FR2978243A1 - Dispositif de capteur a ultrasons et son procede de fabrication - Google Patents

Abstract

Dispositif à ultrasons (1) pour la réception et/ou l'émission d'ultrasons (2). On améliore la sensibilité de la détection d'un objet dans le dispositif (1) par un grand nombre d'éléments de capteur à ultrasons (3a-3f ) et chaque élément comporte un corps de base (4) muni d'ouvertures (5a, 5b), un élément de flexion, souple (6a, 6b) qui ferme le côté frontal d'une première région d'extrémité (A) de l'ouverture (5a, 5b) ; l'élément de flexion, souple (6a, 6b) ayant un polymère, notamment un polymère à cristaux liquides, un élément piézo-électrique (7a, 7b) installé dans l'ouverture (5a, 5b) et relié à l'élément de flexion, souple (6a, 6b). Il comporte un élément d'amortissement (8a, 8b) dans l'ouverture (5a, 5b) qui ferme le côté frontal d'une seconde zone d'extrémité (B) de l'ouverture (5a, 5b).

Description

i Domaine de l'invention La présente invention se rapporte à un élément de capteur à ultrasons pour recevoir et/ou émettre des ultrasons ainsi qu'un dispositif de capteur à ultrasons pour recevoir et/ou émettre des ultra- s sons et enfin un procédé de fabrication d'un tel dispositif. Etat de la technique Les dispositifs d'aide au stationnement à ultrasons per-mettent de saisir ou de détecter un objet dans l'espace devant et/ou derrière un véhicule à l'aide de champs à ultrasons ; ces installations io ont ainsi habituellement entre 4 et 6 dispositifs de capteur à ultrasons équipant respectivement le pare-chocs avant et/ou le pare-chocs arrière du véhicule. Chacun des dispositifs de capteur à ultrasons comporte un élément de capteur à ultrasons qui fonctionne de manière sélective en mode de réception ou d'émission. Dans ces conditions, les dispositifs de ls capteur à ultrasons sont installés les uns par rapport aux autres dans le pare-chocs arrière et/ou le pare-chocs avant de sorte qu'ils sont alignés horizontalement et ne peuvent ni saisir ni supprimer les réflexions des ultrasons au sol. Habituellement, les dispositifs d'aide au stationnement à ultrasons ont exclusivement une fonction d'avertissement 20 pour saisir des objets situés dans l'espace sonore. Le document US 2008/0060439 Al décrit un élément de capteur à ultrasons utilisé pour la télémétrie dans un véhicule. Exposé et avantages de l'invention La présente invention a pour objet un élément de capteur 25 à ultrasons pour recevoir et/ou émettre des ultrasons comprenant : un corps de base muni d'une ouverture, un élément de flexion, souple qui ferme le côté frontal d'une première zone d'extrémité de l'ouverture, * l'élément de flexion, souple ayant un polymère, notamment un 30 polymère à cristaux liquides, un élément piézo-électrique installé dans l'ouverture et relié à l'élément de flexion, souple, et un élément d'amortissement installé dans l'ouverture et qui ferme le côté frontal d'une seconde zone d'extrémité de l'ouverture. 2 L'invention a également pour objet un dispositif de capteur à ultrasons pour recevoir et/ou émettre des ultrasons, le dispositif de capteur à ultrasons ayant un ensemble d'éléments de capteur à ultrasons et chaque élément de capteur à ultrasons comprend : s un corps de base muni d'une ouverture, un élément de flexion, souple qui ferme le côté frontal d'une première zone d'extrémité de l'ouverture, * l'élément de flexion, souple ayant un polymère, notamment un polymère à cristaux liquides, io un élément piézo-électrique installé dans l'ouverture et relié à l'élé- ment de flexion, souple, et un élément d'amortissement installé dans l'ouverture et qui ferme le côté frontal d'une seconde zone d'extrémité de l'ouverture, les corps de base des éléments de capteur à ultrasons de l'ensemble ls des éléments de capteur à ultrasons sont réalisés en une seule pièce. Un élément de flexion, souple est notamment un élément souple en flexion réalisé en un matériau souple, flexible et qui peut ainsi se courber d'une manière particulièrement simple dans une ou plu-sieurs directions. En particulier, l'élément de flexion, souple peut 20 osciller. Un élément piézo-électrique est, selon l'invention, notamment un élément en céramique piézo-électrique, par exemple à base de zirconate-titanate de plomb (PZT). Un élément d'amortissement au sens de l'invention, est 25 notamment un élément permettant d'atténuer ou d'éliminer des oscillations acoustiques, c'est-à-dire un son et/ou des oscillations mécaniques. L'élément d'amortissement peut notamment atténuer le son renvoyé et/ou améliorer une caractéristique d'un élément de capteur à ultrasons ou du dispositif de capteur à ultrasons, notamment agrandir 30 la largeur de bande de la caractéristique de transfert de l'élément de capteur à ultrasons et du dispositif de capteur à ultrasons. L'élément de capteur à ultrasons et le dispositif de capteur à ultrasons, peuvent avoir une résolution élevée, notamment transversalement à l'extension longitudinale des éléments de capteur à 35 ultrasons, c'est-à-dire par exemple par rapport au sol dans la direction 3 horizontale et/ou la direction verticale pour la saisie d'un objet situé dans l'espace sonore au voisinage de l'élément de capteur à ultrasons et/ou du dispositif de capteur à ultrasons. La saisie tridimensionnelle d'un objet est possible par un ensemble d'éléments de capteur à ultra- s sons. En outre, on pourra déterminer la distance et/ou l'angle d'un objet en fonction de l'information obtenue à partir de l'ensemble des éléments de capteur à ultrasons. L'élément de flexion, souple à base de polymère, participe à une détection précise à forte résolution de l'environnement de l'élément de capteur à ultrasons et du dispositif de capteur à ultrasons car de tels éléments de capteur à ultrasons ont une sensibilité élevée. L'élément piézo-électrique, notamment une électrode de l'élément piézo-électrique, peut être reliée en particulier de façon électroconductrice à l'élément de flexion, souple et au corps de base ; l'élé- is ment de capteur à ultrasons peut avoir une autre liaison de contact électrique pour l'électrode opposée de l'élément piézo-électrique vers le substrat. L'élément de flexion, souple est notamment électroconducteur. 20 Le corps de base de l'élément de capteur peut être en particulier réalisé comme cylindre creux ou recevoir les autres éléments de capteur à ultrasons. Dans une étape du procédé, l'élément de flexion, souple constitué par une membrane de polymère, pourra être réalisé par injection de même que la liaison entre le cylindre creux et le boîtier 25 qui subsiste. La section du cylindre creux peut avoir une forme circu- laire ou rectangulaire en fonction de la section de l'ouverture. Le corps de base peut notamment être réalisé sous la forme d'une plaque. En variante ou en plus, le corps de base est notamment en métal, en particulier en aluminium, en un oxyde métal- 30 lique, notamment en un oxyde d'aluminium et/ou en une céramique métal oxyde, en particulier une céramique d'oxyde d'aluminium. L'oxyde métallique, notamment dans le cas de l'oxyde d'aluminium, correspond à la céramique d'oxyde métallique. Cela permet une fabrication particulièrement simple et économique de l'élément de capteur à ultrasons et 35 du dispositif de capteur à ultrasons car le corps de base aura une forme 4 simple et/ou le matériau du corps de base sera particulièrement simple à travailler. La surface supérieure extérieure de l'élément de flexion, souple peut notamment être à niveau avec la surface extérieure du s corps de base de sorte que l'élément de capteur à ultrasons n'aura pas