FR3059341A1 - Electrode pour installation de traitement de surface d'un substrat en mouvement, unite et installation correspondantes - Google Patents

Electrode pour installation de traitement de surface d'un substrat en mouvement, unite et installation correspondantes Download PDF

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Abstract

Cette électrode (1), qui équipe une installation possédant en outre un support (102) pour le substrat, une contre électrode et des moyens (120, 121, 122) d'injection d'un gaz plasmagène vers ce support, comprend un corps (2) réalisé en un matériau électriquement isolant, notamment un matériau céramique, ainsi qu'un organe actif électriquement conducteur (3), fixé sur le corps. Selon l'invention le corps présente une forme de U, en vue transversale (Y1-Y1), et comprend une âme (20) et deux ailes (21, 22) s'étendant à partir de ladite âme, alors que l'organe actif est réalisé sous forme d'une piste métallisée (3), qui recouvre au moins une partie de la face intérieure (20") de l'âme du corps. La configuration en U confère à l'électrode une solidité suffisante, pour être réalisée d'un seul tenant. De plus les faces en regard des ailes forment des rebords, qui empêchent la formation significative d'arcs électriques. Le traitement au moyen d'une électrode unique conforme à l'invention est équivalent à celui mis en œuvre avec plusieurs barreaux consécutifs. L'invention permet donc de réduire l'encombrement global, tout en assurant une puissance équivalente.

Description

Domaine technique de l’invention
L’invention concerne une électrode, destinée à équiper une installation de traitement de surface d’un substrat en mouvement. Elle vise plus précisément une telle électrode, destinée à équiper une installation dans laquelle le substrat est soumis à un plasma généré dans un mélange gazeux, ce qui conduit à la modification de l’état de surface de ce substrat et/ou à la formation d’un dépôt sur la surface précitée. L’invention concerne en particulier une telle électrode, destinée à équiper une installation qui peut être mise en œuvre à une pression proche de la pression atmosphérique et qui est appropriée pour le traitement de surface continu de films polymères en bobines (procédé de type « roll-toroll »).
Etat de la technique
On connaît déjà des installations, visant à modifier et à améliorer les propriétés de surface d’un substrat au moyen d’un plasma. De telles propriétés d’intérêt peuvent être, par exemple, l’énergie de surface ou encore les propriétés d’adhésion de ce substrat. Les substrats visés par l’invention peuvent être notamment des isolants tels que des films polymères, des films métalliques, du papier ou du tissu.
Dans la mise en œuvre de ces installations connues, en vue du dépôt d’une couche solide mince sur la surface d’un substrat, cette surface est soumise à un plasma créé par une décharge électrique dans un gaz. Par ailleurs, simultanément ou postérieurement, le substrat ainsi traité est exposé à un mélange gazeux qui contient un composé gazeux actif, susceptible d’induire le dépôt de ce film solide mince.
Il est également connu de mettre en œuvre de manière continue des procédés de traitement d’un substrat au moyen d’une décharge électrique dans un mélange gazeux, dans lesquels le substrat est mis en mouvement à des vitesses pouvant aller jusqu’à plusieurs centaines de mètres par minute, typiquement au sein d’une chambre. Cette dernière contient, outre les électrodes nécessaires à la création de la décharge, un dispositif d’injection du mélange gazeux actif, ainsi que des moyens d’évacuation des effluents gazeux.
L’invention vise plus particulièrement une installation de traitement par plasma, opérant sensiblement à pression atmosphérique. Elle a plus spécifiquement pour objet une électrode appartenant à une telle installation, laquelle permet la création d’une décharge électrique en coopération avec une contre-électrode. Habituellement, cette dernière est formée par le support, sur lequel défile le substrat en service.
On connaît tout d’abord de telles électrodes, qui sont entièrement métalliques. Cependant l’invention vise un autre type d’électrode, laquelle comprend un corps réalisé en un matériau électriquement isolant, notamment un matériau céramique, ainsi qu’un organe actif électriquement conducteur, fixé sur le corps. Cet organe actif peut prendre la forme d’un élément allongé, de type lame, piste ou encore plaque. A titre alternatif, cet organe actif peut encore être constitué par de la poudre métallique.
Dans la configuration la plus fréquente, le corps est formé par un barreau céramique rempli au moyen de poudre métallique. Il s’agit d’une solution facile à mettre en œuvre. Cependant, les vides entre les particules de poudre métallique ont tendance à créer des inhomogénéités du plasma. De plus, la poudre métallique a tendance à s'infiltrer dans les joints présents à son voisinage, ce qui provoque au cours du temps des arcs électriques.
Selon une configuration alternative, on réalise l’organe actif sous forme de plaques métalliques insérées par placage contre les parois intérieures des barreaux céramiques. Un tel agencement est notamment connu de EP-A-2 866 318, ou encore de WO-A2008/082297. La réalisation de tels agencements s’avère cependant compliquée, notamment dans le cas d'électrodes présentant une grande longueur. Il est en particulier délicat d’obtenir un placage satisfaisant des plaques, contre le corps en céramique.
Les deux solutions constructives ci-dessus impliquent un inconvénient supplémentaire, qui réside dans la présence de métal de chaque côté de la face active de l'électrode. Cette configuration induit alors une remontée du plasma sur les côtés de l'électrode lorsque la puissance augmente, ce qui conduit à une perte d'efficacité. En effet, le plasma créé à cet endroit n'est pas efficace pour le traitement. Cela est également susceptible de générer des arcs électriques, avec des pièces métalliques situées à proximité.
Une troisième configuration connue prévoit de réaliser une piste métallique, directement sur la partie active de l'électrode. Dans le cas où cette piste est bien adhérente à l'électrode, il n'y a pas d'espace entre le métal et la céramique ce qui évite toute remontée du plasma sur les bords. Cependant, dans le cas de barreaux céramiques, la métallisation interne d'une seule des faces est très difficile à réaliser. Cette métallisation est certes plus facile à réaliser sur une plaque céramique. En revanche ces plaques sont fragiles, en particulier lorsqu’elles présentent une grande longueur.
Un autre problème technique, auquel sont soumises les électrodes visées par l’invention, est de conserver une distance constante entre le substrat à traiter et l'électrode. En effet, dans le cas contraire, la densité de puissance du plasma varie en fonction de la position, ce qui rend difficile le contrôle du traitement.
Afin de remédier à ce problème spécifique, il est tout d’abord possible d'utiliser des électrodes de faible largeur, en forme de barreau. Cependant, cette faible largeur est désavantageuse, notamment car elle implique un faible temps de résidence dans le plasma.
