FR2951713A1

FR2951713A1 - Micro-volet a actionnement electromagnetique

Info

Publication number: FR2951713A1
Application number: FR0957543A
Authority: FR
Inventors: Orphee Cugat; Nicolas Abele
Original assignee: Lemoptix SA; Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Current assignee: Intel Corp
Priority date: 2009-10-27
Filing date: 2009-10-27
Publication date: 2011-04-29
Anticipated expiration: 2029-10-27
Also published as: US20130003155A1; US9212047B2; CN102844263A; US20170168288A1; JP2013508785A; WO2011051620A2; US20150062685A1; CN102844263B; US9025229B2; FR2951713B1; WO2011051620A3; JP5663590B2

Abstract

L'invention concerne un micro-volet à actionnement électromagnétique comportant une plaquette mobile (1) en rotation autour d'un axe (11), reliée à un cadre fixe (3) par deux bras (7, 9) alignés de part et d'autre de la plaquette selon ledit axe (11), et comportant à sa périphérie une boucle conductrice (13) ; et sous l'ensemble formé par le cadre fixe et la plaquette mobile, un ensemble d'aimants (51, 53, 55) d'orientations magnétiques distinctes, disposés de façon à créer, au niveau de la plaquette mobile, un champ magnétique latéral (57), dans le plan du cadre, oblique par rapport à l'axe de rotation.

Description

B9825 - CNRS-03114-01 1 MICRO-VOLET À ACTIONNEMENT ÉLECTROMAGNÉTIQUE

Domaine de l'invention La présente invention concerne des micro-volets mobiles formés par des techniques de fabrication de structures microélectromécaniques (MEMS). Elle vise plus particulièrement une nouvelle structure de micro-volet à actionnement électromagnétique. Un exemple d'application de la présente invention concerne des micro-miroirs à actionnement électromagnétique. Exposé de l'art antérieur Des micro-miroirs mobiles réalisés en technologie MEMS sont utilisés dans de nombreux dispositifs, par exemple, des systèmes de projection miniaturisés, et des capteurs de lumière visible ou infrarouge tels que des lecteurs de codes-barres. On s'intéresse ici à des micro-miroirs fixés à un cadre par un axe et orientables autour de cet axe par des moyens électro- magnétiques. La figure 1 représente de façon schématique une structure MEMS, formée dans une tranche de silicium, incluant un micro-miroir mobile à actionnement électromagnétique. Cette structure comprend une plaquette mobile réfléchissante 1, ou micro-miroir, fixée à un cadre fixe 3. Un intervalle vide 5 s'étend entre la plaquette mobile 1 et le cadre 3. La plaquette 1 est reliée au cadre 3 par deux bras 7 et 9 alignés B9825 - CNRS-03114-01

2 de part et d'autre de la plaquette, le long d'un même axe 11. Ainsi, la plaquette 1 est mobile en rotation autour de l'axe 11 formé par les bras 7 et 9. Le mouvement de la plaquette 1 exerce une torsion sur les bras 7 et 9.

Une piste conductrice 13 suit la périphérie de la face avant de la plaquette 1. La piste 13 passe par le bras 7 et se termine par des plots 15 et 17 formés sur le cadre 3. Les plots 15 et 17 sont adaptés à être reliés à une alimentation, non représentée, de façon qu'un courant circule dans la piste conductrice 13 dans le sens représenté par les flèches 19 (dans le cas d'un courant continu). L'ensemble du cadre 3 et de la plaquette 1 est soumis à un champ magnétique latéral, représenté par les flèches 21, dont les lignes de champ sont sensiblement orthogonales à l'axe 11 et sensiblement parallèles au plan du cadre 3. Lorsqu'un courant parcourt la piste conductrice 13, des forces de Laplace opposées s'exercent orthogonalement au plan du cadre, sur les portions de la piste 13 parallèles à l'axe 11 et dans lesquelles circulent des courants de sens opposés. Ces forces combinées provoquent une rotation de la plaquette 1 autour de son axe 11, d'un angle déterminé notamment par le sens et l'intensité du courant. Il est donc possible de moduler l'orientation et l'inclinaison de la plaquette 1 en faisant varier le signe et la valeur de la tension appliquée entre les plots 15 et 17. La figure 2 est une vue en coupe représentant de façon schématique une structure MEMS incluant un micro-miroir à actionnement électromagnétique, du type décrit en relation avec la figure 1 Dans cette vue, on peut voir que la tranche de silicium est évidée sous l'emplacement où est formé la plaquette mobile 1. Un support 23 ferme cet évidement. Il est en outre généralement prévu, au dessus du micro-miroir, un capot, non représenté, et de préférence transparent, pour protéger la plaquette 1 de l'intrusion de contaminants.

