FR2762240A1

FR2762240A1 - High-frequency cleaning technique for electronic elements

Info

Publication number: FR2762240A1
Application number: FR9705035A
Authority: FR
Inventors: George Lucien Michel
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1997-04-18
Filing date: 1997-04-18
Publication date: 1998-10-23
Anticipated expiration: 2017-04-18
Also published as: FR2762240B1

Abstract

The high-frequency cleaning technique has a bath (16) containing a fluid (6). The components to be cleaned are placed inside the bath. Transducers (1) are attached to the base lower wall to vibrate the immersion fluid at high frequency. The bath can also be used for cleaning silicon wafers. The transducer can operate at low power level, producing a circular movement or high power level producing perpendicular movements.

Description

PROCEDE ET DISPOSITIF DE NETTOYAGE
D'ELEMENTS ELECTRONIQUES PAR MOYENNES
OU HAUTES FREQUENCES
La présente invention est relative à un procédé et un dispositif de nettoyage d'éléments électroniques par des moyennes ou hautes fréquences.CLEANING METHOD AND DEVICE
OF ELECTRONIC ELEMENTS BY MEANS
OR HIGH FREQUENCIES
The present invention relates to a method and a device for cleaning electronic elements by medium or high frequencies.

Le domaine technique de la présente invention est celui de la fabrication de dispositifs de nettoyage d'éléments électroniques par des moyennes ou hautes fréquences. The technical field of the present invention is that of the manufacture of devices for cleaning electronic elements by medium or high frequencies.

Le brevet US 5037481 (BRAN) décrit un dispositif, dit "mégasonique", de nettoyage d'éléments ou d'équipements électroniques tels que des tranches (dites "wafer") de silicium, ou bien des écrans plats par exemple, par immersion des éléments électroniques à nettoyer dans un fluide, normalement liquide, contenu dans un conteneur ou bac comportant une paroi de fond munie d'une face inférieure et d'une face supérieure ; le dispositif comporte un ou plusieurs transducteurs à base de céramique piézo-électrique, qui est susceptible de vibrer à hautes fréquences et d'émettre des ondes radio, notamment des ondes de moyenne fréquence, c'est-à-dire dont la fréquence est comprise entre 300 Khz et 3 Mhz, lesquelles ondes radio se propagent dans le fluide et permettent de faciliter la désolidarition, de l'élément électronique à nettoyer des impuretés présentes à la surface de l'élément ; le dispositif décrit dans ce document comporte un diffuseur muni d'une surface convexe pour faire diverger le faisceau d'ondes émises par le transducteur. The patent US 5037481 (BRAN) describes a device, called "megaonic", for cleaning electronic elements or equipment such as wafers (or "wafer") of silicon, or else flat screens for example, by immersion of electronic elements to be cleaned in a fluid, normally a liquid, contained in a container or tray having a bottom wall provided with a lower face and an upper face; the device comprises one or more transducers based on piezoelectric ceramic, which is capable of vibrating at high frequencies and of emitting radio waves, in particular medium frequency waves, that is to say whose frequency is included between 300 Khz and 3 Mhz, which radio waves propagate in the fluid and make it possible to facilitate the separation, of the electronic element to be cleaned of impurities present on the surface of the element; the device described in this document comprises a diffuser provided with a convex surface for causing the beam of waves emitted by the transducer to diverge.

L'objectif de la présente invention est de proposer un dispositif et un procédé de nettoyage d'éléments électroniques qui soient améliorés. The objective of the present invention is to provide an improved device and method for cleaning electronic elements.

Selon un aspect principal de l'invention, ledit transducteur dit "mégasonique" est mécaniquement solidarisé, et de préférence collé, sous la paroi de fond du bac, c'est-à-dire sur la face inférieure ou externe de la paroi de fond du bac, de sorte que la paroi de fond est dénuée d'ouverture et ou de fenêtre. According to a main aspect of the invention, said so-called "megaonic" transducer is mechanically secured, and preferably glued, under the bottom wall of the tank, that is to say on the lower or outer face of the bottom wall of the tank, so that the bottom wall is devoid of opening and or window.

Un résultat de l'invention consiste donc à proposer un système de transmission des ondes à haute fréquence émises par le transducteur, au travers de la paroi de fond du bac, c'est-à-dire que le ou les générateurs de vibration à hautes fréquences (céramique piézo-électrique) n'est (ne sont) pas en contact direct avec le fluide de nettoyage contenu dans le bac. A result of the invention therefore consists in proposing a system for transmitting the high frequency waves emitted by the transducer, through the bottom wall of the tank, that is to say that the vibration generator (s) at high frequencies (piezoelectric ceramic) is (are) not in direct contact with the cleaning fluid contained in the tank.

