FR2996000A1

FR2996000A1 - Installation de mesures spectroscopiques a partir d'un plasma induit par laser

Info

Publication number: FR2996000A1
Application number: FR1259006A
Authority: FR
Inventors: Ros Vincent Motto; Jin Yu
Original assignee: Centre National de la Recherche Scientifique CNRS; Universite Claude Bernard Lyon 1 UCBL
Current assignee: Centre National de la Recherche Scientifique CNRS; Universite Claude Bernard Lyon 1 UCBL
Priority date: 2012-09-25
Filing date: 2012-09-25
Publication date: 2014-03-28
Anticipated expiration: 2032-09-25
Also published as: FR2996000B1; US9696260B2; US20150226673A1; EP2901138A1; WO2014049266A1

Abstract

L'invention concerne une installation de mesure spectroscopique comportant : - un système de focalisation (2) d'un faisceau laser (3) sur un échantillon à analyser (4), - un système de collection et d'analyse par spectroscopie (17) des rayons lumineux émis par le plasma (15), ce système de collection et d'analyse (17) comportant notamment une fibre optique (18) de collection de la lumière. Selon l'invention, l'installation comporte : - un système motorisé (23) de déplacement de la fibre optique (18), - un système optique d'imagerie (25) du plasma, sous la forme d'image, - et une unité de traitement et de commande (24) comportant : • des moyens pour analyser l'image formée par le système optique d'imagerie afin de sélectionner une zone d'intérêt, • des moyens pour commander le système motorisé (23) afin de placer la fibre optique dans une position permettant de recueillir la lumière provenant de la zone d'intérêt sélectionné du plasma.

Description

La présente invention concerne le domaine des mesures spectroscopiques qualitatives et quantitatives d'espèces ou d'éléments d'un plasma induit par un laser. La spectroscopie du plasma induit par laser, connue sous son acronyme LIBS pour « Laser Induced Breakdown Spectroscopie », consiste essentiellement à attaquer un échantillon à analyser avec un faisceau laser focalisé sur la surface de celui-ci afin de générer un plasma par ablation de l'échantillon. Une installation mettant en oeuvre une telle technique comporte ainsi un système de focalisation d'un faisceau laser sur un échantillon à 10 analyser. Lorsque l'éclairement de l'impulsion laser est supérieur au seuil de claquage de l'échantillon à analyser, l'ablation se produit avec une vaporisation d'une petite quantité de matière sous la forme d'un plasma. Les espèces excitées dans le plasma, des ions, des atomes ou des molécules 15 émettent des raies caractéristiques qui sont détectées par un système de collection et d'analyse comportant notamment une fibre optique de collection de la lumière émise par le plasma. La fibre optique est reliée à un spectromètre assurant l'analyse du spectre collecté afin de déterminer les concentrations élémentaires de l'échantillon. 20 Les avantages de la technique LIBS incluent sa polyvalence d'analyse des échantillons sous une forme quelconque, solide, liquide ou gazeuse et sans préparation complexe autorisant la réalisation d'analyse d'échantillons in situ. Cette technique présente par ailleurs une analyse en temps réel et permet des mesures d'échantillons situés à distance (de quelques 25 centimètres à une trentaine de mètres typiquement). Cependant, cette technique présente des performances médiocres pour la répétabilité et la reproductibilité des mesures. Il est rappelé que la répétabilité indique de quelle manière une mesure est stable dans le temps lorsque celle-ci est répétée un grand nombre de fois dans la condition 30 contrôlée de l'expérience. La reproductibilité quant à elle, indique la capacité d'une technique analytique à fournir la même valeur pour une même mesure effectuée dans des conditions d'expérimentations différentes (qui peuvent être contrôlables ou non) et/ou par des opérateurs différents. L'état actuel du développement de la technique LIBS montre des reproductibilités assez médiocres de l'ordre de quelques 10 °/0, bien 5 supérieures à celles offertes par des techniques analytiques plus conventionnelles qui sont plutôt de l'ordre du pourcent. Il est clair que le fait de ne pas ou très peu préparer l'échantillon rend la technique LIBS très attractive mais ce point dégrade les performances en termes de répétabilité et de reproductibilité. 10 Les performances médiocres obtenues sont intrinsèquement liées à la nature transitoire et non ponctuelle du plasma induit par laser. La morphologie ou forme temporelle et spatiale du plasma fluctue de manière très importante lorsque les conditions expérimentales changent. Ces fluctuations de forme du plasma influencent directement la stabilité du signal 15 optique collecté, ce qui conduit inévitablement à la détérioration de la répétabilité et de la reproductibilité des mesures effectuées par la technique LIBS. Dans l'état de la technique, la demande de brevet CN 102128815 propose un système de détection de l'émission du plasma par une fibre 20 optique placée selon un axe perpendiculaire à l'axe d'incidence du faisceau laser d'ablation. La position transversale de la fibre peut être ajustée à l'aide d'une platine de déplacement micrométrique à deux ou trois dimensions. L'ajustement se fait manuellement afin que la ligne de visée de la fibre passe par le centre de l'émission globale du plasma. La position optimale du 25 réglage est généralement choisie pour celle qui permet un meilleur rapport signal sur fond. Si une telle technique tente d'optimiser la position du point visé du plasma par le système de détection, cette technique ne tient pas compte du caractère inhomogène du plasma et des dérives expérimentales induites par 30 des variations de température, des instabilités mécaniques ou par la morphologie même de l'échantillon. Cette technique ne permet pas d'améliorer significativement la répétabilité et la reproductibilité des mesures.