On peut également faire appel à des électrodes, dont le rayon de courbure est adapté à celui de la contre-électrode. A cet égard, CZ-A-28677 décrit une électrode formée d'une plaque céramique recourbée, équipée de plusieurs pistes métalliques. Cependant, l’utilisation d’une plaque de ce type induit une fragilité significative de l’électrode, notamment sur de grandes longueurs.
Compte tenu de ce qui précède, un objectif de la présente invention est de remédier, au moins partiellement, aux inconvénients de l’art antérieur évoqués ci-dessus.
Un autre objectif de l’invention est de proposer une électrode du type décrit ci-dessus, qui présente une robustesse satisfaisante combinée à une fabrication aisée à mettre en oeuvre.
Un autre objectif de l’invention est de proposer une telle électrode, qui présente une courbure telle que proposée par CZ-A-28677.
Un autre objectif de l’invention est de proposer une telle électrode qui, tout en présentant des dimensions réduites, est apte à générer une puissance électrique élevée.
Un autre objectif de l’invention est de proposer une telle électrode, qui permet de minimiser les risques de formation d’arcs électriques.
Un autre objectif de l’invention est de proposer une telle électrode, qui peut être mise en place de façon commode dans une installation de traitement par plasma.
Objets de l’invention
Selon l’invention, au moins un des objectifs ci-dessus est atteint au moyen d’une électrode (1 ; 6) pour une installation de traitement de surface d’un substrat (SUB) en mouvement, cette installation comprenant en outre un support (102) pour le substrat, une contre électrode, notamment confondue avec le support ; des premiers moyens (120, 121, 122) d’injection pour l’injection d’un premier gaz, ou gaz de traitement, vers ledit support, ce premier gaz comprenant au moins un gaz plasmagène ;
ladite électrode étant adaptée pour coopérer avec ladite contre électrode pour créer une décharge électrique, cette électrode comprenant un corps (2 ; 7) réalisé en un matériau électriquement isolant, notamment un matériau céramique, ainsi qu’un organe actif électriquement conducteur (3 ; 8), fixé sur le corps, caractérisée en ce que, en vue transversale (Y1-Y1), le corps comprend une âme (20 ; 70) et au moins une aile (21, 22 ; 71, 72) s’étendant à partir de ladite âme, et en ce que l’organe actif est réalisé sous forme d’une piste métallisée (3 ; 8), qui recouvre au moins une partie de la face intérieure (20”) de l’âme du corps.
Une installation de traitement plasma comprend une ou plusieurs unités de traitement, dont chacune est équipée d’au moins une électrode conforme à l’invention, ainsi qu’un rouleau support sur lequel vient se plaquer le substrat à traiter. Chaque unité assure l'injection des gaz, ainsi que la génération du plasma. Le substrat passe entre le rouleau support et chaque unité, en vue de son traitement.
L’électrode conforme à l’invention comprend un corps électriquement isolant, formé d’une âme et d’au moins une aile s’étendant à partir de cette âme. Ce corps présente donc, en vue transversale, une forme de U s’il possède deux ailes, ou bien une forme de L s’il possède une aile unique. L’aile unique ou chaque aile peut être droite, à savoir s’étendre perpendiculairement par rapport au corps. Elle peut également être rentrante, ou bien sortante, à savoir qu’elle forme un angle inférieur à 90°, ou bien supérieur à 90°, par rapport au corps. L’aile unique ou chaque aile peut être rectiligne, ou bien présenter une forme incurvée, ou encore une forme brisée.
La configuration en U ou en L confère à l’électrode conforme à l’invention une solidité suffisante, afin qu’elle puisse être réalisée d'un seul tenant. De plus la réalisation du corps en U ou en L, laquelle sera détaillée ci-après, est plus facile à mettre en œuvre que le procédé de fabrication de la plaque, tel que décrit dans CZ-A-28677.
L’électrode conforme à l’invention peut avantageusement être équipée d’une piste métallisée, formant organe conducteur actif, laquelle recouvre la face intérieure de l’âme du U ou du L, jusqu'à son ou ses aile(s). La face interne de l’aile unique ou de chaque aile forme par ailleurs un rebord, qui empêche la formation significative d’arcs électriques. Par conséquent, la largeur de la piste peut être sensiblement plus élevée que dans l’art antérieur faisant appel à une plaque.
A titre d’exemple, l'électrode peut ainsi être équipée d’une piste métallique, dont la largeur est typiquement de 1 à 5 centimètres. Dans ces conditions, le traitement au moyen d’une électrode unique conforme à l’invention est équivalent à celui mis en œuvre avec plusieurs barreaux consécutifs, conformes à l’art antérieur. L’invention permet donc de réduire l'encombrement global, tout en assurant une puissance équivalente.
On notera également que, du fait de sa configuration en U ou en L, l’électrode conforme à l’invention délimite un volume intérieur aisément accessible. Par conséquent la réalisation de la piste métallique est facilitée, étant donné que la zone du corps, qui doit être recouverte au moyen de cette piste, est à découvert pour l’opérateur.
Selon l’invention, au moins un des objectifs ci-dessus est également atteint au moyen d’une électrode (6 ; 106) pour une installation de traitement de surface d’un substrat (SUB) en mouvement, cette installation comprenant en outre un support (102) pour le substrat, une contre électrode, notamment confondue avec le support ; des premiers moyens (120, 121, 122) d’injection pour l’injection d’un premier gaz, ou gaz de traitement, vers ledit support, ce premier gaz comprenant au moins un gaz plasmagène ;
cette électrode comprenant un corps (7 ; 107) réalisé en un matériau électriquement isolant, notamment un matériau céramique, ainsi qu’un organe actif (8 ; 108) électriquement conducteur, fixé sur le corps, caractérisée en ce que l’organe actif est réalisé sous forme d’une piste métallisée, qui recouvre au moins une partie du corps, et en ce que l’électrode est composée de plusieurs modules, à savoir deux modules dits d’extrémité (6A, 6C ; 106A, 106C), ainsi qu’éventuellement au moins un module dit central (6B ; 106B), deux modules adjacents comprenant des moyens (90, 95 ; 190, 195) de fixation mutuelle, en particulier de type amovible.
