FR2754633A1 - Procede de fabrication d'un ecran d'affichage a plasma - Google Patents

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Patrick Jean Pierre Herve
Gilbert Dominique Pujol
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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J11/10AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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Abstract

L'écran comprend des premier et deuxième réseaux plans et parallèles d'électrodes rectilignes parallèles, les électrodes du deuxième réseau étant perpendiculaires aux électrodes du premier réseau et placées chacune entre deux barrières (3i ) adjacentes d'un réseau de telles barrières disposées entre les deux réseaux d'électrodes, ces deux barrières délimitant un espace (5i ) rempli d'un gaz. Pour réaliser le deuxième réseau d'électrodes, on forme le réseau de barrières (3i ) de manière que celles-ci soient opaques à un rayonnement prédéterminé, on superpose ledit réseau et une couche (10') d'un matériau sensible audit rayonnement déposée sur un support plan (10), on expose ladite couche (10') à ce rayonnement à travers ledit réseau de barrières (3j ), on forme un masque dans ladite couche (10') par enlèvement de l'une de la partie exposée et de la partie non exposée de la couche (10') et on forme le deuxième réseau d'électrodes à l'aide du masque ainsi formé.

Description

La présente invention est relative à un procédé de fabrication d'un écran d'affichage à plasma et, plus particulièrement, à un procédé de fabrication d'un tel écran comprenant des premier et deuxième réseaux plans et parallèles d'électrodes rectilignes parallèles, les électrodes du deuxième réseau étant perpendiculaires aux électrodes du premier réseau et placées chacune entre deux barrières adjacentes d'un réseau de telles barrières disposé entre les deux réseaux d'électrodes, ces deux barrières délimitant un espace rempli d'un gaz qui, excité sélectivement par un champ électrique établi entre l'électrode du deuxième réseau placée entre lesdites barrières et au moins une électrode du premier réseau, active l'émission d'un produit luminophore présent dans ledit espace.
On connaît des écrans à plasma de ce type notamment de EP-A-O 554 172 au nom de Fujitsu Ltd. La figure 1 du dessin annexé schématise, en coupe transversale, un tel écran qui comprend sur deux supports en regard, un premier réseau d'électrodes li et un deuxième réseau d'électrodes 2i, respectivement, les électrodes li étant placées dans un plan parallèle à celui des électrodes 2i.
Le support des électrodes 2i est réalisé dans un matériau diélectrique sculpté de barrières 3i-i, 3i, 3i+il etc...
deux barrières adjacentes 3i 3i définissant entre elles, et en dessous du premier réseau d'électrodes, un espace 5i bordé par une couche 4i d'un produit luminophore déposé sur les flancs des barrières et/ou sur le fond de l'espace qui les sépare. Un gaz rare, du type mélange de
Penning, emplit ledit espace. Les deux réseaux d'électrodes permettent d'ioniser sélectivement le gaz, pixel par pixel, le rayonnement ultraviolet émis par le gaz ionisé provoquant l'excitation de plages du produit luminophore associées à certains pixels, suivant la configuration d'une image à afficher.
Les écrans d'affichage à plasma font actuellement l'objet de nombreuses réalisations et études du fait qu'ils présentent des caractéristiques particulièrement intéressantes : large angle d'observation, grands formats et formes plates possibles, haute définition d'image possible, affichage sans scintillation et longue durée de vie.
Lorsqu'on fabrique des écrans de grand format, on se heurte cependant à des difficultés, notamment pour maintenir une mise en repérage convenable des barrières 3i et des électrodes 2i parallèles à ces barrières, en tout point d'une grande surface, difficultés qui ne peuvent être surmontées actuellement qu'à l'aide de solutions qui grèvent lourdement le prix de revient de fabrication de ces écrans, ou par l'acceptation de taux de malfaçons élevés, également coûteux. Ces coûts limitent l'extension du marché des écrans de ce type alors qu'il serait souhaitable de pouvoir mettre ces écrans à la disposition d'un large public.
