DE19818057A1 - X-ray image intensifier manufacture method - Google Patents

X-ray image intensifier manufacture method

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DE19818057A1
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    • H01J9/26Sealing together parts of vessels

Abstract

The method involves providing a covering coating for the connection of two connected parts (1,2) of the X-ray intensifier for leakproof seal of the connection under vacuum. Preferably, the coating consists of a metal, of a semiconductor material and of an isolation material. The coating is deposited by vapour deposition or by cathode sputtering on the inner or outer surface at least in the area of the connection. The coating consists of Cr, Ni, Cu, Al or comprises the elements.

Description

Die Erfindung betrifft einen Röntgenbildverstärker, bei dem zumindest zwei Teile miteinander verbunden sind. The invention relates to an X-ray image intensifier, in which at least two parts are connected together.

Aus der DE 44 30 623 A1 ist ein Röntgenbildverstärker be kannt, bei dem ein Rand eines Eingangsschirmes über eine Klemmverbindung mit einem Rand eines Gehäuses des Röntgen bildverstärkers in Verbindung steht. From DE 44 30 623 A1 an X-ray image intensifier is be known, in which an edge of an input screen of a clamping connection with an edge of a housing of the X-ray image intensifier is in communication. Ferner ist es bekannt, den Rand des Eingangsschirmes über eine Diffusionsschweis sung, eine Klebeverbindung oder über ein Polyimid mit dem Rand des Gehäuses in Verbindung zu bringen. It is also known, the edge of the input screen solution via a diffusion welding head, to be associated with a polyimide with the edge of the housing an adhesive connection or the like.

Es ist ferner bekannt, den Eingangsschirm über eine Schweiß verbindung, beispielsweise eine Laserschweißung, mit dem Ge häuse oder Gehäuseteile des Röntgenbildverstärkers sowie den Ausgangsschirm am Gehäuse durch Lötung oder Schweißung mit einander zu verbinden. It is also known to connect the input screen via a welded joint, for example a laser welding, the housing with Ge or housing parts of the X-ray image amplifier, the output screen on the housing by soldering or welding together.

