FR3056314A1 - Procede et appareil de regulation de plusieurs fluides - Google Patents

Procede et appareil de regulation de plusieurs fluides Download PDF

Info

Publication number
FR3056314A1
FR3056314A1 FR1658846A FR1658846A FR3056314A1 FR 3056314 A1 FR3056314 A1 FR 3056314A1 FR 1658846 A FR1658846 A FR 1658846A FR 1658846 A FR1658846 A FR 1658846A FR 3056314 A1 FR3056314 A1 FR 3056314A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
flow
processing units
treated
regulated
processed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR1658846A
Other languages
English (en)
Other versions
FR3056314B1 (fr
Inventor
Aziz Madiha El
Alban Pivard
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Air Liquide SA
LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
Original Assignee
Air Liquide SA
LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Air Liquide SA, LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude filed Critical Air Liquide SA
Priority to FR1658846A priority Critical patent/FR3056314B1/fr
Priority to US16/335,452 priority patent/US10976755B2/en
Priority to CN201780056882.5A priority patent/CN109690442B/zh
Priority to PCT/FR2017/052363 priority patent/WO2018055255A1/fr
Publication of FR3056314A1 publication Critical patent/FR3056314A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR3056314B1 publication Critical patent/FR3056314B1/fr
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00Control of flow
    • G05D7/06Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
    • G05D7/0641Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means
    • G05D7/0664Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means the plurality of throttling means being arranged for the control of a plurality of diverging flows from a single flow
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D1/00Evaporating
    • B01D1/0082Regulation; Control
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D1/00Evaporating
    • B01D1/16Evaporating by spraying
    • B01D1/20Sprayers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D3/00Distillation or related exchange processes in which liquids are contacted with gaseous media, e.g. stripping
    • B01D3/42Regulation; Control
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D11/00Control of flow ratio
    • G05D11/02Controlling ratio of two or more flows of fluid or fluent material
    • G05D11/13Controlling ratio of two or more flows of fluid or fluent material characterised by the use of electric means
    • G05D11/131Controlling ratio of two or more flows of fluid or fluent material characterised by the use of electric means by measuring the values related to the quantity of the individual components
    • G05D11/132Controlling ratio of two or more flows of fluid or fluent material characterised by the use of electric means by measuring the values related to the quantity of the individual components by controlling the flow of the individual components
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Flow Control (AREA)

Abstract

Dans un procédé de régulation d'au moins deux fluides, un débit d'alimentation de fluide Q est divisé en n parties, la somme des n parties étant égale à Q, chacune des n parties est envoyée à une de n unités de traitement (P1, P2), chacune des n unités de traitement produit au moins un débit traité (11, 12), au moins un débit traité (11) d'une première des unités de traitement est régulé par des moyens de commande pour maintenir son débit constant à une valeur Q1 en marche nominale, au moins un débit traité (12) d'une deuxième des unités de traitement est régulé par des moyens de commande pour maintenir sa pression constante en marche nominale et en cas de réduction du débit d'alimentation Q, en marche alimentation réduite, si, de préférence uniquement si, le débit du débit traité (12) dans la deuxième unité de traitement de l'étape v) baisse et atteint ainsi un premier seuil minimal de débit, un débit traité (11, 13) dans la première unité de traitement est régulé de sorte que le débit traité ayant une valeur Q1 en marche nominale est réduit à une valeur inférieure à Q1.

