FR2895924A1 - METHOD FOR BRAKING BETWEEN AT LEAST TWO STACKED BODIES - Google Patents
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Abstract
Conformément à ce procédé de brasage, on dirige un laser (24) sur une face d'extrémité (F) de la pile (18) de façon à ce que le laser (24) chauffe la pile (18). On règle au moins un paramètre du laser (24) à une valeur qui est l'image par un modèle mathématique d'au moins une caractéristique thermique de la pile (18). Le paramètre du laser (24) est un paramètre choisi parmi une durée d'irradiation, une surface d'irradiation de la face d'extrémité de la pile par le laser et une puissance d'irradiation du aser (24).In accordance with this soldering method, a laser (24) is directed on an end face (F) of the cell (18) so that the laser (24) heats the cell (18). At least one parameter of the laser (24) is set to a value which is the image by a mathematical model of at least one thermal characteristic of the stack (18). The laser parameter (24) is a parameter selected from an irradiation time, an irradiation surface of the end face of the cell by the laser and an irradiation power of the aser (24).
Description
-1- La présente invention concerne un procédé de brasage entre eux d'auThe present invention relates to a brazing process between them from
moins deux éléments empilés, un procédé de réalisation d'un modèle mathéma.:ique pour la mise en oeuvre du procédé de brasage et un module électronique. Elle s'applique plus particulièrement au brasage d'un module électronique comprenant un premier élément formant support, par exemple un circuit imprimé, sur lequel sont empilés au moins des deuxième et troisième éléments formant organes électriques, les trois éléments étant brasés entre eux. L'empilement des organes électroniques sur le support permet d'obtenir un module électronique relativement compact. at least two stacked elements, a method for producing a mathematical model for implementing the soldering method and an electronic module. It applies more particularly to the brazing of an electronic module comprising a first support element, for example a printed circuit, on which are stacked at least second and third elements forming electrical organs, the three elements being brazed together. Stacking the electronic components on the support makes it possible to obtain a relatively compact electronic module.
On connaît déjà dans l'état de la technique un procédé de brasage entre eux d'au moins deux éléments empilés formant une pile, du type dans lequel on dirige un laser sur une face d'extrémité de la pile de façon à ce que le laser chauffe la pile et on règle au moins un paramètre du laser. Habituellement, le paramètre du laser est un paramètre choisi parmi une durée d'irradiation, une surface d'irradiation de la face d'extrémité de la pile par le laser et une puissance d'irradiation du laser. La pile comprend par exemple un support formant circuit impr mé (premier élément de la pile) et une pastille semi-conductrice (deuxième élément de lia pile). Entre ces deux éléments est intercalée une masse formant brasure. Already known in the state of the art a brazing process between them of at least two stacked elements forming a stack, of the type in which a laser is directed on an end face of the stack so that the The laser heats the battery and adjusts at least one parameter of the laser. Usually, the laser parameter is a parameter selected from an irradiation time, an irradiation area of the end face of the cell by the laser and a laser irradiation power. The stack comprises, for example, a printed circuit support (first element of the battery) and a semiconductor chip (second element of the battery). Between these two elements is interposed a solder mass.
La pile est caractérisée par certaines particularités thermiques, rotamment la température critique de la pastille semi-conductrice au-delà de laquelle lit pastille est détruite et la température de fusion de la brasure qui doit être inférieure à la température critique de la pastille semi-conductrice. En général, on règle chaque paramètre du laser de façon empirique à une valeur telle que, d'une part, la température maximale atteinte de la pile n'excède pas la température critique de la pastille semi-conductrice et, d'autre part, que la température maximale atteinte de la pile soit supérieure à la température de fusion de la masse formant brasure. Ainsi, dans le cas d'une pile comprenant seulement deux éléments, le réglage de la valeur de chaque paramètre du laser peut être réalisé empiriquement du fait que le nombre de caractéristiques thermiques de la pile à prendre en compte est lim té. Or, le nombre de caractéristiques thermiques dont il faut tenir compte augmente avec le nombre d'éléments de la pile. Par conséquent, lorsque la pile comprend au moins trois éléments, un réglage empirique de la valeur du paramètre est trop aléatoire pour tenir compte de l'ensemble des caractéristiques thermiques de la pile et peut conduire à une brasur3 de qualité The stack is characterized by certain thermal features, rotatically the critical temperature of the semiconductor chip beyond which the pellet bed is destroyed and the solder melting temperature which must be lower than the critical temperature of the semiconductor chip . In general, each parameter of the laser is adjusted empirically to a value such that, on the one hand, the maximum temperature reached of the cell does not exceed the critical temperature of the semiconductor chip and, on the other hand, that the maximum temperature reached of the cell is greater than the melting temperature of the solder mass. Thus, in the case of a battery comprising only two elements, the setting of the value of each parameter of the laser can be achieved empirically because the number of thermal characteristics of the battery to be taken into account is limited. However, the number of thermal characteristics that must be taken into account increases with the number of elements in the stack. Therefore, when the stack comprises at least three elements, an empirical setting of the parameter value is too random to take into account all the thermal characteristics of the cell and can lead to a quality brazur3.