Bei diesen Verbindungstechniken kann nicht vollständig aus geschlossen werden, daß sie vollkommen vakuumdicht sind. These bonding techniques can not be closed completely that they are completely vacuum-tight. Un dichtigkeiten reduzieren jedoch die Lebensdauer von Rönt genbildverstärkern durch das Herabsetzen des Unterdruckes und durch das Eindringen von Umgebungsluft und die damit einhergehende Herabsetzung der Empfindlichkeit der Photoka thode. However Un densities reduce the life of Rönt genbildverstärkern by the lowering of the negative pressure and by the penetration of ambient air and the attendant reduction in sensitivity of the photoka Thode. Je nach Typ der Photokathode kann eine Leckrate im Bereich von 10 -12 mbar.l/s zu einem 10%igen Abfall der Emp findlichkeit der Photokathode innerhalb von drei Jahren führen. Depending on the type of the photocathode a leak rate in the range of 10 -12 can mbar.l / s weight to a 10% decrease in the sensitivity of the photocathode Emp lead within three years. Besonders kritisch hinsichtlich solcher Undichtig keiten sind Röntgenbildverstärker mit großem Durchmesser, insbesondere dann, wenn unterschiedliche Materialien, bei spielsweise der aus Aluminium bestehende Eingangsschirm mit dem aus beispielsweise Edelstahl oder Keramik bestehenden Vakuumgehäuse, zusammengefügt werden sollen. Particularly critical with respect to such Undichtig speeds are X-ray image intensifier having a large diameter, in particular when different materials existing in the game as made of aluminum screen with the input from, for example, stainless steel or ceramic vacuum housing to be joined together. Auch Lötverbin dungen zwischen Metall und Keramik können zu Undichtigkeiten führen bzw. diese aufweisen. Also Lötverbin applications between metal and ceramic can lead to leaks or comprise these. Solche, insbesondere geringe Undichtigkeiten können nicht immer bei der Prüfung der Bau teils des Röntgenbildverstärkers detektiert werden, da sie häufig unterhalb der Nachweisgrenze von Lecksuchgeräten liegen. Such, in particular small leaks can be detected in part of the X-not always in the examination of construction, as they often are below the detection limit of leak detectors. Zur Prüfung der Vakuumdichtigkeit werden Helium-Leck sucher eingesetzt, deren Nachweisgrenze im Bereich von 10 -9 mbar.l/s liegt. To test the vacuum tightness helium leak be used seeker, whose detection limit in the range of 10 -9 mbar.l / s. Überschreiten Bauteile der Röntgenbild verstärker-Vakuumhülle diese Leckrate, so werden sie nicht in den weiteren Produktionsprozeß einbezogen, was zu einem unnötigen Kostenaufwand führt. Exceeding components of the X-ray image amplifier vacuum envelope this leak rate, so they are not included in the further production process, resulting in unnecessary expense. Teile, die diese Leckrate un terschreiten, werden dann zur Herstellung des Röntgenbild verstärkers weiter verwandt. Parts fallen short this leak rate un are then used to produce the X-ray image amplifier on. Ist der Röntgenbildverstärker bauteilmäßig fertiggestellt, so erfolgt dessen Evakuierung, Ausheizung und das Herstellen der Photokathode durch Ver dampfen von z. If the X-ray image intensifier completed component moderately, its evacuation, bake and the production of the photocathode by Ver is carried out by steam z. B. Cäsium und Antimon im Inneren der Vakuum röhre (des Gehäuses). B. cesium and antimony inside the vacuum tube (of the housing). Das Pumpkapillar aus Glas, Nickel oder Kupfer wird nach dem Herstellen der Photokathode abge quetscht bzw. verschmolzen und mit einem am Röntgenbildver stärker angebrachten Penning werden die Restgase bis auf 10 -8 mbar abgegettert und der Penningstrom gemessen. The Pumpkapillar of glass, nickel or copper is squeezed after the production of the photocathode abge fused, respectively, and with a stronger mounted on Röntgenbildver Penning the residual gases are up to 10 -8 mbar abgegettert and the Penning current is measured. Nach einer Ruhezeit von ca. 50 Stunden wird das Penning durch Anlegen einer Hochspannung nochmals gezündet und der Penningstrom abermals gemessen. After a rest period of about 50 hours, the Penning is ignited by applying a high voltage again and the Penning current measured again. Aus der ermittelten Penningstromdifferenz kann die Druckdifferenz im Inneren des Röntgenbildverstär kers errechnet werden. From the determined Penning current difference, the pressure difference can be calculated inside the Röntgenbildverstär kers. Die hieraus resultierende Lecknach weisgrenze liegt im Bereich von 10 -11 mbar.l/s. The resulting Lecknach detection limit is in the range of 10 -11 mbar.l / s. Bei Bildver stärkern mit einer hohen Penningstromdifferenz wird der Druckanstieg in unterschiedlicher Umgebung (Luft bzw. Argon oder Methan) beobachtet, wobei das restgasabhängige Ionisierungsverhalten der Penninge genutzt wird. In Bildver amplifiers with a high Penning current difference of the rise in pressure in different environments (air or argon or methane) is observed, the residual gas of the dependent Ionisierungsverhalten Penninge is used. Durch Ab kleben von Verbindungsstellen mit einer Kunststoff-Folie wird im Ausschlußverfahren die undichte Stelle lokalisiert und durch die Versiegelung mittels Leckdichtungslackes ver schlossen. By Ab sticking of joints with a plastic film is locates the leak in the process of elimination and closed by sealing means ver leak seal lacquer. Die Nachweisgrenze der Lecksuche liegt mit diesem Verfahren im Bereich von 10 -12 mbar.l/s. The detection limit of the leak is located by this method in the range of 10 -12 mbar.l / s. Nachteil dieses zeitaufwendigen Verfahrens ist die Gefahr, daß bis zur Ab dichtung des Lecks von außen Luft in den Röntgenbildverstär ker einströmt bzw. daß Lösungsmittel aus dem Leckdichtungs lack in das Innere des Röntgenbildverstärkers gelangt und die Photokathode zerstört. A disadvantage of this time-consuming process is the risk that to seal the leak flows from ker from the outside air into the Röntgenbildverstär or that solvent passes from the leak sealing lacquer in the interior of the X-ray image intensifier and destroys the photocathode.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zum Her stellen eines Röntgenbildverstärkers und einen Röntgenbild verstärker derart anzugeben, daß insbesondere die Verbin dungsstelle zweier miteinander verbundener Teile des Rönt genbildverstärkers eine hohe Vakuumdichtigkeit aufweist und daß das Verfahren zur Überprüfung der Vakuumdichtigkeit er heblich verkürzt werden kann. The object of the invention is therefore to provide a method for Her provide an X-ray image intensifier and an X-ray image to specify amplifier in such a way that in particular the Verbin binding site of two interconnected parts of the Rönt genbildverstärkers has a high vacuum tightness, and that the method for checking the vacuum tightness can be shortened considerably ,