d'arête libre, ce qui évite le risque d'endommagement de l'élément de capteur à ultrasons. L'expression "côté supérieur extérieur" selon la présente invention, est simplement le côté supérieur ou la surface supérieure de l'élément. io Selon un développement, l'élément de flexion, souple est un polymère, notamment un polymère à cristaux liquides et de plus notamment un polymère de référence A950 de Ticona. En variante d'un polymère à cristaux liquides, on peut utiliser un élastomère ayant un module d'élasticité analogue, une tenue chimique analogue ou autres. ls En variante ou en plus du polymère A950 de Ticona, on peut utiliser au moins un polymère à cristaux liquides d'un groupe comprenant un polymère à cristaux liquides de la spécification Sumikasuper de Sumitomo Chemical Industry, un polymère à cristaux liquides de spécification Vectra de Ticona, un polymère à cristaux liquide de la spécification Xy- 20 dar de Solvay et un polymère à cristaux liquides de la spécification Zenite de Ticona. Le polymère aura notamment au moins l'une des propriétés suivantes : Un comportement d'amortissement analogue à celui du caoutchouc (et par exemple avec une constante d'amortissement d'envi- 25 ron 0,6) ; un module d'élasticité particulièrement faible (par exemple avec une valeur comprise entre environ à 7 GPa et environ à 10 GPa, une bonne fluidité ; une tenue en température élevée et un coefficient d'allongement analogue au coefficient d'allongement de la matière du corps de base (par exemple entre environ à 15 x 10-6/K et 30 environ 20 x 10-6/K). En outre, l'élément de flexion, souple à base de polymère permet d'amortir la diaphonie entre les éléments voisins de capteur à ultrasons du dispositif de capteur à ultrasons, ce qui améliore d'autant la résolution du dispositif à ultrasons. En outre, l'élément de capteur à 35 ultrasons a une forte densité car la matière à base de polymère de l'élé- ment de flexion, souple, est imperméable aux influences de l'environnement et par exemple à l'eau. L'élément de flexion, souple à base de polymère peut notamment assurer une protection suffisante vis-à-vis des chocs de cailloux ce qui évite l'installation d'une couche de couver- 5 ture supplémentaire au-dessus de l'élément de flexion, souple, du côté extérieur et qui risquerait de réduire la sensibilité de l'élément de capteur à ultrasons et du dispositif de capteur à ultrasons. En outre, le polymère se travaille d'une manière particulièrement simple, ce qui permet d'éviter les ondulations de surface de l'élément de flexion, souple et la io surface supérieure de l'élément de flexion, souple, pourra notamment recevoir un traitement au plasma (en ligne) et/ou un revêtement par vernissage direct. Cela permet d'éviter d'autres étapes de procédé pour la fabrication de l'élément de capteur à ultrasons et du dispositif de capteur à ultrasons. 15 Le polymère de l'élément de flexion, souple sera notamment électroconducteur, ce qui permet de réaliser le branchement de l'élément piézo-électrique et du corps de base par l'intermédiaire de l'élément de flexion, souple. L'élément de flexion, souple peut être prévu notamment 20 dans la première zone d'extrémité de l'ouverture traversant le corps de base. La fermeture, côté frontal de l'ouverture par l'élément de flexion, souple, permet à l'élément de flexion, souple de s'appliquer contre un segment des parois intérieures du corps de base. Cela permet d'avoir une étanchéité poussée pour l'élément de capteur à ultrasons. Uélé- 25 ment de capteur à ultrasons, notamment dans une fabrication du corps de base en une matière résistante, en particulier en métal, oxyde de métal ou céramique d'oxyde de métal et l'élément de flexion, souple en polymère auront une étanchéité poussée et/ou permettront de tenir à un contrôle de rayonnement d'amortissement, tels que ceux pratiqués dans 30 les essais des éléments de capteur à ultrasons des dispositifs d'aide au stationnement par ultrasons, car l'élément de flexion est tenu de manière stable en position dans une direction transversale à l'extension longitudinale de l'ouverture, notamment dans la direction radiale de l'ouverture. Dans le cas d'un métal, d'un oxyde métallique ou d'une cé- 35 ramique d'oxyde métallique pour le corps de base, en particulier l'étan- 6 chéité poussée tenant aux multiples changements de température, pourront résister à un contrôle par choc thermique du fait que la conductivité thermique du métal est supérieure à celle d'un polymère et que le corps de base refroidira plus rapidement que l'élément de flexion, s souple. I1 en résulte que la matière du corps de base (malgré des coefficients de dilatation longitudinale éventuellement analogues des matières respectives), permettra une rétraction plus rapide de l'élément de flexion de sorte que l'ouverture du corps de base au refroidissement se réduira plus rapidement par rapport à la réduction d'allongement de io l'élément de flexion, souple réalisant ainsi une étanchéité poussée pour l'élément de capteur à ultrasons. En outre, grâce aux coefficients de dilatation longitudinale du métal et du polymère, on évitera les variations à long terme liées à la température des matières du corps de base et de l'élément de flexion, souple. ls Selon un développement, l'élément de flexion, souple et le corps de base sont réalisés en une seule pièce dans la même matière et la matière de l'élément de flexion, souple et du corps de base est notamment du métal, en particulier de l'aluminium, un oxyde métallique, notamment l'oxyde d'aluminium et/ou une céramique d'oxyde métal- 20 lique, en particulier une céramique d'oxyde d'aluminium. L'ouverture peut dans ce cas ne pas traverser le corps de base mais être un trou borgne. Ainsi, l'élément de capteur à ultrasons se réalisera de manière économique et simple. L'élément de flexion, souple peut être suffisamment mince pour garantir la souplesse de l'élément de flexion, souple. 25 L'élément piézo-électrique peut être déformable dans une direction transversale, notamment perpendiculaire à l'extension longitudinale de l'ouverture, notamment dans la direction radiale de l'ouverture. La déformation peut engendrer un déplacement de charge dans l'élément piézo-électrique ou être occasionné par celle-ci. Ainsi, en par- 30 ticulier, une structure cristalline de l'élément piézo-électrique pourra avoir une polarisation qui déforme ou déplace la charge. En conséquence, l'élément de flexion, souple et l'élément piézo-électrique qui peuvent être reliés mécaniquement de manière solidaire, par exemple par collage, effectueront une flexion ou exécuteront une oscillation mé- 35 canique en direction de l'extension longitudinale de l'ouverture, c'est-à- 7 dire en particulier selon l'extension longitudinale de l'élément de capteur à ultrasons car l'élément de flexion, souple sera relié sur toute la périphérie du corps de base. A la réception des ultrasons, en particulier l'action de la pression sur l'élément de flexion, souple génère une dé- s formation de cet élément de flexion, souple et de l'élément piézo-électrique. Cela se traduit par un déplacement des charges dans l'élément piézo-électrique et ce déplacement est saisi comme signal. A l'émission des ultrasons, une charge induite dans l'élément piézo-électrique, produit une déformation de celui-ci et de l'élément de flexion, io souple ce qui correspond à l'émission d'une onde d'ultrasons. L'onde d'ultrasons émise peut ainsi être dirigée suivant l'extension longitudinale de l'élément de capteur à ultrasons et la sensibilité du dispositif de capteur à ultrasons vis-à-vis des ultrasons reçus se développant le long de l'extension longitudinale de l'ouverture, sera particulièrement bonne. ls L'élément piézo-électrique peut être installé notamment à distance du corps de base (dans la direction transversale, notamment dans la direction radiale de l'ouverture) ce qui ne limite pas la déformation de l'élément piézo-électrique dans cette direction de l'ouverture. L'élément piézo-électrique peut avoir une forme de plaque ou de disque. 