-2- relativement médiocre entre deux éléments de la pile voire à un endommagement d'un des éléments de la pile. L'invention a pour but de proposer un procédé de brasage ertre eux d'au moins deux éléments empilés dans lequel le réglage de la valeur du paramètre du laser est relativement rapide et précis, ceci quel que soit le nombre d'éléments de la pile. A cet effet, l'invention a pour objet un procédé de brasage du type précité, caractérisé en ce que l'on règle le paramètre à une valeur qui est l'image par un modèle mathématique d'au moins une caractéristique thermique de la pile. Ainsi, de façon avantageuse, il est possible de déterminer rapidement et précisément la valeur du paramètre du laser grâce au modèle mathématique. Le modèle mathématique peut être implémenté sous la forme d'un programme d'ordinateur fournissant une valeur de réglage du paramètre laser précise et adaptée, contrairement aux procédés empiriques classiques. Le procédé de brasage selon l'invention peut en outre comporter les caractéristiques : - le paramètre du laser est un paramètre choisi parmi une durée d'irradiation, une surface d'irradiation de la face d'extrémité de la pile par le laser et une puissance d'irradiation du laser ; - la caractéristique thermique de la pile est choisie parmi une température critique d'endommagement d'un élément de la pile, une température de fusion d'une masse formant brasure intercalée entre deux éléments de la pile et une température d'un matériau synthétique bordant un des éléments de la pile. L'invention a encore pour objet un procédé de réalisation ^l'un modèle mathématique pour la mise en oeuvre du procédé de brasage selon l'invention, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes, conformes à un plan expérimental : - de réglage de la valeur du paramètre du laser, - de relevé des températures sur une zone d'au moins un échantillon d'au moins une partie de la pile pendant une durée d'irradiation d'une première face d'extrémité de l'échantillon par le laser, de sélection d'au moins une température remarquable parmi les températures relevées, et en ce qu'il comprend également une étape de définition du modèle mathématique de manière à ce qu'un vecteur ayant au moins pour coordonnée la valeur -2- relatively poor between two elements of the stack or damage to one of the elements of the stack. The object of the invention is to propose a brazing process for at least two stacked elements in which the adjustment of the value of the laser parameter is relatively fast and accurate, regardless of the number of elements in the stack. . For this purpose, the object of the invention is a brazing process of the aforementioned type, characterized in that the parameter is set to a value which is the image by a mathematical model of at least one thermal characteristic of the stack. . Thus, advantageously, it is possible to quickly and accurately determine the value of the laser parameter using the mathematical model. The mathematical model can be implemented in the form of a computer program providing an accurate and adapted laser parameter setting value, in contrast to conventional empirical methods. The soldering method according to the invention may further comprise the characteristics: the parameter of the laser is a parameter chosen from an irradiation time, an irradiation surface of the end face of the cell by the laser and a irradiation power of the laser; the thermal characteristic of the cell is chosen from a critical temperature of damage to an element of the cell, a melting point of a solder mass interposed between two elements of the cell and a temperature of a synthetic material bordering one of the elements of the pile. The subject of the invention is also a process for producing a mathematical model for carrying out the brazing process according to the invention, characterized in that it comprises the following steps, which conform to an experimental plan: adjusting the value of the laser parameter, - measuring temperatures over an area of at least one sample of at least a portion of the stack during a period of irradiation of a first end face of the sample by the laser, selecting at least a remarkable temperature from the temperatures measured, and in that it also comprises a step of defining the mathematical model so that a vector having at least the coordinate value
-3- du paramètre du laser soit l'image par le modèle mathématique d'un vecteur ayant au moins pour coordonnée la température remarquable. Un procédé de réalisation d'un modèle mathématique selon l'invention peut en outre comporter les caractéristiques suivantes : - le modèle mathématique comprend au moins une fonction mathématique de type polynomiale ; - la zone s'étend sur une deuxième face d'extrémité de l'échantillon et les températures remarquables sont des températures maximales relevées dans une sous-zone remarquable de cette zone ; - la sous-zone remarquable sépare une partie de la zone destinée à être recouverte d'une masse formant brasure d'une autre partie de la zone destinée à ne pas être recouverte de la masse formant brasure ; - la sous-zone est la projection sur la deuxième face d'extrémité de l'échantillon de la surface d'irradiation du laser ; - un élément de l'échantillon comprenant une partie métallique bordée par une partie en matériau synthétique, la sous-zone remarquable sépare la partie métallique de la partie en matériau synthétique ; - préalablement à l'étape de relevé des températures, on noircit la zone de l'échantillon ; - les températures sont relevées à partir d'un traitement d'une image infrarouge de la zone de l'échantillon ; - le plan expérimental est un plan du type choisi parmi un plan E3ox Behnken, un plan central composite et un plan D-optimal ; - le modèle mathématique est déterminé à partir d'une méthode d'analyse de la variance des températures remarquables. L'invention a encore pour objet un module électronique comprenant un premier élément formant support sur lequel sont empilés au moins des deuxième et troisième éléments formant organes électriques, les trois éléments étant brasés entre eux, caractérisé en ce que les trois éléments sont brasés entre eux par irradiation du module électronique par un laser. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple et faite en se référant aux dessins dan;, lesquels : la figure 1 est une vue schématique d'un module électronique selon l'invention ; - les figures 2 à 4 sont des vues schématiques d'échantillons du module électronique de la figure 1 à différentes étapes d'un procédé Je réalisation -3- of the laser parameter is the image by the mathematical model of a vector having at least coordinate the remarkable temperature. A method for producing a mathematical model according to the invention may further comprise the following characteristics: the mathematical model comprises at least one mathematical function of polynomial type; the zone extends on a second end face of the sample and the remarkable temperatures are maximum temperatures observed in a remarkable sub-zone of this zone; the remarkable sub-zone separates a part of the zone intended to be covered with a solder mass from another part of the zone intended not to be covered with the solder mass; the sub-zone is the projection on the second end face of the sample of the irradiation surface of the laser; an element of the sample comprising a metal part bordered by a part made of synthetic material, the remarkable sub-area separating the metal part from the part made of synthetic material; - prior to the temperature reading step, blacken the sample area; the temperatures are recorded from a treatment of an infrared image of the sample area; the experimental plane is a plane of the type chosen from a Behnken E3ox plane, a composite central plane and a D-optimal plane; the mathematical model is determined from a method for analyzing the variance of the remarkable temperatures. The subject of the invention is also an electronic module comprising a first support element on which at least second and third elements forming electrical elements are stacked, the three elements being brazed together, characterized in that the three elements are brazed together. by irradiating the electronic module with a laser. The invention will be better understood on reading the description which follows, given solely by way of example and with reference to the drawings in which: FIG. 1 is a schematic view of an electronic module according to FIG. invention; FIGS. 2 to 4 are schematic views of samples of the electronic module of FIG. 1 at different stages of a method;
-4- d'un modèle mathématique pour la mise en oeuvre d'un procédé de brasage selon l'invention. On a représenté sur la figure 1 un module électronique selon l' nvention. Ce module électronique est désigné par la référence générale 10. -4- of a mathematical model for the implementation of a brazing process according to the invention. FIG. 1 shows an electronic module according to the invention. This electronic module is designated by the general reference 10.
Le module électronique 10 comprend un premier élément 12. Dans l'exemple décrit, le premier élément 12 forme un support. Dans l'exemple illustré, le support 12 comporte une partie PVI métallique bordée partiellement par une partie PS en matériau synthétique (plastique). Le support 12 peut être, de façon avantageuse un substrat de circuit imprimé. The electronic module 10 comprises a first element 12. In the example described, the first element 12 forms a support. In the example illustrated, the support 12 comprises a metal PVI portion partially bordered by a PS portion of synthetic material (plastic). The support 12 may advantageously be a printed circuit substrate.
En variante, le support 12 peut être réalisé dans un matériau céramique. Le module électronique 10 comprend également des deuxième 14 et troisième 16 éléments empilés selon un axe vertical X sur la partie métallique PM du support 12 de manière à ce que les trois éléments 12, 14 et 16 forment une pile 18. Les deuxième et troisième éléments 14 et 16 forment par ,:xemple des organes électroniques de type pastille semi-conductrice. Les éléments de la pile 18 sont brasés entre eux conformément é un procédé de brasage selon l'invention par irradiation du module électronique 10 par un laser 24. Ainsi, dans l'exemple illustré, des première 20 et deuxième 22 masses formant brasure sont intercalées respectivement entre le support 12 et la pastille 14 et entre la pastille 14 et la pastille 16. De façon classique, les masses formant brasure 20 et 22 sont des masses de pâte ou des masses découpées dans un ruban et rapportées entre les éléments 12 à 16 de la pile 18 avant leur brasage. En variante, les masses formant brasure peuvent être formées par des revêtements des pastilles 14 et 16, solidaires de ces pastilles avant leu' brasage, le matériau des revêtements pouvant être dans ce cas de l'argent, de l'or, de l'Étain, etc. La chaleur, permettant de faire fondre les masses formant brasure 20 et 22 et ainsi de braser entre eux les trois éléments, est créée par l'irradiation du module électronique 10 par un laser 24 émis par une source laser (non représentée). Alternatively, the support 12 may be made of a ceramic material. The electronic module 10 also comprises second 14 and third 16 elements stacked along a vertical axis X on the metal part PM of the support 12 so that the three elements 12, 14 and 16 form a stack 18. The second and third elements 14 and 16 form, by way of example, semi-conductive pellet electronic devices. The elements of the cell 18 are brazed together according to a soldering method according to the invention by irradiation of the electronic module 10 by a laser 24. Thus, in the illustrated example, first 20 and second 22 solder masses are interposed respectively between the support 12 and the pellet 14 and between the pellet 14 and the pellet 16. In a conventional manner, the solder materials 20 and 22 are dough masses or masses cut in a ribbon and reported between the elements 12 to 16 of the battery 18 before soldering. In a variant, the solder-forming masses may be formed by coatings of the pellets 14 and 16, integral with these pellets before soldering, the coating material being in this case silver, gold, silver, Pewter, etc. The heat, for melting the solder masses 20 and 22 and thus brazing the three elements together, is created by the irradiation of the electronic module 10 by a laser 24 emitted by a laser source (not shown).