Description

Titulaire(s) : L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE Société anonyme.
Demande(s) d’extension
Mandataire(s) : L'AIR LIQUIDE.
54) PROCEDE ET APPAREIL DE REGULATION DE PLUSIEURS FLUIDES.
FR 3 056 314 - A1 tü/) Dans un procédé de régulation d'au moins deux fluides, un débit d'alimentation de fluide Q est divisé en n parties, la somme des n parties étant égale à Q, chacune des n parties est envoyée à une de n unités de traitement (P1, P2), chacune des n unités de traitement produit au moins un débit traité (11, 12), au moins un débit traité (11) d'une première des unités de traitement est régulé par des moyens de commande pour maintenir son débit constant à une valeur Q1 en marche nominale, au moins un débit traité (12) d'une deuxième des unités de traitement est régulé par des moyens de commande pour maintenir sa pression constante en marche nominale et en cas de réduction du débit d'alimentation Q, en marche alimentation réduite, si, de préférence uniquement si, le débit du débit traité (12) dans la deuxième unité de traitement de l'étape v) baisse et atteint ainsi un premier seuil minimal de débit, un débit traité (11, 13) dans la première unité de traitement est régulé de sorte que le débit traité ayant une valeur Q1 en marche nominale est réduit à une valeur inférieure à Q1.
Figure FR3056314A1_D0001
Figure FR3056314A1_D0002
La présente invention est relative à un procédé et à un appareil de régulation de plusieurs fluides.
La régulation de plusieurs fluides en parallèle, qui proviennent de différentes provenances, nécessite une adaptation lorsque :
> Le bilan de matière en débit doit être maintenu, ίο > Il y a une priorité de certains fluides par rapport aux autres, surtout lors des phases transitoires, par exemple si un des fluides doit absolument être maintenu avec une certaine gamme de débits.
Il est parfois nécessaire de diviser un fluide en plusieurs parties pour traiter les parties séparément par différentes méthodes de traitement. Le ou les produits des méthodes de traitement sont ensuite utilisés par un ou plusieurs clients. S’il y a une fluctuation de débit pour un procédé où une source principale P alimente différentes unités de traitement P1 et P2, la régulation se fait de la manière suivante, comme illustré à la Figure 1 :
Le débit Q est divisé en n parties (ici deux), la somme des parties étant égale à
Q. Chacune des parties 1, 2 est envoyée à une unité de traitement P1, P2 à travers des vannes V1, V2. Le fluide 11 provenant de l’unité P1 sera régulé en débit par une vanne V11, de cette manière le débit soutiré sera fixé et le fluide 12 provenant de l’unité P2 sera contrôlé en pression par la vanne V12 dans le but de maintenir le bilan de matière stable. (Figure 1). L’unité de traitement P1 peut produire d’autres produits que 11. L’unité de traitement P2 peut produire d’autres produits que 12. La vanne V11 régule le débit du produit 21 pour produire un débit constant Q1 en tenant compte uniquement du débit 11 provenant du procédé P1 au moyen d’un contrôleur FIC. La pression du produit 21 peut varier. La vanne V12 régule la pression du produit 12 pour que celle-ci soit constante au moyen d’un contrôleur PIC, le débit Q2 du produit 22 variant éventuellement. La régulation tient compte uniquement du débit provenant du procédé P2.
Les unités de traitement peuvent opérer le même système de traitement, par exemple, adsorption, distillation, absorption, etc... ou sinon peuvent chacune opérer selon un système de traitement différent.
Selon un aspect de l’invention, il est prévu un procédé de régulation d’au moins deux fluides dans lequel :
i) Un débit d’alimentation de fluide Q est divisé en n parties, la somme des n parties étant égale à Q.
ii) Chacune des n parties est envoyée à une de n unités de traitement.
iii) Chacune des n unités de traitement produit au moins un débit traité.
iv) Au moins un débit traité d’une première des unités de traitement est régulé par des moyens de commande pour maintenir son débit constant à une valeur Q1 en marche nominale.
v) Au moins un débit traité d’une deuxième des unités de traitement est régulé par des moyens de commande pour maintenir sa pression constante en marche nominale.
vi) En cas de réduction du débit d’alimentation Q, en marche alimentation réduite, si, de préférence uniquement si, le débit du débit traité dans la deuxième unité de traitement de l’étape v) baisse et atteint ainsi un premier seuil minimal de débit, un débit traité dans la première unité de traitement est régulé de sorte que le débit traité ayant une valeur Q1 en marche nominale est réduit à une valeur inférieure à Q1.