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren nach dem Patentanspruch 1 und einem Röntgenbildverstärker nach dem Patentanspruch 6 gelöst. The object is inventively achieved by a method according to claim 1 and an X-ray image intensifier according to claim. 6

Vorteil des Verfahrens und des Röntgenbildverstärkers ist, daß zumindest im Bereich der Verbindung zweier miteinander verbundener Teile des Röntgenbildverstärkers eine zumindest den Bereich der Verbindung vollständig abdeckende Beschich tung zur vakuumdichten Versiegelung der Verbindung vorge sehen wird. The advantage of the method and the X-ray image intensifier, at least in the region of the connection of two interconnected parts of the X-ray image intensifier, an at least the region of the connection completely covers Beschich processing for air-tight sealing of the connection is easily seen. Der Verbindungsbereich wird somit versiegelt und die Vakuumdichtigkeit des Röntgenbildverstärkers erheblich erhöht, so daß sich ein geringerer Ausschuß von Rönt genbildverstärkerteilen ergibt und zum anderen keine Leck suche mehr erforderlich ist. The connecting portion is thus sealed and the vacuum tightness of the X-ray image intensifier significantly increased, so that a lesser Committee results genbildverstärkerteilen of Rönt and on the other hand no more leak detection is required.

Es ist vorteilhaft, wenn die Beschichtung aus einem Metall, einem Halbleitermaterial oder aus einem Isolationsmaterial besteht, das durch Verdampfen oder mittels Kathodenzerstäu bung auf die innere und/oder äußere Oberfläche im Bereich der Verbindung der Teile aufgebracht wird. It is advantageous if the coating consists of a metal, a semiconductor material or made of an insulating material which is applied to the inner and / or outer surface at the joint of the parts by means of evaporation or Kathodenzerstäu bung. Diese Beschich tungsverfahren sind wenig zeitaufwendig und sicher im Auf trag einer Beschichtung mit einer ausreichenden Dicke. These are Beschich processing methods little time consuming and safe on support of a coating with a sufficient thickness.

Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn die Beschichtung aus Cr, Ni, Cu oder Al besteht oder diese Metalle aufweist und/ oder wenn die Beschichtung aus Al 2 O 3 oder SiO 2 oder aus CsI besteht oder diese aufweist. It has proved to be advantageous when the coating consists of Cr, Ni, Cu or Al or comprises these metals and / or when the coating of Al 2 O 3 or SiO 2 or of CsI consisting of or comprising.