De préférence, les transducteurs céramiques sont collés sur le fond du bac en quartz, à l'aplomb des éléments à nettoyer, ce qui permet d'éviter ainsi un dispositif mécanique complexe de montage du transducteur, et permet d'éviter la présence de joints d'étanchéité et/ou d'aspérités dans la paroi de fond, qui pourraient piéger ou retenir des substances "polluantes". Preferably, the ceramic transducers are bonded to the bottom of the quartz tank, directly above the elements to be cleaned, which thus avoids a complex mechanical device for mounting the transducer, and avoids the presence of seals sealing and / or roughness in the bottom wall, which could trap or retain "polluting" substances.

L'invention permet l'émission à hautes fréquences des vibrations au travers de la paroi sans contact direct entre les transducteurs et le fluide de nettoyage contenu dans le bac. The invention allows the emission at high frequencies of vibrations through the wall without direct contact between the transducers and the cleaning fluid contained in the tank.

Un système suivant 1 invention se caractérise notamment par l'absence de fenêtre ou d'orifice dans le fond du bac, ce qui permet de garantir que le bac reste propre moyennant un renouvellement du fluide. A system according to 1 invention is characterized in particular by the absence of window or orifice in the bottom of the tank, which makes it possible to guarantee that the tank remains clean by means of a renewal of the fluid.

L'invention favorise le nettoyage des éléments électroniques immergés dans le bain par un phénomène dit de "streaming", qui se traduit par l'apparition de forces dans le fluide de nettoyage qui, dans un régime de fortes puissances, ont un moyenne temporelle non nulle et provoquent la création d'un régime convectif. The invention promotes the cleaning of electronic elements immersed in the bath by a phenomenon known as "streaming", which results in the appearance of forces in the cleaning fluid which, in a regime of high powers, have a time average not null and cause the creation of a convective regime.

Ces forces, d'origine acoustique, entraînent les particules présentes à la surfaces des éléments à nettoyer soit par effet direct, soit par effet de vortex ; les forces générées par les vibrations transmises au fluide sont d'autant plus grandes que l'amplitude et la fréquence des ondes émises sont élevées;
Le fait de travailler avec des fréquences élevées, de préférence supérieure à 1 Mhz, permet d'éviter les problèmes de cavitation susceptibles de provoquer l'érosion et/ou la fracture des éléments à nettoyer, puisque le seuil de cavitation est d'autant plus élevé que la fréquence des ondes est élevé.These forces, of acoustic origin, entrain the particles present on the surfaces of the elements to be cleaned either by direct effect, or by vortex effect; the forces generated by the vibrations transmitted to the fluid are greater the greater the amplitude and frequency of the waves emitted;
The fact of working with high frequencies, preferably higher than 1 Mhz, makes it possible to avoid the problems of cavitation likely to cause the erosion and / or the fracture of the elements to be cleaned, since the threshold of cavitation is all the more high as the frequency of the waves is high.

Afin de permettre une transmission optimale des ondes dites "ultrasonores ou mégasonores" vers le fluide de nettoyage contenu dans le bac, au travers de l'épaisseur de quartz constituant la paroi de fond du bac, le système acoustique global (céramique + quartz) est adapté en impédance et en épaisseur à une fréquence donnée ; ainsi, l'épaisseur du quartz résonne sur un de ses modes propres pour permettre une transmission optimale, y compris dans les régimes transitoires ; afin d'éviter des problèmes de couplage entre les transducteurs céramiques (par propagation dans le quartz), la distance entre les transducteurs céramiques est optimisée. In order to allow optimal transmission of the so-called "ultrasonic or mega-sonic" waves to the cleaning fluid contained in the tank, through the thickness of quartz constituting the bottom wall of the tank, the overall acoustic system (ceramic + quartz) is adapted in impedance and thickness at a given frequency; thus, the thickness of the quartz resonates on one of its own modes to allow optimal transmission, including in transient regimes; in order to avoid coupling problems between the ceramic transducers (by propagation in quartz), the distance between the ceramic transducers is optimized.