L'objet de la présente invention vise à remédier aux inconvénients de l'art antérieur en proposant une nouvelle installation pour la mesure spectroscopique réalisée à partir d'un plasma induit par laser, conçue pour contrôler activement la position du point de collection de la lumière émise par le plasma en vue d'améliorer significativement la répétabilité et la reproductibilité des mesures. Pour atteindre un tel objectif, l'installation de mesure spectroscopique comporte : - un système de focalisation d'un faisceau laser sur un échantillon à 10 analyser, - un système de collection et d'analyse par spectroscopie des rayons lumineux émis par le plasma obtenu sous l'effet de l'ablation de l'échantillon par le faisceau laser, ce système de collection et d'analyse comportant notamment une fibre optique de collection de la lumière émise par le plasma, 15 reliée à un spectromètre. Selon l'invention, l'installation comporte : - un système motorisé de déplacement de la fibre optique, - un système optique d'imagerie du plasma, sous la forme d'image, - et une unité de traitement et de commande reliée au système 20 motorisé de déplacement de la fibre optique et au système optique d'imagerie du plasma, cette unité comportant : des moyens pour analyser l'image formée par le système optique d'imagerie afin de sélectionner une zone d'intérêt, - des moyens pour commander le système motorisé afin de placer 25 la fibre optique dans une position permettant de recueillir la lumière provenant de la zone d'intérêt sélectionné du plasma. De plus, l'installation selon l'invention peut présenter en outre en combinaison au moins l'une et/ou l'autre des caractéristiques additionnelles suivantes : 30 - le système optique d'imagerie du plasma comporte un système optique de formation d'une image du plasma et une caméra reliée en sortie à l'unité de traitement et de commande, et adaptée pour capturer l'image du plasma, - le système optique de formation d'une image comporte un système optique de collimation indépendant par rapport au système de collimation principal faisant partie du système de collection et d'analyse par spectroscopie, le système optique de collimation indépendant étant adapté pour former l'image du plasma sur la caméra, - le système optique de formation d'une image comporte un système optique de collimation dérivé par rapport au système de collimation principal faisant partie du système de collection et d'analyse par spectroscopie, le système optique de collimation dérivé formant l'image du plasma sur la caméra, - le système optique d'imagerie assure la formation d'une image du plasma et d'au moins une partie de l'échantillon, - l'unité de traitement et de commande pilote le système motorisé de déplacement de la fibre optique dans au moins les deux directions du plan image formé par le système de collimation principal, - l'unité de traitement et de commande est reliée au système de focalisation du faisceau laser et comporte des moyens de synchronisation 20 entre l'émission du faisceau laser et la commande du système de déplacement et l'acquisition des mesures effectuées par le spectromètre, - l'unité de traitement et de commande pilote l'acquisition des mesures effectuées par le spectromètre après le positionnement du système de déplacement dans la position adaptée pour recueillir les faisceaux lumineux 25 provenant de la zone d'intérêt du plasma, - l'unité de traitement et de commande pilote, pour une série de tirs du faisceau laser sur un échantillon, le système motorisé de déplacement afin de placer la fibre optique toujours dans la position lui permettant de recueillir la lumière provenant de la même zone d'intérêt sélectionné, 30 - un système de projection d'une référence de calibration dans le plan de formation du plasma et en ce que l'unité de traitement et de commande analyse la référence de calibration apparaissant sur l'image formée par le système optique d'imagerie afin de calibrer le déplacement de la fibre optique. Diverses autres caractéristiques ressortent de la description faite ci-dessous en référence aux dessins annexés qui montrent, à titre d'exemples non limitatifs, des formes de réalisation de l'objet de l'invention. La Figure 1 est une vue schématique d'un exemple de réalisation d'une installation de mesure spectroscopique conforme à l'invention. La Figure 2 est une vue schématique montrant le principe de fonctionnement de l'installation conforme à l'invention.