Besonders vorteilhaft und wenig zeitaufwendig ist ein Ver fahren, wenn die Teile als Eingangsfenster und als Gehäuse des Röntgenbildverstärkers ausgeführt sind und wenn die Be schichtung aus CsI : NaI besteht, die auf die innere Oberflä che im Bereich der Verbindung der Teile aufgebracht wird. It is particularly advantageous and less time-consuming an Ver driving, when the parts are designed as the input window and the housing of the X-ray image intensifier and, when the Be coating of CsI: NaI is, the surface on the inner Oberflä in the area of ​​connection of the parts is applied. Die Leuchtschicht des Eingangsfensters des Röntgenbildver stärkers überdeckt somit auch den Bereich der Verbindung des Eingangsfensters mit dem Gehäuse des Röntgenbildverstärkers, so daß sich beim Auftrag der sowieso notwendigen Eingangs leuchtschicht gleichzeitig ein Abdichtungseffekt einstellt. The luminescent layer of the input window of the Röntgenbildver stärkers thus also covers the region of the connection of the input window to the housing of the X-ray image intensifier, so that during application of the setting anyway necessary input luminescent layer at the same time a sealing effect. Es ergibt sich somit kein eigener Arbeitsprozeß hinsichtlich der Abdichtung des Röntgenbildverstärkers, was zur Mate rial-, zur Zeit- und somit zur Kosteneinsparung führt. Thus, there is no separate working process with regard to the sealing of the X-ray image intensifier, thus leading to Mate rial-, for time and cost savings.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbei spiels anhand der Zeichnungen in Verbindung mit den Unteran sprüchen. Further advantages and details of the invention will become apparent from the following description of an exemplary embodiment, game reference to the drawings in conjunction with the Unteran claims. Es zeigen: Show it:

Fig. 1 eine prinzipielle Darstellung eines Längsschnittes eines Röntgenbildverstärkers nach der Erfindung, Fig. 1 shows a schematic representation of a longitudinal section of an X-ray image intensifier according to the invention,

Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel einer Beschichtung im Bereich der Verbindung zweier zusammengefügter Teile, Fig. 2 shows an embodiment of a coating in the region of the connection of two joined parts,

Fig. 3 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Beschichtung im Bereich der Verbindung zweier zusammengefügter Teile, Fig. 3 shows another embodiment of a coating in the region of the connection of two joined parts,

Fig. 4 ein drittes Ausführungsbeispiel einer Beschichtung im Bereich der Verbindung zweier zusammengefügter Teile, und Fig. 4 shows a third embodiment of a coating in the region of the connection of two joined parts, and

Fig. 5 ein viertes Ausführungsbeispiel einer Beschichtung im Bereich der Verbindung zweier bevorzugt zusammenge fügter Teile eines Röntgenbildverstärkers. Fig. 5 shows a fourth embodiment of a coating in the area of connection of two preferably together quantitative Inserted parts of an X-ray image intensifier.

In der Fig. 1 ist mit dem Bezugszeichen 1 ein Gehäuse als erstes Teil eines Röntgenbildverstärkers gekennzeichnet, das aus Keramik, Aluminium oder Edelstahl bestehen kann. In Fig. 1 a housing is indicated as the first part of an X-ray image intensifier by the reference numeral 1, which may consist of ceramic, aluminum or stainless steel. Dieses Gehäuse 1 ist mit einem Eingangsschirmsubstrat 2 als zweites Teil des Röntgenbildverstärkers abgeschlossen. This casing 1 is terminated with an input screen substrate 2 as the second part of the X-ray image intensifier. Das Eingangs schirmsubstrat 2 kann aus Aluminium oder einem Verbundmate rial aus Aluminium und Edelstahl bestehen, wobei der Edelstahl in dem für die Bilderzeugung genutzten Bereich entfernt ist. The input screen substrate 2 may rial are made of aluminum or a composite Mate aluminum and stainless steel, wherein the stainless steel is removed in the used for the image-forming area. Der Rande 3 des Eingangsschirmsubstrates 2 ist über eine Verbindungstechnik, beispielsweise Schweißen (Laser-, Reib- oder Diffusionsschweißung), Lötung, Kleben, oder einer anderen geeigneten Verbindungstechnik mit dem stirnseitigen Rand 4 des Gehäuses 1 , der als Edelstahl- oder Vaconflansch ausgeführt sein kann, verbunden. The edge 3 of the input screen substrate 2 is connected via a joining technique, for example welding (laser, friction or diffusion welding), soldering, gluing, or another suitable connection technique with the front edge 4 of the housing 1, which may be embodied as a stainless steel or Vaconflansch , connected.

