FR2754400A1 - Microlaser solide couple dans une fibre et procede de realisation - Google Patents

Microlaser solide couple dans une fibre et procede de realisation Download PDF

Info

Publication number
FR2754400A1
FR2754400A1 FR9612180A FR9612180A FR2754400A1 FR 2754400 A1 FR2754400 A1 FR 2754400A1 FR 9612180 A FR9612180 A FR 9612180A FR 9612180 A FR9612180 A FR 9612180A FR 2754400 A1 FR2754400 A1 FR 2754400A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
microlens
microlaser
optical fiber
fiber
radius
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
FR9612180A
Other languages
English (en)
Inventor
Laurent Fulbert
Marc Rabarot
Philippe Thony
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority to FR9612180A priority Critical patent/FR2754400A1/fr
Publication of FR2754400A1 publication Critical patent/FR2754400A1/fr
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/4206Optical features
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/025Constructional details of solid state lasers, e.g. housings or mountings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06Construction or shape of active medium
    • H01S3/0602Crystal lasers or glass lasers
    • H01S3/0612Non-homogeneous structure
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06Construction or shape of active medium
    • H01S3/0602Crystal lasers or glass lasers
    • H01S3/0615Shape of end-face
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06Construction or shape of active medium
    • H01S3/0627Construction or shape of active medium the resonator being monolithic, e.g. microlaser
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/091Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
    • H01S3/094Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
    • H01S3/0941Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode
    • H01S3/09415Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode the pumping beam being parallel to the lasing mode of the pumped medium, e.g. end-pumping
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/0225Out-coupling of light
    • H01S5/02251Out-coupling of light using optical fibres

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

L'invention a pour objet un dispositif optique comportant un microlaser (20), une fibre optique (30), et une microlentille (26), pour focaliser le faisceau microlaser sur une face d'entrée (32) de la fibre optique (30), la microlentille (26) et la distance (D1 ) entre la microlentille et la face d'entrée de la fibre optique étant telles que le faisceau du microlaser, focalisé sur la face d'entrée de la fibre optique, présente un rayon (wf ) inférieur ou égal au rayon (d) du coeur de la fibre.