20 Selon un autre développement, un substrat est installé, par exemple exclusivement, le long de la surface supérieure extérieure du corps de base pour l'élément d'amortissement. Le corps de base peut être fixé à l'aide du côté de l'élément de capteur à ultrasons opposé à l'élément de flexion sur le substrat et/ou l'élément piézo-électrique sera 25 relié électriquement au substrat sans détériorer la sensibilité de l'élé- ment de capteur à ultrasons. Le substrat peut être souple (par exemple une plaque de circuit souple) ou être rigide (par exemple une plaque de circuit, rigide, non pliable). 30 La couche électroconductrice, notamment avec du métal, peut être installée au voisinage du substrat le long d'un côté de l'élément de flexion tourné vers l'élément piézo-électrique, le long d'une paroi latérale intérieure du corps de base et le long d'un côté extérieur du corps de base. Une liaison, par exemple un fil de liaison, peut être pré- 35 vue notamment entre le côté de l'élément piézo-électrique tourné vers 8 l'élément d'amortissement et le substrat et être relié par une liaison ou par une soudure par friction. On aura ainsi le branchement électrique de l'élément piézo-électrique et du substrat, notamment dans le cas d'un corps de base non électroconducteur et d'un élément de flexion, s souple non électroconducteur. Le corps de base peut comporter un oxyde métallique et l'élément de flexion, souple peut être en un polymère non conducteur. La métallisation permet le branchement de la masse de l'élément piézo-électrique et la liaison peut constituer une ligne de transmission de signal en entrée ou en sortie de l'élément piézo-électrique. Un premier et un second contact correspondant de l'élément piézo-électrique, peuvent être prévus sur la surface supérieure opposée de l'élément piézo-électrique. En variante, notamment dans le cas d'un corps de base non électroconducteur, on peut avoir en particulier deux liaisons par fil, ls notamment des fils liés ou soudés par friction constitués par des conducteurs minces entre le côté de l'élément piézo-électrique tourné vers l'élément d'amortissement et le substrat. I1 en résulte le branchement électrique de l'élément piézo-électrique et du substrat. En variante, notamment dans le cas d'un corps de base 20 électroconducteur et d'un élément de flexion, souple électroconducteur (polymère) on peut avoir une liaison, par exemple sous la forme d'un fil de liaison ou par soudage par friction reliant des conducteurs minces entre un côté de l'élément piézo-électrique tourné vers l'élément d'amortissement et le substrat. Le contact de masse de l'élément piézo- 25 électrique peut se faire par l'intermédiaire d'une liaison électroconductrice entre l'élément piézo-électrique et l'élément de flexion, souple (par exemple sous la forme d'une liaison collée ou d'une métallisation) et une liaison électroconductrice entre l'élément de flexion, souple et le corps de base (par exemple sous la forme d'une liaison collée ou d'une métal- 30 lisation). L'élément piézo-électrique et l'élément de flexion, souple peuvent être collés, notamment avec un adhésif anisotrope et/ou isotrope pour réaliser une liaison électroconductrice entre les deux éléments. L'adhésif anisotrope peut contenir une substance de base avec 35 de petites billes d'argent d'un diamètre de l'ordre d'environ 9 à 5 microns (µm) jusqu'à environ à 10 microns. L'adhésif anisotrope peut devenir électroconducteur seulement lorsque les deux partenaires de contact à coller sont mis en pression et en température car en l'absence de pression, un durcissement favorisé par la température de l'ad- s hésif, ne permet pas de mettre en contact les petites billes d'argent. L'adhésif anisotrope peut réaliser les minces épaisseurs de couches de colle avec un module d'élasticité élevée pour l'élément de capteur à ultrasons et le dispositif de capteur à ultrasons exigeant des couches d'adhésif minces. L'adhésif isotrope peut comporter une substance de io base avec des flocons d'argent d'une dimension de l'ordre d'environ à 20 gm jusqu'à environ à 70 gm et réaliser un branchement électrique sans pression sur les deux partenaires de contact pendant le durcissement (prise). Le corps de base et le substrat peuvent notamment être ls collés à l'aide d'un adhésif (isotrope) pour réaliser une liaison électro- conductrice entre les deux éléments. L'élément d'amortissement peut être notamment sous la forme d'une mousse de polymère, (par exemple polyuréthane, polypropylène ou silicone) de sorte que l'élément de capteur à ultrasons pourra 20 se fixer d'une manière particulièrement simple et économique. En outre, l'élément de capteur à ultrasons peut avoir déjà dans la région de l'élément d'amortissement, une étanchéité relativement élevée car la mousse permet d'assurer l'étanchéité très poussée de l'élément de capteur vis-à-vis des influences extérieures. 25 Selon un autre développement, l'élément de capteur à ultrasons comporte un élément de recouvrement occupant la face supérieure extérieure du corps de base au voisinage de l'élément de flexion et du côté supérieur extérieur de l'élément de flexion, à l'opposé de l'élément piézo-électrique. Comme l'élément de recouvrement peut être 30 réalisé notamment comme couche de couverture et/ou être réalisé en technique d'injection, l'élément de recouvrement assurera une protection supplémentaire de l'élément de capteur à ultrasons vis-à-vis de l'influence de l'extérieur. L'élément de recouvrement peut être notamment un po- is lymère et en particulier un polymère à cristaux liquides et d'une ma- 2978243 io nière toute particulière un polymère à cristaux liquides de référence A950 de Ticona et il peut en particulier être également électroconducteur. La matière ou le matériau de l'élément de recouvrement et celle l'élément de flexion, souple, peuvent être en particulier identiques et/ou s être réalisés au cours d'une même étape du procédé, par exemple par surmoulage par injection. Selon un autre développement, le côté supérieur extérieur du corps de base au voisinage de l'élément de flexion, souple et/ou le côté supérieur extérieur de l'élément de flexion, souple, à l'op-posé de l'élément piézo-électrique et/ou le côté supérieur extérieur de l'élément de recouvrement, sont au moins en partie courbes. Le côté supérieur extérieur du corps de base, le côté supérieur extérieur de l'élément de flexion, souple et/ou le côté supérieur extérieur de l'élément de recouvrement, peuvent être en particulier des côtés supérieurs ls dégagés des éléments respectifs. Cela permet d'adapter le contour de la surface supérieure de l'élément de capteur à ultrasons à une forme de surface supérieure ou extérieure, notamment aux rayons d'un pare-chocs de véhicule. Cela est particulièrement avantageux pour l'intégration du dispositif de capteur à ultrasons dans les coins extérieurs du 20 pare-chocs du véhicule. Lors de la fabrication de l'élément de flexion, souple, du corps de base et/ou de l'élément de flexion par injection, la forme de la surface supérieure du corps de base, celle de l'élément de flexion, souple