Selon d’autres caractéristiques de l’invention :
le corps présente une forme de U, en vue transversale (Y1-Y1), et comprend une âme (20) et deux ailes (21, 22) s’étendant à partir de ladite âme ;
le corps présente une forme de L, en vue transversale et comprend une âme et une unique aile s’étendant à partir de ladite âme ;
cette électrode comprend des moyens de fixation (23, 24), notamment par coopération de formes, propres à coopérer avec des moyens de fixation complémentaires (154, 155) appartenant à ladite installation ;
les moyens de fixation comprennent au moins une encoche (23, 24), ou au moins une saillie, ménagée sur au moins une aile (21,22) du corps (2), cette encoche ou cette saillie étant propre à coopérer respectivement avec une saillie (154, 155) ou une encoche de forme complémentaire, appartenant à ladite installation ; la face (20’) du corps (2), tournée en service vers le substrat, est recourbée selon une vue transversale (Y1-Y1), la concavité de ladite face recourbée étant tournée vers le substrat ;
le substrat est cylindrique et possède un rayon (R102), la face (20’) recourbée du corps (2) possédant un rayon de courbure égal à la somme (R102 + d1) du rayon du substrat et d’une distance prédéterminée (d1), cette distance prédéterminée séparant en service le substrat et ladite face ;
la piste métallisée (8) s’étend sensiblement jusqu’à la face intérieure de l’aile unique ou des ailes (21, 22) du corps, mais ne recouvre pas cette aile unique ou ces ailes ;
l’électrode est composée de plusieurs modules, à savoir deux modules dits d’extrémité (6A, 6C), ainsi qu’éventuellement au moins un module dit central (6B), deux modules adjacents comprenant des moyens (90, 95) de fixation mutuelle, en particulier de type amovible ;
les moyens de fixation entre deux modules adjacents sont des moyens de fixation par emboîtement (90, 95) ;
les moyens de fixation par emboîtement comprennent un tenon (90) recouvert d’un tronçon de ladite piste métallisée, appartenant à un premier module, et une mortaise (95) ménagée dans un module adjacent, apte à coopérer avec ledit tenon ;
ledit tenon (90) est en forme de U et ladite mortaise (95) est délimitée par un rebord (98), destiné à former un appui pour l’âme (91) dudit tenon, ainsi que par des voiles (96, 97), destinés à coopérer avec les ailes (92, 93) dudit tenon.
Ces caractéristiques additionnelles peuvent être mises en oeuvre avec l’un ou l’autre des objets principaux ci-dessus, individuellement ou en combinaisons quelconques, techniquement compatibles.
L’invention a également pour objet une unité de traitement (101A ; 201 A) pour une installation de traitement de surface d’un substrat (SUB) en mouvement, cette unité comprenant des premiers moyens (120, 121, 122 ; 221) d’injection pour l’injection d’un premier gaz, ou gaz de traitement, vers ledit support, ce premier gaz comprenant au moins un gaz plasmagène ;
éventuellement des seconds moyens d’injection (130, 131, 132; 231) pour l’injection d’au moins un second gaz vers ledit support, ; au moins une électrode (1, 1’) telle que ci-dessus.
Selon d’autres caractéristiques de l’invention :
l’unité comprend des moyens de fixation complémentaires (154, 155 ; 246, 246’), propres à coopérer avec les moyens de fixation (23, 24) de ladite électrode ;
-les moyens de fixation de ladite électrode et les moyens de fixation complémentaires sont propres à coopérer, de manière à permettre la fixation de l’électrode moyennant un coulissement de l’électrode selon sa direction longitudinale (X1-X1), par rapport à l’unité de traitement ;
cette unité est réalisée sous forme d’un bloc massif (101 A) dans lequel est ménagé un logement (150) de réception de ladite électrode, la paroi inférieure (116) du bloc, en regard du support (102), étant sensiblement pleine, cette paroi étant creusée des débouchés respectifs du logement et des moyens d’injection, les moyens de fixation complémentaires (154, 155) étant ménagés sur des parois (151, 152) dudit logement de réception ;
la paroi pleine (116) de l’unité (101A) est recourbée, cette paroi recourbée et la face recourbée (20’) de l’électrode présentant le même rayon de courbure (R102 + d 1 ) et s’étendant dans le prolongement l’une de l’autre ;
cette unité comprend un organe de support (204) ouvert en direction du substrat, en service, les moyens de fixation complémentaires (246, 246’) s’étendant entre des parois (244, 245) dudit organe de support (204).
L’invention a également pour objet une installation de traitement de surface d’un substrat (SUB) en mouvement, comprenant un support (102) pour le substrat, une contre électrode, notamment confondue avec le support ;
un ensemble de traitement comprenant au moins une unité de traitement (101A101D ; 201 A) telle que ci-dessus ;
au moins une source de gaz de traitement apte à alimenter les premiers moyens d’injection de chaque unité de traitement, et éventuellement au moins une source de gaz auxiliaire, apte à alimenter les éventuels seconds moyens d’injection de chaque unité de traitement.
Selon une autre caractéristique de l’invention, la distance (d1) entre le support (102) et à la fois la paroi recourbée (116) de l’unité (101 A) et la face recourbée (20’) de l’électrode (1) est sensiblement constante selon la direction de défilement du substrat.
Description des figures
L’invention va être décrite ci-après, en référence aux dessins annexés, donnés uniquement à titre d’exemples non limitatifs, dans lesquels :
La figure 1 est une vue en perspective, illustrant une installation de traitement de surface équipée d’au moins une électrode conforme à l’invention.
La figure 2 est une vue en perspective illustrant, à bien plus grande échelle, une électrode conforme à l’invention équipant l’installation de traitement de la figure 1.
La figure 3 est une vue en coupe transversale, illustrant l’électrode de la figure 2.
La figure 4 est une vue de face, illustrant une unité de traitement appartenant à l’installation de traitement de la figure 1, unité sur laquelle est montée l’électrode des figures 2 et 3.
La figure 5 est une vue de face, illustrant une unité de traitement conforme à une variante de réalisation de l’invention, sur laquelle est montée l’électrode des figures 2 et 3.
La figure 6 est une vue de dessus, illustrant une électrode modulaire conforme à une variante de réalisation de l’invention.
La figure 7 est une vue de côté, illustrant l’électrode de la figure 6.
Les figures 8 et 9 sont des vues respectivement de dessus et de côté, à bien plus grande échelle, illustrant les détails VIII et IX des figures 6 et 7.
La figure 10 est une vue en perspective, illustrant le module central d’une électrode modulaire conforme à une autre variante de réalisation de l’invention.