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3 Deux aimants 25 et 27 sont placés symétriquement de part et d'autre de l'axe 11. Les aimants 25 et 27, d'orientation magnétique latérale, créent, au niveau de la plaquette mobile 1, un champ magnétique dont les lignes de champ sont orthogonales à l'axe 11 et parallèles au plan du cadre 3. Un inconvénient des structures à micro-miroir du type décrit en relation avec les figures 1 et 2 réside dans l'encombrement lié au placement des aimants 25 et 27. En pratique, la plaquette mobile 1 peut être un carré d'environ 1 mm de côté, l'intervalle 5 peut mesurer environ 50 pm, et le cadre peut avoir une largeur d'environ 1 mm. La surface (en vue de dessus) des aimants 25 et 27 vient s'ajouter à la surface du cadre 3. Or, les aimants 25 et 27 sont relativement éloignés de la plaquette mobile 1. Ainsi, pour garantir un champ suffisant au niveau de la plaquette mobile 1, ils doivent avoir des dimensions de l'ordre de 2 mm de largeur, 2 mm d'épaisseur et 3 mm de longueur. La surface totale de la structure est donc au moins doublée par la présence des aimants 25 et 27.

La figure 3 représente de façon schématique une autre structure MEMS incluant un micro-miroir à actionnement électromagnétique. Par soucis de clarté, seules les différences avec la figure 2 seront détaillées. Pour limiter l'encombrement, on a proposé de remplacer les aimants d'orientations magnétiques latérales 25 et 27 de la figure 2 par un aimant 31 d'orientation magnétique verticale, placé sous l'ensemble formé par la plaquette mobile 1 et le cadre 3. L'aimant 31 crée, au niveau de la plaquette mobile, un champ magnétique dont les lignes de champ sont orthogonales au plan du cadre 3. On prévoit une bobine conductrice divisée en deux enroulements distincts 33 et 35 de sens opposés, disposés sur la face avant de la plaquette 1, respectivement du côté de chacun des bords de la plaquette 1 parallèles à l'axe de rotation 11.

Cette bobine est adaptée à être reliée à une alimentation.

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4 Lorsqu'un courant circule dans la bobine, des forces d'attraction et de répulsion opposées s'exercent entre l'aimant 31 et chacun des enroulements 33 et 35, entrainant un mouvement de rotation de la plaquette mobile 1 autour de son axe 11.

Un inconvénient des micro-miroirs de ce type réside dans la perte de surface utile sur la face avant de la plaquette mobile 1, liée à l'encombrement des enroulements 33 et 35. La masse de la partie mobile sera aussi plus importante, ce qui nécessite de prévoir, pour un champ magnétique donné, des courants plus élevés pour entraîner son déplacement. En outre, du fait de l'augmentation de sa masse, la plaquette mobile sera moins résistante aux chocs et aux accélérations. Résumé Ainsi, un objet d'un mode de réalisation de la présente invention est de proposer une structure de micro-volet à actionnement électromagnétique palliant tout ou partie des inconvénients des structures classiques. Un objet d'un mode de réalisation de la présente invention est de proposer une telle structure présentant un 20 faible encombrement en surface. Un objet d'un mode de réalisation de la présente invention est de proposer une telle structure facile à réaliser. Ainsi, un mode de réalisation de la présente invention prévoit un micro-volet à actionnement électromagnétique compor- 25 tant une plaquette mobile en rotation autour d'un axe, reliée à un cadre fixe par deux bras alignés de part et d'autre de la plaquette selon ledit axe, et comportant à sa périphérie une boucle conductrice ; et sous l'ensemble formé par le cadre fixe et la plaquette mobile, un ensemble d'aimants d'orientations 30 magnétiques distinctes, disposés de façon à créer, au niveau de la plaquette mobile, un champ magnétique latéral, dans le plan du cadre, oblique par rapport à l'axe de rotation. Selon un mode de réalisation de la présente invention, en vue de dessus, les dimensions de l'ensemble d'aimants sont B9825 - CNRS-03114-01