et/ou de l'élément de recouvrement, pourront être réalisées d'une manière particulièrement simple selon le contour de la sur- es face extérieure du pare-chocs. En particulier, seul le côté supérieur de l'élément de recouvrement sera au moins en partie cintré de sorte que les éléments de flexion situés en dessous n'auront pas leur fonction détériorée. Selon un autre développement, les éléments de capteur à 30 ultrasons de l'ensemble des éléments de capteur à ultrasons (en vue de dessus ou en vue de dessous par rapport au dispositif de capteur à ultrasons), sont répartis suivant un motif à une ou deux dimensions. La disposition des éléments de capteur à ultrasons selon un motif à une dimension, se réalise en particulier sous une forme linéaire, c'est-à-dire 35 un champ à une dimension. Les éléments de capteur à ultrasons peu- ii vent notamment être répartis suivant un motif en matrice (par exemple avec six éléments dans une première direction et trois éléments dans une seconde direction transversale, en particulier perpendiculaire à la première direction). Le motif à deux dimensions peut avoir en particu- s lier une surface de forme circulaire et/ou les éléments de capteur à ultrasons peuvent être répartis le long de la ligne périphérique de la surface de forme circulaire. La disposition en forme de motif des éléments de capteur à ultrasons, permet une disposition économe en place des éléments de capteur à ultrasons et/ou de réaliser une sensibilité io verticale et horizontale vis-à-vis de l'extension longitudinale des éléments de capteur à ultrasons dans le dispositif de capteur à ultrasons et permettre ainsi une saisie en trois dimensions de l'objet. Selon un autre développement, les éléments de capteur à ultrasons de l'ensemble des éléments de capteur à ultrasons sont desti- is nés à émettre et/ou à recevoir les ultrasons. En mode d'émission d'un élément de capteur à ultrasons, on génère une onde sonore à partir de la déformation de l'élément de flexion ; cette onde sonore sera générée par la déformation de l'élément piézo-électrique. La déformation de l'élément piézo-électrique est obtenue par l'application d'une forte ten- 20 Sion à l'élément piézo-électrique. En mode de réception de l'élément de capteur à ultrasons, un signal (électrique) sera généré par le déplace-ment des charges dans l'élément piézo-électrique, ce déplacement résultant d'une déformation de l'élément de flexion. La déformation peut être occasionnée par l'action de la pression sur l'élément de flexion, souple. 25 Le dispositif de capteur à ultrasons peut être conçu exclusivement pour émettre ou exclusivement pour recevoir des ultrasons. En outre, le dis-positif de capteur à ultrasons peut être conçu pour assurer à la fois l'émission et la réception des ultrasons en particulier il peut appartenir à des éléments de capteur à ultrasons du dispositif de capteur à ultra- 30 sons pour l'émission des ultrasons et une autre partie des éléments de capteur à ultrasons du dispositif de capteur à ultrasons, serviront à recevoir les ultrasons. Au cas où un élément de capteur à ultrasons ou exclusivement des éléments de capteur à ultrasons ont un mode de fonctionnement, l'élément de capteur à ultrasons et les éléments de 35 capteur à ultrasons d'un mode de fonctionnement, pourront émettre 12 séquentiellement et recevoir les ultrasons. Un mode de fonctionnement d'au moins l'un des éléments de capteur à ultrasons pourra être modifié en particulier pendant le fonctionnement du dispositif de capteur à ultrasons basculant dans l'autre mode de fonctionnement. s Un grand nombre de composants, notamment de "composants montés en surface" tels que des condensateurs (composants SMD selon la terminologie anglaise), peuvent être prévus sur la face du substrat à l'opposé du corps de base et ces composants pourront être branchés en parallèle sur les éléments piézo-électriques des éléments à 10 ultrasons. Ainsi, on réalise une compensation de la dérive de la sensibilité du dispositif à ultrasons. En outre, la disposition des éléments de capteur à ultrasons selon un motif, permet de réaliser une disposition spatiale très rapprochée des condensateurs et des éléments de capteur à ultrasons car la disposition en motif des éléments de capteur à ultra- 15 sons se traduit par un moindre encombrement du substrat. Selon un autre développement, le dispositif de capteur à ultrasons fait partie d'un dispositif d'aide au stationnement ou d'un système d'assistance aux manoeuvres d'un véhicule automobile. Le dis-positif de capteur à ultrasons permet ainsi de détecter un objet dans 20 l'environnement du pare-chocs arrière et/ou avant du véhicule et de déterminer son angle par rapport au véhicule, par exemple en appliquant l'algorithme de formation de faisceaux Bartlet. La distance à l'objet s'obtient à partir de l'information de temps comprise entre les ultrasons émis et les ultrasons reçus, après réflexion sur l'objet. 25 Le corps de base aura notamment une longueur d'environ 50 millimètres (mm) et une largeur de l'ordre de 30 mm. L'épaisseur du corps de base pour l'extension longitudinale de l'ouverture sera notamment comprise entre environ 5 mm et environ 6 mm. Dans le cas de A950 de Ticona, on pourra avoir en parti- 30 culier une épaisseur d'environ à 1 mm pour l'élément de flexion, souple. Dans le cas d'un élément de flexion en métal, l'épaisseur de cet élément de flexion sera notamment d'environ 0,3 mm. Le diamètre d'un élément de flexion à section de forme circulaire sera notamment dans une plage d'environ à 4 mm jusqu'à environ à 5 mm. Dans ce cas, 13 l'atténuation de la diaphonie entre les éléments de capteur à ultrasons sera de l'ordre de 20 décibels (dB). La fréquence de résonance de l'élément de flexion, souple sera notamment d'environ 50 kHz. La fréquence de résonance de l'élé- s ment de flexion, souple peut être modifiée en fonction de la forme de l'élément de flexion, souple, notamment en fonction de l'épaisseur de l'élément de flexion, souple et du diamètre ainsi que du module d'élasticité de la matière utilisée pour l'élément de flexion, souple. L'épaisseur de l'élément de couverture peut notamment 10 être de l'ordre d'environ 0,4 mm. Cette épaisseur garantit que la sensibilité du dispositif de capteur à ultrasons ne sera pas réduite par l'élément de couverture. Le rayon de la section de forme circulaire des éléments de capteur à ultrasons, sera notamment d'environ 2,5 mm et la distance 15 par rapport aux éléments de capteur à ultrasons directement voisins, sera comprise entre environ 1 mm et environ 3 mm. Le nombre des éléments de capteur d'ultrasons dans le dispositif de capteur d'ultrasons peut être très différent. En particulier, selon des considérations économiques, le dispositif de capteur à ultra- 20 sons pourra avoir jusqu'à 20 éléments de capteur à ultrasons. Une plage angulaire saisie transversalement à une extension longitudinale et de manière centrée par rapport à celle-ci de l'élément de capteur à ultrasons, se situera notamment dans une plage d'environ 70 degrés jusqu'à environ 80 degrés. La plage angulaire 25 saisie transversalement et de manière centrée par rapport à l'extension longitudinale du dispositif de capteur à ultrasons, se situera notam- ment dans une plage d'environ 140 degrés jusqu'à environ 160 degrés. L'élément de capteur à ultrasons et/ou le dispositif de 30 capteur à ultrasons peuvent être réalisés par un procédé de fabrication d'un dispositif de capteur à ultrasons pour recevoir et/ou émettre des ultrasons, le dispositif de capteur à ultrasons comportant un