Eine Eingangsleuchtschicht 5 aus beispielsweise CsI : NaI wird durch ein geeignetes Auftrageverfahren, beispielsweise durch ein Verdampfungsverfahren, auf die innere Oberfläche 6 des Eingangsschirmsubstrates 2 aufgedampft, wobei die Verdampfung so ausgeführt wird, daß sich das CsI : NaI auch zumindest im Bereich der Verbindung 7 des Eingangsschirm substrates 2 mit dem Gehäuse 1 niederschlägt. An input phosphor layer 5 of, for example, CsI: NaI is evaporated by a suitable application methods, for example by an evaporation method, to the inner surface 6 of the entrance screen substrate 2, wherein the evaporation is carried out such that the CsI: NaI also at least in the region of the connection 7 of the the input screen as the substrate 2 is reflected to the housing. 1 Bei einer ty pischen Schichtdicke der Eingangsleuchtschicht von 400 µm wird die gewünschte Dichtwirkung leicht erreicht. In one ty european layer thickness of the input phosphor layer of 400 microns the desired sealing effect is easily achieved. Ein wei terer Vorteil dieser Vorgehensweise ist darin zu sehen, daß die Temperaturabführung aufgrund der Wärmespeicherfähigkeit des beispielsweise aus Edelstahl bestehenden Randes 3 des Eingangsschirmsubstrates 2 bei der CsI : NaI-Bedampfung gün stig beeinflußt wird, was die Direktbedampfungstechnologie des Eingangsschirmsubstrates 2 ermöglicht. A wei more excellent advantage of this approach is the fact that the temperature of dissipation due to the heat storage capacity of the existing example, stainless steel edge 3 of the input screen of the substrate 2 in the CsI: is influenced stig NaI vapor deposition gun, enabling the Direktbedampfungstechnologie of the entrance screen substrate. 2 Durch diese Di rektbedampfungstechnologie wird das DQE (Detectiv Quantum Efficiency) des Röntgenbildverstärkers um ca. 3% gegenüber einem herkömmlichen Herstellungsverfahren erhöht. By this Di rektbedampfungstechnologie the DQE (Detective Quantum Efficiency) of the X-ray image intensifier is increased by about 3% compared with a conventional manufacturing method.