Selon un autre aspect principal de l'invention, le bac comporte un diffuseur d'ondes radio (dites "mégasoniques") qui est intégré à la paroi de fond du bac, et qui est de préférence essentiellement constitué par au moins un réseau de rainures aménagées sur la face supérieure de la paroi de fond du bac, lesquelles rainures sont parallèles entre elles et non équidistantes ; le diffuseur est par exemple constitué par deux réseaux de rainures : un premier réseau de premières rainures qui sont parallèles entre elles, et un deuxième réseau de deuxièmes rainures parallèles entre elles et inclinées par rapport aux premières rainures, par exemple perpendiculaires aux premières rainures. According to another main aspect of the invention, the tank comprises a radio wave diffuser (called "megaonic") which is integrated into the bottom wall of the tank, and which is preferably essentially constituted by at least one network of grooves arranged on the upper face of the bottom wall of the tank, which grooves are parallel to each other and not equidistant; the diffuser is for example constituted by two networks of grooves: a first network of first grooves which are parallel to each other, and a second network of second grooves parallel to each other and inclined relative to the first grooves, for example perpendicular to the first grooves.

Le rainurage de la paroi de fond du bac sur sa face interne consiste en fait à prévoir un réseau de Fresnel en rainurant de façon apériodique cette paroi de fond ; ce réseau est réalisé de telle façon que l'on crée en sortie du réseau une onde divergente. The grooving of the bottom wall of the tank on its internal face consists in fact of providing a Fresnel network by grooving aperiodically this bottom wall; this network is produced in such a way that a divergent wave is created at the output of the network.

Selon une variante de réalisation de l'invention, l'élément diffuseur est logé dans le bac, est de forme plane et mince, c'est-à-dire s'détendant essentiellement selon deux directions parallèles au fond du bac, et par exemple constitué par une grille ou une plaque perforée solidarisée à la paroi supérieure ou interne du fond du bac, ou bien disposée au dessus de celui-ci. According to an alternative embodiment of the invention, the diffuser element is housed in the tank, is of planar and thin shape, that is to say extending essentially in two directions parallel to the bottom of the tank, and for example consisting of a grid or a perforated plate secured to the upper or inner wall of the bottom of the tank, or else disposed above it.

L'ajout d'un élément diffusant à proximité du fond du bac constitue une variante de réalisation d'un réseau de Fresnel servant à diffuser les ondes transmises par la paroi de fond du bac, mais dans cette variante, la diffraction est obtenue grâce à une pièce rapportée, par exemple une plaque trouée ou perforée, ou bien une grille disposée parallèlement à la paroi de fond du bac. The addition of a diffusing element near the bottom of the tank constitutes an alternative embodiment of a Fresnel network used to diffuse the waves transmitted by the bottom wall of the tank, but in this variant, the diffraction is obtained thanks to an insert, for example a perforated or perforated plate, or else a grid arranged parallel to the bottom wall of the tank.

Les paramètres acoustiques de la pièce rapportée, par exemple la densité, la taille des trous ou la maille de la grille sont calculés pour optimiser les performances du diffuseur. The acoustic parameters of the insert, for example the density, the size of the holes or the mesh of the grid are calculated to optimize the performance of the diffuser.

Ces deux techniques proposées selon l'invention pour permettre la diffusion des ondes émises par les transducteurs permet d'étaler le faisceau d'ondes générées dans la liquide pour améliorer l'homogénéité du champ vibratoire ou sonore dans le liquide et en particulier à proximité des éléments à nettoyer ; en effet, du fait de la fréquence de fonctionnement des transducteurs et de la distance entre ceux ci, les faisceaux "ultrasonores" générés sont collimatés ; il faut donc étaler ces faisceaux ou les diffuser pour améliorer l'homogénéité du champ ; du fait de la géométrie, l'étalement du faisceau n'est nécessaire que dans une direction parallèle à la surface des tranches de silicium à nettoyer, dans ce cas. These two techniques proposed according to the invention to allow the diffusion of the waves emitted by the transducers makes it possible to spread the beam of waves generated in the liquid to improve the homogeneity of the vibratory or sound field in the liquid and in particular near the items to be cleaned; in fact, due to the operating frequency of the transducers and the distance between them, the “ultrasonic” beams generated are collimated; these beams must therefore be spread out or scattered to improve the uniformity of the field; due to the geometry, spreading the beam is only necessary in a direction parallel to the surface of the silicon wafers to be cleaned, in this case.

Selon un autre aspect principal de l'invention, le dispositif comporte des transducteurs céramiques collés sur la face externe des parois latérales du bac. According to another main aspect of the invention, the device comprises ceramic transducers bonded to the external face of the side walls of the tank.

