FR2888929A1 - Dispositif et procede permettant la detection de defaut d'un dispositif de mesure de pression d'air - Google Patents

Dispositif et procede permettant la detection de defaut d'un dispositif de mesure de pression d'air Download PDF

Info

Publication number
FR2888929A1
FR2888929A1 FR0413965A FR0413965A FR2888929A1 FR 2888929 A1 FR2888929 A1 FR 2888929A1 FR 0413965 A FR0413965 A FR 0413965A FR 0413965 A FR0413965 A FR 0413965A FR 2888929 A1 FR2888929 A1 FR 2888929A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
pressure
chamber
resonator
air
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
FR0413965A
Other languages
English (en)
Inventor
Bertrand Leverrier
Olivier Lefort
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Thales SA
Original Assignee
Thales SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thales SA filed Critical Thales SA
Priority to FR0413965A priority Critical patent/FR2888929A1/fr
Priority to FR0500591A priority patent/FR2888930B1/fr
Priority to DE602005009746T priority patent/DE602005009746D1/de
Priority to US11/722,954 priority patent/US7798005B2/en
Priority to PCT/EP2005/056961 priority patent/WO2006069937A1/fr
Priority to EP05823948A priority patent/EP1831663B1/fr
Publication of FR2888929A1 publication Critical patent/FR2888929A1/fr
Priority to NO20073953A priority patent/NO20073953L/no
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L27/00Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
    • G01L27/007Malfunction diagnosis, i.e. diagnosing a sensor defect
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L21/00Vacuum gauges
    • G01L21/16Vacuum gauges by measuring variation of frictional resistance of gases
    • G01L21/22Vacuum gauges by measuring variation of frictional resistance of gases using resonance effects of a vibrating body; Vacuum gauges of the Klumb type
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0001Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
    • G01L9/0008Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
    • G01L9/0019Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a semiconductive element

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

L'invention concerne un dispositif et un procédé permettant la détection de défaut d'un dispositif de mesure de pression d'air. Le dispositif comporte un capteur de pression (1) et une chambre (2) maintenue à une pression de référence, le capteur de pression (1) mesurant une différence de pression entre la chambre (2) et l'air. Selon l'invention, le dispositif comporte en outre des moyens de détection (CAG) d'une variation de pression dans la chambre (2). Selon un mode de réalisation particulier, le capteur de pression comporte un résonateur et on se sert de la tension de commande d'un contrôle automatique de gain de l'amplitude d'un signal d'excitation (E) du résonateur pour déterminer une éventuellle variation de pression dans la chambre (2).