Description

MICROLASER SOLIDE COUPLE DANS UNE FIBRE OPTIQUE ET
PROCEDE DE REA1ISTION
DESCRIPTION
Domaine technique
L'invention se rapporte au domaine des microlasers solides.
Un avantage du microlaser réside dans sa structure en un empilement de multicouches. Le milieu actif laser est constitué par un matériau de faible épaisseur (entre 150-1000 pm) et de petites dimensions (quelques mm2), sur lequel des miroirs diélectriques de cavité sont directement déposés. Ce milieu actif peut être pompé par une diode laser III-V qui est soit directement hybridée sur le microlaser, soit couplée à ce dernier par fibre optique.
Les microlasers ont de nombreuses applications, dans des domaines aussi variés que l'industrie automobile, l'environnement, 1' instrumentation scientifique, la télémétrie.
Etat de l'art antérieur
Plusieurs documents décrivent des structures de microlaser solides.
Le document EP-653 824 (US-S 495 494) décrit un microlaser à déclenchement passif par absorbant saturable, et son procédé de fabrication.
Le document EP-724 316 décrit un microlaser à déclenchement actif par tension de commande faible.
Le document US-5 483 546 (Zayhowski) décrit un détecteur pour spectroscopie à distance, mettant en oeuvre un microlaser déclenché passivement, le faisceau de pompage étant transmis au microlaser à l'aide d'une fibre optique.
Pour certaines applications, il peut être nécessaire d'introduire le faisceau laser dans une fibre optique. Il se pose donc le problème de coupler le microlaser à une fibre optique.
On connaît certains dispositifs commerciaux qui permettent de coupler une diode laser et une fibre optique.
Les figures 1A à 1C représentent de tels dispositifs de couplage.
Ces dispositifs comportent tous une diode laser 2, une fibre optique 4 et une pièce de support 6 prévue pour recevoir la diode laser d'un côté et la fibre optique de l'autre. Ces deux éléments sont introduits respectivement dans une cavité 8 et dans une petite ouverture 10. Entre la face de la diode par laquelle sort le faisceau laser 12 et la face d'entrée de la fibre, est disposé une lentille 14, 16, 18 qui est - une lentille "bille" 14 (figure lA), - ou une lentille GRIN (à gradient d'indice) 16 (figure lB) - ou une combinaison de lentilles asphériques 18
(figure 1C).
Ainsi, on focalise le faisceau, émis par la diode laser, sur la face d'entrée de la fibre optique.
Suivant le type de lentille utilisée (bille, lentille GRIN ou combinaison de lentilles asphériques), le rendement de couplage est plus ou moins bon. Il est compris entre 10 et 15% pour une lentille bille, entre 25 et 30% pour une lentille GRIN, et entre 45 et 65% pour une combinaison de lentilles asphériques. Dans tous les cas, la lentille doit être positionnée avec précision devant la diode.
Pour avoir de bons rendements de couplage avec la technique connue, il faut utiliser des lentilles complexes. Par exemple, il faut une combinaison de deux lentilles asphériques pour obtenir des rendements de couplage supérieurs à 45%. Le montage et l'alignement de ces deux lentilles asphériques est une opération longue et coûteuse qui doit être faite sur chaque composant.
De plus, les diodes laser sont des composants qui doivent être découpés à l'unité avant de pouvoir être utilisés, en particulier avant alignement avec la lentille. Le montage des diodes laser fibrées, comme sur les figures lA-lC, ne peut pas être fait de manière collective, et l'alignement de la lentille de focalisation devant le . laser est une opération difficile. La technique connue n'est donc pas compatible avec la vocation des microlasers à une fabrication collective. Enfin, les lentilles utilisées sont des composants macroscopiques, dont les dimensions sont de l'ordre de quelques millimètres, ce qui donne un composant final de taille assez importante.
Exposé de l'invention
Il se pose donc le problème de réaliser une structure de couplage d'un icrolaser dans une fibre optique, cette structure permettant de garder un bon rendement de couplage et étant compatible avec des procédés de fabrication collective.
L'invention vise donc à proposer une telle structure. Elle permet de réduire considérablement la difficulté du positionnement du laser par rapport à la lentille.
Plus précisément, l'invention a pour objet un dispositif optique comportant - un microlaser, - une fibre optique, et - une microlentille formant avec le microlaser un
ensemble monolithique, et permettant de focaliser le
faisceau microlaser sur une face d'entrée de la fibre
optique, la microlentille et la distance entre la
microlentille et la face d'entrée de la fibre optique
étant telles que le faisceau du microlaser, focalisé
sur la face d'entrée de la .fibre optique, présente un
rayon inférieur ou égal au rayon du coeur de la
fibre.
L'invention a également pour objet un dispositif optique comportant - un microlaser, - une fibre optique, - une microlentille, - les caractéristiques de la microlentille et le
diamètre de la face d'entrée de la fibre optique
étant tels qu'il existe une distance de
positionnement de la face d'entrée et de la fibre
optique par rapport à la microlentille, pour laquelle