strictement égales aux dimensions de l'ensemble formé par le cadre fixe et la plaquette mobile. Selon un mode de réalisation de la présente invention, le champ magnétique latéral est orthogonal à l'axe de rotation. 5 Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'ensemble d'aimants comporte trois aimants en forme, en vue de dessus, de barreaux parallèles à l'axe de rotation, juxtaposés dans un même plan parallèle au plan du cadre fixe, l'aimant central étant de même largeur que la plaquette mobile et d'orientation magnétique latérale ; et les aimants périphériques étant d'orientations magnétiques orthogonales au plan du cadre et de sens opposés. Selon un mode de réalisation de la présente invention, les extrémités de la boucle conductrice passent par l'un des bras, et sont reliées à des plots de contact formés sur le cadre fixe. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la surface supérieure de la plaquette mobile est réfléchissante. Selon un mode de réalisation de la présente invention, le micro-volet comporte, au dessus du cadre fixe, un capot de protection. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la plaquette mobile est reliée au cadre fixe par l'intermédiaire d'un cadre mobile relié au cadre fixe par deux bras alignés de part et d'autre du cadre mobile selon un axe de rotation secondaire orthogonal audit axe, le cadre mobile comportant une boucle conductrice. Selon un mode de réalisation de la présente invention, le champ magnétique latéral est sensiblement à 45°C par rapport à l'axe de rotation. Brève description des dessins Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : B9825 - CNRS-03114-01

6 la figure 1, précédemment décrite, représente de façon schématique une structure incluant un micro-miroir à actionnement électromagnétique ; la figure 2, précédemment décrite, est une vue en 5 coupe schématique d'une structure du type décrit en relation avec la figure 1 ; la figure 3, précédemment décrite, est une vue en coupe représentant de façon schématique une autre structure incluant un micro-miroir à actionnement électromagnétique ; 10 la figure 4 est une vue en coupe représentant de façon schématique un exemple de structure incluant un micro-miroir à actionnement électromagnétique ; la figure 5 est une vue en coupe représentant de façon schématique une structure incluant un micro-miroir à action- 15 nement électromagnétique selon un mode de réalisation de la présente invention ; la figure 6A est une vue de dessus schématique d'une structure incluant un micro-miroir à actionnement électromagnétique selon une variante de réalisation de la présente 20 invention ; la figure 6B est une vue en coupe de dessus de la figure 6 ; et la figure 7 est une vue en perspective représentant un autre exemple d'application d'une partie de la structure décrite 25 en relation avec la figure 5. Description détaillée Par souci de clarté, de mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références aux différentes figures et, de plus, comme cela est habituel dans la représentation des 30 microcomposants, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. La figure 4 est une vue en coupe représentant de façon schématique un exemple de structure incluant un micro-miroir à actionnement électromagnétique, formée dans une tranche de 35 silicium. Comme la structure décrite en relation avec la figure B9825 - CNRS-03114-01