Description

Dispositif et procédé permettant la détection de défaut d'un dispositif
de mesure de pression d'air L'invention concerne un dispositif et un procédé permettant la détection de défaut d'un dispositif de mesure de pression d'air. L'invention trouve une utilité particulière en aéronautique où les mesures de pression sont primordiales pour la conduite de vol d'un aéronef. En effet, l'altitude d'un niveau de vol requis pour un aéronef est déterminée par la pression statique de l'air entourant l'aéronef. Par ailleurs, le trafic aérien augmentant, les autorités de contrôle du trafic cherchent à réduire l'écart entre deux niveaux de vol voisins. La détection d'un défaut d'un capteur de pression est essentielle pour garantir la sécurité du trafic aérien.
Pour mesurer la pression de l'air ambiant on utilise couramment des capteurs de pression comportant une chambre maintenue à une pression de référence généralement proche du vide. Un exemple de ce type de capteur est décrit dans la demande de brevet français FR 2 687 783. Le capteur de pression mesure une différence de pression entre la chambre et l'air. La garantie de la précision dans la mesure de pression dépend essentiellement du maintien du vide régnant à l'intérieur de la chambre pendant toute la durée de vie d'un capteur, ou tout au moins entre deux calibrations du capteur de pression. Plusieurs phénomènes peuvent dégrader le vide régnant dans la chambre, comme notamment des fuites pouvant se produire aux jonctions de différents composants des parois de la chambre ou encore le dégazage des parois ou des composants situés dans la chambre.
Le capteur de pression décrit dans la demande de brevet français FR 2 687 783 comporte un résonateur dont une extrémité est soumise à un effort fonction de la différence de pression entre l'intérieur de la chambre et l'air ambiant. Le principe de la mesure de pression consiste à mesurer la fréquence de résonance du résonateur.
On a constaté par ailleurs qu'à pression constante de l'air, la température ambiante influait sur la valeur de la fréquence de résonance. Il est possible d'adjoindre au capteur de pression un capteur de température.
Lors d'une phase de calibration on établit une fonction combinant la température mesurée et la fréquence de résonance pour déterminer la pression. Cette fonction peut être établie de façon empirique. Cette correction ne permet pas de tenir compte d'une éventuelle modification de la pression dans la chambre. A ce jour, seule une recalibration du dispositif de mesure de pression permet de connaître une telle modification.
L'invention a pour but d'améliorer la connaissance du niveau de précision du capteur de pression durant son utilisation et d'éviter l'obligation de recalibrer périodiquement le capteur de façon préventive. Un autre but de l'invention est de maintenir un niveau de précision de l'ordre de 0,1 hPa.
A cet effet, l'invention a pour objet un dispositif de mesure de pression d'air comportant un capteur de pression et une chambre maintenue o à une pression de référence, le capteur de pression mesurant une différence de pression entre la chambre et l'air, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de détection d'une variation de pression dans la chambre.
L'invention a également pour objet un procédé d'utilisation d'un dispositif de mesure de pression d'air comportant un capteur de pression et une chambre maintenue à une pression de référence, le capteur de pression mesurant une différence de pression entre la chambre et l'air, le capteur comportant un résonateur excité par une oscillation contrôlée par des moyens de contrôle automatique d'amplitude caractérisé en ce que le dispositif comporte des moyens de détection d'une variation de pression dans la chambre et en ce que le procédé consiste à comparer un premier gain du contrôle automatique de l'amplitude de l'excitation mesuré lors de la mesure de pression avec un second gain du contrôle automatique de l'amplitude de l'excitation calculé à la fréquence de l'excitation mesurée à partir de paramètres définis lors d'une calibration du dispositif de façon à détecter un défaut du dispositif lorsque la différence entre les deux gains est supérieure à une valeur donnée.
L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description détaillée d'un mode de réalisation 3o donné à titre d'exemple, description illustrée par le dessin joint dans lequel: la figure 1 représente sous forme de schéma bloc un exemple de dispositif conforme à l'invention; - la figure 2 représente un exemple de réalisation d'une partie du schéma de la figure 1.
La figure 1 représente un dispositif de mesure de pression d'air comportant un capteur de pression 1 et une chambre 2 maintenue à une pression de référence, en générale proche du vide. Le capteur de pression 1 mesure une différence de pression entre la chambre 2 et l'air entourant le capteur de pression 1.
Avantageusement, le dispositif comporte un résonateur 3 et des moyens de mesure d'une fréquence de résonance du résonateur 3. Le résonateur 3 est par exemple réalisé au moyen d'une lame de silicium 4 pouvant entrer en résonance sous l'effet d'un signal d'excitation électrique E. io La lame de silicium 4 est situé dans la chambre 2. La lame de silicium 4 est encastrée à l'une de ses extrémités 5 dans un corps 6 du résonateur 3 et à l'autre de ses extrémités 7 sur une paroi 8 amincie de la chambre 2. La paroi 8 est soumise sur une de ses faces à la pression de l'air, pression à mesurer, et sur l'autre de ses faces à la pression de la chambre 2. La paroi 8 se déforme en fonction de la différence de pression entre la chambre 2 et l'air. Cette déformation de la paroi 8 entraîne une contrainte dans la lame de silicium 4. La contrainte évolue en fonction de la différence de pression entre l'air et la chambre 2. La fréquence de résonance de la lame de silicium 4 est donc également en fonction de la différence de pression entre l'air et la chambre 2. Une explication plus détaillée de la réalisation de cet exemple de résonateur peut être obtenue en lisant la demande de brevet français FR 2 687 783. Il est bien entendu possible d'utiliser un autre type de capteur de pression mettant en oeuvre un résonateur et dans lequel le résonateur est situé hors d'une chambre maintenue à une pression de référence.