La présente invention a donc pour but de fournir un procédé de fabrication de tels écrans qui permette de réaliser des écrans de toutes dimensions, notamment de grandes surfaces, en assurant une mise en repérage parfaite, et de mise en oeuvre peu coûteuse, du réseau de barrières et du réseau des électrodes parallèles à ces barrières.
On atteint ce but de l'invention, ainsi que d'autres qui apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre, avec un procédé de fabrication d'un écran d'affichage du type décrit en préambule de la présente description, remarquable en ce que, pour réaliser le réseau des électrodes qui sont parallèles aux barrières, on forme ledit réseau de barrières de manière que cellesci soient opaques à un rayonnement prédéterminé, on superpose ledit réseau et une couche d'un matériau sensible audit rayonnement déposé sur un support plan, on expose ladite couche à ce rayonnement à travers ledit réseau de barrières, on forme un masque dans ladite couche par enlèvement de l'une de la partie exposée et de la partie non exposée de cette couche et on forme ledit réseau d'électrodes à l'aide du masque ainsi formé.
Comme on le verra en plus de détails dans la suite, l'utilisation du réseau de barrières lui-même comme masque dans un procédé de réalisation, du type photogravure, d'un réseau d'électrodes imbriquées dans ce masque, permet d'assurer une mise en repérage des deux réseaux de très grande précision, cette mise en repérage s'opérant automatiquement et rapidement, donc pour un coût très bas.
Suivant un premier mode de mise en oeuvre du procédé selon l'invention, on protège le réseau d'électrodes obtenu par le dépôt d'un matériau diélectrique sur ledit réseau et le dépôt d'une couche d'un oxyde métallique amplificateur d'émission d'électrons par émission secondaire, sur ledit matériau, et on fixe le réseau de barrières sur le support, en repérage avec les électrodes du premier réseau, de manière que ces électrodes s intercalent chacune précisément entre deux barrières adjacentes.
Suivant un autre mode de mise en oeuvre du procédé selon l'invention, préalablement au dépôt de la couche sensible sur une face de son support, on soude le réseau de barrières sur l'autre face dudit support, et on expose ladite couche à travers le réseau de barrières et l'épaisseur du support. On obtient ainsi une automatisation complète de la mise en place des électrodes entre les paires de barrières qui leur sont associées.
D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre et à l'examen du dessin annexé dans lequel
- la figure 1 est une représentation schématique d'un écran à plasma de la technique antérieure, décrit en préambule de la présente invention,
- les figures 2 et 3A, 3B illustrent deux étapes de la fabrication d'un réseau de barrières utilisées dans le procédé de fabrication suivant l'invention,
- les figures 4 à 6 illustrent les étapes ultérieures d'un premier mode de mise en oeuvre du procédé suivant l'invention,
- les figures 7 à 9 illustrent un autre montage possible, suivant l'invention, d'un réseau de barrières sur un support,
- les figures 10 et 11 illustrent deux étapes d'un autre mode de mise en oeuvre du procédé suivant l'invention, faisant usage du montage des figures 7 à 9,
- la figure 12 représente schématiquement en coupe transversale une partie d'un écran bombé obtenu par le procédé suivant l'invention, et,
- les figures 13 et 14 représentent schématiquement en coupe transversale le détail de deux écrans à plasma obtenus par le procédé selon l'invention.
Dans la présente description, des références numériques identiques repèrent des éléments ou organes identiques ou similaires.
On se réfère à la figure 2 du dessin annexé où l'on a représenté schématiquement en coupe transversale une partie d'un réseau de barrières utilisé dans la présente invention. Le pas du réseau est de l'ordre de quelques centaines de um. Pour réaliser un tel réseau, on part d'une feuille métallique d'une épaisseur comprise entre 200 et 500 WL par exemple. On peut utiliser à cet effet une feuille d'un alliage fer-nickel par exemple, conçu pour présenter un coefficient de dilatation thermique sensiblement identique à celui du verre, pour une raison qui apparaîtra dans la suite.