La source laser peut comporter, par exemple, une diode laser émettant un faisceau laser, notamment du type à infrarouge. Le laser 24 est dirigé sur une face d'extrémité F1 de la pile 18 de façon à chauffer la pile 18. Plus particulièrement, le laser 24 est focalisé par des moyens 26 de focalisation du laser 24 sur une surface S d'irradiation de la partie métallique PM du support 12 par le laser 24. The laser source may comprise, for example, a laser diode emitting a laser beam, in particular of the infrared type. The laser 24 is directed on an end face F1 of the cell 18 so as to heat the cell 18. More particularly, the laser 24 is focused by means 26 for focusing the laser 24 on an irradiation surface S of the laser. PM metal part of the support 12 by the laser 24.
-5- Afin de chauffer suffisamment la pile 18 pour faire fondre les masses de brasure 20 et 22 sans endommager aucun des trois éléments de la pile 18, le laser 24 est muni de moyens de réglage (non représentés) d'une valeur d'au moins un paramètre du laser 24. In order to sufficiently heat the cell 18 to melt the brazing masses 20 and 22 without damaging any of the three elements of the cell 18, the laser 24 is provided with adjustment means (not shown) with a value of at least one parameter of the laser 24.
Dans l'exemple décrit, les paramètres du laser 24 sont une duré: d'irradiation D, la surface d'irradiation S par le laser 24 de la face d'extrémité F1 et une puissance d'irradiation P du laser 24. Les valeurs des paramètres D, S, P du laser 24 sont réglées de sorte à tenir compte de caractéristiques thermiques de la pile 18, notamment des températures de fusion des masses de brasure 20 et 22, des températures critiques des trois éléments de la pile 18 (lorsqu'un élément est chauffé au delà de sa température critique, il est détruit), ainsi que de la température de fusion du matériau synthétique bordant le support 12. Par exemple, la température de fusion des masses formant brasure est de l'ordre de 300 C et les températures critiques des trois éléments de la pile 18 sont de l'ordre de 500 C. Conformément au procédé de brasage de l'invention, on ràgle chaque paramètre du laser 24 à une valeur qui est l'image par un modèle mathématique M d'au moins une caractéristique thermique de la pile 18. On décrira ci-dessous un procédé de réalisation du modèle mathématique M selon l'invention, en référence aux figures 2 à 4. Afin de réaliser le modèle mathématique M, on suit les étapes suivantes, conformes à un plan expérimental. De façon connue en soi, un plan expérimental permet de définir an nombre N d'expériences à réaliser pour obtenir un modèle mathématique suffisammenr: précis, ainsi que de définir pour chaque expérience, les valeurs des paramètres à régler. Par exemple, le plan expérimental est un plan du type choisi parmi un plan Box Behnken, un plan central composite et un plan D-optimal. D'autres plans expérimentaux classiques peuvent être utilisés. Ainsi, dans l'exemple décrit, le plan expérimental définit un ensemble E de valeurs de paramètres du laser 24 comprenant : un nombre ND de valeurs Di de durée d'irradiation D du laser comprises entre une valeur minimale Dmin et une valeur maximale Dmax, par exemple entre 200 ms et 700 ms, - un nombre Np de valeurs Pi de puissance d'irradiation P comprises entre une valeur minimale Pmin et une valeur maximale Pmax , par exemple entre 700W et 2000W, In the example described, the parameters of the laser 24 are a duration: of irradiation D, the irradiation surface S by the laser 24 of the end face F1 and a irradiation power P of the laser 24. The values parameters D, S, P of the laser 24 are adjusted so as to take into account the thermal characteristics of the battery 18, in particular the melting temperatures of the brazing masses 20 and 22, the critical temperatures of the three elements of the battery 18 (when an element is heated beyond its critical temperature, it is destroyed), as well as the melting temperature of the synthetic material bordering the support 12. For example, the melting point of the brazing masses is of the order of 300 C and the critical temperatures of the three elements of the battery 18 are of the order of 500 C. In accordance with the soldering method of the invention, each parameter of the laser 24 is adjusted to a value which is the image by a mathematical model M of at least one thermal characteristic of the battery 18. A method of producing the mathematical model M according to the invention will be described below, with reference to FIGS. 2 to 4. In order to carry out the mathematical model M, the following steps, in accordance with a experimental plan. In a manner known per se, an experimental design makes it possible to define a number N of experiments to be performed in order to obtain a sufficiently accurate mathematical model, as well as to define for each experiment the values of the parameters to be adjusted. For example, the experimental plan is a plane of the type chosen from a Behnken Box plan, a composite central plan and a D-optimal plan. Other conventional experimental designs can be used. Thus, in the example described, the experimental plane defines a set E of parameter values of the laser 24 comprising: a number ND of irradiation time D values D of the laser between a minimum value Dmin and a maximum value Dmax, for example between 200 ms and 700 ms, a number Np of values Pi of irradiation power P between a minimum value Pmin and a maximum value Pmax, for example between 700W and 2000W,