La détection de la résonance se fait par effet capacitif entre la lame de silicium 4 et le corps 6 du résonateur 3 au moyen d'un signal électrique D prélevé au niveau du corps 6 du résonateur 3. Le signal électrique D est amplifié par un amplificateur 9 puis filtré au moyen d'un filtre passe bande 10 pour ne conserver que la fréquence de résonance et être délivré à des moyens de contrôle automatique de l'amplitude du signal d'excitation E, moyens communément appelés contrôle automatique de gain et portant le repère CAG sur la figure 1. Le contrôle automatique de gain est piloté par une consigne C. Le contrôle automatique de gain délivre le signal d'excitation E. le signal d'excitation E forme le signal Fp utilisé par un calculateur 14 pour déterminer la pression de l'air.
Le dispositif comporte en outre des moyens 15 de mesure de la température de l'air. Les moyens 15 comportent par exemple une résistance à coefficient de température négatif. Les moyens 15 délivrent un signal St au calculateur 14 pour corriger la mesure de pression de l'air. Cette correction est par exemple calculée en fonction du siignal St et du signal Fp au moyen d'une fonction polynomiale définie lors d'une calibration du dispositif. Cette calibration est effectuée à l'aide d'une campagne de mesures de pression réalisées à des températures différentes. La fonction polynomiale est par exemple de la forme: P = AO + Al.Fp +A2. St + A3.Fp.St + A4. Fp2.St + A5 Fp.St2...
où P représente la pression de l'air et où Ai représentent des constantes. On a constaté qu'une fonction polynomiale du cinquième ordre permet d'obtenir une précision suffisante pour la valeur de la pression P. Selon l'invention, le dispositif comporte des moyens de détection d'une variation de pression dans la chambre 2. Ces moyens délivrent avantageusement une information représentative du coefficient de qualité du résonateur à la fréquence de résonance, par exemple sous forme d'un gain S3 du contrôle automatique de gain délivré au calculateur 14 pour détecter un défaut du dispositif. Par ailleurs, lors de la calibration, on a mesuré le signal S3 pour chaque mesure de pression effectuée. Les mesures faites lors de la calibration permettent de calculer, pour toute mesure ultérieure de pression, une valeur que devrait prendre le signal S3 si la pression de la chambre restait inchangée. Comme précédemment, on a constaté que le signal S3 est fonction des signaux Fp et St et que cette fonction peut être approchée au moyen d'une fonction polynomiale.
Pour détecter un défaut du dispositif, un procédé consiste à comparer un premier signal S3 mesuré lors de la mesure de pression avec un second signal S3 calculé à partir de paramètres définis lors de la calibration du dispositif et en fonction des signaux Fp et St mesurés. Le dispositif est alors déclaré en défaut si la différence entre le signal S3 mesuré et le signal S3 calculé est supérieure à une valeur donnée. La comparaison et les différents calculs sont effectués par le calculateur 14.
Avantageusement, il est possible de corriger la mesure de différence de pression entre la chambre 2 et l'air en fonction de la différence entre les deux signaux S3. On calcule par exemple la pression P en fonction des signaux Fp, St et S3 mesuré. Ce calcul peut se faire au moyen d'une fonction dont les paramètres sont définis lors de la phase de calibration. La fonction est ici encore par exemple polynorniale. Ainsi, même si le capteur de pression 1 devait dériver, du fait d'une dérive de pression de la chambre 2, il est possible de compenser cette dérive en utilisant le gain S3 du contrôle automatique de l'amplitude du signal d'excitation E du résonateur 3.
La figure 2 représente un exemple de réalisation d'une partie du schéma de la figure 1. Pour ne pas surcharger la figure 2, le calculateur 14 et les moyens 15 de mesure de la température de l'air n'ont pas été i o représentés.
L'amplificateur 9 et le filtre passe bande 10 sont formés autour d'un amplificateur opérationnel 20 attaqué sur son entrée inverseuse par le signal D. L'entrée non inverseuse de l'ampllificateur opérationnel 20 est reliée à une masse. Une contre réaction de l'amplificateur opérationnel est formée par une résistance 21 et un condensateur 22 reliés en parallèle entre l'entrée inverseuse et la sortie de l'amplificateur opérationnel 20. Un condensateur 23 est relié à la sortie de l'amplificateur opérationnel 20 pour délivrer un signal au contrôle automatique de gain CAG qui peut affaiblir ce signal au moyen d'une résistance 24 et d'un transistor à effet de champ 25. Le signal ainsi affaibli est polarisé et mis en forme en traversant un circuit 26. la tension de polarisation est une tension Vo fournie au circuit 26. La sortie du circuit 26 fournit le signal d'excitation E. Le signal Fp est formé à partir du signal E au travers d'un circuit 27 dont la fonction est de dépolariser le signal E au moyen d'un condensateur 28 et d'amplifier le signal E au moyen d'un amplificateur opérationnel 29. le signal Fp est ensuite redressé au moyen d'un circuit 30 pour être délivré au contrôle automatique de gain CAG. Le contrôle automatique de gain CAG est piloté par une consigne C. Le contrôle automatique de gain CAG comporte un premier étage d'intégration réalisé autour d'un amplificateur opérationnel 31 dont la sortie forme le signal S3 qui pilote une grille G du transistor à effet de champ 25.