Les Figures 3 et 4 sont des exemples d'images de plasma après l'impact de l'impulsion laser sur un échantillon respectivement de polymère et d'aluminium. La Figure 5 est une vue schématique illustrant un exemple de calibration pour l'installation conforme à l'invention.

Tel que cela ressort plus précisément de la Fig. 1, l'objet de l'invention concerne une installation 1 de mesure spectroscopique (LIBS). Cette installation 1 comporte un système 2 de focalisation d'un faisceau laser 3 sur un échantillon à analyser 4. Ce système de focalisation 2 comporte de manière classique un laser 5, à impulsion par exemple du type Nd : YAG. La longueur d'onde des impulsions lumineuses délivrées peut être située au choix dans le domaine infrarouge IR (par exemple à 1064 nm), dans le domaine visible (par exemple à 532 nm) ou dans le domaine Ultra-violet (par exemple à 355 nm ou 266 nm). De préférence, le laser à impulsions 5 présente un taux de répétition typique de 10 H, et avec une énergie par impulsion de l'ordre de 30 m3. Le système de focalisation 2 comporte également un atténuateur 6 et un obturateur 7, placés sur le chemin optique du faisceau laser 3 délivré par le laser 5. L'ouverture et la fermeture de l'obturateur 7 sont synchronisées avec les tirs du laser 5 et l'acquisition des mesures.

Dans l'exemple illustré à la Fig. 1, un élément optique de renvoi 8 est disposé sur le chemin optique du faisceau laser 3 de manière à permettre le positionnement d'une caméra de contrôle 9 selon l'axe du faisceau laser 3 dirigé vers l'échantillon 4. Par exemple, une lentille 11 de focalisation du faisceau laser 3 sur l'échantillon 4 est disposée entre l'élément optique de renvoi 8 et l'échantillon à analyser 4. De manière classique, l'échantillon 4 est positionné sur un porte- échantillon 13 de préférence motorisé, permettant un déplacement dans les trois coordonnées spatiales de l'échantillon 4. Ainsi, l'échantillon 4 peut être déplacé avec une précision micrométrique et une synchronisation avec les tirs du laser 5 dont le faisceau focalisé sur l'échantillon conduit à chaque impulsion laser, à l'ablation de l'échantillon 4 et à une vaporisation d'une petite quantité de matière sous la forme d'un plasma 15. Les rayons lumineux émis par le plasma 15 sous l'effet de l'ablation de l'échantillon 4 par le faisceau laser 3 sont récupérés par un système de collection et d'analyse par spectroscopie 17 comportant une fibre optique 18 de collection de la lumière émise par le plasma. Cette fibre optique 18 est reliée à un spectromètre 19 dont la nature peut être variable et dépend en pratique de l'application choisie des échantillons à analyser. De manière classique, le spectromètre 19 permet l'analyse du spectre collecté et la détermination des concentrations élémentaires de l'échantillon 4. Le système de collection et d'analyse par spectroscopie 17 comporte également un système de collimation 21 dit principal composé d'une ou d'un groupe de lentilles assurant un couplage optimal de la lumière produite par le plasma 15, au niveau de l'entrée 181 de la fibre optique 18. L'entrée 181 de la fibre optique 18 est placée dans le plan image du système de collimation principal 21 dont la fonction est de former une image du plasma ii à travers un ensemble optique si possible corrigé des aberrations sphérique et chromatique. L'ouverture de la fibre optique 18 et sa position dans l'image du plasma fixent la partie du plasma dont l'émission de lumière est captée par le spectromètre 19. La partie du plasma échantillonnée peut être optimisée en fonction de l'acceptance optique du spectromètre 19, par le choix de l'agrandissement du système de collimation principal 21 et l'ouverture de la fibre optique 18. Le système de collimation principal 21 possède un axe optique choisi pour être perpendiculaire à l'axe d'incidence du faisceau laser 3 qui est perpendiculaire à la surface de l'échantillon 4. Conformément à l'invention, l'installation de mesure 1 comporte un système motorisé 23 de déplacement de la fibre optique 18 dans au moins 5 le plan image du système de collimation principal 21. Le système motorisé 23 permet ainsi de déplacer l'extrémité ou l'entrée 181 de la fibre optique 18 selon les deux axes des coordonnées cartésiennes du plan image. De préférence, le système motorisé 23 permet de déplacer l'extrémité de la fibre optique 18 également selon le troisième axe des coordonnées 10 cartésiennes, c'est-à-dire selon l'axe optique du système de collimation principal 21. Le système motorisé 23 est réalisé par tous moyens connus de l'homme du métier. La précision et la stabilité du positionnement et des déplacements doivent être plus grandes que l'ouverture de la fibre optique 18 d'au moins un ordre de grandeur, c'est-à-dire à l'échelle 15 micrométrique. Le système motorisé 23 est relié à une unité de traitement et de commande 24 adaptée pour piloter les déplacements du système motorisé 23. Cette unité de traitement et de commande 24 est reliée à un système optique d'imagerie 25 du plasma 15 sous la forme d'image(s). Ce 20 système optique d'imagerie 25 du plasma 15 sous la forme d'image(s) comporte un système optique de formation 26 d'une image 12 du plasma 15 et une caméra 27. Le système optique 26 est ainsi adapté pour former une image 12 du plasma sur la caméra 27 qui est une caméra matricielle de préférence de 25 type CCD (pour Charge-Coupled Device en anglais) et par exemple de type High Dynamical Range. Dans l'exemple de réalisation illustré aux Fig. 1 et 2, le système optique 26 de formation d'une image comporte un système de collimation 28 dérivé par rapport au système de collimation principal 21 et une optique séparatrice 29 permettant de prélever une partie (par exemple 30 10 %) de la lumière du système de collimation principal 21. Le système optique 26 forme ainsi une image du plasma en un endroit où la caméra 27 peut être installée.