ensemble d'éléments de capteur à ultrasons, ce procédé comprenant les étapes suivantes consistant à : 35 - utiliser un corps de base muni d'une ouverture, 14 fermer le côté frontal d'une première zone d'extrémité de l'ouverture à l'aide d'un élément de flexion, souple, installer un élément piézo-électrique dans l'ouverture, relier entre eux l'élément de flexion, souple et l'élément piézos électrique, installer un élément amortisseur dans l'ouverture, et fermer le côté frontal d'une seconde zone d'extrémité de l'ouverture à l'aide d'un élément amortisseur, procédé selon lequel 10 on réalise le corps de base des éléments de capteur à ultrasons de l'en-semble des éléments de capteur à ultrasons en une seule pièce. Pour l'action du procédé, on se reportera à la description qui en est faite en liaison avec le dispositif. Le procédé peut être appliqué d'une manière particulièrement simple car les moyens utilisés tels 15 que l'injection, le surmoulage par injection des éléments, le fluage à la presse et autres, utilisent des équipements du commerce pour la fabrication des éléments de capteur à ultrasons et/ou des dispositifs de capteur à ultrasons. Cela permet une production en masse des éléments de capteur à ultrasons de sorte que le coût de fabrication du dispositif de 20 capteur à ultrasons sera particulièrement bas. Selon un développement, le corps de base aura une ouverture réalisée par perçage, érosion ou fluage à la presse, notamment fluage à la presse à froid. Le corps de base pourra recevoir un perçage constituant 25 l'ouverture. Cela correspond à une fabrication particulièrement simple et économique du dispositif de capteur à ultrasons. L'ouverture peut traverser de part en part le corps de base ou être une ouverture non dé-bouchante. Par érosion de l'ouverture, on réalise le dispositif de cap- 30 teur à ultrasons d'une manière particulièrement simple et économique. L'ouverture peut traverser le corps de base ou être une ouverture ou un trou borgne. Le corps de base et/ou l'élément de flexion, souple peu-vent être réalisés par fluage à la presse. Cela permet une fabrication 35 particulièrement économique du corps de base et/ou de l'élément de

15 flexion, souple. Au cas où le corps de base et/ou l'élément de flexion, souple sont réalisés par fluage à la presse, notamment fluage à la presse à froid, le corps de base et/ou l'élément de flexion, souple seront réalisés en une seule pièce. L'ouverture pourra être un trou borgne. Le fluage à la presse peut s'appliquer pour la fabrication de l'élément de flexion, souple et du corps de base en métal, notamment en aluminium. Au cas où le corps de base est réalisé par fluage à la presse, l'ouverture se réalisera dans le corps de base par fluage à la presse. Le corps de base peut avoir notamment plusieurs ouvertures. Les ouvertures du corps de base peuvent être réalisées simultanément. Selon un autre développement, on enrobe par surmoulage le corps de base et l'élément piézo-électrique dans l'ouverture pour 15 former l'élément de flexion, souple dans l'ouverture. La matière utilisée à cet effet sera un polymère en particulier un polymère de cristal. Dans chaque étape de procédé ou dans les étapes suivantes, le corps de base avec l'élément de flexion et l'élément piézo-électrique seront enrobés par injection pour former le boîtier du dispositif de capteur à ultrasons. Ce- 20 la permet une fabrication particulièrement simple et économique du dispositif de capteur à ultrasons. Dessins La présente invention sera décrite ci-après de manière plus détaillée à l'aide d'exemples d'éléments de capteur à ultrasons re- 25 présentés dans les dessins annexés dans lesquels : la figure 1 est une coupe schématique d'un dispositif de capteur à ultrasons selon un premier exemple de réalisation de l'invention, la figure 2 est une vue de dessus schématique du dispositif de capteur à ultrasons selon la figure 1, 30 la figure 3 est une coupe schématique d'un second exemple de réalisation d'un dispositif de capteur à ultrasons selon l'invention, la figure 4 est une vue de dessus schématique du dispositif de capteur à ultrasons de la figure 3, 16 la figure 5 est une vue de dessus schématique d'un troisième exemple de réalisation d'un dispositif de capteur à ultrasons selon l'invention, la figure 6 est une vue en coupe schématique du dispositif de cap-s teur à ultrasons de la figure 5, la figure 7 est une vue de dessus schématique d'un quatrième exemple de réalisation d'un dispositif de capteur à ultrasons selon l'invention, la figure 8 est une vue en coupe schématique du dispositif de capteur à ultrasons selon la figure 7, la figure 9 est une vue de dessus schématique d'un cinquième exemple de réalisation d'un dispositif de capteur à ultrasons selon l'invention, la figure 10 est une vue en coupe schématique du dispositif de cap-15 teur à ultrasons de la figure 9. Description de modes de réalisation de l'invention La figure 1 montre un dispositif de capteur à ultrasons 1 pour recevoir et/ou émettre des ultrasons 2 selon un premier exemple de réalisation de l'invention. Le dispositif de capteur à ultrasons 1 com- 20 porte un ensemble d'éléments de capteur à ultrasons ; dans le cas pré-sent, il s'agit de deux éléments de capteur à ultrasons 3a, 3b. Chaque élément de capteur à ultrasons 3a, 3b a un corps de base 4 ayant une ouverture 5a, 5b de section circulaire traversant le corps de base 4. Les corps de base 4 des éléments de capteur à ultrasons 3a, 3b, sont réali- 25 sés en une seule pièce et seront désignés ci-après par l'unique référence 4. Chaque élément de capteur à ultrasons 3a, 3b a en outre un élément de flexion, souple 6a, 6b installé dans l'ouverture 5a, 5b. Cet élément est électroconducteur. L'élément de capteur comporte également un élément piézo-électrique 7a, 7b en forme de disque placé dans l'ouver- 30 ture 5a, 5b en étant relié à l'élément de flexion, souple 6a, 6b ainsi qu'un élément amortisseur 8a, 8b installé dans l'ouverture 5a, 5b et couvrant l'élément piézo-électrique 7a, 7b. L'élément de flexion, souple 5a, 5b ferme le côté frontal de la première zone d'extrémité A de l'ouverture 5a, 5b réalisée dans le corps de base 4 ; l'élément amortisseur 8a, 35 8b ferme le côté frontal de la seconde zone d'extrémité B de l'ouverture 17 5a, 5b. La surface supérieure 9 du corps de base 4 et la surface supérieure 10 de l'élément de flexion, souple 6a, 6b, sont à niveau et ont une forme plane de sorte que l'élément de flexion 6a, 6b termine l'élément de capteur à ultrasons 3a, 313 vers l'extérieur. s Un élément de substrat souple 11 constitué ici par une plaque de circuit souple, est installé le long d'une autre surface supérieure extérieure 12 du corps de base 4 voisine de l'élément amortisseur 8a, 8b. La plaque de circuit souple 11 ne s'étend pas le long de l'élément amortisseur 5a, 5b. Une couche électroconductrice 13a, 13b sous 10 la forme d'une métallisation de surface, s'étend le long de la surface 14a, 14b de l'élément de flexion, souple 6a, 6b au voisinage de l'élément piézo-électrique 7a, 713 le long de la paroi latérale intérieure 15a, 15b du corps de base 4 et le long de la surface 12 du corps de base 4. Un conducteur de liaison 16a, 16b est relié au substrat souple 11 et à la sur- 15 face de l'élément piézo-électrique 7a, 713 voisine de l'élément amortisseur 8a, 8b. Un adhésif conducteur anisotrope 17a, 17b est pré-vu entre l'élément de flexion, souple 6a, 6b et l'élément piézo-électrique 7a, 713 ; un adhésif électroconducteur isotrope 18a, 18b est prévu entre le corps de base 4 et le substrat souple 11.