7 2, cette structure comporte une plaquette mobile réfléchissante 1, fixée à un cadre fixe 3. Un intervalle vide 5 sépare la plaquette mobile 1 du cadre 3. La plaquette mobile 1 est reliée au cadre 3 par deux bras, non représentés, alignés de part et d'autre de la plaquette, le long d'un même axe 11. Ainsi, la plaquette 1 est mobile en rotation autour de l'axe 11. Une piste conductrice 13 suit la périphérie de la face avant de la plaquette mobile 1. Les extrémités de la piste 13 passent par exemple par l'un des bras de fixation de la plaquette 1 et se terminent par des plots, non représentés, formés sur le cadre 3 et adaptés à être reliés à une alimentation. Un aimant 41, d'orientation magnétique latérale, est placé sous l'ensemble formé par la plaquette mobile 1 et le cadre 3. Un tel aimant crée, au niveau de la plaquette mobile 1, un champ magnétique sensiblement parallèle au plan du cadre 3 et sensiblement orthogonal à l'axe de rotation 11. Ce champ est lié au retour des lignes de champ d'un pôle à l'autre de l'aimant, et sa direction, représentée par la flèche 43, est sensiblement opposée à l'orientation magnétique de l'aimant 41. Lorsqu'un courant parcourt la piste conductrice 13, des forces de Laplace opposées s'exercent sur les portions de la piste 13 parallèles à l'axe 11 et dans lesquelles circulent des courants opposés. Ceci provoque une rotation de la plaquette mobile 1 autour de son axe 11, selon un angle déterminé par le sens et l'intensité du courant. Toutefois, une telle structure est purement théorique. En effet, le champ magnétique créé par l'aimant se répartit tout autour de celui-ci, et, du côté de la plaquette mobile, le champ est insuffisant pour obtenir un déplacement significatif de la plaquette 1. Il faudrait que circule dans la boucle 13 un courant de très forte intensité pour obtenir un déplacement significatif de la plaquette mobile, ce qui entraînerait une consommation excessive d'énergie.

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8 La figure 5 est une vue en coupe représentant de façon schématique une structure incluant un micro-miroir à actionnement électromagnétique selon un mode de réalisation de la présente invention. Par souci de clarté, seules les différences avec la structure de la figure 4 seront détaillées ici. A la place de l'aimant 41 d'orientation magnétique latérale, on prévoit un ensemble de trois aimants d'orientations magnétiques distinctes, disposés de façon à créer, au niveau de la plaquette mobile 1, un champ magnétique parallèle au plan du cadre 3 et orthogonal à l'axe de rotation 11, suffisant pour obtenir un déplacement de la plaquette mobile 1 sans consommation excessive d'énergie. Selon un mode de réalisation préféré, on prévoit trois aimants 51, 53, 55 ayant, en vue de dessus, la forme de barreaux parallèles à l'axe 11, juxtaposés dans un même plan parallèle au cadre 3. L'aimant 51 a sensiblement la même largeur que la plaquette mobile 1, par exemple de l'ordre de 1 mm, et sensiblement la même longueur que l'ensemble formé par le cadre 3 et la plaquette 1, par exemple de l'ordre de 3 mm. L'ensemble des 3 aimants a sensiblement la même largeur que le cadre 3. Il est bien entendu que ces dimensions sont données uniquement à titre d'exemple. La largeur de l'aimant central 51 pourra par exemple être légèrement inférieure ou légèrement supérieure à la largeur de la plaquette mobile 1. De préférence, pour limiter l'encombrement, les dimensions de l'ensemble d'aimants seront strictement égales ou légèrement inférieures à celles de l'ensemble formé par le cadre fixe et la plaquette mobile. L'aimant central 51 a une orientation magnétique latérale, c'est-à-dire une orientation sensiblement parallèle au plan du cadre 3 et sensiblement orthogonale à l'axe 11. Les aimants périphériques 53 et 55 ont une orientation magnétique verticale, c'est-à-dire une orientation sensiblement orthogonale au plan du cadre 3. Les orientations magnétiques des aimants 53 et 55 sont de sens sensiblement opposés.