Selon d’autres aspects facultatifs : n est égal à 2. n est égal à au moins 3.
le débit traité d’une première des unités de traitement régulé par des moyens de commande pour maintenir son débit constant à une valeur Q1 en marche nominale n’est pas régulé pour maintenir sa pression constante en marche nominale.
le débit traité d’une deuxième des unités de traitement régulé par des moyens de commande pour maintenir sa pression constante en marche nominale n’est pas régulé pour maintenir son débit constant en marche nominale.
la première unité produit deux débits traités, chacun des deux étant régulé par des moyens de commande pour maintenir son débit constant.
en cas de réduction du débit de fluide Q, si, de préférence uniquement si, le débit du débit traité dans la deuxième unité de traitement de l’étape v) passe en dessous d’un seuil, un seul débit traité dans la première unité de traitement est régulé pour réduire son débit à une valeur inférieure à Q1.
la première unité de traitement est une unité de traitement par adsorption et/ou par distillation, éventuellement cryogénique.
la deuxième unité de traitement est une unité de traitement par absorption et/ou par distillation, éventuellement cryogénique.
Selon un autre aspect de l’invention, il est prévu un appareil de régulation d’au moins deux fluides comprenant
a) Des moyens pour diviser un débit d’alimentation de fluide Q en n parties, la somme des n parties étant égale à Q
b) Des moyens pour envoyer chacune des n parties à une de n unités de îo traitement
c) Des moyens pour sortir au moins un débit traité de chacune des n unités de traitement
d) Des moyens de régulation de débit pour maintenir constant au moins un débit traité d’une première des unités de traitement pour maintenir son débit constant à une valeur Q1 en marche nominale
e) Des moyens de régulation de pression pour maintenir constante la pression d’au moins un débit traité d’une deuxième des unités de traitement est régulé en marche nominale et
f) Des moyens de détection de la réduction du débit traité de e), ces moyens 20 de détection étant capables de réduire le débit d’un débit traité provenant de la première des unités de traitement quand un seuil minimal du débit traité de e) est atteint afin de réduire le débit d’un débit traité provenant de la première des unités de traitement en dessous de la valeur Q1.
Selon d’autres aspects facultatifs :
- les moyens de détection de la réduction du débit traité sont capables d’agir pour réduire le débit traité provenant de la première des unités de traitement en dessous de la valeur Q1 en réduisant ce débit provenant de la première des unités de traitement.
les moyens de détection de la réduction du débit traité sont capables d’agir pour réduire le débit traité provenant de la première des unités de traitement en dessous de la valeur Q1 en réduisant un autre débit provenant de la première des unités de traitement.
Les Figures 2 et 3 illustrent des procédés selon l’invention.
Dans la Figure 1, le débit Q provenant d’une source commune P est divisé en n parties (ici deux), la somme des parties étant égale à Q. Chacune des parties 1,2 est envoyée à une unité de traitement P1, P2 à travers des vannes V1, V2. Le fluide provenant de l’unité P1 sera régulé en débit par une vanne V11, de cette manière 5 le débit soutiré sera fixé et le fluide 12 provenant de l’unité P2 sera contrôlé en pression par la vanne V12 dans le but de maintenir le bilan de matière stable. L’unité de traitement P1 peut produire d’autres produits que 11. L’unité de traitement P2 peut produire d’autres produits que 12. La vanne V11 régule le débit du produit 21 pour produire un débit constant Q1. La pression du produit 21 peut varier. La vanne îo V12 régule la pression du produit 12 pour que celle-ci soit constante au moyen d’un contrôleur PIC, le débit Q2 du produit 22 variant éventuellement. La régulation tient compte uniquement du débit 12 provenant du procédé P2.
Les unités de traitement peuvent opérer le même système de traitement, par exemple, adsorption, distillation, absorption, etc... ou sinon peuvent chacune opérer selon un système de traitement différent.
