FR3063660B1 - Dispositif de depot sous champ electrique avec deflecteur electrique - Google Patents

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Abstract

L'invention propose un dispositif (10) de dépôt sous champ électrique d'une matière de dépôt, -du type comportant un support (14), et une filière (16) définissant un axe théorique de dépôt (A1), un champ électrique primaire étant créé entre la filière et le support, - du type dans lequel le déflecteur électrique comporte au moins un couple de pôles électriques (31a, 31b) de part et d'autre de l'axe théorique de dépôt (A1), chacune relié à une source de potentiel électrique (V31a, V31b); caractérisé en ce que les pôles électriques du déflecteur électrique présentent un plan central (Pcent) de mi-hauteur, qui est agencé, par rapport au support (14), de l'autre côté d'un plan de référence (Pref) comprenant l'orifice de sortie de la filière et perpendiculaire à l'axe théorique de dépôt (A1), ou dans ce plan de référence.
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