Il est à noter qu'il peut être envisagé d'imager le plasma en ne prélevant pas une partie de la lumière utilisée par le système de collection et d'analyse par spectroscopie 17 pour éviter l'atténuation qui en découle. Selon cette variante de réalisation, le système optique de formation d'une image 26 comporte un système optique de collimation indépendant par rapport au système de collimation principal 21 faisant partie du système de collection et d'analyse par spectroscopie 17, le système optique de collimation indépendant étant adapté pour former l'image du plasma sur la caméra 27. Selon cette variante, le plasma est imagé selon un autre axe 10 perpendiculaire à l'axe du faisceau laser 3 avec un système optique de collimation indépendant. Il est ainsi obtenu une image représentative pas forcément identique de l'image formée par le système de collimation principal 21. Cette variante de réalisation est possible grâce à la symétrie de révolution du plasma par rapport à l'axe d'incidence du faisceau laser 3. 15 L'unité de traitement et de commande 24 comporte des moyens pour analyser l'image formée par le système optique d'imagerie 25 sur la caméra 27 afin de sélectionner une zone d'intérêt dans l'image formée par la caméra 27. L'unité de traitement et de commande 24 comporte des moyens pour commander le système motorisé 23 afin de placer la fibre optique 18 20 dans une position permettant de recueillir la lumière provenant de la zone d'intérêt sélectionnée du plasma. L'installation 1 selon l'invention permet de contrôler activement la position du point de prise du signal au sein du plasma 15. Il apparaît ainsi possible de procéder à une détection ciblée permettant de détecter toujours 25 la même partie du plasma. Une fois choisie, cette partie du plasma est automatiquement visée par la fibre optique 18 et ce, malgré les fluctuations des conditions expérimentales (laser, échantillon et gaz ambiant). Si la forme du plasma 15 change, même très faiblement, l'unité de traitement et de commande 24 pilote le système motorisé 23 de déplacement de la fibre, 30 pour corriger immédiatement la position de la fibre optique 18 afin que cette dernière suive en permanence la forme du plasma et plus précisément, la zone d'intérêt du plasma choisie.