Les références numériques suivantes sont utilisées dans la présente description :
1 Electrode 2 Corps de 1
20 Ame de 2 21, 22 Ailes de 2
23, 24 Encoches 25, 26 Extrémités de 20
20’, 20” Faces de 20 X1.Y1.Z1 Axes de 1
L2 Longueur de 2 I2 Largeur de 2
H2 hauteur de 2 e2 épaisseur de 2
3 Piste 4 Pâte
5 Tube
101 A - 101D Blocs 102 Tambour
f102 Rotation de 102 D102 Diamètre de 102
L102 Longueur de 102 SUB Substrat
S1 S2 Déplacement de SUB
103 Nip (rouleau presseur) f103 Rotation de 3
D103 Diamètre de 3 L103 Longueur de 3
111 116 Parois sup inf de 101 112 113 Parois amont aval de 101
114 115 Parois latérales de 1 d1 distance 116 - 102
120 Organe d’admission 121 Organe d’injection
122 Chambre 130 Organe d’admission
131 Organe d’injection 132 Chambre
150 Logement 151-153 Parois de 150
154-155 Saillies
104 Capot de confinement 141 Paroi supérieure de 104
142 143 Parois amont aval de 4 144 145 Parois latérales de 104
204 Capot de confinement 221,231 Organe d’injection
244 245 Parois latérales de 204 246, 246’ Rails
6 Electrode 7 Corps de 6
6A-6C Modules de 6 7A-7C Modules de 7
70A-70C Ame de 7A-7C 71A-71C, 72A-72C Ailes de 7A-7C
8A-8C Tronçons de piste 75, 76 Extrémités de 70
90 Tenon 91 Ame de 90
92, 93 Ailes de 90 95 Mortaise
96, 97 Voiles 98 Rebord
106B Module central 107B Corps de 106B
170B Plage 108B Tronçon de piste
190 Tenon 195 Mortaise
198 Rebord 105 Tube
Description détaillée
La figure 1 illustre une installation de traitement de surface par plasma, équipée d’un ensemble de traitement formé par plusieurs unités de traitement 101A à 101D conformes à l’invention, lesquelles sont représentées plus en détail aux figures 2 et suivantes. Cette installation comprend essentiellement, outre les unités précitées, un tambour 102 formant support pour un substrat SUB, un rouleau presseur 103, ainsi qu’un capot de confinement 104 recouvrant ces blocs.
Le tambour 102 de type connu en soi est mis en rotation, en service, selon la direction matérialisée par la flèche f102. On note D102 son diamètre et L102 sa dimension longitudinale. Ce tambour forme un support pour le substrat SUB, destiné à circuler selon les flèches S1 et S2, de sorte à être traité conformément à l’invention. Dans le présent mode de réalisation, le tambour 102 assure une fonction supplémentaire de contre électrode, laquelle coopère avec des électrodes qui seront décrites dans ce qui suit. A cette fin, ce tambour est avantageusement recouvert d’une couche isolante, de manière connue en soi. Cependant, cette contre électrode peut être formée par un autre composant de l’installation. A titre d’exemple, le substrat est fait de polypropylène, alors que son épaisseur est comprise entre 20 et 100 micromètres.
Dans sa partie amont, en référence au déplacement du substrat, le tambour 102 est avantageusement associé au rouleau presseur 103 (appelé par l’homme du métier aussi “Nip”), également de type connu en soi. Comme cela sera décrit plus en détail dans ce qui suit, le rouleau secondaire 103 est mis en rotation, en service, selon la direction matérialisée par la flèche f103. Cela permet de presser le substrat contre le tambour, de manière à éviter la formation d’une couche d’air entre ce substrat et ce tambour. Ceci permet d’éviter tout défaut local de traitement sur le substrat. On note D103 son diamètre, lequel est bien inférieur à celui D102 du tambour, ainsi que L103 sa dimension longitudinale, laquelle est par exemple voisine de celle L2 du tambour.
Les différentes unités de traitement, lesquelles sont avantageusement identiques, sont réalisées sous forme de blocs massifs 101A à 101D. Chaque bloc est avantageusement réalisé dans un matériau isolant, de tout type approprié. Le bloc est réalisé par tout procédé mécanique approprié, notamment par usinage. On va maintenant décrire la structure de l’un 101A de ces blocs, sachant que celle des autres blocs est similaire.
Comme le montre notamment la figure 4, le bloc 101A possède une paroi supérieure 111 et des parois périphériques, formées par des parois parallèles respectivement avant ou amont 112, et arrière ou aval 113, ainsi que des parois latérales parallèles 114 et 115. A titre d’exemple sa première dimension, définie par la distance entre les parois 114 et 115, est typiquement comprise entre 1 000 mm et 2 000 mm, étant entendu qu’elle peut présenter des valeurs nettement inférieures, par exemple jusqu’à 20 mm. A titre d’exemple sa deuxième dimension, définie par la distance entre les parois 112 et 113, est comprise entre 50 mm et 200 mm. Chaque bloc est fixé par tout moyen approprié, de préférence de façon amovible, sur les parois latérales du capot 104, qui va être décrit dans ce qui suit.
Ce bloc101A possède en outre une paroi inférieure 116, tournée vers le tambour 102. Cette paroi 116, qui est sensiblement pleine, délimite le débouché pour des premier et second moyens d’injection, respectivement pour un premier et un second gaz. Cette paroi inférieure 116 est séparée du tambour 102 d’une distance notée d1, laquelle est avantageusement constante selon la direction longitudinale de défilement. A cet effet, cette paroi inférieure présente un rayon de courbure R116, lequel est égal à R116=R102+d1, où R102 est le rayon du tambour, soit D102/2, et d1 est la distance précitée. Dans le cas où le substrat défile sur un support plan, tel une plaque, le dessous du bloc est également plan et s’étend parallèlement à la face en regard du support. Le fait de prévoir une distance (d 1 ) constante permet d’éviter toute recirculation substantielle des gaz de traitement, dans l'espace ménagé entre le bloc et la surface du substrat.
Chaque moyen d’injection comprend essentiellement un organe d’admission 120 ou 130, un organe d’injection 121 ou 131, ainsi qu’une chambre intermédiaire 122 ou 132. Cette dernière a une fonction d’homogénéisation du gaz, introduit par l’organe d’admission 120 ou 130 qui lui est associé. De façon typique, l’organe d’admission peut prendre la forme d’un passage tubulaire unique de faible longueur. Dans le cas d’un bloc de grande largeur, on peut prévoir quelques passages tubulaires d’admission, régulièrement répartis. Par ailleurs, l’organe d’injection 121 ou 131 peut prendre la forme d’une série de passages tubulaires de faible longueur, répartis linéairement ou en quinconces entre les parois 114 et 115. De façon préférée, cet organe d’injection 121 ou 131 est formé par une fente unique, s’étendant transversalement entre les parois précitées 114 et 115. Les organes d’admission 120 et 130 sont mis en communication avec des sources d’alimentation en des gaz respectifs, dont la nature va être détaillée ci-après, alors que les débouchés aval des organes d’injection 121 et 131 sont placés en regard du substrat.
