FR2778017A1 - METHOD FOR MANUFACTURING AN X-RAY IMAGE INTENSIFIER, AND X-RAY IMAGE INTENSIFIER MANUFACTURED BY THIS METHOD - Google Patents

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Inventor
Manfred Fuchs
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J31/00Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/50Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/24Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
    • H01J9/26Sealing together parts of vessels

Abstract

Selon l'invention, il est prévu, au moins dans la zone de l'assemblage entre deux éléments (1, 2) assemblés l'un à l'autre de l'intensificateur d'images de rayons X, un revêtement qui recouvre complètement au moins la zone de l'assemblage. L'assemblage sert en particulier à obturer les défauts d'étanchéité de l'assemblage.According to the invention, there is provided, at least in the region of the connection between two elements (1, 2) assembled to each other of the X-ray image intensifier, a coating which completely covers at least the assembly area. The assembly is used in particular to seal the sealing defects of the assembly.

Description

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PROCEDE DE FABRICATION D'UN INTENSIFICATEUR D'IMAGES DE RAYONS X, ET  METHOD FOR MANUFACTURING AN X-RAY IMAGE INTENSIFIER, AND

INTENSIFICATEUR D'IMAGES DE RAYONS X FABRIQUE PAR CE PROCEDE  X-RAY IMAGE ENHANCER MANUFACTURED BY THIS PROCESS

L'invention concerne un intensificateur d'images de rayons X, dans lequel au moins deux éléments sont assemblés l'un à l'autre. D'après la demande DE 44 30 623 A1, on connaît un intensificateur d'images de rayons X, dans lequel un bord de l'écran primaire est, par un assemblage par serrage, assemblé à un bord d'un boîtier de l'intensifisateur d'images de rayons X. On sait en outre assembler le bord de l'écran primaire au bord du boîtier, grâce à une soudure par diffusion, un assemblage collé ou  The invention relates to an X-ray image intensifier, in which at least two elements are joined together. According to the application DE 44 30 623 A1, an intensifier of x-ray images is known, in which an edge of the primary screen is, by a clamp assembly, assembled to an edge of a housing of the intensifier of X-ray images. It is also known to assemble the edge of the primary screen to the edge of the housing, by diffusion welding, bonded assembly or

par l'intermédiaire d'un polyimide.  via a polyimide.

On sait en outre assembler l'écran primaire, par un assemblage soudé, par exemple un soudage laser, au boîtier ou à des parties du boîtier de l'intensificateur d'images de rayons X, et de même assembler l'écran  It is also known to assemble the primary screen, by a welded assembly, for example laser welding, to the housing or to parts of the housing of the X-ray image intensifier, and likewise to assemble the screen

secondaire au boîtier par brasage ou soudage.  secondary to the housing by soldering or welding.

Dans ces techniques d'assemblage, on ne peut pas garantir d'une manière absolue une parfaite étanchéité au vide. Les défauts d'étanchéité réduisent cependant la durée de vie des intensificateurs d'images de rayons X en diminuant la dépression, et en permettant l'introduction d'air ambiant, ce qui conduit à une diminution de la sensibilité de la photocathode. Selon le type de photocathode, un débit de fuite de l'ordre de 10-12 mbar.l/s peut conduire à une diminution de 10 % de la sensibilité de la photocathode dans les trois ans. Présentent un caractère particulièrement critique en liaison avec ces défauts d'étanchéité les intensificateurs d'images de rayons X de grand diamètre, en particulier quand il s'agit de réunir des matériaux différents, par exemple l'écran primaire, constitué d'aluminium, et le boîtier sous vide, qui est par exemple constitué d'acier inoxydable ou d'une céramique. Même les assemblages brasés entre un métal et une céramique  In these assembly techniques, one cannot absolutely guarantee a perfect vacuum tightness. Leakage, however, shortens the life of X-ray image intensifiers by reducing vacuum, and allowing the introduction of ambient air, which leads to a decrease in the sensitivity of the photocathode. Depending on the type of photocathode, a leak rate of around 10-12 mbar.l / s can lead to a 10% decrease in the sensitivity of the photocathode within three years. The intensifiers of large-diameter X-ray images are particularly critical in connection with these leaks, particularly when it comes to bringing together different materials, for example the primary screen, made of aluminum, and the vacuum container, which is for example made of stainless steel or a ceramic. Even brazed connections between a metal and a ceramic

peuvent conduire à des défauts d'étanchéité, ou même présenter ces défauts.  may lead to leaks, or even present these faults.