En considérant une variante de la Figure 1, s’il y a une différence de priorité de production des débits des produits finaux, la régulation sera adaptée de la manière suivante comme illustrée dans la Figure 2 :
Le fluide 21 provenant de l’unité P1 sera toujours régulé en débit pour maintenir 20 celui-ci constant quand cela est possible et le fluide 12 provenant de l’unité P2 sera régulé en pression dans le but de maintenir le bilan de matière stable. Si le débit du fluide 21 doit être stable quel que soit le cas de marche dans la mesure du possible et que le deuxième produit 22 ne doit absolument pas passer en dessous d’un certain débit, sous peine de voir le procédé P2 s’arrêter, il est clair que les besoins du consommateur du débit 22 sont prioritaires sur ceux du consommateur du débit
21. Le consommateur doit pouvoir recevoir du produit 22 quand l’alimentation Q est basse même si, pour ce faire, il est nécessaire de baisser la production du produit 21. Dans ce but, un contrôleur FIC2min sera ajouté sur la vanne V11 régulant la pression du fluide 22. Par cette boucle de régulation le FIC2min maintiendra toujours un débit minimal à travers le procédé P2. Un passe bas maintiendra le débit de 21 à la valeur constante Q1 tant que cela reste possible. Or quand le seuil minimal pour est atteint, le FIC2min baissera le débit 11 afin de maintenir en priorité un débit 22 à un seuil de débit minimal.
Par exemple, on peut considérer un système où le débit 21 est envoyé à un client qui définit le débit Q1 dont il a besoin. Le débit 22 est envoyé à un autre client mais pour qui le débit n'est pas important (alimentation d'un réseau ou procédé en aval qui supporte des fluctuations de débit...)
Le procédé P2 a besoin d'un débit minimal d’alimentation qui correspond à un débit de produit 22 de 80 Nm3/h pour fonctionner.
En marche normale, les deux procédés P1, P2 produisent des productions 21, 22 de 100 Nm3/h chacun, correspondant pour le cas du débit 21 au débit souhaité Q1.
îo Si le débit d’alimentation baisse, dans un premier temps, il est encore possible de satisfaire les deux clients et le procédé P1 produit un débit de 100 Nm3/h du débit 21 alors que le procédé P2 se contente de produire 80 Nm3/h du débit 22 correspondant à la production minimale.
Si le débit d’alimentation baisse encore, il n’est plus possible de produire
100Nm3/h du débit 21 et en même temps de faire fonctionner le procédé P2, puisque le débit 12 passerait en dessous de la valeur minimale de 80 Nm3/h.
Dans ce cas, le contrôleur fait baisser le débit 21 à une valeur de 90 Nm3/h, donc en dessous de 100 Nm3/h (Q1). Par contre, le débit produit par le procédé P2 est maintenu à 80 Nm3/h.
Ainsi il est possible de préserver P2 en fonctionnement en limitant la fourniture au client Q1 de façon totalement automatique.
Sans ce contrôle P2 aurait déclenché ou mal fonctionné engendrant un arrêt de production de Q2. Ici les clients de Q1 et Q2 continuent d'être alimentés même si le client de Q1 n'a plus le débit escompté.
Dans une autre application de cette idée, P1 et P2 sont des procédés identiques mais qui voient leurs performances se dégrader vite lorsqu'ils ne fonctionnent pas à leurs débits nominaux. Plutôt que d'avoir deux unités loin de leurs optima, ici P1 conserve son optimum.
Dans une autre application, la source P du débit Q est constituée par deux unités dont les marches peuvent varier de 60 à 100. Cette source fournit quatre procédés dont les marches varient de 30 à 20. Si les deux sources sont disponibles
Q(unité1)=Q(unité2)=60 et les Q1=Q2=Q3=Q4=30. Si Q(unité2) déclenche alors
Q(unité1) augmentera sa charge à 100 et P1=P2=30 pour conserver leurs optima et
P3=P4=20 pour garder ces unités en service.
La régulation ci-dessus est valable quel que soit le nombre de fluides (n fluides). La Figure 3 représente un exemple de trois fluides 11, 12, 13 produits par deux unités de traitement P1, P2: les fluides 11,13 étant produits par P1 et le fluide 12 par P2. Les fluides 11,13,12 sont régulés par les vannes V11,V12,V13 pour produire les fluides 21,23,22 avec débits Q1 ,Q3, Q2 respectivement.
Le fluide 11 doit être stable quel que soit le cas de marche de sorte que le débit 21 en aval de la vanne V11 reste égal à Q1. Le fluide 22 sera utilisé pour établir le bilan de matière tant que le fluide 22 n’aura pas atteint son débit minimal. Ainsi si le débit de 22 arrive à un seuil minimal, le débit 13, 23 produit par le procédé P1, sera îo baissé alors que le débit 11,21 restera constant.