On peut prévoir des moyens d’injection différents de ceux de la figure 4, notamment des moyens d’injection dépourvus d’une telle chambre intermédiaire. Dans cet esprit chaque moyen d’injection peut comprendre plusieurs conduites, réparties régulièrement selon l’axe YY. La partie amont de chaque conduite forme l’organe d’admission, et sa partie aval l’organe d’injection. A titre de variantes supplémentaires, non représentées, on peut prévoir que les moyens d’injection comprennent une chambre intermédiaire dont la forme est différente de celle illustrée sur les figures, notamment une forme simplifiée telle que décrite dans JP-A-2016/062812.
Selon une caractéristique particulièrement avantageuse de l’invention, l’organe d’injection 131 s’étend de façon oblique, en étant tourné vers l’organe d’injection 121 du premier gaz. L’angle formé par les axes principaux de ces organes 121 et 131 est typiquement compris entre 30° et 60°, préférentiellement entre 40° et 50°, notamment voisin de 45°. De plus la distance d3 entre les débouchés des organes d’injection 121 et 131 est avantageusement inférieure à 10 mm, de préférence à 4 mm. Cette distance d3 est calculée entre les centres respectifs de ces débouchés. Prévoir une telle géométrie est avantageux, comme cela sera décrit dans ce qui suit.
Le bloc 101A est en outre creusé d’au moins un logement 150, dont chacun est destiné à la réception d’une électrode conforme à l’invention, laquelle va être décrite plus en détail dans ce qui suit. Dans l’exemple illustré, on retrouve un unique logement, étant entendu qu’on peut prévoir plusieurs logements disposés les uns derrière les autres, selon la direction de défilement du substrat. En vue transversale, ce logement 150 présente une forme de U et débouche vers le bas sur la figure 4, à savoir en direction du support. On note 151 et 152 ses parois latérales opposées, ainsi que 153 sa paroi dite de fond.
Ce logement 150 débouche avantageusement sur au moins une des parois latérales du bloc 101 A, à savoir vers l’avant et/ou l’arrière de la feuille sur la figure 3. Ceci permet une accessibilité aisée de ce logement pour l’utilisateur, de sorte que celui-ci peut enfiler directement l’électrode dans le logement qui lui est dédié. A cet effet, chaque paroi latérale 151 et 152 du logement est munie d’une nervure longitudinale 154 et 155, faisant saillie vers la paroi latérale opposée. Chaque nervure est apte à coopérer avec une encoche de l’électrode conforme à l’invention, selon un mode opératoire qui va être décrit ci-après.
Par ailleurs la plus petite distance d2 séparant les débouchés respectifs, appartenant à la conduite 131 et au logement 150, est avantageusement inférieure à 20 mm et, de manière préférentielle, inférieure à 15 mm. Cela permet de conserver une concentration maximale du gaz auxiliaire, notamment des dopants contenus dans ce dernier, au voisinage de la surface du substrat.
L’électrode 1 est plus particulièrement décrite aux figures 2 et 3. Sur ces figures on note X1-X1 l’axe longitudinal de l’électrode, Y1-Y1 son axe transversal et Z1-Z1 l’axe perpendiculaire à X1-X1 et Y1-Y1. L’électrode 1 comprend tout d’abord un corps 2 en forme de U, qui se compose d’un fond ou âme 20, ainsi que de deux parties latérales ou ailes 21 et 22, s’étendant à partir de l’âme 20. Chaque aile 21 ou 22 est creusée d’une encoche respective 23 ou 24, qui s’étend longitudinalement à savoir selon l’axe X1-X1.
L’âme 20 est recourbée, à savoir qu’elle présente une concavité tournée vers le substrat, en vue transversale selon l’axe Y1-Y1 (figure 3). Sa face 20’ dite extérieure, à savoir opposée aux ailes, présente un rayon de courbure R20 égal au rayon de courbure R16 de la paroi de fond 16, telle que présentée ci-dessus. Par conséquent, il existe une continuité, ou en d’autres termes une absence de seuil, dans les zones C1 et C2 de la figure 4, correspondant au raccordement entre les parois 116 et 20’ précitées. Cela est avantageux, car cela évite la création de recirculations des gaz.
Le corps 2 est réalisé en un matériau électriquement isolant, tel que notamment un matériau de type céramique, telle que l'alumine. Un tel matériau est de type connu en soi. Son procédé de fabrication est par exemple le suivant : une pâte céramique appropriée est extrudée sensiblement selon la forme en U définitive du corps, puis séchée et enfin frittée à haute température. Un tel procédé est classique pour l’homme du métier dans le domaine des céramiques.
A titre indicatif, les caractéristiques dimensionnelles principales du corps 2 sont les suivantes :
dimension longitudinale selon X1-X1, ou longueur L2: entre 100 mm (millimètres) et 3000 mm, dimension transversale selon Y1-Y1, ou largeur I2: entre 10 mm et 40 mm, dimension selon Z1-Z1, ou hauteur H2: entre 2 mm et 30 mm, épaisseur E2: entre 0.5 mm et 5 mm.
Sur la figure 3, on note a21 et a22 les angles respectifs entre les ailes 21 et 22 et l’âme 20. Dans l’exemple illustré, α21 = a22 = 90°, c’est-à-dire que le corps est en forme de U à ailes droites. Cependant on peut prévoir que les ailes du U ne sont pas parallèles entre elles, à savoir que a21 et a22 ne sont pas égaux à 90° mais sont notamment compris entre 45° et 135°.
Dans l’exemple illustré, l’électrode de l’invention possède deux ailes et présente une forme de U. Néanmoins, comme indiqué ci-avant, elle peut posséder une unique aile et présenter par conséquent une forme de L. Les valeurs d’angle de la figure 3 s’appliquent également, dans le cas d’un corps en L possédant une aile unique. Par ailleurs, comme indiqué ci-avant, l’aile unique ou chaque aile peut être rectiligne, ou bien présenter une forme incurvée, ou encore une forme brisée.
L’organe actif 3 présente une forme de piste, ou de plaque. Il est réalisé en un matériau électriquement conducteur, tel que typiquement de l’argent, du cuivre, de l’aluminium, de l’acier inoxydable, du laiton ou encore un mélange d’au moins deux de ces matériaux. Un tel matériau est de type connu en soi. Le procédé de fabrication de l’organe actif 3 est connu en soi : typiquement une laque métallique, typiquement de l'argent, est étalée soigneusement sur la face intérieure 20” de l'électrode, puis séchée et fondue en température. On peut également réaliser la piste métallique par pulvérisation cathodique, ou encore par tout autre moyen approprié.