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Ces défauts d'étanchéité, en particulier ceux qui sont peu importants, ne peuvent pas toujours être détectés lors du contrôle des éléments de l'intensificateur d'images de rayons X, car ils se trouvent souvent endessous du seuil de détection des détecteurs de fuites. Pour contrôler l'étanchéité au vide, on utilise des détecteurs de fuites à hélium, dont la limite de détection est de l'ordre de 10-9 mbar.l/s. Si des éléments du boîtier sous vide de l'intensificateur d'images de rayons X dépassent ce débit de fuite, ils ne sont pas repris dans la suite du processus de production, ce qui conduit à des  These leaks, especially those that are not significant, cannot always be detected when checking the X-ray image intensifier components, as they are often found below the detection threshold of the leak detectors. . To check the vacuum tightness, helium leak detectors are used, the detection limit of which is of the order of 10-9 mbar.l / s. If elements of the vacuum housing of the X-ray image intensifier exceed this leak rate, they are not taken up in the rest of the production process, which leads to

dépenses inutiles. Les pièces dont le débit de fuite est inférieur à la limite ci-  unnecessary expenses. Parts with a leak rate less than the limit above

dessus peuvent ensuite être utilisées pour fabriquer l'intensificateur d'images de rayons X. Si l'intensificateur d'images de rayons X est fabriqué en éléments préfabriqués, la réalisation du vide, le chauffage et la fabrication de la photocathode s'effectuent par vaporisation par exemple de césium et d'antimoine dans le volume intérieur des tubes à vide (du boîtier). Le capillaire de pompage en verre, en nickel ou en cuivre, est écrasé ou fondu après fabrication de la photocathode; et on place une pompe de Penning dans l'intensificateur d'images de rayons X pour éliminer les gaz résiduels jusqu'à 108 mbar, et on mesure le courant de Penning. Après un temps de repos d'environ 50 heures, on lance de nouveau la pompe de Penning par application d'une haute tension, et on mesure une fois de plus le courant de Penning. A partir de la différence ainsi déterminée entre les courants de Penning, il est possible de calculer la différence de pression à l'intérieur de l'intensificateur d'images de rayons X. La limite de détection des fuites qui en résulte est de l'ordre de 10.11 mbar.l/s. Dans les intensificateurs d'images de rayons X présentant une grande différence de courants de Penning, l'augmentation de la pression est observée dans un environnement différent (air ou argon, ou méthane), ce pour quoi on utilise l'ionisation, qui dépend du gaz résiduel, des pompes de Penning. Par collage de points d'assemblage à une feuille plastique, on localise par la technique d'exclusion le défaut d'étanchéité, et on l'obture par scellage à l'aide d'un vernis d'obturation des fuites. Avec ce procédé, le seuil de détection du détecteur de fuites est de l'ordre de 10-12 mbar.l/s. Un inconvénient de ce procédé, qui est long, réside dans le risque que de l'air pénètre dans l'intensificateur d'images de rayons X avant l'obturation de la fuite, ou que du solvant arrive dans le volume  above can then be used to manufacture the X-ray image intensifier. If the X-ray image intensifier is manufactured in prefabricated elements, the creation of the vacuum, the heating and the fabrication of the photocathode are carried out by vaporization for example of cesium and antimony in the interior volume of the vacuum tubes (of the casing). The glass, nickel or copper pumping capillary is crushed or melted after fabrication of the photocathode; and a Penning pump is placed in the X-ray image intensifier to remove residual gases up to 108 mbar, and the Penning current is measured. After a standing time of approximately 50 hours, the Penning pump is started again by applying a high voltage, and the Penning current is measured once again. From the difference thus determined between the Penning currents, it is possible to calculate the pressure difference inside the X-ray image intensifier. The resulting leak detection limit is order of 10.11 mbar.l / s. In X-ray image intensifiers with a large difference in Penning currents, the increase in pressure is observed in a different environment (air or argon, or methane), for which we use ionization, which depends residual gas, penning pumps. By bonding assembly points to a plastic sheet, the sealing defect is localized by the exclusion technique, and it is sealed by sealing with a leak-tightening varnish. With this process, the detection threshold of the leak detector is of the order of 10-12 mbar.l / s. A long drawback of this process is the risk that air will enter the X-ray image intensifier before the leak is closed, or that solvent will enter the volume.