Claims (9)

REVENDICATIONS
1. Dispositif de mesure de pression d'air comportant un capteur de pression (1) et une chambre (2) maintenue à une pression de référence, le capteur de pression (1) mesurant une différence de pression entre la chambre (2) et l'air, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de détection (CAG) d'une variation de pression dans la chambre (2).
2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le capteur de pression (1) comporte un résonateur (3) et des moyens de mesure d'une fréquence de résonance du résonateur (3).
3. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens de détection (CAG) d'une variation de pression dans la chambre (2) délivrent une information (S3) représentative du coefficient de qualité du résonateur (3) à la fréquence de résonance.
4. Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que les moyens de mesure d'une fréquence de résonance du résonateur comporte des moyens de contrôle automatique (CAG) de l'amplitude d'une oscillation d'excitation (E) du résonateur (3), et en ce qu'un gain (S3) du contrôle automatique (CAG) de l'amplitude forme l'information représentative du coefficient de qualité du résonateur (3).
5. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de mesure de température (15).
6. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte de moyens de correction (14) de la pression mesurée par le capteur de pression (1) en fonction d'une information provenant des moyens de détection (CAG) d'une variation de pression dans la chambre (2).
7. Procédé d'utilisation d'un dispositif de mesure de pression d'air comportant un capteur de pression (1) et une chambre (2) maintenue à une pression de référence, le capteur de pression (1) mesurant une différence de pression entre la chambre (2) et l'air, le capteur de pression (1) comportant un résonateur (3) excité par une oscillation (E) contrôlée par des moyens de contrôle automatique (CAG) d'amplitude, caractérisé en ce que le dispositif comporte des moyens de détection (CAG) d'une variation de pression dans la chambre (2) et en ce que le procédé consiste à comparer un premier gain (S3 mesuré) du contrôle automatique de l'amplitude de l'excitation mesuré lors de la mesure de pression avec un second gain (S3 calculé) du contrôle automatique de l'amplitude de l'excitation calculé à la fréquence de l'excitation mesurée à partir de paramètres définis lors d'une calibration du o dispositif de façon à détecter un défaut du dispositif lorsque la différence entre les deux gains est supérieure à une valeur donnée.
8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que le dispositif comporte des moyens de mesure de température (15) et en ce que le procédé consiste à calculer le second gain (S3 calculé) en fonction de la fréquence (Fp) de l'excitation (E) et de la température (St) mesurée lors de l'excitation.
9. Procédé selon l'une des revendications 7 ou 8, caractérisé en 20 ce qu'il consiste à corriger la mesure de différence de pression entre la chambre (2) et l'air en fonction de la différence entre les deux gains.
FR0413965A 2004-12-27 2004-12-27 Dispositif et procede permettant la detection de defaut d'un dispositif de mesure de pression d'air Pending FR2888929A1 (fr)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0413965A FR2888929A1 (fr) 2004-12-27 2004-12-27 Dispositif et procede permettant la detection de defaut d'un dispositif de mesure de pression d'air
FR0500591A FR2888930B1 (fr) 2004-12-27 2005-01-20 Dispositfi de mesure a resonateur et procede mettant en oeuvre le dispositif
DE602005009746T DE602005009746D1 (de) 2004-12-27 2005-12-20 Resonatormesseinrichtung und verfahren damit
US11/722,954 US7798005B2 (en) 2004-12-27 2005-12-20 Resonator measurement device and method employing the device
PCT/EP2005/056961 WO2006069937A1 (fr) 2004-12-27 2005-12-20 Dispositif de mesure a resonateur et procede mettant en oeuvre le dispositif
EP05823948A EP1831663B1 (fr) 2004-12-27 2005-12-20 Dispositif de mesure a resonateur et procede mettant en oeuvre le dispositif
NO20073953A NO20073953L (no) 2004-12-27 2007-07-27 Resonatormaleanordning og fremgangsmate ved samme