Bei den in den Fig. 2 bis 4 in prinzipieller Weise darge stellten Teilen des Röntgenbildverstärkers sind Elemente, die bereits in der Fig. 1 Erwähnung fanden, mit den gleichen Bezugszeichen versehen. In the case of in Figs. 2 to 4 presented in a principle manner Darge parts of the X-ray image intensifier are elements which were already in the FIG. 1 mentioned, provided with the same reference numerals. Im Unterschied zum Ausführungsbei spiel nach der Fig. 1 sind im Bereich der Verbindung 7 zweier zusammengefügter und miteinander verbundener Teile 1 , 2 gemäß dem Ausführungsbeispiel nach der Fig. 2 eine Be schichtung 8 mittels PVD (Physical Vapor Deposition) auf der inneren Oberfläche der Verbindung 7 durch Bedampfen aufge bracht, die eine eventuelle Undichtigkeit der verbundenen Teile 1 , 2 verschließt. In contrast to the Ausführungsbei game of FIG. 1 are in the region of the connection 7 of two joined and linked parts 1, 2 according to the embodiment of FIG. 2 is a Be coating 8 by PVD (Physical Vapor Deposition) on the inner surface of the compound 7 brought up by vapor deposition, which seals any possible leakage of the connected parts. 1, 2 Im Unterschied zum Ausführungsbei spiel nach der Fig. 2 ist beim Ausführungsbeispiel nach der Fig. 3 diese Beschichtung 8 auf die äußere Oberfläche der Verbindung 7 aufgebracht. In contrast to the Ausführungsbei game of FIG. 2 is the embodiment of FIG. 3, this coating applied to the outer surface of the connection 7 8. Im Rahmen der Erfindung ist es selbstverständlich, daß gemäß der Fig. 4 sowohl im Bereich der inneren Oberfläche der Verbindung 7 als auch der äußeren Oberfläche der Verbindung 7 eine Beschichtung 8 zur Abdich tung aufgebracht werden kann. In the present invention, it is to be understood that can be applied according to the Fig. 4, both in the region of the inner surface of the connection 7 and the outer surface of the connection 7, a coating 8 for waterproofing processing. Die Schichtdicke dieser Be schichtung 8 sollte vorzugsweise im Bereich von 0,1 bis 1 µm liegen. The layer thickness of this coating Be 8 should preferably be in the range of 0.1 to 1 micron. Sie kann aber auch dicker sein, wenn mit dieser Be schichtung 8 auch eine andere Funktion, z. But it can also be thicker when coating with this 8 Be in other capacities such. B. die Leitfähig keit oder die Lumineszenz verändert oder eingestellt werden soll. For example, the conductivity ness or the luminescence to be changed or adjusted. Diese Beschichtung 8 kann sowohl durch Aufdampfen als auch durch Kathodenzerstäubung (Sputtern) aufgebracht wer den, wobei sich eine Rotation der Teile 1 , 2 um eine exzen trisch angeordnete Dampfquelle als günstig erwiesen hat, um eine gleichmäßige Schicht zu erzeugen. This coating 8 can be used both by evaporation and by sputtering (sputtering) who applied the, wherein a rotation of the parts 1, 2 has proven an exzen trically arranged steam source to be favorable to produce a uniform layer. Als Aufdampfmaterial kommen insbesondere alle gut haftenden Metalle, beispiels weise Cr, Ni, Cu, Al als auch Isolatoren, z. As vapor deposition are especially all well adhering metals, example, Cr, Ni, Cu, Al and insulators such. B. Al 2 O 3 , SiO 2 , CsI, als auch Halbleitermaterialien, beispielsweise aufwei send Silicium, in Frage. As Al 2 O 3, SiO 2, CsI, and semiconductor materials such as silicon aufwei send, in question.

Beim Röntgenbildverstärker nach der Fig. 5 sind vorzugsweise im Unterschied zu den Ausführungsbeispielen nach den Fig. 1 bis 4 der stirnseitige Rand 4 des Gehäuses 1 und der Rand 3 des Eingangsschirmsubstrates 2 unter Zwischenfügung eines Edelstahlringes 9 miteinander verbunden. When X-ray image intensifier according to the Fig. 5 1 to 4 of the end edge 4 of the housing 1 and the edge 3 of the input screen of the substrate 2 with the interposition of a stainless steel ring 9 are preferably, in contrast to the embodiments according to FIGS. Interconnected. Auch hierbei er streckt sich die Beschichtung 8 insbesondere über die Ver bindung des Randes 3 des Eingangsschirmsubstrates 2 mit dem Edelstahlring 9 . Also in this case it is the coating 8 extends in particular on the View tying the edge 3 of the input screen of the substrate 2 with the stainless steel ring. 9 Durch das Vorsehen dieses Edelstahlringes 9 kann eine besonders gute und dichte Schweißverbindung her gestellt werden, wenn auch das Gehäuse 1 des Röntgenbild verstärkers aus Edelstahl hergestellt ist. By providing this stainless steel ring 9 a particularly good and tight welding connection can be found here, although the housing 1 of the X-ray image amplifier is made of stainless steel. Beim Ausführungs beispiel ist das Eingangsschirmsubstrat 2 aus Aluminium mittels einer Reibschweißverbindung mit einem Edelstahlträ ger, beispielsweise dem Edelstahlring 9 , verbunden. During execution, for example, the input screen substrate 2 made of aluminum by means of a friction-welded connection with a ger Edelstahlträ, for example, the stainless steel ring 9, respectively. Eine solche Reibschweißverbindung ist vakuumdicht und einfach in der Herstellung. Such friction welding joint is vacuum-tight and easy to produce. Zudem treten hierbei nicht die aufgrund der unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten von Aluminium und Edelstahl hervorgerufenen Probleme auf, wie sie insbesondere beim thermischen Schweißen entstehen würden. Moreover, this is not the caused due to the different expansion coefficients of aluminum and stainless steel problems as they would arise in particular in the thermal welding.