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intérieur de l'intensificateur d'images de rayons X, en provenant du vernis  interior of the x-ray image intensifier, coming from the varnish

d'obturation des fuites, et détruise la photocathode.  sealing leaks, and destroying the photocathode.

L'invention vise donc à mettre à disposition un procédé pour fabriquer un intensificateur d'images de rayons X et un intensificateur d'images de telle sorte qu'en particulier le point d'assemblage entre deux éléments assemblés l'un à l'autre de l'intensificateur d'images de rayons X présente une grande étanchéité au vide, et que la durée du contrôle de l'étanchéité au vide puisse  The invention therefore aims to provide a method for manufacturing an X-ray image intensifier and an image intensifier so that in particular the point of assembly between two elements joined to each other of the X-ray image intensifier has a high vacuum tightness and that the duration of the vacuum tightness check can

être considérablement écourtée.be considerably shortened.

Ce but est atteint par un procédé dans lequel on prévoit, au moins dans la zone de l'assemblage entre deux éléments assemblés l'un à l'autre de l'intensificateur d'images de rayons X, un revêtement qui recouvre entièrement au moins la zone de l'assemblage, pour assurer un scellage étanche au vide  This object is achieved by a process in which there is provided, at least in the area of the assembly between two elements joined to each other of the X-ray image intensifier, a coating which completely covers at least the assembly area, to ensure vacuum tight sealing

de l'assemblage.of the assembly.

L'invention a aussi pour objet un intensificateur d'images de rayons X  The invention also relates to an X-ray image intensifier

pour images radioscopiques tel que fabriqué par le procédé suivant l'invention.  for radioscopic images as manufactured by the method according to the invention.

Le procédé et l'intensificateur d'images de rayons X selon l'invention présentent l'avantage qu'un revêtement, qui recouvre complètement au moins la zone de l'assemblage, et destiné à obturer l'assemblage d'une manière étanche au vide, est prévu au moins dans la zone de l'assemblage entre deux éléments assemblés l'un à l'autre de l'intensificateur d'images de rayons X. La zone d'assemblage est ainsi scellée, et l'étanchéité au vide de l'intensificateur d'images de rayons X est considérablement augmentée, ce qui conduit à un nombre plus petit de rebuts de pièces de l'intensificateur d'images de rayons X, et d'autre part il n'est plus nécessaire de procéder à une détection des  The method and the intensifier of X-ray images according to the invention have the advantage that a coating, which completely covers at least the area of the assembly, and intended to seal the assembly in a sealed manner to the empty, is provided at least in the assembly area between two elements joined to each other of the X-ray image intensifier. The assembly area is thus sealed, and the vacuum tightness of the X-ray image intensifier is significantly increased, which leads to a smaller number of scrap parts of the X-ray image intensifier, and on the other hand it is no longer necessary to proceed detection of

fuites.leaks.

Il est avantageux que le revêtement soit constitué d'un métal, d'un matériau semi-conducteur ou d'un matériau isolant, qui par évaporation ou par pulvérisation cathodique est appliqué sur la surface intérieure et/ou la surface extérieure dans la zone de l'assemblage des pièces. Cette technique de revêtement exige peu de temps, et permet d'appliquer d'une manière fiable un  It is advantageous that the coating consists of a metal, a semiconductor material or an insulating material, which by evaporation or by sputtering is applied to the interior surface and / or the exterior surface in the area of assembly of parts. This coating technique requires little time, and allows a reliable application of a

revêtement ayant une épaisseur suffisante.  coating with sufficient thickness.