Les caractéristiques dimensionnelles principales de la piste active 3 sont les suivantes :
la piste présente une longueur L3 légèrement inférieure à celle L2 du corps. Dans ces conditions, la face intérieure 20” présente deux zones d’extrémité 25 et 26, qui ne sont pas recouvertes au moyen de cette piste. La longueur L25 ou L26 de chaque zone 25 ou 26 est avantageusement supérieure à 5 mm. ;
la piste présente avantageusement une largeur I3 très légèrement inférieure à celle I2 du corps. Dans ces conditions, la piste s’étend transversalement, presque jusque contre la face intérieure des ailes 21 et 22. Par conséquent, cette piste présente une surface importante, qui permet d’appliquer une puissance électrique élevée. En revanche, cette piste ne recouvre pas les faces intérieures des ailes 21 et 22.
Etant donné sa forme en U, le corps 2 est ouvert à l’opposé du substrat. Il définit par conséquent un volume intérieur, noté V2, lequel est avantageusement rempli par une pâte, désignée dans son ensemble par la référence 4. Cette pâte est réalisée en un matériau électriquement isolant, tel que typiquement une résine époxy chargée en céramique. Un tel matériau est de type connu en soi. De façon avantageuse, la pâte occupe une fraction substantielle du volume V2, en particulier supérieure à 70 %.
De manière avantageuse un tube 5, de type connu en soi, est fixé sur la piste métallique. Ce tube est réalisé en un matériau métallique, tel que typiquement du cuivre. Un tel matériau est de type connu en soi. Son procédé de fixation sur la piste est le suivant : on étale une résine conductrice époxy sur la surface de la métallisation, puis on place le tuyau de refroidissement. Le montage ainsi réalisé est placé au four, typiquement à 95°C pendant 60 minutes.
Comme le montre la figure 2, ce tube ne s’étend pas sur toute la longueur de la piste. De façon préférée, ses deux extrémités affleurent les zones 25 et 26 non recouvertes par la piste 3, afin d’éviter la prolongation de l'électrode en-dehors de la zone délimitée par la céramique. Cela permet de minimiser les risques d'arcs électriques. Ce tube 5 est connecté à un système non représenté de régulation de la température, de type connu en soi. Cela permet donc de contrôler la température de l'électrode, en service.
L’électrode 1 conforme à l’invention est par ailleurs équipée d’autres éléments non représentés, de type connu en soi, permettant son bon fonctionnement. On citera notamment des moyens de connexion à une source de puissance, elle aussi non représentée sur les figures.
En vue du montage de l’électrode 1 dans son logement, l’opérateur fait coulisser celle-ci selon son axe longitudinal, par coopération de formes entre les encoches 23, 24 et les saillies 154, 155. On peut prévoir en outre des moyens d’arrêt en position de l’électrode, par exemple de type à encliquetage. Si l’opérateur souhaite extraire cette électrode hors de son logement, il procède au même mouvement de coulissement dans le sens opposé à celui du montage. La manipulation de l’électrode est donc particulièrement intuitive et aisée à mettre en oeuvre.
A titre de variante, on peut prévoir de ménager plusieurs encoches sur chaque âme, notamment parallèles, lesquelles peuvent alors coopérer avec plusieurs saillies réalisées sur les parois du logement. A titre de variante supplémentaire, on peut prévoir une solution miroir, à savoir que chaque encoche est pratiquée dans une paroi du logement, alors que chaque âme de l’électrode est munie d’une saillie complémentaire.
Comme cela ressort de ce qui précède, l’invention assure une fixation amovible de l’électrode par rapport aux parois de son logement de réception. Par conséquent, une électrode donnée peut être remplacée de manière commode par une autre électrode similaire, en particulier en cas de défaillance. Cette électrode peut aussi être remplacée par une autre électrode, de type différent. L’expression « électrodes différentes » signifie qu’au moins un des paramètres suivants varie d’un tube à l’autre :
- dimension totale de l’électrode
- matériau de l’électrode
- forme de l’électrode.
L’installation de traitement de la figure 1 est en outre équipée d’un capot dit de confinement 104, permettant de conférer une atmosphère de traitement contrôlée. Comme montré sur la figure 1, ce capot 104 comprend une paroi supérieure ou âme 141, deux parois frontales ou ailes 142 et 143, ainsi que deux parois latérales 144 et 145.
Différentes possibilités de mise en oeuvre de l’installation, conforme à l’invention, vont maintenant être explicitées dans ce qui suit.
De manière générale, on dirige des premier et deuxième gaz vers le substrat défilant, grâce aux premiers et deuxièmes moyens d’injection décrits ci-dessus. Le premier gaz, encore dénommé gaz de traitement, comprend au moins un gaz plasmagène tel que l'azote, l'argon, ou encore l'hélium. Dans le présent mode de réalisation, ce gaz de traitement est constitué sensiblement par le gaz plasmagène précité. Dans ce mode de réalisation, le deuxième gaz, encore dénommé gaz auxiliaire, comprend d'autres gaz ou composés vaporisés de type connu en soi, appelés dopants. A titre de variantes de réalisation, on peut prévoir que le gaz de traitement comprend, outre le gaz plasmagène, d’autres composés tels que les dopants décrits ci-dessus. On peut également prévoir que le gaz auxiliaire comprend, outre les dopants, une fraction de gaz plasmagène, ou encore un autre composant tels un spray ou un brouillard.
Le gaz plasmagène injecté par les conduites 121 s’écoule tout d’abord vers l’aval, entre la paroi inférieure 116 et le substrat SUB. Par ailleurs des dopants sont dirigés vers le substrat, via le deuxième organe d’injection 131. La position des conduites d'injection 121, 131, notamment leur angle d'inclinaison mutuelle, permet de concentrer les dopants au voisinage du substrat par un effet de placage. Cet effet est tout particulièrement avantageux, dans la mesure où il permet de maximiser la vitesse de traitement. Dans le cas d’un dépôt, il permet de plus de réduire la formation intempestive de poudre sur l’électrode.
La figure 5 illustre l’intégration d’électrodes identiques 1 et T, toutes deux conformes à l’invention, dans une unité de traitement 201A selon une variante de réalisation. Sur cette figure les éléments mécaniques de l’unité, analogues à ceux des figures 1 et 4, y sont affectés des mêmes numéros de référence augmentés de 100. Ce deuxième mode de réalisation diffère du premier, essentiellement en ce que l’unité de traitement est dépourvue d’un bloc massif.