20 Les éléments de capteur à ultrasons 3 ont, comme le montre la figure 2, une section de forme circulaire et sont installés suivant une matrice à deux dimensions. Dans un but de clarté, seul un élément de capteur à ultrasons porte la référence 3. La matrice se compose de trois rangées parallèles 20-22. La première rangée 20 de la ma- ts trice se compose de six éléments de capteur à ultrasons 3 répartis le long d'une ligne dans la direction (x). Dans la seconde rangée 21 de la matrice, dans la direction (x), on a sept éléments de capteur à ultrasons 3 et dans la troisième rangée 22 de la matrice, on a six éléments de capteur à ultrasons 3 toujours dans la direction (x). Les éléments de cap- 30 teur à ultrasons 3 de la seconde rangée 21, sont décalés d'une distance par rapport aux éléments de capteur à ultrasons 3 de la première et de la troisième rangée 20, 22. Cette distance est égale au rayon de la section de forme circulaire de l'élément de capteur à ultrasons 3. En con-séquence, les éléments de capteur à ultrasons 3 de la première et de la 35 troisième rangée 20, 22 sont disposés le long d'une ligne commune 18 dans la direction (y). Les condensateurs montés en surface sont installés dans une zone 23a, b parallèle à la première et à la troisième rangée 20, 22 de la matrice des éléments de capteur à ultrasons. Les condensateurs servent à compenser la dérive et sont branchés en parallèle sur s les éléments de capteur à ultrasons 3 ; les condensateurs sont représentés en trait interrompu à la figure 2. Les éléments de capteur à ultrasons 3 de la première et de la troisième rangée 20, 22, sont destinés à émettre des ultrasons ; les éléments de capteur à ultrasons 3 de la seconde rangée 21, sont 10 destinés à recevoir les ultrasons. C'est pourquoi, un objet qui se situe dans le volume sonore du dispositif de capteur à ultrasons 1, pourra être saisi d'une manière efficace dans le temps à l'aide du dispositif de capteur à ultrasons 1. I1 est à remarquer qu'on peut utiliser un nombre et une disposition quelconque d'éléments de capteur pour l'émission et 15 la réception des ultrasons. En fonctionnement du dispositif de capteur à ultrasons 1, les éléments de capteur à ultrasons 3 de la première et de la troisième rangée 20, 22, émettent les ultrasons 2 qui seront réfléchis par l'objet à saisir dans l'espace sonore du dispositif de capteur à ultrasons 20 1. Les ultrasons réfléchis 2 sont reçus par les éléments de capteur à ultrasons 3 de la seconde rangée 21. Les signaux électriques sont générés en fonction des ultrasons reçus 2 par les éléments de capteur à ultrasons 3 de la seconde rangée 21 associés respectivement à une variation d'extension longitudinale de l'un des éléments p i é z o- 25 électriques 7a, 7b. La déformation dans l'élément piézo-électrique 7a, 713 est indiquée par des flèches doubles et cette déformation est occasionnée en mode de réception des éléments de capteur à ultrasons 3 par l'action de la pression des ultrasons 2 schématisée par des flèches à une extrémité, appliquée à l'élément de flexion 6a, 6b. Les signaux élec- 30 triques générés sont transmis à une unité d'exploitation du dispositif de capteur à ultrasons 1 et en fonction des signaux électriques, l'unité d'exploitation saisit le positionnement de l'objet dans l'espace sonore. Un procédé de fabrication du dispositif de capteur à ultrasons selon un premier exemple de l'invention sera décrit ci-après. I1 35 s'agit du dispositif de capteur à ultrasons 1 de la figure 1. Dans la pre- 19 mière étape du procédé, on utilise un corps de base 4 constitué par une plaque de céramique d'oxyde d'aluminium (alumine) munie de perçages constituant les ouvertures traversants 5a, 5b. En variante, le corps de base 4 peut être une pièce pressée par fluage à froid avec des ouver- s tures traversantes 5a, 5b. Ensuite, on réalise les éléments de flexion, souples 6a, 613 dans l'ouverture 5a, 513 par un procédé d'injection de matière plastique. Pour cela, on applique tout d'abord un traitement en ligne par du plasma du corps de base 4 et on installe le corps de base 4 dans un outil d'injection. Les ouvertures 5a, 513 du corps de base 4, 10 sont enrobées par injection dans l'outil d'injection, en partie avec un polymère de cristaux liquides de référence A950 de Ticona. En variante, on peut utiliser un autre polymère. L'élément de flexion 6a, 613, souple, se réalise ainsi dans l'ouverture 5a, 513 et est relié au corps de base 4. Selon une autre étape du procédé, on utilise l'élément 15 piézo-électrique 7a, 713 dont le côté supérieur et le côté inférieur sont préalablement munis d'une couche de métal appliquée par la technique de métallisation en surface. Dans une autre étape du procédé, dans le cas d'un corps de base 4 non électroconducteur, on applique la couche conductrice 13 à la surface 14 de l'élément de flexion, souple 6a, 613 sur 20 les parois latérales 15 du corps de base 4 et sur sa surface supérieure 12 comme métallisation de surface. La couche conductrice 13 est inutile dans le cas d'un corps de base 4 en métal. L'élément piézo-électrique 7a, 713 est ensuite collé par un adhésif 17 anisotrope, électroconducteur sur le côté supérieur revêtu 14 de l'élément de flexion, 25 souple 6a, 6b. L'élément piézo-électrique 7a, 713 est pressé contre l'élément de flexion, souple 6a, 613 et on laisse durcir l'adhésif conducteur 17. On réalise de cette manière le branchement de l'élément piézo-électrique 7a, 713 et du substrat souple 11 par l'intermédiaire de la couche conductrice 13.

30 Selon une autre étape, par un procédé de sérigraphie, on applique l'adhésif électroconducteur 18, isotrope, sur la couche conductrice 13 à la surface 12 du corps de base 4, on presse le substrat souple 11 contre le corps de base 4 et on laisse durcir sous pression. On peut ne pas exercer de pression sur le substrat souple 11 et/ou sur le corps 35 de base 4.