Il s'est avéré avantageux que le revêtement soit constitué de Cr, Ni, Cu ou AI, ou comprenne ces métaux, et/ou que le revêtement soit constitué  It has been found advantageous that the coating consists of Cr, Ni, Cu or AI, or comprises these metals, and / or that the coating consists

d'AI203 ou de SiO2, ou encore de Csl, ou contienne ces composés.  AI203 or SiO2, or Csl, or contains these compounds.

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Le procédé est particulièrement avantageux et rapide si les éléments mentionnés plus haut sont configurés comme la fenêtre d'entrée et le boîtier de l'intensificateur d'images de rayons X, et si le revêtement, qui est appliqué sur la surface intérieure dans la zone de l'assemblage des éléments, est constitué de Csl:Nal. La couche luminescente de la fenêtre d'entrée de l'intensificateur d'imges de rayons X recouvre ainsi la zone de l'assemblage de la fenêtre d'entrée et du boîtier de l'intensificateur d'images de rayons X, de sorte que l'application de la couche luminescente d'entrée, qui de toutes  The method is particularly advantageous and rapid if the elements mentioned above are configured as the entrance window and the housing of the X-ray image intensifier, and if the coating, which is applied to the interior surface in the area of the assembly of elements, consists of Csl: Nal. The luminescent layer of the input window of the X-ray image intensifier thus covers the assembly area of the input window and the housing of the X-ray image intensifier, so that the application of the input luminescent layer, which of all

façons est nécessaire, assure simultanément un effet d'étanchéité.  ways is necessary, simultaneously ensures a sealing effect.

L'étanchéification de l'intensificateur d'images de rayons X n'exige donc pas d'opérations particulières, ce qui conduit à des économies de matières, de  Sealing the X-ray image intensifier therefore does not require any particular operations, which leads to savings in materials,

temps et donc à un coût moindre.time and therefore at a lower cost.

L'invention sera mieux comprise en regard de la description ci-après et  The invention will be better understood with reference to the description below and

des dessins annexés, qui présentent des exemples de réalisation de I'invention, dessins dans lesquels: La Figure 1 est une vue de principe en coupe longitudinale d'un intensificateur d'images de rayons X selon l'invention, La Figure 2 est un exemple de réalisation d'un revêtement dans la zone de l'assemblage de deux éléments assemblés, La Figure 3 présente un autre exemple de réalisation d'un revêtement dans la zone de l'assemblage de deux éléments assemblés, La Figure 4 est un troisième exemple de réalisation d'un revêtement dans la zone de l'assemblage de deux éléments assemblés, et La Figure 5 est un quatrième exemple de réalisation d'un revêtement dans la zone de l'assemblage de deux éléments, de préférence assemblés, d'un intensificateur d'images de rayons X. Sur la Figure 1, le repère 1 désigne un boîtier, qui est un premier élément d'un intensificateur d'images de rayons X, et qui peut être constitué de céramique, d'aluminium ou d'acier inoxydable. Ce boîtier 1 est obturé par un substrat 2 d'un écran primaire, qui représente un deuxième élément de l'intensificateur d'images de rayons X. Le substrat 2 de l'écran primaire peut être constitué d'aluminium ou d'un matériau composite à base d'aluminium et d'acier inoxydable, I'acier inoxydable étant éliminé dans la zone utilisée pour la production de l'image. Les bords 3 du substrat 2 de l'écran primaire sont assemblés au bord frontal 4 du boîtier 1, qui peut être configuré comme une  of the accompanying drawings, which show exemplary embodiments of the invention, drawings in which: FIG. 1 is a principle view in longitudinal section of an X-ray image intensifier according to the invention, FIG. 2 is a example of making a coating in the area of the assembly of two assembled elements, Figure 3 shows another example of making a coating in the area of assembling two assembled elements, Figure 4 is a third example of embodiment of a covering in the area of assembly of two assembled elements, and FIG. 5 is a fourth example of embodiment of a covering in the area of assembly of two elements, preferably assembled, of an X-ray image intensifier. In Figure 1, the reference 1 designates a housing, which is a first element of an X-ray image intensifier, and which can be made of ceramic, aluminum or stainless steel able. This housing 1 is closed by a substrate 2 of a primary screen, which represents a second element of the X-ray image intensifier. The substrate 2 of the primary screen can be made of aluminum or a material composite based on aluminum and stainless steel, stainless steel being eliminated in the area used for image production. The edges 3 of the substrate 2 of the primary screen are assembled to the front edge 4 of the housing 1, which can be configured as a

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bride en acier inoxydable ou en Vacon, par une technique d'assemblage, par exemple par soudage (soudage laser, soudage par friction ou par diffusion),  stainless steel or Vacon flange, by an assembly technique, for example by welding (laser welding, friction or diffusion welding),

brasage, collage, ou par une autre technique d'assemblage appropriée.  soldering, gluing, or by another suitable joining technique.

