FR2922677B1 - Pointe destinee a un capteur pour microscope a champ proche et procede de fabrication associe - Google Patents

Pointe destinee a un capteur pour microscope a champ proche et procede de fabrication associe

Info

Publication number
FR2922677B1
FR2922677B1 FR0758520A FR0758520A FR2922677B1 FR 2922677 B1 FR2922677 B1 FR 2922677B1 FR 0758520 A FR0758520 A FR 0758520A FR 0758520 A FR0758520 A FR 0758520A FR 2922677 B1 FR2922677 B1 FR 2922677B1
Authority
FR
France
Prior art keywords
sensor
manufacturing
point
same
near field
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
FR0758520A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2922677A1 (fr
Inventor
Armel Descamps
Volodymyr Lysenko
Brice Gautier
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
INST NAT SCIENCES APPLIQ
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Institut National des Sciences Appliquees de Lyon
Original Assignee
INST NAT SCIENCES APPLIQ
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Institut National des Sciences Appliquees de Lyon
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by INST NAT SCIENCES APPLIQ, Centre National de la Recherche Scientifique CNRS, Institut National des Sciences Appliquees de Lyon filed Critical INST NAT SCIENCES APPLIQ
Priority to FR0758520A priority Critical patent/FR2922677B1/fr
Priority to PCT/EP2008/064337 priority patent/WO2009053419A1/fr
Publication of FR2922677A1 publication Critical patent/FR2922677A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2922677B1 publication Critical patent/FR2922677B1/fr
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q70/00General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
    • G01Q70/08Probe characteristics
    • G01Q70/14Particular materials
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q60/00Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
    • G01Q60/18SNOM [Scanning Near-Field Optical Microscopy] or apparatus therefor, e.g. SNOM probes
    • G01Q60/22Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
FR0758520A 2007-10-23 2007-10-23 Pointe destinee a un capteur pour microscope a champ proche et procede de fabrication associe Expired - Fee Related FR2922677B1 (fr)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0758520A FR2922677B1 (fr) 2007-10-23 2007-10-23 Pointe destinee a un capteur pour microscope a champ proche et procede de fabrication associe
PCT/EP2008/064337 WO2009053419A1 (fr) 2007-10-23 2008-10-23 Pointe destinée à un capteur pour microscope à champ proche et procédé de fabrication associé.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0758520A FR2922677B1 (fr) 2007-10-23 2007-10-23 Pointe destinee a un capteur pour microscope a champ proche et procede de fabrication associe

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2922677A1 FR2922677A1 (fr) 2009-04-24
FR2922677B1 true FR2922677B1 (fr) 2012-04-13

Family

ID=38982667

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR0758520A Expired - Fee Related FR2922677B1 (fr) 2007-10-23 2007-10-23 Pointe destinee a un capteur pour microscope a champ proche et procede de fabrication associe

Country Status (2)

Country Link
FR (1) FR2922677B1 (fr)
WO (1) WO2009053419A1 (fr)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0413042B1 (fr) * 1989-08-16 1992-12-16 International Business Machines Corporation Méthode de production de détecteurs micromécaniques pour la profilométrie AFM/STM et tête micromécanique détectrice AF/STM
DE19504662C2 (de) * 1995-02-13 1998-01-15 Wolfgang M Prof Dr Heckl Optische Nahfeldsonde
DE10228123B4 (de) * 2002-06-24 2011-09-15 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Verfahren und Vorrichtungen zur Erfassung von optischen Nahfeldwechselwirkungssignalen
US7118679B2 (en) * 2004-07-30 2006-10-10 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method of fabricating a sharp protrusion
US20060076487A1 (en) * 2004-10-08 2006-04-13 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor probe, method of manufacturing the same, and method and apparatus for analyzing semiconductor surface using semiconductor probe

Also Published As

Publication number Publication date
FR2922677A1 (fr) 2009-04-24
WO2009053419A1 (fr) 2009-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2945529B1 (fr) Piece a base de materiau composite c/c et procede pour sa fabrication.
FR2943175B1 (fr) Procede de fabrication d'une unite electronique et l'unite electronique obtenue
FR2933884B1 (fr) Procede de fabrication d'une piece d'aubage.
FR2898431B1 (fr) Procede de fabrication de film mince
DK2152644T3 (da) Fremgangsmåde til fremstilling af et emne til byggeindustrien
FR2923494B1 (fr) Membranes imper-respirantes et leur procede de fabrication
FR2931293B1 (fr) Procede de fabrication d'une heterostructure support d'epitaxie et heterostructure correspondante
FR2935357B1 (fr) Procede de fabrication d'un element de nacelle
FR2910502B1 (fr) Procede de fabrication et element de structure
FR2934808B1 (fr) Procede de fabrication d'une piece en materiau composite et dispositif associe
FR2947784B1 (fr) Module de camera et son procede de fabrication
EP2220698A4 (fr) Procédé de fabrication d'un substrat pour des applications de capteur utilisant des caractéristiques optiques et substrat obtenu par ce procédé
FR2939564B1 (fr) Capteur et son procede de fabrication
FR3006113B1 (fr) Procede de fabrication d'un capteur piezoelectrique souple
FR2978243B1 (fr) Dispositif de capteur a ultrasons et son procede de fabrication
FR2989485B1 (fr) Capteur tactile et procede de fabrication d'un tel capteur
FR2960453B1 (fr) Procede de fabrication d'une puce microfluidique, puce et plaque associees
FR2958403B1 (fr) Capteur a ondes infrarouges evanescentes et son procede de fabrication
FR2955211B1 (fr) Element de capteur pour la mesure d'un champ magnetique, capteur realise avec un tel element et son procede de realisation
FR2919741B1 (fr) Procede de fabrication d'un insert comportant un dispositif rfid
FR2920916B1 (fr) Procede de fabrication d'un capteur d'approche etanche aux conditions environnementales exterieures, capteur d'approche etanche aux conditions environnementales exterieures et poignee associee
FR2915143B1 (fr) Procede de fabrication d'une cloison anti-recyclage d'air.
FR2905882B1 (fr) Procede de fabrication de micro et/ou nanothermites et nanothermites associees.
FR2910941B1 (fr) Actionneur pyrotechnique et son procede de fabrication.
FR2895389B1 (fr) Capteur micromecanique a thermopile et procede de fabrication

Legal Events

Date Code Title Description
TP Transmission of property
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 10

ST Notification of lapse

Effective date: 20180629