Durch das beschriebene Verfahren zur Abdichtung von eventu ellen Undichtigkeiten zweier zusammengefügter und miteinan der verbundener Teile des Röntgenbildverstärkers kann auf den Einsatz von Leckdichtungslack verzichtet werden. The described method for sealing the alternative economic leaks of two joined and miteinan the connected parts of the X-ray image intensifier can be dispensed with the use of leak sealing lacquer. Insbe sondere kann diese Beschichtung einer weitaus höheren Tempe ratur - je nach Dampfdruck und Umgebungsdruck - bei Temper prozessen ausgesetzt werden. In particular, this coating may sondere temperature of a much higher Tempe - are exposed to annealing processes - depending on the vapor pressure and ambient pressure.

Es ist selbstverständlich, daß im Rahmen der Erfindung nicht nur das Gehäuse 1 und das Eingangsschirmsubstrat 2 eines Röntgenbildverstärkers dementsprechend miteinander verbunden und abgedichtet werden können, sondern es ist auch möglich, die Verbindungsstellen von Gehäuseteilen und/oder des Gehäu ses mit dem Ausgangsschirmsubstrat durch das erfindungsge mäße Verfahren abzudichten. It is understood that not only the housing 1 and the entrance screen substrate 2 of an X-ray image intensifier can be joined together and sealed within the scope of the invention accordingly, but it is also possible, the connection points of the housing parts and / or the Gehäu ses to the output screen substrate by the erfindungsge Permitted seal method.

Claims (6)

  1. 1. Verfahren zum Herstellen eines Röntgenbildverstärkers, wo bei zumindest im Bereich der Verbindung zweier miteinander verbundener Teile ( 1 , 2 ) des Röntgenbildverstärkers eine zu mindest den Bereich der Verbindung vollständig abdeckende Be schichtung zur vakuumdichten Versiegelung der Verbindung vor gesehen wird. 1. A method of manufacturing an X-ray image intensifier, where it is seen in at least in the region of the connection of two interconnected parts (1, 2) of the X-ray image intensifier too least the region of the connection completely covers Be coating for air-tight sealing of the compound before.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Beschichtung aus ei nem Metall, aus einem Halbleitermaterial und/oder aus einem Isolationsmaterial besteht und durch Aufdampfen oder mittels Kathodenzerstäubung auf die innere und/oder äußere Oberfläche zumindest im Bereich der Verbindung aufgebracht wird. 2. The method of claim 1, wherein the coating consists of egg nem metal, a semiconductor material and / or of an insulating material and is applied by vapor deposition or by sputtering on the inner and / or outer surface at least in the region of the connection.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Beschichtung aus Cr, Ni, Cu, Al besteht oder dieses aufweist. 3. The method according to claim 1 or 2, wherein the coating consists of Cr, Ni, Cu, Al or where it has.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Beschichtung aus Al 2 O 3 , SiO 2 , CsJ besteht oder dieses aufweist. 4. The method of claim 1 or 2, wherein the coating of Al 2 O 3, SiO 2, CsI consists or comprises this.
  5. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Teile ( 1 , 2 ) als Gehäuse ( 1 ) und als Eingangsschirmsubstrat ( 2 ) ausgeführt sind und wobei die Beschichtung aus CsJ : NaJ besteht, die auf die innere Oberfläche der Verbindung aufge bracht ist. 5. The method according to any one of claims 1 to 4, wherein the parts (1, 2) as the housing (1) and as an input screen substrate (2) are carried out and wherein the coating consists of CsI: NaJ is that up to the inner surface of the compound is introduced.
  6. 6. Röntgenbildverstärker, hergestellt nach einem der Verfah ren nach den Ansprüchen 1 bis 5. 6. X-ray image intensifier, manufactured according to one of procedural ren according to claims 1 to. 5
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