-6- un nombre NS de valeurs Si de surface d'irradiation S compri:;es entre une valeur minimale Smin et une valeur maximale Smax. Ainsi, le plan expérimental définit le nombre N d'expériences à réaliser, ces N expériences étant choisies, par exemple, parmi les combinaisons possibles des différentes valeurs des paramètres du laser, par exemple N= ND x Np x N;; dans le cas d'un plan expérimental dit complet ou N < ND x Np x NS dans le cas d'un plan expérimental dit fractionnaire , notamment du type Box Behnken, central composite ou D-optimal. De ce fait, pour chaque expérience du plan expérimental, on règle les paramètres D, S, P du laser respectivement à des valeurs Di, S;, P; cornprises dans l'ensemble E défini par le plan expérimental. Dans un premier temps, on forme un premier échantillon 28 d'une partie de la pile 18 (figure 2). On voit sur la figure 2, que le premier échantillon 28 comprend uniquement le premier élément de la pile 18, à savoir le support 12. A number NS of values S 1 of irradiation area S between a minimum value Smin and a maximum value Smax. Thus, the experimental design defines the number N of experiments to be performed, these N experiments being chosen, for example, from the possible combinations of the different values of the parameters of the laser, for example N = ND x Np × N; in the case of a so-called complete experimental design or N <ND x Np x NS in the case of a fractional experimental design, in particular of the Box Behnken, central composite or D-optimal type. As a result, for each experiment of the experimental plane, the parameters D, S, P of the laser are respectively adjusted to values Di, S, P; in the set E defined by the experimental plan. In a first step, a first sample 28 is formed of a portion of the stack 18 (FIG. 2). It can be seen in FIG. 2 that the first sample 28 comprises only the first element of the battery 18, namely the support 12.
Le premier échantillon 28 comprend une première face FI d'extrémité correspondant à la face inférieure du support 12 et une deuxième face F2 d'extrémité correspondant à la face supérieure du support 12. On réalise alors les N expériences définies par le plan expérirental sur ce premier échantillon 28. The first sample 28 comprises a first end face FI corresponding to the lower face of the support 12 and a second end face F2 corresponding to the upper face of the support 12. The N experiments defined by the experimental plan are then carried out on this surface. first sample 28.
Pour chaque expérience, on règle les paramètres D, S, P du laser 24 respectivement à des valeurs D;, S;, Pi de l'ensemble E. On définit alors un vecteur paramètre VP; ayant pour première, deuxième et troisième coordonnées respectivement les valeurs D;, Si et Pi des trois paramètres D, S, P du laser 24. On dirige le laser 24 sur la première face d'extrémité F1 pendent une durée d'irradiation D (réglée à la valeur D;) de cette face F1 par le laser 24 de façcn à ce que le laser 24 chauffe le premier échantillon 28. Au cours d'une première étape, on relève alors des températures sur une zone Z1 du premier échantillon 28. Dans l'exemple illustré, la zone Z1 s'étend sur la deuxième face d'extrémité F2 opposée à la première face F1 d'extrémité du premier échantillon 28. De préférence, les températures sont relevées à partir d'un tra tement d'une image infrarouge de la zone Z1 de l'échantillon 28. L'image infrarouge est obtenue par des moyens classiques d'acquisition d'une image infrarouge comprenant, par exemple, une caméra infrarouge 30. For each experiment, the parameters D, S, P of the laser 24 are respectively adjusted to values D 1, S 1, Pi of the set E. Then a parameter vector VP is defined; having for first, second and third co-ordinates, respectively, the values D1, Si and P1 of the three parameters D, S, P of the laser 24. The laser 24 is directed on the first end face F1 during an irradiation duration D ( set to the value D;) of this face F1 by the laser 24 so that the laser 24 heats the first sample 28. In a first step, temperatures are then recorded on a zone Z1 of the first sample 28 In the illustrated example, the zone Z1 extends on the second end face F2 opposite to the first end face F1 of the first sample 28. Preferably, the temperatures are read from a treatment of an infrared image of the zone Z1 of the sample 28. The infrared image is obtained by conventional means of acquiring an infrared image comprising, for example, an infrared camera 30.