le faisceau du microlaser peut être focalisé sur le
coeur de la fibre optique, avec un rayon inférieur au
rayon du coeur de la fibre optique.
Dans de tels dispositifs optiques, la structure microlaser-moyens de focalisation est compacte (car monolithique), et compatible avec un procédé de fabrication collective. De plus, le problème de l'alignement de la cavité microlaser par rapport aux moyens de focalisation (microlentille) est simplifié par une réalisation collective. Enfin, le dispositif permet d'assurer un bon rendement de couplage du microlaser avec la fibre optique.
La fibre optique peut être multimode ou monomode. Dans ce dernier cas, le choix d'un microlaser fonctionnant en mode TEMoo permet encore d'améliorer le couplage.
De préférence, le rayon de courbure de la microlentille est compris entre 25 et 150 um, ou entre 45 et 120 um, ou encore entre 60 et 100 um.
Par exemple, le rayon de courbure peut être compris entre 25 et 90 pm, ou entre 45 et 80 um, ou entre 60 et 75 pm.
La distance entre la face d'entrée de la fibre optique et la microlentille est de préférence comprise entre 10 pm et 400 pm, ou entre 50 pm et 300 pm, ou encore entre 100 et 200 um.
L'invention a également pour objet un procédé de réalisation d'un dispositif optique comportant un microlaser, une fibre optique dont le coeur présente un diamètre d, une microlentille de focalisation du faisceau du microlaser, ledit procédé comportant une étape de sélection de la microlentille de manière à ce qu'il existe une distance de positionnement de la face d'entrée de la fibre optique, par rapport à la microlentille, pour laquelle le faisceau du microlaser puisse être focalisé sur la face d'entrée de la fibre optique avec un rayon inférieur au rayon du coeur de la fibre optique.
L'invention a également pour objet un procédé de réalisation d'un dispositif optique comportant un microlaser, une fibre optique et une microlentille, ce procédé comportant une étape de sélection de la microlentille et de positionnement de la face d'entrée de la fibre optique, à une distance de la microlentille telle que le faisceau du microlaser est focalisé sur la face d'entrée de la fibre optique avec un rayon inférieur au rayon du coeur de la fibre optique.
Brève description des figures
De toute façon, les caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront mieux à la lumière de la description qui va suivre. Cette description porte sur les exemples de réalisation, donnés à titre explicatif et non limitatif, en se référant à des dessins annexés sur lesquels
- les figures 1A à 1C représentent des techniques connues de couplage d'une diode et d'une fibre optique,
- la figure 2 représente une structure de couplage microlaser-fibre optique selon l'invention,
- la figure 3 représente schématiquement une microlentille de focalisation et ses caractéristiques géométriques,
- la figure 4 représente, dans une structure selon l'invention, l'évolution de différents paramètres en fonction du rayon de courbure de la microlentille.
Exposé détaillé de modes de réalisation de l'invention
Un exemple d'une réalisation de l'invention est donné sur la figure 2. Sur cette figure, la référence 20 désigne un microlaser, ou plutôt le milieu actif solide d'une cavité microlaser qui est délimitée par un miroir d'entrée 22 et un miroir de sortie 24. Elle est pompée par des moyens de pompage (non représentés sur la figure 2), de préférence des moyens optiques tels qu'une diode laser III-V, choisie en fonction de la longueur d'onde du faisceau de pompage qu'il faut obtenir, donc en fonction du milieu actif 20 à pomper.
D'autres éléments, non représentés sur la figure 2, peuvent être associés à la cavité microlaser.
Par exemple, il est possible de lui associer des moyens de déclenchement passif à 11 aide dtun absorbant saturable. Un tel absorbant est de préférence réalisé sous la forme d'une couche mince de matériau absorbant saturable, directement déposée sur le milieu actif solide 20 : la cavité laser alors obtenue, ainsi que son procédé de réalisation, est décrite dans le document EP-653 824 (US-5 495 494).
Il est également possible d' associer à la cavité microlaser des moyens de déclenchement actif.
Ainsi, le microlaser peut être un microlaser solide monolithique à déclenchement actif par tension de commande faible, comme décrit dans - le document
EP-724 316.
Il est également possible d'associer à la cavité microlaser un élément non linéaire, du type doubleur ou tripleur de fréquence, ou bien un oscillateur paramétrique optique (OPO). De tels ensembles sont décrits dans la demande FR-9 505 650 et la demande FR-95 05654.
La cavité microlaser est associée à une microlentille 26 de focalisation du faisceau laser, de manière à réaliser un ensemble monolithique. Cette microlentille est réalisée sur un substrat d'épaisseur e, et présente une face de sortie 28 de rayon de courbure R, de hauteur h et diamètre O (figure 3). La hauteur h de la microlentille correspond à la flèche de la portion de sphère définie par la microlentille ellemême. Les trois paramètres , h, R sont reliés par la relation
Figure img00080001