20 Selon une autre étape, on réalise le branchement électrique entre la face inférieure de l'élément piézo-électrique 7a, 713 et le substrat souple 11 en installant un fil de liaison 16a, 16b entre les deux éléments 7a, 713, 11. Le branchement du côté inférieur de l'élément pié- s zo-électrique 7a, 713 et du substrat souple 11 par soudage par friction d'un conducteur contre la face inférieure de l'élément piézo-électrique 7a, 713 contre l'élément de flexion, souple 11 est une solution également possible. Selon une autre étape, on remplit d'une manière automatique les ouvertures 5a, 513 avec une mousse de polyuréthane. En va-riante, on peut également utiliser une mousse de silicone. On laisse durcir la mousse pour former l'élément amortisseur 8a, 8b. Cela se traduit par la coulée de l'élément piézo-électrique 7a, 713 et du fil de liaison 16a, 16b dans l'ouverture 5a, 5b. Ensuite, on applique les condensa- is teurs dans les régions 23a, 2313 sur le substrat souple 11 et on relie électriquement aux les éléments de capteur à ultrasons 3a, 3b. Les figures 3 et 4 montrent un autre dispositif de capteur 1 correspondant à un second exemple de réalisation. Le dispositif de capteur à ultrasons 1 est analogue au dispositif de capteur à ultrasons 20 des figures 1 et 2. Toutefois, le corps de base 4 et l'élément de flexion, souple 6a, 613, sont dans ce cas réalisés en une seule pièce en aluminium comme pièce comprimée avec fluage. Le corps de base 4 comporte des ouvertures 5a, 513, c'est-à-dire des trous borgnes qui ne traversent pas le corps de base 4. L'élément de flexion 6a, 613, souple, est installé à 25 l'extérieur de l'ouverture 5a, 513 et ferme une première région d'extrémité A des ouvertures 5a, 513 en ce que l'élément de flexion, souple 6a, 613, couvre les ouvertures 5a, 5b. l'élément de flexion 5a, 513 est une membrane de forme circulaire d'un diamètre dans une plage d'environ 4 mm jusqu'à environ 5 mm et une épaisseur dans une plage d'envi- 30 ron 0,2 mm jusqu'à environ 0,4 mm. La mince membrane de flexion 5a, 513 est reliée en périphérie au corps de base 4 et a un segment extérieur fortement rigidifié. L'élément de capteur à ultrasons 3a, 313 dans la figure 1 ne comporte pas de couche conductrice 13a, 13b le long de la surface supérieure 14a, 14b de l'élément de flexion, souple 6a, 613 le 35 long des parois latérales intérieures 15a, 15b du corps de base 4 et le 21 long de la surface supérieure extérieure 12 du corps de base 4 au voisinage de l'élément d'amortissement 8a, 813 contrairement à l'élément de capteur à ultrasons 3a, 313 ; en effet, l'élément piézo-électrique 7a, 713 est relié par l'adhésif électroconducteur 17a, 17b, anisotrope, directe- s ment à la plaque de base électroconductrice 4 et la plaque de circuit 11 souple relie le corps de base 4 directement par l'adhésif électroconducteur isotrope 18a, 18b. La fréquence de résonance des éléments de capteur à ultrasons 3a, 313 est égale à 50 kHz. Le fonctionnement du dispositif de capteur à ultrasons 1 10 est analogue au fonctionnement du dispositif de capteur à ultrasons 1 des figures 1 et 2. Selon le procédé de fabrication du dispositif de capteur 1 correspondant au second exemple de réalisation de l'invention, on fa-brique le corps de base 4 avec les éléments de flexion, souples 6a, 613 15 par fluage à la presse à partir d'une plaque en aluminium. Dans cette étape de procédé, les ouvertures 5a, 513 sont réalisées dans le corps de base 4. Ensuite, on applique les étapes de procédé décrites en référence au dispositif de capteur à ultrasons des figures 1 et 2 après la formation de l'élément de flexion en polymère.

20 Les figures 5 et 6 montrent un troisième exemple de réalisation d'un dispositif de capteur 1 à ultrasons selon l'invention. Les éléments de capteur à ultrasons 3 du dispositif de capteur à ultrasons 1, sont analogues aux éléments de capteur à ultrasons 3 du dispositif de capteur à ultrasons 1 des figures 1 et 2, mais à la place de la couche 25 conductrice 13 et d'un fil de liaison 16a, 16b, ils comportent deux fils de liaison entre l'élément piézo-électrique et le substrat souple. En outre, les éléments de capteur à ultrasons 3 du dispositif de capteur à ultrasons 1, sont répartis en trois rangées 20-22 ayant chaque fois six éléments de capteur à ultrasons 3 répartis dans une première direction 30 (x) de la disposition en forme de matrice et dans une deuxième direction (y) de cette disposition en matrice ; cette deuxième direction (y) est perpendiculaire à la première direction (x) et les éléments de capteur sont disposés de manière équidistante. Ce dispositif est un exemple. Les éléments de capteur à ultrasons 3 peuvent également être répartis sui- 35 vant une forme circulaire en vue de dessus du corps de base 4.

22 Le fonctionnement du dispositif de capteur à ultrasons 1 est analogue à celui du dispositif de capteur à ultrasons 1 des figures 1 et 2. Un procédé de fabrication du dispositif de capteur à ul- s trasons 1 correspondant au troisième exemple de réalisation de l'invention, on utilise un corps de base 4 muni d'ouvertures 5 comme pièce pressée par fluage à froid. Ensuite, on soumet les éléments piézo-électriques 7 de manière automatique à une métallisation de surface supérieure appliquée sur les deux côtés pour les placer dans un moule io d'injection et ensuite on place le corps de base en céramique d'oxyde d'aluminium 4 dans le moule d'injection. Les éléments piézo-électriques 7 ont un contact périphérique latéral par métallisation de surface sur le côté supérieur qui, à l'état assemblé du dispositif de capteur à ultrasons 1, est tourné vers l'élément de flexion, souple 6 vers la métallisation en ls surface d'un autre côté supérieur tourné vers l'élément amortisseur 8a lorsque le dispositif de capteur à ultrasons 1 est à l'état assemblé. Dans la région des éléments de flexion, souples 6, on enrobe par injection le corps de base 4 avec les éléments piézo-électriques 7. C'est pourquoi, les éléments piézo-électriques 7 ne sont pas collés à l'élément de flexion, 20 souple 6. Dans la même étape de procédé, on injecte le boîtier entourant le corps de base 4. Ensuite, on réalise le branchement électrique de l'autre côté supérieur des éléments piézo-électriques 7 et du substrat souple 11. On forme deux fils de liaison 16 entre chacune des autres surfaces des éléments piézo-électriques 7 et le substrat souple 11. En- 25 suite, on introduit un matériau à base de polymère ou de silicone dans les ouvertures 5 de façon à former les éléments amortisseurs 8 après prise de la matière respective. Les figures 7 et 8 montrent un quatrième exemple de réalisation d'un dispositif à ultrasons. Les éléments de capteur à ultrasons 30 3a-3f du dispositif de capteur à ultrasons 1, sont identiques aux éléments de capteur à ultrasons 3a-3f du dispositif de capteur à ultrasons 1 des figures 5 et 6. Toutefois, les ouvertures des éléments de capteur à ultrasons 3 ont une section rectangulaire au lieu d'avoir une section circulaire.

23 Le fonctionnement du dispositif de capteur à ultrasons 1 est analogue à celui du dispositif de capteur à ultrasons 1 des figures 5 et 6. Le procédé de fabrication du dispositif de capteur à ultra- s sons 1 selon le quatrième exemple de l'invention est analogue au procédé de réalisation du dispositif de capteur à ultrasons 1 des figures 5 et 6. La forme de la section des éléments de capteur à ultrasons 3 est particulièrement simple à réaliser en technique de fluage à la presse et d'injection. io Les figures 9 et 10 montrent un cinquième exemple de réalisation d'un dispositif de capteur à ultrasons 1. Le dispositif de capteur à ultrasons 1 est analogue au dispositif de capteur à ultrasons 1 des figures 1 et 2 avec toutefois une couche de couverture 25 supplémentaire occupant la surface supérieure du corps de base 4 et la sur- is face supérieure de l'élément de flexion 5 souple à base de polymère. La surface 26 de la couche de couverture 25 est courbe et l'épaisseur de la couche de couverture 25 diminue de manière continue en direction de sa zone extérieure. Le fonctionnement du dispositif de capteur à ultrasons 1 20 décrit ci-dessus est analogue à celui du dispositif de capteur à ultra- sons 1 des figures 1 et 2. Le procédé de fabrication du dispositif de capteur à ultra-sons 1 selon ce cinquième exemple de réalisation de l'invention, utilise les étapes du procédé décrit en liaison avec les figures 1 et 2. La couche 25 de couverture 25 est réalisée en même temps que l'élément de flexion, souple 6 par injection de surmoulage.