Par un procédé classique de photogravure, on forme dans la feuille un réseau plan de fils métalliques 6i, parallèles et adjacents, ces fils apparaissant en coupe transversale à la figure 2, le réseau couvrant sensiblement la surface d'un écran d'affichage à fabriquer. Bien entendu, les fils sont maintenus dans des positions fixes les uns par rapport aux autres, par des parties d'extrémité non gravées (non représentées) de la feuille métallique de départ.
En variante, on pourrait réaliser un tel réseau de fils en montant un fil convenablement dimensionné sur un cadre, à la manière d'un fil textile de trame.
Suivant l'invention, on procède ensuite à l'isolation électrique des fils, par enduction à l'aide d'un matériau diélectrique tel que du verre. Pour ce faire, on peut plonger le réseau dans une fritte de verre qui vient enrober en 7 chaque fil, puis passer les fils ainsi enrobés dans un four à 400-600 C, par exemple, pour assurer la cuisson du verre. On obtient ainsi le réseau de fils isolés représenté schématiquement à la figure 2.
Suivant l'invention, on dépose ensuite sur l'enrobage de verre 7 des produits luminophores dont l'excitation par un rayonnement ultraviolet forme classiquement les émissions lumineuses nécessaires à la formation d'une image visible dans un écran du type "à plasma". Pour une image en couleurs, on utilise couramment trois produits luminophores à émission rouge, verte et bleue respectivement. Suivant l'invention, comme illustré à la figure 3A, un (8) des trois luminophores est déposé sur les flancs en regard de deux fils adjacents 6i-1, 6i, alors que les deux autres sont déposés respectivement sur chacune des deux paires de fils adjacentes à la paire 6i-1, 6i. A titre d'exemple illustratif et non limitatif, l'enduction des flancs en regard des fils peut s'obtenir à l'aide de trois jeux de roulettes telles que 9. Les roulettes de chaque jeu sont trempées dans une solution humide du produit luminophore 8 à déposer, puis engagées sur le réseau de fils pour rouler sur les fils à enduire. Après cuisson des phosphores dans un four à 4006000 C environ par exemple, les flancs de chaque fil sont enduits d'une couche de deux produits luminophores différents, 8R, 8B par exemple émettant dans le rouge et le bleu respectivement, comme représenté à la figure 3B.
Chaque fil ainsi enduit est propre à constituer une barrière de l'écran fabriqué suivant la présente invention, comme cela apparaîtra dans la suite.
On notera que les barrières ainsi constituées ont un coeur métallique. Dans certains types connus d'écrans d'affichage à plasma, ces coeurs métalliques sont utilisés comme électrodes. On notera aussi que de telles barrières métalliques sont opaques au moins vis-à-vis de certains rayonnements, propriété qui est utilisée dans la présente invention comme on va maintenant l'expliquer.
Suivant une caractéristique du procédé selon l'invention, le réseau de barrières ainsi constitué est utilisé pour fabriquer, par une technique du type photogravure, le réseau des électrodes 2i qui doivent chacune s'intercaler dans l'espace séparant deux barrières adjacentes respectives. Pour ce faire (voir figure 4A), on part d'un support plan tel qu'une feuille de verre 10, d'une épaisseur comprise entre 0,3 et 2 mm par exemple, et on enduit une face de ladite feuille avec une couche 10' d'un matériau photosensible, notamment photoréticulable, tel qu'une résine photosensible positive classique.
Suivant l'invention, comme illustré à la figure 4A, on superpose le réseau de barrières 3i obtenu par le procédé illustré aux figures 2 et 3, à la feuille 10 ainsi enduite et on expose la couche 10' à un rayonnement 11 auquel elle est sensible et vis-à-vis duquel les fils 6i des barrières 3i sont opaques. Des moyens sont prévus pour fixer précisément la position du réseau de barrières sur la feuille 10. Ces moyens (non représentés) peuvent prendre, par exemple, la forme de piges, ou ergots, solidaires soit du réseau soit de la feuille, ces ergots pénétrant, en position d'assemblage, dans des trous complémentaires percés dans la feuille ou le réseau, respectivement. L'utilité de cette disposition apparaîtra dans la suite de la présente description.