de même, la hauteur h est reliée aux autres paramètres par la relation
Figure img00080002

Deux des trois paramètres R, cD, h h suffisent donc à définir la lentille.
Les caractéristiques du microlaser (longueur L, indice nO du milieu actif, courbure du miroir d'entrée 22) permettent de déterminer les dimensions du "waist" du faisceau laser, en sortie de la cavité microlaser, c'est-à-dire les dimensions du faisceau suivant une coupe perpendiculaire à la direction de propagation du faisceau.
De même, les caractéristiques de la microlentille (épaisseur e du substrat, rayon R) déterminent la position de la focalisation et le diamètre 2wf du faisceau laser à l'endroit où il est focalisé par la microlentille 26. Par conséquent, une fois le milieu actif laser 20 choisi et dimensionné, le diamètre du faisceau laser focalisé, ainsi que l'endroit où se produit la focalisation (c'est-à-dire la distance Do entre le miroir de sortie 24 de la cavité microlaser et le lieu où se produit la focalisation) sont déterminés par les caractéristiques de la microlentille 26.
L'ensemble monolithique cavité microlasermicrolentille est positionné en face d'une fibre optique 30, qui présente sur une face d'entrée 32 un diamètre de coeur d. En fait, la position relative de la fibre et du microlaser est telle que le faisceau laser 34 soit focalisé au niveau de la face d'entrée 32 de la fibre 30.
Pour avoir un rendement de couplage maximum, le rayon de la section du faisceau, dans la zone de focalisation, est déterminé de manière à être placé sur la face d'entrée 32 de la fibre 30, avec une dimension inférieure ou égale au rayon du coeur de la fibre.
Compte tenu de ce qui a été exposé ci-dessus, pour un rayon de courbure donné du miroir d'entrée 22 de la cavité microlaser, et pour un rayon de courbure R donné de la face de sortie 28 de la microlentille, la position et le diamètre 2Wf de la zone de focalisation du faisceau laser 34 sont fixés, ce qui détermine la position et le diamètre minimum df que doit avoir le coeur 32 de la fibre optique 30, afin que le faisceau laser soit focalisé tout entier à l'intérieur du coeur de la fibre optique.
De même, pour un rayon de courbure donné du miroir d'entrée 22 et pour un diamètre donné du coeur de la fibre 30, on peut déterminer la valeur du rayon de courbure R de la face de sortie 28 de la microlentille permettant d'obtenir une zone de focalisation de diamètre 2wf (dans un plan perpendiculaire à la direction de propagation du faisceau) inférieur ou égal au diamètre d du coeur de la fibre. Cette zone de focalisation se situe alors à une distance D1 déterminée par R : c'est à cette distance D1 que doit être positionnée la face d'entrée 32 de la fibre optique pour réaliser un couplage optimal.
En choisissant correctement les rayons de courbure du miroir d'entrée 22 de la cavité microlaser et de la face de sortie 28 de la microlentille, il est possible de focaliser le faisceau laser sur le coeur d'une fibre optique ayant un diamètre donné d de coeur, à une distance D1 donnée. En particulier, il est possible de focaliser le faisceau laser de manière à ce que la zone de focalisation se situe au niveau de la face d'entrée 32 de la fibre 30 et présente un rayon inférieur ou égal au rayon du coeur de la fibre.
Tout ceci est valable aussi bien pour les fibres multimodes que pour les fibres monomodes.
Il existe une relation entre les caractéristiques du microlaser, celles de la lentille, les dimensions de la fibre, et la distance lentillefibre à laquelle le couplage est réalisé de manière optimale. Le calcul, permettant d'établir cette relation, utilise la méthode des matrices A, B, C, D, décrites dans l'ouvrage de A. Yariv, intitulé "Quantum
Electronics", troisième édition, John Wiley & Sons, 1988, pages 106-125.
Connaissant les caractéristiques du microlaser (longueur, indice, courbure du miroir d'entrée de la cavité), on calcule d'abord les dimensions de la section du faisceau laser, en sortie de cavité microlaser.