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9 Ainsi, au niveau de la plaquette mobile 1, au dessus de la partie centrale de l'ensemble d'aimants, les lignes de champ créées par chacun des aimants 51, 53, 55 sont sensiblement latérales et de même sens. Ces composantes s'additionnent pour créer un champ magnétique latéral, représenté par la flèche 57, suffisant pour obtenir un déplacement de la plaquette mobile 1 avec une consommation d'énergie réduite. Par contre, du côté de l'assemblage d'aimants opposé à la plaquette mobile 1, les lignes de champ ont tendance à s'annuler. Ceci permet notamment de limiter les interactions électromagnétiques avec d'autres éléments d'un dispositif. Il est bien sûr entendu que les sens des orientations magnétiques des aimants périphériques et de l'aimant central sont choisis de façon adaptée, pour que les composantes latérales des lignes de champ s'additionnent du côté de la plaquette mobile et s'annulent du coté de la face inférieure des aimants, et non l'inverse. Les figures 6A et 6B illustrent de façon schématique une variante de réalisation de la présente invention. Elles représentent une structure MEMS comprenant un micro-volet à actionnement électromagnétique, dans laquelle le micro-volet est mobile selon deux axes de rotation distincts, par exemples orthogonaux. La figure 6A est une vue de dessus. Une plaquette mobile 61 est fixée à un cadre mobile 63 lui-même fixé à un cadre fixe 65. Deux intervalles vides 67 et 69 s'étendent respectivement entre la plaquette mobile 61 et le cadre mobile 63, et entre le cadre mobile 63 et le cadre fixe 65. La plaquette 61 est reliée au cadre mobile 63 par deux bras 71a et 71b alignés de part et d'autre de la plaquette, le long d'un même axe 72. Ainsi, la plaquette 61 est mobile en rotation autour de l'axe 72. Le cadre mobile 63 est relié au cadre fixe 65 par deux bras 73a et 73b alignés de part et d'autre du cadre mobile, le long d'un même axe 74, par exemple orthogonal à l'axe 72. Ainsi, le cadre mobile 63 est mobile en rotation autour de B9825 - CNRS-03114-01

10 l'axe 74. La plaquette 61 est donc mobile, via le cadre mobile 63, selon les deux axes de rotation orthogonaux 72 et 74. De même que dans les exemples décrits en relation avec les figures 1, 2, 4 et 5, une piste conductrice 76 suit la périphérie de la face avant de la plaquette mobile 61. Les extrémités de la piste 76 (non représentées) passent par l'un des bras de fixation de la plaquette 61 et par l'un des bras de fixation du cadre mobile 63, et se terminent, sur le cadre 65, par des plots adaptés à être reliés à une alimentation.

De plus, une piste conductrice 78 suit la périphérie de la face avant du cadre mobile 63. Les extrémités de la piste 78 (non représentées) passent par l'un des bras de fixation du cadre mobile et se terminent, sur le cadre 65, par des plots adaptés à être reliés à une alimentation.

L'ensemble du cadre 65, du cadre mobile 63, et de la plaquette 61 est soumis à un champ magnétique représenté par les flèches 80, sensiblement parallèle au plan du cadre, et orienté sensiblement à 45° par rapport aux axes de rotation 72 et 74. Il est possible d'actionner individuellement chacun des axes 72 et 74 en faisant varier le signe et la valeur du courant appliqué dans chacune des pistes 76 et 78. Le mouvement de rotation de la plaquette 61 par rapport à l'axe 72 est lié à la composante du champ magnétique 80 orthogonale à l'axe 72. Le mouvement du cadre mobile 63 par rapport l'axe 74 est lié à la composante du champ magnétique 80 orthogonale à l'axe 74. La figure 6B est une vue en coupe de dessus de la structure MEMS de la figure 6A, représentant de façon schématique un assemblage de trois aimants d'orientations magnétiques distinctes, disposé sous l'ensemble, représenté en figure 6A, formé par la plaquette mobile 61, le cadre mobile 63, et le cadre 65. Cet assemblage d'aimants est adapté à créer, au niveau de la plaquette 61 et du cadre mobile 63, le champ magnétique 80 sensiblement parallèle au plan du cadre 65 et environ à 45° par rapport aux axes de rotation 72 et 74.