Après retrait du réseau de barrières et lavage de la couche de résine 10', la résine des plages non exposées, en dessous des barrières, demeure dans ces plages pour constituer un masque, les plages exposées de la couche 10' étant dissoutes et enlevées lors du lavage, comme cela est bien connu en photogravure. Le masque ainsi obtenu duplique parfaitement la position et les dimensions du réseau de barrières, comme illustré à la figure 4B.
Ce masque permet de déposer, par évaporation ou pulvérisation 11', des bandes métalliques qui vont constituer le réseau des électrodes 2i qui viennent chacune s'intercaler dans l'espace séparant deux barrières adjacentes respectives (voir figure 4C). Un lavage approprié permet de dissoudre et d'enlever le masque de résine et de conserver le réseau d'électrodes 2i porté par la feuille 10 comme représenté à la figure 4C.
On obtient ainsi un réseau d'électrodes 2i porté par la feuille 10. Bien entendu, on pourrait aussi réaliser un tel réseau en déposant une couche métallique sur la feuille 10 puis une couche de résine photosensible classique, non conductrice, sur la couche métallique, en exposant la résine à travers le réseau de barrières 3i, en lavant cette résine pour former un masque et en gravant enfin la couche métallique à travers ce masque.
On pourrait encore réaliser un tel réseau en utilisant une résine photo sensible conductrice d'électricité, en exposant cette résine à travers le réseau de barrières 3i, en lavant cette résine. Celle-ci, photoréticulée dans les plages exposées, demeure dans ces plages pour constituer le réseau d'électrodes 2i comme représenté à la figure 4.
Quel que soit le processus utilisé, l'étape suivante consiste à isoler électriquement les électrodes 2i par le dépôt d'un matériau diélectrique 12 sur celle-ci, comme représenté à la figure 5. A titre d'exemple, ceci peut être obtenu par plongée de la feuille 10 dans une fritte de verre, puis cuisson de ladite fritte.
Classiquement, une couche d'oxyde métallique 13 renforçateur d'émission d'électrons, tel que de l'oxyde de magnésium (MgO), est déposée ensuite sur la couche de verrue, par pulvérisation suivie d'une cuisson.
A l'étape suivante (figure 6), on procède à la fixation en repérage du réseau de barrières 3i sur la couche supérieure 13 de MgO portée par la feuille 10. On utilise pour cela les moyens de mise en repérage à ergots et trous évoqués ci-dessus et déjà utilisés à l'étape illustrée à la figure 4.
On comprend que les barrières 3i se retrouvent alors au-dessus des espaces séparant les électrodes 2i, dans des positions rigoureusement conformes à celles qu'elles occupaient pendant l'exposition de la couche photosensible, et ceci quels que soient les écarts locaux éventuels de la géométrie des barrières par rapport à des axes de référence parfaitement rectilignes. L'utilisation suivant l'invention d'une exposition photographique à travers le réseau de barrières lui-même, pour réaliser les électrodes 2i assurent ainsi une parfaite conformité, locale et globale, des barrières et des électrodes.
Avant de replacer le réseau de barrières 3i sur la feuille 10 comme illustré à la figure 6,on peut déposer, avec une mollette par exemple, une fritte de verre 17 sur la partie des barrières qui doit être fixée à la feuille.
Une cuisson de l'ensemble, après l'installation du réseau de barrières, assure la soudure des barrières à ladite feuille.