Claims (10)

  1. Revendications
    1. Procédé de régulation d’au moins deux fluides dans lequel :
    i) Un débit d’alimentation de fluide Q est divisé en n parties, la somme des n parties étant égale à Q.
    ii) Chacune des n parties est envoyée à une de n unités de traitement (P1, P
  2. 2).
    iii) Chacune des n unités de traitement produit au moins un débit traité (11, 12).
    iv) Au moins un débit traité (11) d’une première des unités de traitement est régulé par des moyens de commande pour maintenir son débit constant à une valeur Q1 en marche nominale.
    v) Au moins un débit traité (12) d’une deuxième des unités de traitement est régulé par des moyens de commande pour maintenir sa pression constante en marche nominale.
    vi) En cas de réduction du débit d’alimentation Q, en marche alimentation réduite, si, de préférence uniquement si, le débit du débit traité (12) dans la deuxième unité de traitement de l’étape v) baisse et atteint ainsi un premier seuil minimal de débit, un débit traité (11, 13) dans la première unité de traitement est régulé de sorte que le débit traité ayant une valeur Q1 en marche nominale est réduit à une valeur inférieure à Q1.
    25 2. Procédé selon la revendication 1 où n est égal à 2.
  3. 3. Procédé selon la revendication 2 où n est égal à au moins 3.
  4. 4. Procédé selon l’une des revendications précédentes dans lequel la 30 première unité produit deux débits traités (11,13), chacun des deux étant régulé par des moyens de commande pour maintenir son débit constant
  5. 5. Procédé selon la revendication 4 dans lequel en cas de réduction du débit de fluide Q, si, de préférence uniquement si, le débit du débit traité (12) dans la deuxième unité de traitement (P2) de l’étape v) passe en dessous d’un seuil, un seul débit traité (11,13) dans la première unité de traitement est régulé pour réduire son débit à une valeur inférieure à Q1.
    5
  6. 6. Procédé selon l’une des revendications précédentes dans lequel la première unité de traitement (P1) est une unité de traitement par adsorption et/ou par distillation.
  7. 7. Procédé selon l’une des revendications précédentes dans lequel la îo deuxième unité de traitement (P2) est une unité de traitement par absorption ou par distillation.
  8. 8. Appareil de régulation d’au moins deux fluides comprenant :
    a) des moyens pour diviser un débit d’alimentation de fluide Q en n parties,
    15 la somme des n parties étant égale à Q
    b) des moyens pour envoyer chacune des n parties à une de n unités de traitement (P1, P2)
    c) des moyens pour sortir au moins un débit traité (11, 12, 13) de chacune des n unités de traitement,
    20 d) des moyens de régulation de débit pour maintenir constant au moins un débit traité (11, 13) d’une première des unités de traitement (P1) pour maintenir son débit constant à une valeur Q1 en marche nominale,
    e) des moyens de régulation de pression pour maintenir constante la pression d’au moins un débit traité (12) d’une deuxième des unités de traitement (P2)
    25 est régulé en marche nominale, et
    f) des moyens de détection de la réduction du débit traité de e), ces moyens de détection étant capables de réduire le débit d’un débit traité (11, 13) provenant de la première des unités de traitement (P1) quand un seuil minimal du débit traité de e) est atteint afin de réduire le débit d’un débit traité provenant de la première des
    30 unités de traitement en dessous de la valeur Q1.
  9. 9. Appareil selon la revendication 8 dans lequel les moyens de détection de la réduction du débit traité sont capables d’agir pour réduire le débit traité (11) provenant de la première des unités de traitement en dessous de la valeur Q1 en réduisant ce débit provenant de la première des unités de traitement (P1).
  10. 10. Appareil selon la revendication 8 dans lequel les moyens de détection de 5 la réduction du débit traité sont capables d’agir pour réduire le débit traité (11) provenant de la première des unités de traitement (P1) en dessous de la valeur Q1 en réduisant un autre débit (13) provenant de la première des unités de traitement.
    1/3
    FIC
    CM
FR1658846A 2016-09-21 2016-09-21 Procede et appareil de regulation de plusieurs fluides Active FR3056314B1 (fr)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1658846A FR3056314B1 (fr) 2016-09-21 2016-09-21 Procede et appareil de regulation de plusieurs fluides
US16/335,452 US10976755B2 (en) 2016-09-21 2017-09-06 Method and apparatus for regulating a plurality of fluids
CN201780056882.5A CN109690442B (zh) 2016-09-21 2017-09-06 用于调节多种流体的方法和设备
PCT/FR2017/052363 WO2018055255A1 (fr) 2016-09-21 2017-09-06 Procédé et appareil de régulation de plusieurs fluides