-7- La caméra 30 est, par exemple, munie d'un objectif 32 avec ur grand angle de champ adapté à la dimension de la zone Z1 et avec un grandissement suffisant pour obtenir une bonne résolution des éléments pertinents de la zone Z1. Par ailleurs, la caméra 30 permet, par exemple, une acquisition des images à une fréquence de l'ordre de 50 Hz. Ainsi, pour une durée d'irradiation C) du premier échantillon 28 par le laser 24 d'une valeur D, = 500 ms, il est possible d'obtenir 25 images de la zone Z1. De préférence, avant de relever les températures sur la zone Z1 du premier échantillon 28, on noircit la zone Z1 (par exemple en la recouvrant d'un revêtement noir (peinture, etc)) de manière à former un corps noir . Au cours d'une seconde étape, on sélectionne des .:empératures remarquables parmi les températures relevées. De préférence, les températures remarquables sont trois températures maximales relevées respectivement dans trois sous-zones remarquables SZ1A, SZ1B, SZ1 C de la zone Z1 du premier échantillon 28. En effet, la répartition des températures n'est pas uniforme dans le premier échantillon 28 et les températures sont plus élevées à proximité de I,a surface S d'irradiation de la pile 18 par le laser 24. La première sous-zone SZ1A remarquable sépare une partie PI de la zone Z1 destinée à être recouverte de la masse de brasure 20 d'une autre partie F'2 de la zone Z1 destinée à ne pas être recouverte de la masse de brasure 20. La deuxième sous-zone SZ1B remarquable est la projection sur la deuxième face d'extrémité F2 du premier échantillon 28 de la surface S d'irradiation du laser. La troisième sous-zone SZ1 C remarquable sépare la partie métallique PM de la partie en matériau synthétique PS. Pour chaque expérience, on définit trois premières coordonnées d'un vecteur température VT, comme étant les trois températures maximales respeclivement des sous-zones SZ1A, SZ1B, SZ1 C correspondant au réglage des paramètres Ju laser aux valeurs D;, Si et P; du vecteur paramètre VP;. The camera 30 is, for example, provided with a lens 32 with a large field angle adapted to the size of the zone Z1 and with a magnification sufficient to obtain a good resolution of the relevant elements of the zone Z1. Moreover, the camera 30 allows, for example, an acquisition of the images at a frequency of the order of 50 Hz. Thus, for an irradiation time C) of the first sample 28 by the laser 24 of a value D, = 500 ms, it is possible to obtain 25 images of zone Z1. Preferably, before raising the temperatures on the zone Z1 of the first sample 28, the zone Z1 is blackened (for example by covering it with a black coating (paint, etc.)) so as to form a black body. In a second step, remarkable temperatures are selected from the temperatures measured. Preferably, the remarkable temperatures are three maximum temperatures found respectively in three remarkable subzones SZ1A, SZ1B, SZ1 C of the zone Z1 of the first sample 28. In fact, the distribution of temperatures is not uniform in the first sample 28 and the temperatures are higher near the irradiation surface of the cell 18 by the laser 24. The first remarkable subzone SZ1A separates a portion P1 from the zone Z1 intended to be covered with the solder mass. 20 of another part F'2 of the zone Z1 intended not to be covered with the solder mass 20. The second sub-area SZ1B remarkable is the projection on the second end face F2 of the first sample 28 of the S irradiation surface of the laser. The third subzone SZ1 C remarkable separates the metal part PM of the synthetic material part PS. For each experiment, three first coordinates of a temperature vector VT are defined as being the three maximum temperatures respectively of the subzones SZ1A, SZ1B, SZ1 C corresponding to the setting of the laser parameters Ju to the values D ;, Si and P; the VP parameter vector ;.