Les diverses étapes de cuisson qui interviennent dans la fabrication d'un écran suivant l'invention rendent indispensable, pour constituer le coeur des barrières, l'utilisation d'un alliage présentant un coefficient de dilatation thermique proche de celui du verre, soit 80.10-7 C1 environ, tel que les alliages de la société IMPHY S.A., de fer, nickel, cobalt, ou de fer et de nickel dont les proportions permettent d'ajuster le coefficient de dilatation thermique, par exemple l'alliage N48 ayant le coefficient de dilatation précité.
On va maintenant décrire, en liaison avec les figures 7 à 11, une autre mise en oeuvre du procédé selon l'invention, propre à permettre la réalisation d'un ensemble d'électrodes et de barrières équivalent à celui illustré à la figure 6.
Sur une feuille 14 (voir figure 7) de 10 à 100 um d'épaisseur de l'alliage fer-nickel évoqué ci-dessus par exemple, on forme une couche de verre 12 et une couche 13 d'oxyde de magnésium MgO, comme expliqué en liaison avec la figure 5.
Le réseau de barrières 5i obtenu comme décrit en liaison avec les figures 2 et 3 est alors monté et fixé sur la couche de MgO comme décrit à la figure 6 pour obtenir l'ensemble représenté à la figure 8. La feuille 14 d'alliage métallique qui a servi à renforcer la résistance mécanique de l'ensemble (12, 13, 14) pendant sa soudure au réseau de barrières, est maintenant éliminée par gravure à l'acide. On obtient alors l'ensemble représenté à la figure 9.
Celui-ci pourrait être obtenu sans utilisation intermédiaire de la feuille métallique 14. Pour ce faire, on peut partir d'une feuille 12 de verre de faible épaisseur, destinée à constituer la couche diélectrique 12. Ladite feuille est enduite d'une couche 13 de MgO et le support ainsi constitué est assemblé au réseau de barrières 6i par dépôt d'une fritte de verre 17 et cuisson, comme expliqué ci-dessus.
Quelle que soit la procédure suivie pour obtenir ensemble de la figure 9, l'étape suivant consiste à enduire la face de la couche 12 qui ne porte pas d'oxyde de magnésium avec une couche d'une résine photosensible conductrice 10, telle que celle représentée à la figure 4.
Suivant l'invention, comme représenté à la figure 10, on expose alors cette couche à un rayonnement 11, à la fois à travers le réseau de barrières 3i et à travers la couche 13 de MgO et la feuille 12 de verre, toutes deux transparentes. Cette exposition permet de faire apparaître, après lavage de la couche 10', un réseau d'électrodes 2i, comme on l'a vu plus haut en liaison avec la figure 5.
La variante de mise en oeuvre du procédé suivant l'invention illustrée aux figures 7 à 10 présente l'avantage de ne pas exiger une séparation du réseau de barrières et du support des électrodes 2i après l'exposition. En outre, on observe que les cuissons nécessaires aux formations des couches de verre 12 et de
MgO 13 (voir figure 7) et à la soudure du réseau de barrières sur la couche 13 (voir figure 8) interviennent antérieurement à l'exposition de la couche sensible et ne sont donc pas susceptibles de perturber la géométrie des barrières et des électrodes 2i mises en repérage lors de cette exposition (voir figure 10).
L'ensemble représenté à la figure 10 ne présente aucune rigidité mécanique, du fait de la faiblesse de l'épaisseur de la couche de verre 12 qui lui sert de base. Pour lui donner la rigidité mécanique nécessaire, on peut enduire les électrodes 2i d'une couche 10 de fritte de verre de manière qu'après cuisson, cette couche 10 présente une épaisseur de 0,5 à 2 mm par exemple, considérée comme suffisante pour ce faire.
La souplesse de l'ensemble de la figure 10 permet, suivant l'invention, de fixer cet ensemble sur un support constitué par une feuille de verre rigide cintrée 21, comme illustré à la figure 12, pour la réalisation d'écrans non plats.