Entre les différentes séries de mesures, le positionnement de la fibre optique 18 est aussi automatiquement réalisé pour compenser toutes les modifications de la position et de la morphologie du plasma. Cet auto-ajustement du système par rapport au plasma permet donc de compenser toutes fluctuations de la forme du plasma à court terme aussi bien qu'à long terme. La répétabilité et la reproductibilité des mesures sont ainsi significativement améliorées. Les Fig. 2 à 4 illustrent de manière plus détaillée les avantages de l'invention. Comme expliqué ci-dessus, le système de collimation principal 21 qui constitue la voie de détection principale, permet de former à l'entrée 181 de la fibre optique 18, une image Ii du plasma 15. Le système optique d'imagerie 25 permet de former une image 12 du plasma. La Fig. 3 illustre un exemple d'une image 12 d'un plasma 15 induit par laser montrant la distribution des espèces C2, CN et N à 200 ns après l'impact de l'impulsion laser sur un échantillon 4 de type polymère dans l'air ambiant. Il ressort de cette image 12 une inhomogénéité du plasma et une séparation des différentes espèces. Par ailleurs, il est à noter une extrême sensibilité aux conditions expérimentales de la morphologie du plasma qui peut fluctuer de manière très importante lorsque les conditions expérimentales changent. L'objet de l'invention vise à s'affranchir de ces fluctuations de forme du plasma en détectant toujours la même zone du plasma. Par exemple dans l'exemple illustré à la Fig. 3, il peut être choisi comme zone d'intérêt ou de mesure, le centre M de la zone de l'espèce C2. L'unité de traitement et de commande 24 analyse l'image 12 pour repérer cette zone d'intérêt dans l'image 12. L'unité de traitement et de commande 24 compare alors la position de cette zone d'intérêt avec la position de l'entrée 181 de la fibre optique 18. L'unité de traitement et de commande 24 pilote alors le système motorisé 23 pour placer l'entrée 181 de la fibre optique 18 dans une position lui permettant de viser la zone d'intérêt M du plasma. En d'autres termes, le système motorisé 23 est piloté par des signaux de commande proportionnels aux écarts de la position de la fibre optique 18 par rapport à la position sélectionnée au sein du plasma, par exemple le point M, au centre de l'espèce C2 du plasma. La Fig. 4 donne un autre exemple d'inhomogénéité du plasma induit par laser montrant la distribution de l'AI et Ar à un délai de 400 ns dans un plasma induit sur un échantillon d'aluminium et sous atmosphère contrôlée d'argon. Par exemple, le centre de l'espèce d'Al peut être choisi comme zone d'intérêt du plasma. Dans les exemples des Fig. 3 et 4, seul le plasma apparaît sur les images. Il est à noter qu'il peut être prévu que le système optique 10 d'imagerie 25 assure la formation d'une image du plasma et d'au moins une partie de l'échantillon 4. Il est à noter que l'unité de traitement et de commande 24 est reliée au système de focalisation 2 du faisceau laser et comporte des moyens de synchronisation entre l'émission du faisceau laser 3 et la commande du 15 système de déplacement 23 et l'acquisition des mesures effectuées par le spectromètre 19. Il doit être compris que l'unité de traitement et de commande 24 détecte sur l'image 12, la zone d'intérêt M et pilote éventuellement le système motorisé 23, avec une vitesse adaptée afin que la fibre optique 18 puisse récupérer la lumière provenant de la zone d'intérêt M 20 du plasma 15. Bien entendu, l'unité de traitement et de commande 24 pilote l'acquisition des mesures effectuées par le spectromètre 19 après le positionnement du système de déplacement dans la position adaptée pour recueillir les faisceaux lumineux provenant de la zone d'intérêt du plasma.

25 Ainsi, l'unité de traitement et de commande 24 pilote, pour une série de tirs du faisceau laser sur un échantillon, le système motorisé de déplacement 23 afin de placer la fibre optique 18 toujours dans la position lui permettant de recueillir la lumière provenant de la même zone d'intérêt sélectionné.