Par conséquent, les électrodes 1 et T sont fixées directement sur les parois latérales opposées 244 et 245 du capot 204. A cet effet, des rails 246 et 246’, montrés de façon schématique sur la figure 5, s’étendent entre ces parois et coopèrent avec les encoches 23, 23’, 24 et 24’ des deux électrodes. Par ailleurs, les moyens d’injection sont réalisés sous forme de tubes 221 et 231, qui s’étendent également entre les parois précitées. Dans l’exemple illustré, on retrouve deux tubes d’injection et deux électrodes, agencés de façon alternée selon le défilement du substrat. A titre de variante on peut prévoir un nombre et/ou un agencement différent(s) de ces tubes et électrodes. Ce deuxième mode de réalisation présente les mêmes avantages que le premier mode, en particulier en ce qui concerne la possibilité de fixation amovible des électrodes.
Dans ce deuxième mode de réalisation, le capot 204 de l’unité 201A forme un organe de support pour les électrodes conformes à l’invention, organe qui est ouvert en direction du substrat. A titre de variante supplémentaire, non représentée, un tel organe de support ouvert peut être constitué par une tête de traitement, telle que décrite dans WO A 2016/128259. On peut prévoir d’utiliser plusieurs têtes, les unes derrière les autres selon la direction de défilement, lesquelles peuvent être coiffées par un capot de confinement tel que décrit ci-dessus.
Sur les figures 2 et 3, on a illustré une électrode dont le corps est réalisé d'un seul tenant sur l’intégralité de sa dimension longitudinale X1-X1. Les figures 6 à 9 montrent une variante de réalisation, dans laquelle l'électrode est modulaire. Sur ces figures 6 à 9 les éléments mécaniques de l’électrode, analogues à ceux des figures 2 et 3, y sont affectés des mêmes numéros de référence augmentés de 5 ou de 50.
L’électrode 6 des figures 6 à 9 est composée de plusieurs modules, à savoir deux modules dits d’extrémité 6A et 6C, ainsi qu’éventuellement au moins un module dit central 6B. De façon analogue à ce qui a été décrit ci-dessus pour l’électrode 1, chaque module comprend un corps respectif 7A, 7B, 7C en forme de U. Ce dernier est formé par une âme 70A, 70B, 70C, ainsi que deux parties latérales ou ailes 71A et 72A, 71B et 72B, 71C et 72C s’étendant à partir de l’âme.
Cette électrode est en outre équipée de moyens non représentés, permettant sa fixation contre les parois du logement 150 ou sur les rails 246 et 246’. A cet effet chaque aile est par exemple munie d’une encoche de fixation, analogue à celle 23 ou 24, ou de tout autre moyen analogue. Chaque module est en outre pourvu d’un tronçon de piste métallisée
8A, 8B, 8C, fixée sur la face intérieure de l’âme de façon analogue à la fixation de la piste 3 sur l’âme 20.
L’extrémité libre, opposée au module central adjacent, de chaque module d’extrémité définit deux zones 75 et 76 qui ne sont pas recouvertes par les tronçons de piste respectifs 8A et 8C. La longueur de chacune de ces zones est similaire à la longueur des zones 25 et 26 ci-dessus. Le nombre de modules centraux 6B, formant l’ensemble de l’électrode, est typiquement compris entre 0 et 100. Ainsi, l’invention trouve son application à une électrode modulaire formée uniquement de deux modules, à savoir les deux modules d’extrémité 6A et 6C.
Deux modules adjacents sont fixés mutuellement de manière amovible, par emboîtement. Les figures 8 et 9 illustrent, à plus grande échelle, la fixation du module d’extrémité 6C et du module central qui lui est adjacent, étant entendu que cette fixation est identique pour tous les couples de modules de l’électrode. Le module central est équipé d’un tenon 90, faisant saillie longitudinalement en direction du module d’extrémité. Ce tenon, qui présente une forme de U, comporte une âme 91 et deux ailes 92 et 93. On notera que l’âme 91 est moins épaisse que celle 70B du module, tout comme les ailes 92 et 93 sont également moins épaisses que celles 71 B, 72B du module. Par ailleurs, le module d’extrémité est creusé d’une mortaise 95, destiné à coopérer avec le tenon précité. Cette mortaise est tout d’abord délimitée latéralement par deux voiles 96 et 97, prolongeant les ailes du module tout en étant de moindre épaisseur. Cette mortaise est en outre délimitée, en partie inférieure, par un rebord 98, prolongeant l’âme du module tout en étant de moindre épaisseur.
Les caractéristiques dimensionnelles principales du tenon 90 et de la mortaise 95 sont les suivantes :
- la longueur du tenon, qui correspond à la profondeur de la mortaise est comprise entre 1 et 30 mm
- l’épaisseur de l’âme 91 du tenon est comprise entre 1 et 4 mm
- l’épaisseur de chaque aile 92, 93 du tenon est comprise entre 1 et 4 mm
- l’épaisseur de chaque voile 96, 97 de la mortaise est comprise entre 1 et 4 mm
- l’épaisseur du rebord 98 de la mortaise est comprise entre 1 et 4 mm.
Le mode de réalisation des figures 6 à 9 présente des avantages spécifiques. La conception modulaire permet de réaliser l’électrode à la dimension voulue, de sorte que sa fabrication est facilitée. Par ailleurs le raboutage des modules par tenon et mortaise, tel que décrit ci-dessus, permet d'éviter la formation d'arcs électriques qui passerait par un éventuel joint entre deux modules. Le tenon et la mortaise s’étendent sur l’âme et le fond du U, ce qui assure une meilleure résistance mécanique. En effet, étant donné la faible épaisseur du corps céramique, un tenon et une mortaise présents uniquement sur l’âme pourraient être insuffisants en termes de résistance.
De plus, pour assurer la conduction électrique entre les différents modules, une barre métallique de la même longueur que l'électrode est avantageusement fixée à chaque module. Cette barre peut être soudée, brasée ou collée, du moment que la conductivité entre la piste métallique et la barre est établie. De manière avantageuse, cette barre est remplacée par un tube, tel que celui 5 des figures précédentes, lequel peut être connecté à un système de régulation de la température. Ce tube assure donc plusieurs fonctions, à savoir le maintien mécanique, la conduction thermique, la conduction électrique ainsi que le refroidissement. A titre d’exemple, on peut avantageusement prévoir un système fonctionnant en boucle fermée. Dans cet esprit on utilise typiquement un refroidisseur dont le fluide traverse le tube pour récupérer la chaleur produite, puis retourne dans ce refroidisseur pour redescendre en température.