On a représenté schématiquement à la figure 13 une coupe transversale partielle d'un écran fabriqué selon le procédé suivant l'invention. Celui-ci se compose de deux plaques 15 et 16 arrière et frontale respectivement, la plaque 15 portant le réseau de barrières 3i suivant l'agencement représenté à la figure 11 (comme représenté), ou suivant l'agencement représenté à la figure 6.
La plaque frontale 16 est constituée d.'un substrat 22 rigide en verre sur lequel on a formé un réseau d'électrodes li, dont une seule est visible à la figure 13, ce réseau étant protégé classiquement par une couche de verre 19 et une couche de MgO 20. La fabrication de cette plaque n'exige évidemment aucune des précautions particulières qu'exige la mise en place des barrières et des électrodes sur la plaque 15, en matière de mise en repérage.
Les plaques 15 et 16 sont classiquement nettoyées puis assemblées à l'aide d'un joint périphérique de scellement (non représenté) établissant un écartement prédéterminé de ces plaques. Après dégazage de l'espace qui les sépare, celui-ci est rempli avec un mélange de
Penning. Il reste ensuite à connecter les réseaux d'électrodes li et 2i à une électronique de commande d'adressage convenable pour compléter l'écran.
En variante du mode de mise en oeuvre du procédé selon l'invention décrit en liaison avec les figures 4 à 6, les positions des plaques 15 et 16 de la figure 13 peuvent être interverties comme représenté en 15' et 16' à la figure 14. Les plaques 15' et 16', frontale et arrière respectivement, prennent alors sensiblement la forme des plaques 15 et 16 arrière et frontale respectivement, de l'écran de la figure 13. Dans ce cas, l'exposition de la résine photosensible 10' s'opère à travers la plaque 16' et les électrodes li doivent alors être transparentes, de même d'ailleurs que les électrodes 2i à travers lesquelles on observe l'image affichée sur l'écran.
En préassemblant ainsi la plaque 16' aux barrières 3i, on rigidifie l'ensemble et on lui donne une stabilité dimensionnelle renforcée avantageuse depuis le démontage du réseau de barrières, après exposition de la résine photosensible (cf. figure 4A), jusqu'à l'assemblage des plaques frontale et arrière l'une avec l'autre.
Il apparaît maintenant que l'invention permet bien d'atteindre les buts fixés, à savoir fournir un procédé de fabrication d'un écran d'affichage à plasma permettant d'assurer, par des moyens simples de mise en oeuvre peu coûteuse, une mise en repérage précise du réseau de barrières de l'écran par rapport au réseau d'électrodes imbriqué dans ce réseau.

Claims (13)

REVENDICATIONS
1. Procédé de fabrication d'un écran d'affichage à plasma comprenant des premier et deuxième réseaux plans et parallèles d'électrodes rectilignes parallèles, les électrodes (2i) du deuxième réseau étant perpendiculaires aux électrodes (li) du premier réseau et placées chacune entre deux barrières (3i) adjacentes d'un réseau de telles barrières disposées entre les deux réseaux d'électrodes, ces deux barrières délimitant un espace (5i)rempli d'un gaz qui, excité sélectivement par un champ électrique établi entre l'électrode (2i) du deuxième réseau placée entre lesdites barrières et au moins une électrode (li) du premier réseau, active l'émission d'un produit luminophore (4i) présent dans ledit espace (5i), procédé caractérisé en ce que, pour réaliser le deuxième réseau d'électrodes (2i), on forme ledit réseau de barrières (3i) de manière que celles-ci soient opaques à un rayonnement prédéterminé, on superpose ledit réseau et une couche (10') d'un matériau sensible audit rayonnement déposée sur un support plan (l0;12,13), on expose ladite couche (10') à ce rayonnement à travers ledit réseau de barrières (3i), on forme un masque dans ladite couche (10') par enlèvement de l'une de la partie exposée et de la partie non exposée de cette couche et on forme le deuxième réseau d'électrodes (2i) à l'aide du masque ainsi formé.