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11 De façon similaire au mode de réalisation décrit en relation avec la figure 5, on prévoit trois aimants 81, 83, 85 ayant, en vue de dessus, la forme de barreaux orthogonaux à la direction du champ 80, juxtaposés dans un même plan parallèle au cadre 65. Les barreaux formant les aimants 81, 83, 85, sont de préférence tronqués de façon que l'assemblage d'aimants ne déborde pas de l'ensemble formé par le cadre 65, le cadre mobile 63 et la plaquette 61. L'aimant central 81 a une orientation magnétique latérale, sensiblement parallèle au plan du cadre 65 et sensiblement à 45° par rapport aux axes de rotation 72 et 74. Les aimants périphériques 83 et 85 ont une orientation magnétique verticale, sensiblement orthogonale au plan du cadre 65. Les orientations magnétiques des aimants 83 et 85 sont de sens sensiblement opposés. Au niveau de la plaquette 61 et du cadre mobile 63, les lignes de champ créées par chacun des aimants 81, 83, 85 sont sensiblement parallèles au plan du cadre 65, sensiblement à 45° par rapport aux axes 72 et 74, et sensiblement de mêmes sens. Ces composantes s'additionnent pour créer le champ magnétique représenté en figure 6A par les flèches 80. Un avantage des modes de réalisation proposés est que les aimants sont disposés sous l'ensemble formé par la plaquette mobile et le cadre et ne débordent pas de cet ensemble. Ceci permet de réduire au moins d'un facteur deux la surface d'un micro-miroir par rapport à une structure classique du type de celle de la figure 2. En outre, l'absence d'aimants d'épaisseurs supérieures à celle du silicium, de part et d'autre du cadre, permet, dans le cas d'un micro-miroir, d'augmenter les angles d'incidence des rayons lumineux. De plus, dans les modes de réalisation proposés, le champ magnétique latéral créé au niveau de la plaquette mobile est suffisant pour obtenir des déplacements de la plaquette avec une consommation électrique réduite. Ceci est notamment lié au fait que les aimants sont placés très près des pistes B9825 - CNRS-03114-01

12 conductrices par rapport aux structures classiques. Pour réduire d'avantage la distance entre les aimants et les pistes conductrices, on pourra prévoir d'utiliser une tranche de silicium de faible épaisseur. En outre, les mouvements de la plaquette sont contrôlés par la circulation du courant dans une simple boucle disposée à la périphérie de la plaquette. Ainsi, les pertes de surface utile sur la plaquette, liées aux pistes conductrices, sont minimisées. Plus généralement, la structure à trois aimants décrite ci-dessus présente les avantages d'avoir un faible encombrement et de créer, dans un espace localisé, un fort champ magnétique latéral. La figure 7 représente un autre exemple d'application 15 d'une structure à trois aimants du type décrit ci-dessus. Dans cet exemple, l'assemblage d'aimants est utilisé pour interagir avec des microbilles magnétiques ou avec des cellules en suspension dans un dispositif d'analyse biologique. Ce dispositif comprend un canal 90 délimité par des 20 cloisons. Sous le canal 90, sont disposés trois aimants 91, 93 et 95, d'orientations magnétiques distinctes, de façon à créer, au niveau du canal, un champ magnétique latéral. Dans cet exemple, les orientations magnétiques des aimants, représentées sur la figure par des flèches, sont identiques à celles de 25 l'assemblage à trois aimants de la figure 5. Dans le canal 90, circule un fluide comprenant des microbilles magnétiques 97 (parfois désignées dans la technique par les termes "" billes super-para-magnétiques"), par exemple des billes comprenant des particules d'oxyde de fer et dont le 30 diamètre est compris entre 50 nm et 3 µm. Des particules adaptées à capturer des cibles biologiques (molécules, cellules, virus, ...) auront pu au préalable être greffées sur les billes 97. Différents types de billes et/ou différents types de particules greffées, adaptés à capturer différents types de 35 cibles biologiques peuvent être prévus. 10 B9825 - CNRS-03114-01

13 Le champ magnétique, et le gradient de champ magné-tique auquel est soumis le canal 90, permettent de piéger les billes et de séparer celles qui ont capturé une cible biologique de celles qui n'ont pas capturé de cible biologique. Ceci permet par exemple de mesurer la concentration de la cible biologique en question dans le fluide. En outre, le gradient de champ magnétique permet de séparer des billes qui ont capturé des cibles biologiques différentes. En outre, dans le fluide, peuvent également circuler des cellules susceptibles, du fait de leurs propriétés diamagnétiques ou paramagnétiques, d'être directement attirées ou repoussées par le champ et le gradient de champ générés par la structure d'aimants. On pourra alors se passer des billes 97 pour agir sur ces cellules.