30 NOMENCLATURE 1 2 s 3a, 313 4 5a, 513 6a, 613 7a, 713 io 8a, 813 9 10 11 12 ls 13a, 13b 14a, 14b 15a, 15b 16a, 16b 17a, 17b 20 18a, 18b 20 21 23 23a, 2313 2s 25 26 dispositif de capteur à ultrasons ultrasons élément de capteur à ultrasons corps de base ouvertures de section circulaire élément de flexion, souple élément piézo-électrique élément amortisseur surface supérieure du corps de base 4 surface supérieure de l'élément de flexion, souple 6a, 613 substrat souple/plaque de circuit souple surface supérieure extérieure du corps de base couche électroconductrice surface supérieure de l'élément de flexion, souple paroi latérale intérieure du corps de base ligne de liaison adhésif électroconducteur anisotrope adhésif électroconducteur isotrope première rangée d'une matrice seconde rangée d'une matrice troisième rangée d'une matrice région d'installation des condensateurs couche de couverture surface supérieure de la couche de couverture 30

Claims (1)

1. REVENDICATIONS1» Elément de capteur à ultrasons (3a-3f) pour recevoir et/ou émettre des ultrasons (2) comprenant : un corps de base (4) muni d'une ouverture (5a, 5b), un élément de flexion, souple (6a, 613) qui ferme le côté frontal d'une première zone d'extrémité (A) de l'ouverture (5a, 5b), * l'élément de flexion, souple (6a, 613) ayant un polymère, notamment un polymère à cristaux liquides, un élément piézo-électrique (7a, 713) installé dans l'ouverture (5a, 513) io et relié à l'élément de flexion, souple (6a, 6b), et un élément d'amortissement (8a, 813) installé dans l'ouverture (5a, 513) et qui ferme le côté frontal d'une seconde zone d'extrémité (B) de l'ouverture (5a, 5b). 15 2» Dispositif de capteur à ultrasons (1) pour recevoir et/ou émettre des ultrasons (2), le dispositif de capteur à ultrasons (1) ayant un ensemble d'éléments de capteur à ultrasons (3a-3f) et chaque élément de capteur à ultrasons (3a-3f) comprend : un corps de base (4) muni d'une ouverture (5a, 5b), 20 un élément de flexion, souple (6a, 613) qui ferme le côté frontal d'une première zone d'extrémité (A) de l'ouverture (5a, 5b), * l'élément de flexion, souple (6a, 613) ayant un polymère, notamment un polymère à cristaux liquides, un élément piézo-électrique (7a, 713) installé dans l'ouverture (5a, 513) 25 et relié à l'élément de flexion, souple (6a, 6b), et un élément d'amortissement (8a, 813) installé dans l'ouverture (5a, 513) et qui ferme le côté frontal d'une seconde zone d'extrémité (B) de l'ouverture (5a, 5b), les corps de base (4) des éléments de capteur à ultrasons (3a-3f) de 30 l'ensemble des éléments de capteur à ultrasons (3a-3f) sont réalisés en une seule pièce. 3» Dispositif de capteur à ultrasons (1) selon la revendication 2, dans lequel26 l'élément de flexion, souple (6a, 613) comporte un polymère, notamment un polymère à cristaux liquides. 4» Dispositif de capteur à ultrasons (1) selon la revendication 2, s dans lequel l'élément de flexion, souple (6a, 613) et les corps de base (4) de chaque élément de capteur à ultrasons (3a-3f) sont réalisés en une seule pièce, - la matière de l'élément de flexion, souple (6a, 613) et du corps de base (4) comportant notamment du métal, de l'oxyde métallique et/ou une io céramique d'oxyde métallique. 5» Dispositif de capteur à ultrasons (1) selon la revendication 2, dans lequel le substrat (11) est prévu le long du côté supérieur extérieur (9) du ls corps de base (4) au voisinage de l'élément d'amortissement (8a, 8b). 6» Dispositif de capteur à ultrasons (1) selon la revendication 2, dans lequel l'élément de capteur à ultrasons (3a-3f) comporte en outre : 20 un élément de recouvrement (25) qui occupe tout le côté extérieur (9) du corps de base (4) au voisinage de l'élément de flexion (6a, 613) et un côté supérieur (10) de l'élément de flexion (6a, 613) non tourné vers l'élément piézo-électrique (7a, 7b). 25 7» Dispositif de capteur à ultrasons (1) selon la revendication 2, dans lequel le côté supérieur extérieur (9) du corps de base (4) voisin de l'élément de flexion, souple (6a, 6b), le côté supérieur extérieur (10a, 10b) de l'élément de flexion, souple (6a, 613) opposé à l'élément piézo-électrique (7a, 30 713) et/ou le côté supérieur extérieur (26) de l'élément de couverture (25) sont au moins en partie courbes. 8» Dispositif de capteur à ultrasons (1) selon la revendication 2, dans lequel27 l'ensemble des éléments de capteur à ultrasons (3a-3f) est situé dans un motif à une dimension ou un motif à deux dimensions. 9» Dispositif de capteur à ultrasons (1) selon la revendication 2, s dans lequel le nombre d'éléments de capteur à ultrasons (3a-3f) sont conçus pour l'émission et/ou la réception d'ultrasons (2). 10» Dispositif de capteur à ultrasons (1) selon la revendication 2, io installé dans un dispositif de réception ou dans un système d'assistance de conduite de véhicule. 11» Procédé de fabrication d'un dispositif de capteur à ultrasons (1) pour recevoir et/ou émettre des ultrasons (2), le dispositif de capteur à ls ultrasons (1) comportant un ensemble d'éléments de capteur à ultra-sons (3a-3f), le procédé de fabrication d'un élément (3a-3f) comprenant les étapes suivantes consistant à : utiliser un corps de base (4) muni d'une ouverture (5a, 5b), 20 fermer le côté frontal d'une première zone d'extrémité de l'ouverture (5a, 513) à l'aide d'un élément de flexion, souple (6a, 6b), installer un élément piézo-électrique (7a, 713) dans l'ouverture (5a, 5b), relier entre eux l'élément de flexion, souple (6a, 6b) et l'élément pié-25 zo-électrique (7a, 7b), installer un élément amortisseur (8a, 813) dans l'ouverture (5a, 5b), et fermer le côté frontal d'une seconde zone d'extrémité de l'ouverture (5a, 513) à l'aide d'un élément amortisseur (8a, 8b), procédé selon lequel 30 on réalise le corps de base (4) des éléments de capteur à ultrasons (3a-3f) de l'ensemble des éléments de capteur à ultrasons (3a-3f) en une seule pièce. 12» Procédé selon la revendication 11, 35 selon lequel28 on utilise un corps de base (4) en (y) réalisant des ouvertures, notamment par perçage, érosion ou à la pesse de fluage, notamment de fluage à froid. s 13» Procédé selon la revendication 11 ou 12, selon lequel on enrobe par injection le corps de base (4) et l'élément piézo-électrique (7a, 713) placé dans l'ouverture (5a, 5b). io