Ceci permet de faire interagir deux faisceaux (dits ultrasonores ou mégasonores) perpendiculaires , qui sont générés par les céramiques prévues sur la paroi du fond du bac d'une part, et par les céramiques prévues sur au moins une des parois latérales d'autre part, ce qui permet de créer un mouvement particulaire circulaire, même à bas niveau de puissance ; ce mouvement particulaire est à l'échelle du micromètre et à la fréquence de fonctionnement ; on crée donc une plus grande agitation avec des échelles de longueur courte. This makes it possible to make two perpendicular beams (called ultrasonic or mega-beams) interact, which are generated by the ceramics provided on the bottom wall of the tank on the one hand, and by the ceramics provided on at least one of the side walls on the other hand , which makes it possible to create a circular particle movement, even at low power levels; this particulate movement is on the micrometer scale and at the operating frequency; therefore greater agitation is created with short length scales.

Avec un niveau de puissance plus élevé, la composition des deux mouvements particulaires perpendiculaires résultant des deux faisceaux, amplifie le phénomène dit de "streaming" et permet un nettoyage amélioré. With a higher power level, the composition of the two perpendicular particle movements resulting from the two beams, amplifies the phenomenon known as "streaming" and allows improved cleaning.

Selon un autre aspect principal, l'invention consiste à procurer un dispositif dans lequel plusieurs transducteurs céramiques de forme rectangulaire ou circulaire, sont régulièrement disposés, de préférence en ligne et/ou en colonne, sur la face externe de la paroi de fond et/ou d'au moins une paroi latérale du bac. According to another main aspect, the invention consists in providing a device in which several ceramic transducers of rectangular or circular shape are regularly arranged, preferably in line and / or in column, on the external face of the bottom wall and / or at least one side wall of the tank.

Par optimisation des formes des transducteurs céramiques, de la distance entre deux transducteurs céramiques, de la fréquence de fonctionnement des transducteurs, et du découplage entre les éléments, on augmente la surface d'émission, par exemple en utilisant des céramiques de forme rectangulaire, disposées pour former un pavage régulier ; ceci permet de créer un champ vibratoire ou "ultrasonore" vertical dont la densité de puissance est constante sur torte la surface des éléments à nettoyer (particulièrement dans le cas des tranches de silicium) et sur toute la longueur du panier ; cette caractéristique permet d'améliorer les résultats obtenus par des systèmes connus qui utilisent une onde divergente et une onde convergente due à la réflexion sur la surface libre du liquide. By optimizing the shapes of the ceramic transducers, the distance between two ceramic transducers, the operating frequency of the transducers, and the decoupling between the elements, the emission surface is increased, for example by using rectangular-shaped ceramics, arranged to form a regular paving; this makes it possible to create a vertical vibration or "ultrasonic" field, the power density of which is constant over the surface of the elements to be cleaned (particularly in the case of silicon wafers) and over the entire length of the basket; this characteristic makes it possible to improve the results obtained by known systems which use a divergent wave and a convergent wave due to the reflection on the free surface of the liquid.

Selon une autre caractéristique de l'invention, on prévoit d'exciter les transducteurs céramiques par des signaux délivrés par un générateur dont les phases sont différentes. According to another characteristic of the invention, provision is made to excite the ceramic transducers by signals delivered by a generator whose phases are different.

En excitant avec des signaux déphasés les céramiques, par exemple en utilisant un déphasage de 180 degrés entre deux céramiques adjacentes, on crée un effet de cisaillement à l'interface des faisceaux respectivement produits par les deux transducteurs céramiques, ce qui a pour conséquence d'amplifier le phénomène de "streaming". By exciting ceramics with phase-shifted signals, for example by using a 180-degree phase shift between two adjacent ceramics, a shearing effect is created at the interface of the beams respectively produced by the two ceramic transducers, which results in amplify the phenomenon of "streaming".

Selon une autre caractéristique de 1 ' invention, le générateur alimentant les transducteurs céramiques comportent des moyens pour faire varier la fréquence des signaux délivrés aux transducteurs, de manière de préférence continue, c'est-à-dire permet un balayage en fréquence. According to another characteristic of the invention, the generator supplying the ceramic transducers comprises means for varying the frequency of the signals delivered to the transducers, preferably continuously, that is to say allows frequency scanning.