Des modes de réalisation particuliers de la présente invention ont été décrits. Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, l'invention ne se limite pas à l'application décrite ci-dessus à des micro-miroirs mobiles. On saura également mettre en oeuvre le fonctionnement recherché pour tout dispositif comprenant des micro-volets mobiles à actionnement électromagnétique. On pourra également adapter l'invention à d'autres types de dispositifs comprenant des volets, des membranes, ou autres structures mobiles, par exemple des capteurs d'accélération, des gyroscopes, des capteurs de pression, et des microphones, basés sur le principe de l'actionnement électromagnétique ou la détection de mouvement à l'aide d'un champ électromagnétique. De plus, on a décrit en relation avec les figures 5 et 6B des modes de réalisation préférés de la présente invention comportant un aimant central d'orientation magnétique latérale et deux aimants périphériques d'orientations magnétiques verticales de sens opposés. L'homme de l'art saura mettre en oeuvre le fonctionnement recherché en utilisant d'autres configurations.

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14 Par ailleurs, les modes de réalisation décrits en relation avec les figures 5 et 6A, 6B prévoient deux aimants périphériques d'orientation magnétique verticale. Pour optimiser l'intensité du champ magnétique latéral au niveau de la plaquette mobile, on pourra s'il le faut utiliser des aimants périphériques ayant une orientation magnétique légèrement oblique par rapport à la verticale. De même, l'aimant central pourra être scindé en deux moitiés d'aimant d'orientations magnétiques légèrement obliques par rapport au plan du cadre et obliques l'une par rapport à l'autre. On pourra également prévoir dans l'assemblage à trois aimants, des aimants de largeurs distinctes, afin d'optimiser le champ latéral au niveau de la plaquette mobile.

Claims

REVENDICATIONS1. Micro-volet à actionnement électromagnétique comportant : une plaquette mobile (1 ; 61) en rotation autour d'un axe (11 ; 72), reliée à un cadre fixe (3 ; 65) par deux bras (7, 9 ; 71a, 71b) alignés de part et d'autre de la plaquette selon ledit axe (11 ; 72), et comportant à sa périphérie une boucle conductrice (13 ; 76) ; et sous l'ensemble formé par le cadre fixe et la plaquette mobile, un ensemble d'aimants (51, 53, 55 ; 81, 83, 85) d'orientations magnétiques distinctes, disposés de façon à créer, au niveau de la plaquette mobile, un champ magnétique latéral (43 ; 57; 80), dans le plan du cadre, oblique par rapport à l'axe de rotation.
2. Micro-volet selon la revendication 1, dans lequel, en vue de dessus, les dimensions de l'ensemble d'aimants sont strictement égales aux dimensions de l'ensemble formé par le cadre fixe et la plaquette mobile.
3. Micro-volet selon la revendication 1 ou 2, dans lequel ledit champ magnétique latéral (43) est orthogonal à l'axe de rotation (11).
4. Micro-volet selon la revendication 3, dans lequel ledit ensemble d'aimants comporte trois aimants (51, 53, 55) en forme, en vue de dessus, de barreaux parallèles à l'axe de rotation (11), juxtaposés dans un même plan parallèle au plan du cadre fixe (3), dans lequel : l'aimant central (51) est de même largeur que la plaquette mobile (1) et d'orientation magnétique latérale ; et les aimants périphériques (53, 55) sont d'orientations magnétiques orthogonales au plan du cadre et de sens opposés.
5. Micro-volet selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel les extrémités de la boucle conductrice (13 ; 76) passent par l'un desdits bras (7), et sont reliées à des plots de contact (15, 17) formés sur le cadre fixe (3 ; 65).B9825 - CNRS-03114-01 16
6. Micro-volet selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel la surface supérieure de la plaquette mobile (1 ; 61) est réfléchissante.
7. Micro-volet selon l'une quelconque des revendi-5 cations 1 à 6, comportant, au dessus du cadre fixe (3), un capot de protection.
8. Micro-volet selon la revendication 1, dans lequel la plaquette mobile (61) est reliée au cadre fixe (65) par l'intermédiaire d'un cadre mobile (63) relié au cadre fixe par 10 deux bras (73a, 73b) alignés de part et d'autre du cadre mobile selon un axe de rotation secondaire orthogonal audit axe, le cadre mobile (63) comportant une boucle conductrice (78).
9. Micro-volet selon la revendication 8, dans lequel le champ magnétique latéral est sensiblement à 45°C par rapport 15 à l'axe de rotation.