Dans un deuxième temps, on forme un deuxième échantillon 34 d'une partie de la pile 18 (figure 3). On voit sur la figure 3, que le deuxième échantillon 34 comprend uniquement les deux premiers éléments de la pile 18, à savoir le support 12 et la pastille 14. Dans le deuxième échantillon 34, la seconde face F2' d'extrémité correspond à la face supérieure de la pastille 14. -8- De façon analogue au premier échantillon 28, on réalise les N expériences définies par le plan expérimental sur ce deuxième échantillon 34. Ainsi, pour chaque expérience, on règle les paramètres D, S, F, du laser 24 aux valeurs D;, Si, P; de l'ensemble E et on définit un vecteur "paramètre" VP; ayant pour 5 première, deuxième et troisième coordonnées respectivement les valeurs D;, Si, P; des trois paramètres D, S, P du laser. Au cours d'une première étape, on relève des températures sur une zone Z2 du deuxième échantillon 34 pendant une durée d'irradiation D de la première face F1 du deuxième échantillon 34 par le laser 24. 10 La zone Z2 s'étend sur la deuxième face F2' d'extrémité du deuxième échantillon 34. De préférence, avant de relever les températures sur la zone Z2 du deuxième échantillon 34, on noircit la zone Z2 de manière à former un corps noir . Ensuite, au cours d'une seconde étape, on sélectionne des températures 15 remarquables parmi les températures relevées dans la zone Z2. De préférence, les températures remarquables sont deux températures maximales relevées respectivement dans deux sous-zones remarquables SZ2A, SZ2B de la zone Z2. La première sous-zone SZ2A remarquable sépare une partie Pl de la zone 20 Z2 destinée à être recouverte de la masse de brasure 22 d'une autre partie F2 de la zone Z2 destinée à ne pas être recouverte de la masse de brasure 22. La seconde sous-zone SZ2B remarquable est la projection sur la deuxième face d'extrémité F2' du deuxième échantillon 34 de la surface S d'irradiation du laser. Pour chaque expérience, on définit des quatrième et cinquième coordonnées 25 du vecteur température VT, comme étant les températures maximales respectivement des sous-zones SZ2A et SZ2B correspondant au réglage des paramètres du laser aux valeurs D;, S; et P; du vecteur paramètre VP;. Dans un troisième temps, de façon optionnelle, on forme un troisième échantillon 36 d'une partie de la pile 18 (figure 4). On voit sur la figure 4, que le troisième 30 échantillon 36 comprend les trois éléments de la pile 18, à savoir le support 12 et les deux pastilles semi-conductrices 14 et 16. Dans le troisième échantillon 36, la deuxième face F2" d'extrémité correspond à la face supérieure de la pastille 16. De façon analogue aux premier 28 et deuxième 34 échantillons, en réalise les 35 N expériences définies par le plan expérimental sur ce troisième échantillon 36. In a second step, forming a second sample 34 of a portion of the stack 18 (Figure 3). It can be seen in FIG. 3 that the second sample 34 comprises only the first two elements of the battery 18, namely the support 12 and the wafer 14. In the second sample 34, the second end face F2 'corresponds to the In an analogous manner to the first sample 28, the N experiments defined by the experimental plane are carried out on this second sample 34. Thus, for each experiment, the parameters D, S, F, from the laser 24 to the values D ;, Si, P; of the set E and define a vector "parameter" VP; having for first, second and third coordinates respectively the values D ;, Si, P; three parameters D, S, P of the laser. In a first step, temperatures are recorded on an area Z2 of the second sample 34 during a irradiation period D of the first face F1 of the second sample 34 by the laser 24. The zone Z2 extends over the second end face F2 'of the end of the second sample 34. Preferably, before raising the temperatures on the zone Z2 of the second sample 34, the zone Z2 is blackened so as to form a black body. Then, in a second step, outstanding temperatures are selected from the temperatures found in zone Z2. Preferably, the remarkable temperatures are two maximum temperatures respectively recorded in two remarkable subzones SZ2A, SZ2B of the zone Z2. The first remarkable subzone SZ2A separates a part P1 from the zone Z2 intended to be covered with the solder mass 22 of another part F2 of the zone Z2, so as not to be covered with the solder mass 22. second remarkable SZ2B sub-area is the projection on the second end face F2 'of the second sample 34 of the irradiation surface S of the laser. For each experiment, fourth and fifth coordinates of the temperature vector VT are defined as the maximum temperatures respectively of the sub-areas SZ2A and SZ2B corresponding to the adjustment of the laser parameters to the values D ;, S; and P; the VP parameter vector ;. In a third step, optionally, a third sample 36 is formed of a portion of the stack 18 (FIG. 4). FIG. 4 shows that the third sample 36 comprises the three elements of the battery 18, namely the support 12 and the two semiconductor chips 14 and 16. In the third sample 36, the second face F2 "d end corresponds to the upper face of the pellet 16. In a similar manner to the first 28 and second 34 samples, carries out the 35 N experiments defined by the experimental plan on this third sample 36.
-9- Ainsi, pour chaque expérience, on règle les paramètres D, S, P du laser 24 aux valeurs D;, Si, P; de l'ensemble E et on définit un vecteur paramètre VP, ayant pour première, deuxième et troisième coordonnées respectivement les valeurs D;, S; et P; des trois paramètres D, S, P du laser. Thus, for each experiment, the parameters D, S, P of the laser 24 are adjusted to the values D 1, Si, P; of the set E and defining a parameter vector VP, having for first, second and third coordinates respectively the values D ;, S; and P; three parameters D, S, P of the laser.
Au cours d'une première étape, on relève des températures sur une zone Z3 du troisième échantillon 36 pendant une durée d'irradiation D de la première face F1 du troisième échantillon 36 par le laser 24. De préférence, avant de relever les températures sur la zone Z3 du troisième échantillon 36, on noircit la zone Z3 de manière à former un corps noir . During a first step, temperatures are recorded on a zone Z3 of the third sample 36 during a period of irradiation D of the first face F1 of the third sample 36 by the laser 24. Preferably, before raising the temperatures on the zone Z3 of the third sample 36, the zone Z3 is blackened so as to form a black body.