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1658846A FR3056314B1 (fr) 2016-09-21 2016-09-21 Procede et appareil de regulation de plusieurs fluides
FR1658846 2016-09-21

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR3056314A1 true FR3056314A1 (fr) 2018-03-23
FR3056314B1 FR3056314B1 (fr) 2018-09-07

Family

ID=57348981

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR1658846A Active FR3056314B1 (fr) 2016-09-21 2016-09-21 Procede et appareil de regulation de plusieurs fluides

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10976755B2 (fr)
CN (1) CN109690442B (fr)
FR (1) FR3056314B1 (fr)
WO (1) WO2018055255A1 (fr)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1096351A1 (fr) * 1999-04-16 2001-05-02 Fujikin Incorporated Dispositif d'alimentation en fluide du type derivation parallele, et procede et dispositif de commande du debit d'un systeme de pression du type a fluide variable utilise dans ledit dispositif
US20100030390A1 (en) * 2006-12-12 2010-02-04 Horiba Stec, Co., Ltd. Flow rate ratio control device
WO2012076786A1 (fr) * 2010-12-08 2012-06-14 L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude Procede et appareil de production d'un fluide enrichi en dioxyde de carbone a partir d'un gaz residuaire d'une unite siderurgique

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6766260B2 (en) * 2002-01-04 2004-07-20 Mks Instruments, Inc. Mass flow ratio system and method
JP5346628B2 (ja) * 2009-03-11 2013-11-20 株式会社堀場エステック マスフローコントローラの検定システム、検定方法、検定用プログラム
CN102841508B (zh) * 2011-06-23 2014-09-17 上海微电子装备有限公司 分流式气浴风道
JP5430621B2 (ja) * 2011-08-10 2014-03-05 Ckd株式会社 ガス流量検定システム及びガス流量検定ユニット
CN202521229U (zh) * 2012-01-31 2012-11-07 锦州万泰智能节能设备制造有限公司 分流式管路调压节能装置
US9004107B2 (en) * 2012-08-21 2015-04-14 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced gas flow rate control
CN103791962A (zh) * 2013-12-24 2014-05-14 兰州空间技术物理研究所 多工作模式的气体流量计及气体流量测量方法
CN203963165U (zh) * 2014-07-05 2014-11-26 滕州京鲁伟业科学仪器有限公司 一种电控气体稳压调节装置
US10698426B2 (en) * 2018-05-07 2020-06-30 Mks Instruments, Inc. Methods and apparatus for multiple channel mass flow and ratio control systems