Afin d'obtenir une puissance "ultrasonore" maximale dans le bac, avec un rendement optimal, on utilise des transducteurs céramiques présentant un fort coefficient de surtension ; les céramiques piézoélectriques présentent toujours une légère dispersion de leurs caractéristiques, ce qui décale légèrement la fréquence de résonance de chaque élément ; l'excitation à fréquence fixe ne permet donc pas d'obtenir la puissance maximale pour chaque céramique et crée par ailleurs des héterogenéités dans le champ "ultrasonore" global. In order to obtain maximum "ultrasonic" power in the tank, with optimal efficiency, ceramic transducers having a high overvoltage coefficient are used; piezoelectric ceramics always have a slight dispersion of their characteristics, which slightly shifts the resonant frequency of each element; the excitation at fixed frequency therefore does not make it possible to obtain the maximum power for each ceramic and also creates heterogeneities in the overall "ultrasonic" field.

Pour palier ce problème , on réalise une excitation à balayage de fréquence, centrée sur la fréquence de résonance ; cette excitation permet d'accrocher la résonance de chaque transducteur céramique pendant une durée donnée dépendante du temps de balayage et de la plage de fréquence balayée autour de la fréquence de résonance ; le balayage en fréquence permet également d'obtenir un champ homogène statistiquement ; pour obtenir un niveau de déplacement maximal des transducteurs céramiques, en prenant en compte les effets non linéaires apparaissant au voisinage de la fréquence de résonance, le balayage est de préférence continu, c'est-à-dire que la fréquence des signaux délivrés aux transducteurs par le générateur varie (augmente et diminue) sans discontinuité. To overcome this problem, a frequency sweep excitation is carried out, centered on the resonance frequency; this excitation allows the resonance of each ceramic transducer to be hooked for a given duration dependent on the scanning time and on the frequency range swept around the resonance frequency; frequency scanning also makes it possible to obtain a statistically homogeneous field; to obtain a maximum level of displacement of the ceramic transducers, taking into account the nonlinear effects appearing in the vicinity of the resonant frequency, the scanning is preferably continuous, that is to say that the frequency of the signals delivered to the transducers by the generator varies (increases and decreases) without discontinuity.

Selon une caractéristique préférentielle de réalisation, on utilise les transducteurs céramiques qui génèrent le faisceau d'ondes transmis par les parois du bac, pour en outre mesurer le niveau du liquide de nettoyage, avant ou pendant le nettoyage. According to a preferred embodiment characteristic, ceramic transducers are used which generate the wave beam transmitted by the walls of the tank, in addition to measuring the level of the cleaning liquid, before or during cleaning.

Pour ce faire, on envoie à chaque transducteur céramique une impulsion courte en tension et l'on mesure le temps s'écoulant entre l'émission et la réception, par le même transducteur céramique ; le temps de transit de l'onde dans le fluide (onde directe et onde réfléchie) permet de déterminer le niveau en fonction de la vitesse du son dans le fluide ; l'utilisation d'une technique similaire à celle-ci peut en outre permettre de reconnaître le fluide présent dans le bac et/ou sa température. To do this, a short voltage pulse is sent to each ceramic transducer and the time elapsing between transmission and reception is measured by the same ceramic transducer; the transit time of the wave in the fluid (direct wave and reflected wave) makes it possible to determine the level as a function of the speed of sound in the fluid; the use of a technique similar to this can also make it possible to recognize the fluid present in the tank and / or its temperature.

Selon une autre caractéristique préférée du dispositif, on fixe une plaque de quartz sur le bac (ou panier), par une liaison mécanique d'emboîtement par téton par exemple, afin de convertir la surpression existant à la surface libre du liquide en une vitesse, pour favoriser le transport des particules dans le fluide et le phénomène de "streaming" à cet effet, une plaque de quartz peut fermer la partie supérieure du bac à la manière d'un couvercle. According to another preferred characteristic of the device, a quartz plate is fixed on the tank (or basket), by a mechanical interlocking connection by stud for example, in order to convert the excess pressure existing on the free surface of the liquid into a speed, to promote the transport of particles in the fluid and the phenomenon of "streaming" for this purpose, a quartz plate can close the upper part of the tank in the manner of a cover.

Les avantages procurés par 1 invention apparaissent en outre clairement au travers des figures annexées aux présentes, dans lesquelles
- la figure 1 est une vue schématique en coupe transversale par un plan vertical d'un dispositif conforme à l'invention
- la figure 2 est une vue de dessous du bac de la figure 1
- la figure 3 est une vue schématique en perspective d'un bac selon un mode préférentiel de réalisation.The advantages provided by the invention appear more clearly in the figures appended hereto, in which
- Figure 1 is a schematic view in cross section through a vertical plane of a device according to the invention
- Figure 2 is a bottom view of the tray of Figure 1
- Figure 3 is a schematic perspective view of a tray according to a preferred embodiment.

