FR2948127A1 - Procede d'incrustation par un faisceau d'ions d'une couche metallique deposee sur un substrat - Google Patents
Procede d'incrustation par un faisceau d'ions d'une couche metallique deposee sur un substrat Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (11)
- REVENDICATIONS1. Procédé de traitement par un faisceau d'ions (100) d'une couche métallique (10) déposée sur un substrat (30) caractérisé en ce qu'il comprend une étape (a) d'incrustation de ladite couche métallique dans le substrat où . - la couche métallique (10) a une épaisseur, eincrust, comprise entre 0,2 nm à 1000 nm (nanomètre) ; - les ions du faisceau d'ions sont sélectionnés parmi les ions des éléments de la liste constituée de l'hélium (He), du bore (B), du carbone (C), de l'azote (N), de l'oxygène (0), du néon (Ne), de l'argon (Ar), du krypton (Kr), du xénon (Xe) ; - la tension d'accélération des ions est supérieure ou égale à 10 kV et inférieure ou égale à 1000 kV ; - la température de la couche métallique (10) est inférieure ou égale à Tf, où Tf est la température de fusion du métal de ladite couche métallique (10) ; - on choisit la dose d'ions par unité de surface dans une plage comprise entre 1012 ions/cm2 et 1019 ions/cm2 de manière à incruster dans le substrat la couche métallique (10) pour produire des composés métalliques dans une couche hybride métallique (50) dont l'épaisseur maximale est comprise entre 0,2 nm et 1000 nm.
- 2. Procédé selon la revendication précédente caractérisé en ce que la dose d'ions par unité de surface est comprise entre 1014 ions/cm2 et 1018 ions/cm2.
- 3. Procédé selon l'une quelconque des revendications 30 précédentes caractérisé en ce que la tension d'accélération des ions est comprise entre 20 kV et 200 kV.
- 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce qu'il comprend en outre une étape (aa) de pulvérisation et de préincrustation de la couche métallique, précédant l'étape (a) d'incrustation de la couche métallique, consistant à réduire l'épaisseur initiale, epäiv + eincrust, d'une couche métallique (20, 10) déposée sur le substrat (30) par bombardement ionique jusqu'à ce que ladite couche atteigne l'épaisseur eincrust et qu'une couche hybride métallique (40) soit produite dans le substrat.
- 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que l'étape (a) d'incrustation de la couche métallique (10) est mise en oeuvre avec des ions légers, choisis parmi les ions des éléments de la liste constituée de l'hélium (He), du bore (B), du carbone (C), de l'azote (N), de l'oxygène (0), du néon (Ne), de l'argon (Ar).
- 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que le substrat (30) et la couche métallique (10, 20) sont mobiles par rapport au faisceau d'ions (100) à une vitesse, V0, comprise entre 0,1 mm/s et 1000 mm/s.
- 7. Procédé selon la revendication précédente caractérisé en ce qu'une même zone de la couche métallique (10, 20) est déplacée sous le faisceau d'ions (100) selon 25 une pluralité, N, de passages à la vitesse VD.
- 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que la couche métallique (10, 20) est constituée d'un métal ou d'un alliage de ce métal, où le métal est choisi parmi la liste constituée de 30 l'aluminium (Al), du titane (Ti), du vanadium (V), du chrome (Cr), du fer (Fe), du cobalt (Co), du nickel (Ni), du cuivre (Cu), du zinc (Zn), du gallium (Ga), du germanium (Ge), letellure (Te), de l'yttrium (Y), du niobium (Nb), du molybdène (Mo), du ruthénium (Ru), du rhodium (Rh), du palladium (Pd), de l'argent (Ag), de l'étain (Sn), de l'antimoine (Sb), de l'hafnium (Hf), du tantale (Ta), du tungstène (W), du cérium (Ce), de l'osmium (Os), de l'iridium (Ir), du platine (Pt), de l'or (Au), le plomb (Pb).
- 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que le substrat (30) est constitué d'un matériau choisi parmi la liste constituée des céramiques, des verres, des semi-conducteurs, des métaux, des polymères.
- 10. Substrat (30) incrusté de couches hybrides métalliques(50) dont l'épaisseur est comprise entre 0,2 nm et 500 nm, obtenu selon le procédé d'une quelconque des revendications précédentes, où lesdites couches hybrides métalliques ont fait l'objet d'une opération de structuration 3D.
- 11. Dispositif électronique comprenant une zone de conduction électrique comprenant au moins un substrat (30) une couche hybride métallique (50) obtenue selon le procédé d'une quelconque des revendications de 1 à 9.
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CN106521444B (zh) * | 2016-10-21 | 2018-10-02 | 清华大学 | 处理M50NiL轴承钢的方法、强化M50NiL轴承钢以及轴承 |
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