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1096351A1 (fr) * 1999-04-16 2001-05-02 Fujikin Incorporated Dispositif d'alimentation en fluide du type derivation parallele, et procede et dispositif de commande du debit d'un systeme de pression du type a fluide variable utilise dans ledit dispositif
US20100030390A1 (en) * 2006-12-12 2010-02-04 Horiba Stec, Co., Ltd. Flow rate ratio control device
WO2012076786A1 (fr) * 2010-12-08 2012-06-14 L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude Procede et appareil de production d'un fluide enrichi en dioxyde de carbone a partir d'un gaz residuaire d'une unite siderurgique

Also Published As

Publication number Publication date
US10976755B2 (en) 2021-04-13
US20200019194A1 (en) 2020-01-16
FR3056314B1 (fr) 2018-09-07
CN109690442B (zh) 2022-06-24
CN109690442A (zh) 2019-04-26
WO2018055255A1 (fr) 2018-03-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2009070708A3 (fr) Systeme et procede de controle actif de site web a configuration commerciale
FR3056314A1 (fr) Procede et appareil de regulation de plusieurs fluides
EP2986887A1 (fr) Procédé et installation d'alimentation d'au moins un poste d'usinage en liquide cryogénique sous-refroidi
EP3855079A3 (fr) Procédé de commande de distribution de chaleur dans un réseau de distribution
TW200644122A (en) Substrate processing method and recording medium
WO2007097863A3 (fr) Systèmes et méthodes de gestion de configuration
EP2564110B1 (fr) Procédé de remplissage rapide d'un réservoir aval en liquide cryogénique à partir d'un stockage amont
Thomson Styrning och samhällsvärde: en studie med exempel från museivärlden
US20160229682A1 (en) Stirrup for use with straps of various sizes
Phung-Duc et al. M/m/3/3 and m/m/4/4 retrial queues
EP4246938A3 (fr) Priorisation basée sur un temps de libération d'un contenu embarqué
CN104092688A (zh) 一种可远程预设曲线的天然气管网调压系统
JP5902021B2 (ja) 粉体搬送装置および粉体搬送方法
Zhang et al. Properties of pedestrian movement at signalized crosswalk
Liu et al. Stochastic bounds for queueing systems with multiple Markov modulated sources
Hur Schrodinger operators and canonical systems via spectral theory
HE et al. Framework of distributed storage system and dynamic load balance technology based on bandwidth condition
Kent et al. Addressing constraints in the factory rate-control system
KUNISHIGE A Study of'Very'in The Canterbury Tales and King James Bible from the Morphological and Semantic Points of View
Lu et al. Optimization design of RO system for water purification
浜村俊傑 Examining the role of expectancies and the effect of computer-delivered interventions for problem drinking
Soeta The effect of perceived security, social influence, and platform reputation toward trust, investment intention, and actual investment on SMEs with peer-to-peer lending platform (November-December 2022)
坂本俊輔 Wage Determinants for Child Labor in Bangladesh
NL2013465B1 (nl) Gastransportnetwerk, gebruik van een dergelijk netwerk en werkwijze voor het aanpassen van een netwerk.
Nobuyasu et al. A Study on Route Planning for Mutual Supply System with Consideration of Traffic Jam

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 2

PLSC Publication of the preliminary search report

Effective date: 20180323

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 3

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 4

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 5

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 6

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 7

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 8