De façon surprenante, l'interruption de la piste métallique ne modifie pas la qualité du traitement à cet endroit. Dans ces conditions, la conception modulaire de l’électrode 6 n’est pas pénalisante du point de vue de ses performances. Sans vouloir être lié par la théorie, on peut considérer que le plasma s'étend en service jusqu'à quelques millimètres au-delà de la fin de la piste. Par conséquent, du point de vue du traitement, la jonction est invisible du moment que le plasma garde ses propriétés.
La figure 10 est une vue en perspective, illustrant le module central d’une autre électrode modulaire conforme à l’invention. Sur cette figure 10 les éléments mécaniques de ce module, qui sont analogues à ceux des figures 6 à 9, y sont affectés des mêmes numéros de référence augmentés de 100. Ce module central 106B diffère de celui 6B, essentiellement en ce que son corps 107B n’est pas en forme de U. Ce corps est constitué par une plage 170B recourbée, analogue à l’âme 70B décrite ci-dessus. Ce module est en outre pourvu d’un tronçon de piste métallisée 108B, fixée sur la face intérieure de la plage 170B.
Ce module central 106B est fixé par emboîtement sur les deux modules, non représentés, qui lui sont adjacents. A cet effet il est équipé d’un tenon 190, faisant saillie longitudinalement en direction d’un premier module adjacent. On notera que le tenon 190 est moins épais que la plage 170B. Par ailleurs, le module d’extrémité est creusé d’une mortaise 195, destinée à coopérer avec le tenon d’un second module adjacent. Cette mortaise est délimitée, en partie supérieure, par un rebord 198 prolongeant la plage 170B tout en étant de moindre épaisseur.
Les différents modules centraux sont typiquement identiques à celui 106B, tel que décrit 10 ci-dessus. Par ailleurs, les deux modules d’extrémité sont globalement analogues à celui
106B. En revanche leur extrémité libre, qui ne coopère pas avec un module central, est dépourvue de tenon ou mortaise, tout comme les modules 6A et 6C. Enfin un tube 105, analogue à celui 5 des figures 2 à 5, s’étend sur les plages des différents modules. Comme expliqué ci-dessus en référence à l’électrode des figures 6 à 9, ce tube assure une fonction de maintien avantageusement combinée à une fonction de refroidissement.

Claims (11)

  1. REVENDICATIONS
    1. Electrode (1 ; 6) pour une installation de traitement de surface d’un substrat (SUB) en mouvement, cette installation comprenant en outre
    - un support (102) pour le substrat,
    - une contre électrode, notamment confondue avec le support ;
    - des premiers moyens (120, 121, 122) d’injection pour l’injection d’un premier gaz, ou gaz de traitement, vers ledit support, ce premier gaz comprenant au moins un gaz plasmagène ;
    ladite électrode étant adaptée pour coopérer avec ladite contre électrode pour créer une décharge électrique, cette électrode comprenant un corps (2 ; 7) réalisé en un matériau électriquement isolant, notamment un matériau céramique, ainsi qu’un organe actif électriquement conducteur (3 ; 8), fixé sur le corps, caractérisée en ce que, en vue transversale (Y1-Y1), le corps comprend une âme (20 ; 70) et au moins une aile (21, 22 ; 71, 72) s’étendant à partir de ladite âme, et en ce que l’organe actif est réalisé sous forme d’une piste métallisée (3 ; 8), qui recouvre au moins une partie de la face intérieure (20”) de l’âme du corps.
  2. 2. Electrode selon la revendication 1, caractérisée en ce que le corps présente une forme de U, en vue transversale (Y1-Y1), et comprend une âme (20) et deux ailes (21, 22) s’étendant à partir de ladite âme.
  3. 3. Electrode selon la revendication 1, caractérisée en ce que le corps présente une forme de L, en vue transversale, et comprend une âme et une unique aile s’étendant à partir de ladite âme.
  4. 4. Electrode selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle est composée de plusieurs modules, à savoir deux modules dits d’extrémité (6A, 6C), ainsi qu’éventuellement au moins un module dit central (6B), deux modules adjacents comprenant des moyens (90, 95) de fixation mutuelle, en particulier de type amovible.
  5. 5. Electrode selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce que la face (20’) du corps (2), tournée en service vers le substrat, est recourbée selon une vue transversale (Y1-Y1), la concavité de ladite face recourbée étant tournée vers le substrat.
  6. 6. Electrode selon la revendication 5, caractérisée en ce que le substrat est cylindrique et possède un rayon (R102), la face (20’) recourbée du corps (2) possédant un rayon de courbure égal à la somme (R102 + d1) du rayon du substrat et d’une distance prédéterminée (d 1 ), cette distance prédéterminée séparant en service le substrat et ladite face.
  7. 7. Electrode selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce que la piste métallisée (8) s’étend sensiblement jusqu’à la face intérieure de l’aile unique ou des ailes (21, 22) du corps, mais ne recouvre pas cette aile unique ou ces ailes.
  8. 8. Electrode selon la revendication 7, caractérisée en ce que les moyens de fixation entre deux modules adjacents sont des moyens de fixation par emboîtement (90, 95).
  9. 9. Electrode selon la revendication 8, caractérisée en ce que les moyens de fixation par emboîtement comprennent un tenon (90) recouvert d’un tronçon de ladite piste métallisée, appartenant à un premier module, et une mortaise (95) ménagée dans un module adjacent, apte à coopérer avec ledit tenon.
  10. 10. Unité de traitement (101A ; 201 A) pour une installation de traitement de surface d’un substrat (SUB) en mouvement, cette unité comprenant
    - des premiers moyens (120, 121, 122 ; 221) d’injection pour l’injection d’un premier gaz, ou gaz de traitement, vers ledit support, ce premier gaz comprenant au moins un gaz plasmagène ;
    - éventuellement des seconds moyens d’injection (130, 131, 132 ; 231) pour l’injection d’au moins un second gaz vers ledit support,
    - au moins une électrode (1, 1’) conforme à l’une des revendications précédentes.
  11. 11. Installation de traitement de surface d’un substrat (SUB) en mouvement, comprenant
    - un support (102) pour le substrat,
    - une contre électrode, notamment confondue avec le support ;
    - un ensemble de traitement comprenant au moins une unité de traitement (101A101D ; 201 A) selon la revendication précédente ;
    - au moins une source de gaz de traitement apte à alimenter les premiers moyens d’injection de chaque unité de traitement, et éventuellement au moins une source de gaz auxiliaire, apte à alimenter les éventuels seconds moyens d’injection de chaque unité de traitement.
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