FR3101941B1 - Procédé de fabrication d’un étalon de rugosité de contour - Google Patents

Procédé de fabrication d’un étalon de rugosité de contour Download PDF

Info

Publication number
FR3101941B1
FR3101941B1 FR1911414A FR1911414A FR3101941B1 FR 3101941 B1 FR3101941 B1 FR 3101941B1 FR 1911414 A FR1911414 A FR 1911414A FR 1911414 A FR1911414 A FR 1911414A FR 3101941 B1 FR3101941 B1 FR 3101941B1
Authority
FR
France
Prior art keywords
pattern
roughness
corrected
contour
given
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
FR1911414A
Other languages
English (en)
Other versions
FR3101941A1 (fr
Inventor
Jérôme Reche
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Universite Grenoble Alpes
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Universite Grenoble Alpes
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre National de la Recherche Scientifique CNRS, Commissariat a lEnergie Atomique CEA, Universite Grenoble Alpes, Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA filed Critical Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Priority to FR1911414A priority Critical patent/FR3101941B1/fr
Priority to EP20201618.4A priority patent/EP3809205A1/fr
Publication of FR3101941A1 publication Critical patent/FR3101941A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR3101941B1 publication Critical patent/FR3101941B1/fr
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
    • G03F7/70605—Workpiece metrology
    • G03F7/70616—Monitoring the printed patterns
    • G03F7/70625—Dimensions, e.g. line width, critical dimension [CD], profile, sidewall angle or edge roughness
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • G01B15/04—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • G01B15/08—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/261—Details
    • H01J37/263—Contrast, resolution or power of penetration
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/26—Electron or ion microscopes
    • H01J2237/28—Scanning microscopes
    • H01J2237/2813—Scanning microscopes characterised by the application
    • H01J2237/2814—Measurement of surface topography
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/26—Electron or ion microscopes
    • H01J2237/282—Determination of microscope properties
    • H01J2237/2826—Calibration

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Numerical Control (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)

Abstract

Titre : Procédé de fabrication d’un étalon de rugosité de contour L’invention concerne notamment un procédé de fabrication d’un étalon de rugosité de contour comprenant les étapes suivantes : définir (10) une densité spectrale de puissance souhaitée PSDsouhaitée pour la rugosité d’un contour d’au moins un motif donné, fabriquer (20) au moins un motif de référence à partir d’un dessin de référence de l’au moins un motif donné et avec des conditions données de fabrication Fréférence, le dessin de référence présentant une rugosité nulle, effectuer une mesure (21) Mréférence, avec des conditions de mesure Eréférence, de la rugosité du motif de référence fabriqué, sur la base de la mesure Mréférence, calculer (22) la densité spectrale de puissance PSDréférence de la rugosité du motif de référence fabriqué; calculer (30) une densité spectrale de puissance corrigée PSDcorrigée telle que PSDcorrigée = PSDsouhaitée - PSDréférence, définir (40) un dessin corrigé présentant une rugosité respectant la PSDcorrigée, fabriquer (50) au moins un motif étalon à partir dudit dessin corrigé, et avec lesdites conditions données de fabrication Fréférence. Figure pour l’abrégé : Fig. 8
FR1911414A 2019-10-14 2019-10-14 Procédé de fabrication d’un étalon de rugosité de contour Active FR3101941B1 (fr)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1911414A FR3101941B1 (fr) 2019-10-14 2019-10-14 Procédé de fabrication d’un étalon de rugosité de contour
EP20201618.4A EP3809205A1 (fr) 2019-10-14 2020-10-13 Procédé de fabrication d'un étalon de rugosité de contour

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1911414A FR3101941B1 (fr) 2019-10-14 2019-10-14 Procédé de fabrication d’un étalon de rugosité de contour
FR1911414 2019-10-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR3101941A1 FR3101941A1 (fr) 2021-04-16
FR3101941B1 true FR3101941B1 (fr) 2021-12-24

Family

ID=69572091

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR1911414A Active FR3101941B1 (fr) 2019-10-14 2019-10-14 Procédé de fabrication d’un étalon de rugosité de contour

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP3809205A1 (fr)
FR (1) FR3101941B1 (fr)

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1832927A1 (fr) * 2006-03-06 2007-09-12 Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG Mire de réglage et procédé d'évaluation des propriétés de transfert d'une mire de réglage

Also Published As

Publication number Publication date
FR3101941A1 (fr) 2021-04-16
EP3809205A1 (fr) 2021-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10610984B2 (en) Piston and method of making a piston
CN102962654B (zh) 一种汽轮机无冠部导叶片的加工方法
DE602005024425D1 (de) Schaufelleitring einer Strömungsmaschine, Strömungsmaschine mit einem solchen Leitring und Leitschaufel
ATE438902T1 (de) Herstellung einer linienartigen oder flächenartigen form
CN107790759A (zh) 用于在孔的圆筒表面中产生螺旋状延伸的梯形底切槽的切削元件、切削工具和切削方法
FR3101941B1 (fr) Procédé de fabrication d’un étalon de rugosité de contour
JP2018531435A (ja) 多焦点レンズ
JP2018531435A6 (ja) 多焦点レンズ
EP3303824A1 (fr) Roue mobile destinée à machine à fluide dotée de pales amovibles
CN100462160C (zh) 锻造复杂零件的飞边流道的几何构造工艺
CN107649845B (zh) 一种大尺寸燃机透平叶片精铸毛坯定位及加工方法
RU2373054C2 (ru) Способ изготовления мастер-модели для производства плоской сферической линзы френеля (варианты)
RU2678222C1 (ru) Способ изготовления крупногабаритных лопаток газотурбинного двигателя
US1586186A (en) Milling hob
CN104454027B (zh) 动力涡轮导向器的加工方法
CL2023000386A1 (es) Mejora del cálculo de lentes oftálmicas
JP6751571B2 (ja) エンドミルを用いた穴加工方法
JP2016521378A (ja) 処方レンズ作製における微細構造化眼鏡レンズの生成
Lukina et al. Designing spline broaches of optimal structure
FR3100471B1 (fr) Préforme pour aube composite
JP6286643B2 (ja) 加工誤差を低減するための加工条件設定方法
KR101506404B1 (ko) 이앙기용 일체형 클러치조 제조방법
JP2015013354A (ja) ブレーズ型回折格子の製造方法およびそのための型の製造方法
CA2414647A1 (fr) Integration spatiale d'ensembles de donnees sur pipeline
CN217270342U (zh) 一种叶轮装置

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 2

PLSC Publication of the preliminary search report

Effective date: 20210416

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 3

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 4

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 5