2. Procédé conforme à la revendication 1, caractérisé en ce que ladite couche (10') est conductrice de l'électricité, ledit deuxième réseau d'électrodes (2L) apparaissant dans ladite couche (10') après exposition et enlèvement des parties non exposées de celle-ci.
3. Procédé conforme à l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé en ce qu'on protège le réseau d'électrodes (2i) obtenu par le dépôt d'un matériau diélectrique (12) sur ledit réseau et le dépôt d'une couche (13) d'un oxyde métallique renforçateur d'émission d'électrons sur ledit matériau, et on fixe le réseau de barrières (3i) sur le support (10), en repérage avec les électrodes (2i) du deuxième réseau, de manière que ces électrodes (2i) s'intercalent précisément entre deux barrières (3i) adjacentes.
4. Procédé conforme à la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu'on fixe le réseau de barrières (3i) sur une face du support (12, 13), en ce qu'on dépose sur l'autre face du support une couche (10') du matériau sensible, en ce qu'on expose ladite couche à un rayonnement à travers le réseau de barrières et le support (12, 13)et en ce qu'on enlève les parties non exposées de la couche (10') pour faire apparaître le deuxième réseau d'électrodes (2i).
5. Procédé conforme à la revendication 4, caractérisé en ce que, pour former ledit support (12, 13), on dépose une couche (13) d'oxyde métallique renforçateur d'électrons sur une feuille de verre (12).
6. Procédé conforme à la revendication 5, caractérisé en ce que ladite feuille de verre (12) et ladite couche (13) sont superposées sur une même face d'une feuille métallique (14) de renforcement mécanique, ladite feuille métallique étant enlevée par gravure après la fixation du réseau de barrières (3i) sur ledit support (12, 13).
7. Procédé conforme à l'une quelconque des revendications 4 à 6, caractérisé en ce que, après formation du deuxième réseau d'électrodes (2i) et isolation électrique de celles-ci, on renforce le support (12, 13) par une couche rigide (10) d'un matériau diélectrique.
8. Procédé conforme à la revendication 7, caractérisé en ce que, pour former ladite couche diélectrique (10), on dépose une couche (10) d'une fritte de verre sur le support (12, 13) et on cuit ladite couche (10)
9. Procédé conforme à lune quelconque des revendications 4 à 6, caractérisé en ce que, après formation du deuxième réseau d'électrodes et isolation électrique de celles-ci, on fixe l'ensemble formé par le support (12, 13), le réseau d'électrodes (2i) et le réseau de barrières (3i) sur un support rigide cintré (21).
10. Procédé conforme à lune quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'on forme le deuxième réseau d'électrodes (2i) sur une plaque (15'), par exposition d'une couche de matériau photosensible portée par cette plaque, à travers le réseau de barrières (3i) lui-même fixé sur une autre plaque (16') portant le premier réseau d'électrodes (li), ces deux plaques étant finalement fixées l'une par rapport à l'autre en repérage pour délimiter l'écran.
11. Procédé conforme à l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que, pour former le réseau de barrières (3i), on forme un réseau plan de fils métalliques (6i) rectilignes et parallèles, on plonge ledit réseau dans une fritte de verre et on cuit l'enrobage (7) de fritte porté par les fils (6i) de manière à isoler électriquement ceux-ci.
12. Procédé conforme à la revendication 11, caractérisé en ce qu'on dépose à la roulette (9) une couche d'un produit luminophore (8) sur deux flancs en regard de deux fils (61)adjacents enrobés de verre.
13. Ecran obtenu par la mise en oeuvre du procédé conforme à l'une quelconque des revendications 1 à 12.
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JPS56165244A (en) * 1980-05-22 1981-12-18 Fujitsu Ltd Manufacture of multilayer thin film electrode
EP0554172A1 (fr) * 1992-01-28 1993-08-04 Fujitsu Limited Dispositif d'affichage à plasma en couleurs du type à décharge de surface

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PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 006, no. 052 (E - 100) 7 April 1982 (1982-04-07) *

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