Par référence aux figures, le dispositif comporte un bac 2 comportant une paroi de fond 11 munie d'une face externe ou inférieure 12, et d'une face interne ou supérieure 13 ; le bac comporte en outre des parois latérales 16 munies d'un face externe 17. With reference to the figures, the device comprises a tank 2 comprising a bottom wall 11 provided with an external or lower face 12, and with an internal or upper face 13; the container also comprises side walls 16 provided with an external face 17.

Les transducteurs céramiques 1 sont fixés sur les faces externes 12 et 17 des parois de fond 11 et/ou latérales 16, par collage à l'aide d'une colle 5. The ceramic transducers 1 are fixed to the external faces 12 and 17 of the bottom 11 and / or lateral 16 walls, by bonding using an adhesive 5.

Les électrodes 3 et 4 de chaque transducteur 1 sont reliées à un générateur 19 de signaux à hautes fréquences (supérieures à 1 Mhz). The electrodes 3 and 4 of each transducer 1 are connected to a generator 19 of high frequency signals (greater than 1 MHz).

Le bac 2 est rempli d'un liquide 6 de traitement dans lequel sont immergés des tranches ou disques 7 (de silicium par exemple) pour leur nettoyage. The tank 2 is filled with a treatment liquid 6 in which wafers or discs 7 (of silicon for example) are immersed for cleaning.

Dans la réalisation illustrée figure 1, une grille diffusante 8 est prévue à l'intérieur du bac au dessus de la paroi 11 de fond, alors que dans le mode réalisation représenté figure 3, le diffuseur 8 d'ondes est constitué par un premier réseau de premières rainures 14 parallèles entre elles et par un deuxième réseau de deuxième rainures 15 parallèles entre elles et perpendiculaires aux rainures 14, lesquelles rainures sont aménagées sur la face supérieure ou interne 13 de la paroi de fond. In the embodiment illustrated in Figure 1, a diffusing grid 8 is provided inside the tank above the bottom wall 11, while in the embodiment shown in Figure 3, the wave diffuser 8 is constituted by a first network first grooves 14 parallel to each other and by a second network of second grooves 15 parallel to each other and perpendicular to the grooves 14, which grooves are arranged on the upper or internal face 13 of the bottom wall.

Par référence à la figure 2, les transducteurs 1 sont disposés selon deux lignes 18 parallèles entre elles, sur la paroi externe 12 du fond du bac. With reference to FIG. 2, the transducers 1 are arranged in two lines 18 parallel to each other, on the external wall 12 of the bottom of the tank.

Claims

1. Device for cleaning electronic elements (7) by immersion in a liquid (6) contained in a tank (2) comprising a bottom wall (11), which device comprises a transducer capable of vibrating at high frequency, in which said transducer (1) is mechanically secured, and preferably glued, under the bottom wall of the tank, that is to say on its external face (12).

2. Device according to claim 1 in which the tank comprises a wave diffuser which is integrated into the bottom wall of the tank, and which is preferably essentially constituted by at least one network of grooves (14,15).

3. Device according to claim 1 which comprises a diffuser element (8) housed in the tank which is of planar and thin shape, that is to say extending essentially in two directions parallel to the bottom of the tank, and for example constituted by a grid or a perforated plate.

4. Device according to any one of claims 1 to 3 which comprises ceramic transducers bonded to the external face (17) of the walls (16) side of the tank.

5. Device according to any one of claims 1 to 4 wherein several ceramic transducers of rectangular or circular shape are regularly arranged on the external face of the bottom wall and / or of a side wall of the tank.

6. Device according to any one of claims 1 to 5 which comprises a generator (19) capable of delivering phase-shifted signals to the transducers.

7. Device according to any one of claims 1 to 6 which comprises a generator (19) supplying the ceramic transducers, which comprises means for varying the frequency of the signals delivered to the transducers, preferably continuously, that is ie which allows a frequency sweep.

8. Device according to any one of claims 1 to 7 which comprises means (19) for sending to each ceramic transducer a short voltage pulse and for measuring the time elapsing between transmission and reception, by the same ceramic transducer.

9. Device according to any one of claims 1 to 8 which comprises a quartz plate capable of closing the upper part of the tank in the manner of a cover.

10. Method for cleaning electronic elements in which

using a device according to any one of claims 1 to 9.