Une couche luminescente d'entrée 5, par exemple en Csl:Nal, est appliquée par une technique d'application appropriée, par exemple par évaporation, sur la surface intérieure 6 du substrat 2 de l'écran primaire, l'évaporation étant réalisée de façon que le Csl:Nal se dépose au moins dans  An input luminescent layer 5, for example made of Csl: Nal, is applied by an appropriate application technique, for example by evaporation, to the interior surface 6 of the substrate 2 of the primary screen, the evaporation being carried out by way that Csl: Nal is deposited at least in

la zone de l'assemblage 7 du substrat 2 de l'écran primaire et du boîtier 1.  the assembly area 7 of the substrate 2 of the primary screen and of the housing 1.

Pour une épaisseur typique de 400 pm de la couche luminescente d'entrée, on atteint facilement l'effet d'étanchéité voulu. Un autre avantage de cette façon de faire réside dans le fait qu'elle influe favorablement sur l'évacuation de la température, en raison du pouvoir d'accumulation de chaleur du bord 3, constitué par exemple d'acier inoxydable, du substrat 2 de l'écran primaire lors de l'application du Csl:Nal, ce qui permet de faire appel a une technologie de métallisation directe du substrat 2 de l'écran primaire. Grâce à cette technique de métallisation directe, le DQE (Detective Quantum Efficiency, rendement quantique de détection) de l'intensificateur d'images de rayons X augmente  For a typical thickness of 400 μm of the luminescent input layer, the desired sealing effect is easily achieved. Another advantage of this way of doing things lies in the fact that it has a favorable influence on the evacuation of the temperature, due to the heat storage power of the edge 3, consisting for example of stainless steel, of the substrate 2 of the primary screen during the application of Csl: Nal, which makes it possible to use a technology for direct metallization of the substrate 2 of the primary screen. Thanks to this direct metallization technique, the DQE (Detective Quantum Efficiency) of the X-ray image intensifier increases

d'environ 3 % par rapport à un procédé de fabrication classique.  about 3% compared to a conventional manufacturing process.

Dans les éléments de l'intensificateur d'images de rayons X représentés d'une manière schématique sur les Figures 2 à 4, les pièces déjà mentionnées sur la Figure 1 portent les mêmes numéros de référence. Au contraire de l'exemple de réalisation de la Figure 1, un revêtement 8 est appliqué par PVD (déposition physique en phase vapeur) sur la surface intérieure de l'assemblage 7, en obturant un éventuel défaut d'étanchéité des éléments assemblés 1, 2, et ce, dans la zone de l'assemblage 7 entre deux éléments 1, 2, réunis et assemblés l'un à l'autre, selon l'exemple de réalisation de la Figure 2. Au contraire de l'exemple de réalisation selon la Figure 2, ce revêtement 8, dans l'exemple de réalisation selon la Figure 3, est appliqué sur la surface extérieure de l'assemblage 7. Dans le cadre de l'invention, il est 3 0 bien entendu que, selon la Figure 4, on peut appliquer un revêtement d'étanchéification 8 tant dans la zone de la surface intérieure de l'assemblage 7 que sur la surface extérieure de l'assemblage 7. L'épaisseur de couche de ce revêtement 8 devrait de préférence être de 0, 1 à 1 pm. Mais cette épaisseur peut être plus grande quand on veut que ce revêtement 8 ait aussi 3 5 une autre fonction, par exemple de modification ou d'ajustement de la conductivité ou de la luminescence. Ce revêtement 8 peut être appliqué tant par métallisation sous vide que par pulvérisation cathodique, auquel cas on a obtenu de bons résultats en faisant tourner les éléments 1, 2 autour d'une source de vapeur en position excentrée, pour obtenir une couche uniforme. En tant que matériau de métallisation, on peut envisager en particulier tous les métaux qui ont une bonne adhérence, par exemple Cr, Ni, Cu, AI, ainsi que  In the elements of the X-ray image intensifier shown schematically in Figures 2 to 4, the parts already mentioned in Figure 1 have the same reference numbers. In contrast to the example of embodiment in FIG. 1, a coating 8 is applied by PVD (physical vapor deposition) on the interior surface of the assembly 7, closing off any leakage of the assembled elements 1, 2, and this, in the area of the assembly 7 between two elements 1, 2, joined and assembled to each other, according to the embodiment of Figure 2. Unlike the embodiment according to Figure 2, this coating 8, in the embodiment according to Figure 3, is applied to the outer surface of the assembly 7. In the context of the invention, it is understood that, according to the Figure 4, one can apply a sealing coating 8 both in the area of the interior surface of the assembly 7 and on the exterior surface of the assembly 7. The layer thickness of this coating 8 should preferably be 0.1 to 1 pm. However, this thickness can be greater when it is desired that this coating 8 also has another function, for example of modifying or adjusting the conductivity or the luminescence. This coating 8 can be applied both by vacuum metallization and by sputtering, in which case good results have been obtained by rotating the elements 1, 2 around a source of vapor in the eccentric position, to obtain a uniform layer. As a metallization material, it is possible in particular to consider all metals which have good adhesion, for example Cr, Ni, Cu, AI, as well as

