, preferably between 5 and 30 nm
- a second module M2consisting of a layer based on a dielectric material of thicknesse 2 or by a set of layers based on dielectric materials of cumulative thicknesse 2 ,said thicknesse 2 being preferably between 10 and 80 nm, more preferably between 20 and 70 nm,
- an ITO layer comprising an oxide of indium and tin, with a thickness of between 5 nanometers and 70 nanometers, preferably between 10 and 50 nm,
- a third module M3consisting of a layer based on a dielectric material of thicknesse 3 or by a set of layers based on dielectric materials of cumulative thicknesse 3 , said thicknesse 3 being preferably between 10 and 80 nm, more preferably between 20 and 50 nm,
- a second TiN layer2comprising titanium nitride, with a thickness between 5 nanometers and 40 nanometers, preferably between 10 and 35 nm
- a fourth module M4consisting of a layer based on a dielectric material of thicknesse 4 or by a set of layers based on dielectric materials of cumulative thicknesse 4 , in whiche 4 is greater than 10 nanometers, preferably between 20 and 80 nm.
Article verrier selon la revendication précédente, dans lequel le module M4comprend, et de préférence est constitué par, une couche comprenant du nitrure de silicium, de l’oxyde de silicium ou de l’oxynitrure de silicium et éventuellement une surcouche en oxyde de titane, en oxyde de zirconium ou en oxyde de titane et de zirconium.Glass article according to the preceding claim, in which the module M 4 comprises, and preferably consists of, a layer comprising silicon nitride, silicon oxide or silicon oxynitride and optionally an overlayer of silicon oxide. titanium, zirconium oxide or titanium zirconium oxide. Article verrier selon l’une des revendications précédentes dans lequel le substrat verrier est trempé ou bombé.Glass article according to one of the preceding claims, in which the glass substrate is tempered or bent. Vitrage automobile, en particulier toit auto pour automobile, comprenant un article verrier selon l’une des revendications précédentes, comprenant un seul substrat verrier, dans lequel ledit substrat verrier est préférentiellement teinté dans sa masse, et dans lequel ledit empilement est préférentiellement positionné vers la face du vitrage exposée vers l’intérieur du véhicule qu’il équipe.Automotive glazing, in particular automotive roof, comprising a glass article according to one of the preceding claims, comprising a single glass substrate, in which said glass substrate is preferentially tinted in its mass, and in which said stack is preferentially positioned towards the side of the glazing exposed towards the interior of the vehicle that it equips. Vitrage automobile, en particulier toit auto pour automobile, comprenant un premier substrat verrier, de préférence coloré dans sa masse, lié par un feuillet thermoplastique intermédiaire, notamment en PVB, à un article verrier selon l’une des revendications 1 à 13, dont le substrat est de préférence en verre clair et dans lequel l’empilement de couches est de préférence disposé sur la face exposée vers l’extérieur dudit vitrage.Automotive glazing, in particular a car roof for a car, comprising a first glass substrate, preferably colored in its mass, bonded by an intermediate thermoplastic sheet, in particular of PVB, to a glass article according to one of Claims 1 to 13, the substrate is preferably made of clear glass and in which the stack of layers is preferably arranged on the face exposed towards the outside of said glazing. Vitrage pour bâtiment, comprenant un article verrier tel que décrit selon l’une des revendications 1 à 13.Building glazing, comprising a glass article as described according to one of Claims 1 to 13. Vitrage pour bâtiment selon la revendication précédente, comprenant un, deux ou trois substrats verriers.
Building glazing according to the preceding claim, comprising one, two or three glass substrates.
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