Au cours d'une seconde étape, on sélectionne une température remarquable parmi les températures relevées dans la zone Z3. De préférence, la température remarquable est une température maximale relevée dans une sixièmID sous-zone remarquable SZ3 qui est la projection sur la deuxième face d'extrémité F2" du troisième échantillon 36 de la surface S d'irradiation du laser. In a second step, a remarkable temperature is selected from the temperatures found in zone Z3. Preferably, the remarkable temperature is a maximum temperature found in a sixth outstanding subfield SZ3 which is the projection on the second end face F2 "of the third sample 36 of the irradiation surface S of the laser.
Pour chaque expérience, on définit une sixième coordonnée du vecteur température VT; comme étant la sixième coordonnée la températue maximale sélectionnée dans la sixième sous zone SZ6, correspondant à un réglage des paramètres du laser aux valeurs D;, Si et P; du vecteur paramètre VP;. Une fois que les N expériences ont été réalisées sur chacun des trois échantillons 28, 34 et 36, on obtient N vecteurs paramètre VP; et N vecteurs température VT; correspondants. On définit alors le modèle mathématique M de manière à ce que chaque vecteur paramètre VP; du laser 24 soit l'image par le modèle M de chaque vecteur température VT; correspondant. For each experiment, a sixth coordinate of the temperature vector VT is defined; as being the sixth coordinate the maximum temperature selected in the sixth sub-area SZ6, corresponding to a setting of the laser parameters to the values D ;, Si and P; the VP parameter vector ;. Once the N experiments have been performed on each of the three samples 28, 34 and 36, N parameter vectors VP are obtained; and N temperature vectors VT; correspondents. The mathematical model M is then defined so that each parameter vector VP; laser 24 is the image by the model M of each temperature vector VT; corresponding.
Dans cet exemple, le modèle mathématique M est défini à partir d'une méthode d'analyse de la variance des températures remarquables et cDmprend de préférence au moins une fonction mathématique de type polynomiale. Ainsi, pour braser entre eux les trois éléments 12, 14, 16 de la pile 18, on procède de la façon suivante. In this example, the mathematical model M is defined from a method for analyzing the variance of the remarkable temperatures and preferably includes at least one polynomial-type mathematical function. Thus, for brazing together the three elements 12, 14, 16 of the battery 18, the procedure is as follows.
On définit un vecteur température VT; ayant dans l'exemple décrit les première à sixième coordonnées suivantes: - une température supérieure ou égale à la température de fusion de la masse de brasure 20, - une température strictement inférieure à la température critique du support 12, - une température strictement inférieure à la température de fusion du matériau synthétique bordant la partie métallique PM du support 12, A temperature vector VT is defined; having in the example described the first to sixth coordinates: - a temperature greater than or equal to the melting temperature of the solder mass 20, - a temperature strictly below the critical temperature of the support 12, - a temperature strictly less than the melting temperature of the synthetic material bordering the metal part PM of the support 12,
-10- une température supérieure ou égale à la température de fusion de masse de brasure 22, une température strictement inférieure à la température critique de la pastille 14, et une température strictement inférieure à la température critique de la pastille 16. Puis on saisit les coordonnées de ce vecteur VT; dans un ordinateur dans lequel est implémenté le modèle mathématique M de façon à obtenir au moi ls une image par ce modèle mathématique M de ce vecteur température VT; (le vecteur VT; peut éventuellement avoir plusieurs images par le modèle mathématique M). Cette image est un vecteur paramètre VP; ayant pour coordonnées les valeurs D,, Si, P; adaptées au brasage de la pile 18. Enfin, on règle les paramètres D, S, P du laser 24 aux valeurs D. S;, P;, ce qui permet d'obtenir en une seule opération de brasage le module électronique 10 illustré sur la figure 1. A temperature greater than or equal to the solder mass melting temperature 22, a temperature strictly below the critical temperature of the pellet 14, and a temperature strictly below the critical temperature of the pellet 16. coordinates of this vector VT; in a computer in which the mathematical model M is implemented so as to obtain at least one image by this mathematical model M of this vector temperature VT; (the vector VT may possibly have several images by the mathematical model M). This image is a VP parameter vector; having as coordinates the values D ,, Si, P; adapted to the soldering of the battery 18. Finally, the parameters D, S, P of the laser 24 are adjusted to the values D.sub.Si, P.sub.1, which makes it possible to obtain, in a single soldering operation, the electronic module 10 illustrated on FIG. Figure 1.
Le module électronique 10 selon l'invention, obtenu par brasage laser, se distingue d'un module électronique obtenu par un procédé de brasage classique (four de refusions, etc.) par l'aspect des masses formant brasures. En effet, le brasage laser provoque un échauffement intense et relativement court suivi d'un refroidissement relativement rapide. Ainsi, le matériau dan;; lequel sont réalisées les masses de brasure, se solidifie en formant de fines dendrites. The electronic module 10 according to the invention, obtained by laser brazing, differs from an electronic module obtained by a conventional soldering method (refusal furnace, etc.) by the appearance of the solder masses. Indeed, the laser brazing causes an intense and relatively short heating followed by a relatively fast cooling. Thus, the material dan; where the solder masses are formed, solidifies to form fine dendrites.
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