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0413965A FR2888929A1 (fr) 2004-12-27 2004-12-27 Dispositif et procede permettant la detection de defaut d'un dispositif de mesure de pression d'air

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FR2888929A1 true FR2888929A1 (fr) 2007-01-26

Family

ID=35448420

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR0413965A Pending FR2888929A1 (fr) 2004-12-27 2004-12-27 Dispositif et procede permettant la detection de defaut d'un dispositif de mesure de pression d'air

Country Status (1)

Country Link
FR (1) FR2888929A1 (fr)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2544011A1 (fr) * 2011-07-08 2013-01-09 Thales Micro-systeme vibrant a boucle de controle automatique de gain, a controle integre du facteur de qualite

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2544011A1 (fr) * 2011-07-08 2013-01-09 Thales Micro-systeme vibrant a boucle de controle automatique de gain, a controle integre du facteur de qualite
FR2977676A1 (fr) * 2011-07-08 2013-01-11 Thales Sa Micro-systeme vibrant a boucle de controle automatique de gain, a controle integre du facteur de qualite

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1831663B1 (fr) Dispositif de mesure a resonateur et procede mettant en oeuvre le dispositif
FR2718848A1 (fr) Procédé pour mesurer le point de rosée ou la concentration d'un gaz, et appareil pour prédire le givrage.
EP1797396B8 (fr) Gyrolaser a etat solide a facteur d'echelle stabilise
US8131400B2 (en) Adaptive on-tool mass flow controller tuning
EP0711956A1 (fr) Dispositif de contrÔle actif des instabilités de combustion et de décokéfaction d'un injecteur de carburant
WO2009103419A1 (fr) Procédé d'étalonnage d'un capteur de mesure
US7443894B2 (en) System and method for laser temperature compensation
FR2553885A1 (fr) Dispositif de mesure de pression
FR3037142A1 (fr) Dispositif de mesure de pression a fiabilite amelioree et procede de calibrage associe
FR2888929A1 (fr) Dispositif et procede permettant la detection de defaut d'un dispositif de mesure de pression d'air
JP6439030B2 (ja) 受光装置及び受発光装置
JPH10509800A (ja) ガス検知器
EP0932036B1 (fr) Perméamètre à large plage de mesure
US11796468B2 (en) Gas measurement device and gas measurement method
EP2240676B1 (fr) Procede de detection de microcoupures electriques et de gestion du fonctionnement d'un moteur
FR2905468B1 (fr) Capteur d'ecoulement d'air thermique numerique integre.
US20180252640A1 (en) Gas concentration sensor with improved accuracy
EP3411581B1 (fr) Procede de recalage d'un capteur de pression dans une ligne d'admission d'air d'un moteur avec compensation fonction de la temperature
EP2604981B1 (fr) Capteur avec des moyens d'auto-test
US7299676B1 (en) Acoustic pressure calibrator
FR2840985A1 (fr) Sonde de temperature totale et procede de determination de temperature au moyen d'une telle sonde
US10212776B2 (en) Light receiving device and light emitting and receiving device
FR2939509A1 (fr) Procede et systeme d'estimation d'une temperature de veine dans un turboreacteur.
WO2011110437A1 (fr) Dispositif de quantification du dégazage d'un équipement placé dans une enceinte à vide
US20240068994A1 (en) Device and method for improving the stability and detection limit of acoustic wave sensors