des isolants, par exemple A1203, SiO2, Csl, et aussi des matériaux semi-  insulators, for example A1203, SiO2, Csl, and also semi-materials

conducteurs, qui par exemple contiennent du silicium.  conductors, which for example contain silicon.

Dans l'intensificateur d'images de rayons X selon la Figure 5, et au contraire des exemples de réalisation selon les Figures 1 à 4, le bord frontal 4 du boîtier 1 et le bord 3 du substrat 2 de l'écran primaire sont de préférence assemblés l'un à l'autre par intercalation d'une bague 9 en acier inoxydable. Ici aussi, le revêtement 8 s'étend en particulier sur l'assemblage du bord 3 du substrat 2 de l'écran primaire avec la bague 9 en acier inoxydable. Grâce à cette bague 9 en acier inoxydable, on réalise un assemblage soudé particulièrement bon et étanche, même quand le boîtier 1 de l'intensificateur d'images de rayons X est fabriqué en acier inoxydable. Dans l'exemple de réalisation, le substrat 2 de l'écran primaire, constitué d'aluminium, est assemblé par un assemblage par soudage par friction à un support en acier inoxydable, par exemple une bague 9 en acier inoxydable. Un tel assemblage soudé par friction est étanche au vide et simple à réaliser. De plus, on n'est pas confronté aux problèmes dus aux différences de coefficients de dilatation de l'aluminium et de l'acier inoxydable, et qui risqueraient d'apparaître en  In the X-ray image intensifier according to FIG. 5, and on the contrary of the exemplary embodiments according to FIGS. 1 to 4, the front edge 4 of the housing 1 and the edge 3 of the substrate 2 of the primary screen are preferably assembled to each other by the insertion of a ring 9 made of stainless steel. Here too, the coating 8 extends in particular over the assembly of the edge 3 of the substrate 2 of the primary screen with the ring 9 of stainless steel. Thanks to this ring 9 made of stainless steel, a particularly good and waterproof welded assembly is produced, even when the housing 1 of the X-ray image intensifier is made of stainless steel. In the embodiment, the substrate 2 of the primary screen, made of aluminum, is assembled by an assembly by friction welding to a stainless steel support, for example a ring 9 made of stainless steel. Such a friction welded assembly is vacuum tight and simple to make. In addition, we are not confronted with the problems due to the differences in expansion coefficients of aluminum and stainless steel, and which would risk appearing in

particulier en soudage thermique.particularly in thermal welding.