30 Selon une variante avantageuse de réalisation illustrée plus particulièrement à la Fig. 5, l'installation 1 comporte un système de projection d'une référence de calibration R dans le plan de formation P du plasma 15 représenté à titre schématique à la Fig. 5. Selon l'invention, l'unité de traitement et de commande 24 analyse la référence de calibration R apparaissant sur l'image formée par le système optique d'imagerie 25 afin de calibrer le déplacement de la fibre optique 18. La création d'une référence de calibration R dans le plan de formation P du plasma 15 peut être réalisée de toute manière appropriée. Un exemple de réalisation est illustré à la Fig. 5 dans lequel un support réfléchissant est positionné sur le porte-échantillon 4 en correspondance avec le plan de formation P du plasma 15. Ce support réfléchissant est éclairé par un pointeur laser circulaire qui constitue la référence de calibration R. Cette référence de calibration R se retrouve formée dans le plan image du système de collimation principal 21 et dans le plan image du plasma sur la caméra 27. La comparaison entre les références de calibration apparaissant sur les images Ii, 12 permet d'étalonner le déplacement de la fibre optique 18 dans le plan image du système de collimation principal 21. L'invention n'est pas limitée aux exemples décrits et représentés car diverses modifications peuvent y être apportées sans sortir de son cadre.

Claims

REVENDICATIONS1 - Installation de mesure spectroscopique comportant : - un système de focalisation (2) d'un faisceau laser (3) sur un échantillon à analyser (4), - un système de collection et d'analyse par spectroscopie (17) des rayons lumineux émis par le plasma (15) obtenu sous l'effet de l'ablation de l'échantillon par le faisceau laser, ce système de collection et d'analyse (17) comportant notamment une fibre optique (18) de collection de la lumière émise par le plasma, reliée à un spectromètre (19), caractérisée en ce qu'elle comporte : - un système motorisé (23) de déplacement de la fibre optique (18), - un système optique d'imagerie (25) du plasma, sous la forme d'image, - et une unité de traitement et de commande (24) reliée au système motorisé (23) de déplacement de la fibre optique et au système optique d'imagerie (25) du plasma, cette unité (24) comportant : - des moyens pour analyser l'image formée par le système optique d'imagerie afin de sélectionner une zone d'intérêt, - des moyens pour commander le système motorisé (23) afin de placer la fibre optique dans une position permettant de recueillir la lumière provenant de la zone d'intérêt sélectionné du plasma.
2 - Installation selon la revendication 1, caractérisée en ce que le système optique d'imagerie (25) du plasma comporte un système optique de formation (26) d'une image du plasma et une caméra (27) reliée en sortie à l'unité de traitement et de commande (24), et adaptée pour capturer l'image du plasma.
3 - Installation selon la revendication 2, caractérisée en ce que le système optique de formation d'une image (26) comporte un système optique de collimation indépendant par rapport au système de collimation principal (21) faisant partie du système de collection et d'analyse par spectroscopie (17), le système optique de collimation indépendant étant adapté pour former l'image du plasma sur la caméra.
4 - Installation selon la revendication 2, caractérisée en ce que le système optique de formation d'une image (26) comporte un système optique de collimation (28) dérivé par rapport au système de collimation principal (21) faisant partie du système de collection et d'analyse par spectroscopie (17), le système optique de collimation dérivé (28) formant l'image du plasma sur la caméra (27).
5 - Installation selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisée en ce que le système optique d'imagerie (25) assure la formation d'une image du plasma et d'au moins une partie de l'échantillon.
6 - Installation selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisée en ce que l'unité de traitement et de commande (24) pilote le système motorisé (23) de déplacement de la fibre optique dans au moins les deux directions du plan image formé par le système de collimation principal (21).
7 - Installation selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisée en ce 15 que l'unité de traitement et de commande (24) est reliée au système de focalisation (2) du faisceau laser et comporte des moyens de synchronisation entre l'émission du faisceau laser et la commande du système de déplacement et l'acquisition des mesures effectuées par le spectromètre (19). 20
8 - Installation selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que l'unité de traitement et de commande (24) pilote l'acquisition des mesures effectuées par le spectromètre (19) après le positionnement du système de déplacement (23) dans la position adaptée pour recueillir les faisceaux lumineux provenant de la zone d'intérêt du plasma. 25
9 - Installation selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisée en ce que l'unité de traitement et de commande (24) pilote, pour une série de tirs du faisceau laser sur un échantillon, le système motorisé de déplacement (23) afin de placer la fibre optique (18) toujours dans la position lui permettant de recueillir la lumière provenant de la même zone 30 d'intérêt sélectionné.
10 - Installation selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisée en ce qu'elle comporte un système de projection d'une référence de calibrationdans le plan de formation du plasma et en ce que l'unité de traitement et de commande (24) analyse la référence de calibration apparaissant sur l'image formée par le système optique d'imagerie (25) afin de calibrer le déplacement de la fibre optique.5