2 5 Grâce au procédé décrit ci-dessus pour étanchéifier d'éventuels défauts d'étanchéité entre deux éléments, réunis et assemblés l'un à l'autre, de l'intensificateur d'images de rayons X, on peut renoncer à l'utilisation d'un vernis de bouchage des fuites. En particulier, ce revêtement peut être exposé, lors de processus thermiques, à des températures très élevées, qui dépendent  2 5 Thanks to the method described above for sealing possible leaks between two elements, joined and assembled to each other, of the X-ray image intensifier, it is possible to dispense with the use of a leak-stopping varnish. In particular, this coating can be exposed, during thermal processes, to very high temperatures, which depend

3 0 de la pression de vapeur et de la pression ambiante.  3 0 of vapor pressure and ambient pressure.

Dans le cadre de l'invention, il est possible d'assembler l'un à l'autre et d'étanchéifier non seulement le boîtier 1 et le substrat 2 de l'écran primaire d'un intensificateur d'images de rayons X, mais encore d'assurer l'étanchéité, grâce au procédé selon l'invention, des zones d'assemblage entre les  In the context of the invention, it is possible to assemble to one another and to seal not only the housing 1 and the substrate 2 of the primary screen of an X-ray image intensifier, but also to ensure the sealing, thanks to the method according to the invention, of the assembly zones between the

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éléments du boîtier et/ou le boîtier proprement dit et le substrat de l'écran secondaire.  housing elements and / or the actual housing and the secondary screen substrate.

LISTE DES NUMEROS DE REFERENCELIST OF REFERENCE NUMBERS

1 Boîtier 2 Substrat de l'écran primaire 3 Bord du substrat de l'écran primaire 4 Bord frontal Ecran luminescent primaire 6 Surface intérieure du substrat de l'écran primaire 7 Assemblage 8 Revêtement 9 Bague en acier inoxydable  1 Housing 2 Primary screen substrate 3 Edge of primary screen substrate 4 Front edge Primary luminescent screen 6 Interior surface of primary screen substrate 7 Assembly 8 Coating 9 Stainless steel ring

Claims (6)

REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'un intensificateur d'images de rayons X, caractérisé en ce qu'on prévoit, au moins dans la zone de l'assemblage entre deux éléments (1, 2) assemblés l'un à l'autre de l'intensificateur d'images de rayons X, un revêtement qui recouvre entièrement au moins la zone de  1. A method of manufacturing an X-ray image intensifier, characterized in that, at least in the region of the assembly between two elements (1, 2) assembled to each other, x-ray image intensifier, a coating that completely covers at least the area of l'assemblage, pour assurer un scellage étanche au vide de l'assemblage.  assembly, to ensure vacuum-tight sealing of the assembly. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le revêtement est constitué d'un métal, d'un matériau semi-conducteur et/ou 0 d'un matériau isolant, et est appliqué par métallisation sous vide ou par pulvérisation cathodique sur la surface intérieure et/ou la surface extérieure  2. Method according to claim 1, characterized in that the coating consists of a metal, a semiconductor material and / or 0 of an insulating material, and is applied by vacuum metallization or by sputtering on the interior surface and / or the exterior surface au moins dans la zone de l'assemblage.  at least in the assembly area. 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le  3. Method according to claim 1 or 2, characterized in that the revêtement est constitué de Cr, Ni, Cu, AI, ou comprend ces éléments.  coating consists of Cr, Ni, Cu, AI, or includes these elements. 4. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le revêtement est constitué d'AI203, de SiO2, de Csl, ou comprend ces composés.  4. Method according to claim 1 or 2, characterized in that the coating consists of AI203, SiO2, Csl, or comprises these compounds. 5. Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que  5. Method according to one of claims 1 to 4, characterized in that les éléments (1, 2) sont configurés comme un boîtier (1) et un substrat (2) de l'écran primaire, le revêtement appliqué sur la surface intérieure de  the elements (1, 2) are configured as a housing (1) and a substrate (2) of the primary screen, the coating applied to the interior surface of l'assemblage étant constitué de Csl:Nal.  the assembly being made up of Csl: Nal. 6. Intensificateur d'images de rayons X, caractérisé en ce qu'il est  6. X-ray image intensifier, characterized in that it is fabriqué par l'un des procédés selon les revendications 1 à 5.  manufactured by one of the methods according to claims 1 to 5.
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