Puis, connaissant l'épaisseur e du substrat sur lequel est fabriqué la microlentille, et le diamètre d du coeur de la fibre, on peut calculer le rayon de courbure R de la lentille, et la distance D1 lentille fibre, pour que le faisceau soit focalisé sur la face d'entrée 32 de la fibre 30, avec un faisceau présentant, sur la face d'entrée 32, un rayon égal au plus au rayon du coeur de la fibre. Si R est connu, on peut déterminer Wf et D1, Wf déterminant à son tour la valeur minimale que doit présenter le diamètre du coeur de la fibre pour que le couplage soit réalisé de manière optimale.
La méthode des matrices A, B, C, D permet de calculer les caractéristiques d'un faisceau laser gaussien se propageant à travers un système optique.
Elle permet de calculer la taille et la position de la zone de focalisation du faisceau. Cette méthode est valable dans le cas où les systèmes optiques sont dépourvus d'aberration, non diaphragmés, et avec des ouvertures numériques faibles. C'est bien le cas pour les microlasers et les microlentilles utilisés : les ouvertures numériques sont faibles en raison de la faible divergence du faisceau laser, et le diamètre < D de la lentille (typiquement compris entre 40 um et 200 um) est suffisamment grand pour éviter de diaphragmer le faisceau.
Le système selon l'invention peut aussi fonctionner avec une cavité microlaser plan-plan. Dans ce cas, le waist laser en sortie de cavité est déterminé par les effets thermiques et ne peut pas être calculé directement à partir des caractéristiques géométriques de la cavité. En pratique, le waist dans une cavité plan-plan est de l'ordre de 70 um. Il est donc tout à fait possible de déterminer une microlentille pour coupler le faisceau dans une fibre.
D1 et Wf peuvent alors être calculés.
De préférence, le microlaser a un fonctionnement TEMoo : ceci permet d'améliorer encore le rendement de couplage dans la fibre, en particulier dans le cas d'une fibre monomode. En effet, de manière générale, l'énergie située dans les modes d'ordre supérieur de pas se propager dans une fibre monomode, fait qu'il limite donc le rendement de couplage. Par conséquent, un faisceau TEMoo permet d'atteindre des rendements de couplage très importants dans une fibre monomode.
La structure décrite ci-dessus, comportant la cavité microlaser (miroir d'entrée 22, milieu actif 20, miroir de sortie 24) associée à la microlentille 26 est une structure monolithique, qui peut être réalisée à 11 aide d'un procédé de fabrication collective, utilisant des techniques connues en micro-électronique.
Un tel procédé peut incorporer les étapes suivantes 1. Choix du milieu actif laser (en fonction de la
longueur d'onde d'émission), conditionnement du
cristal laser choisi (on l'oriente et on le découpe
en lames d'épaisseur voulue), rodage des lames (ce
qui permet de ramener l'épaisseur des lames à une
épaisseur légèrement supérieure à la spécification du
microlaser), et polissage des deux faces avec une
qualité optique.
2. Gravure du miroir concave 22. Par exemple, on peut
graver directement la microlentille sur le matériau
laser, en utilisant les technologies utilisées
couramment en microélectronique. On peut aussi
réaliser d'abord la microlentille sur un autre
matériau (résine photosensible, silice) et l'hybrider
ensuite (par exemple par collage, par contact face à
face) avec une face polie du matériau laser.
3. Dépôt des miroirs d'entrée 22 et de sortie 24. De
préférence, ce sont des miroirs dichroïques, obtenus
par dépôt de multicouches diélectriques.
4. Découpe et polissage d'une lame de matériau
transparent, destinée à la réalisation des
microlentilles 26.
5. Gravure des microlentilles, de manière à leur assurer
le rayon de courbure R choisi. Les techniques pour
réaliser cette étape sont décrites par exemple dans
le document EP-523 861.
6. Les deux lames (la lame de matériau laser et la lame
de matériau transparent) sont ensuite alignées et
assemblées, par exemple par collage.
7. L'ensemble est ensuite découpé en puces
individuelles, de manière à obtenir des structures
élémentaires du type de celle illustrée sur la figure
2.
8. Chaque structure élémentaire est montée en boîtier et
connectée avec une diode laser de pompage.
9. l'ensemble est aligné et couplé avec la fibre optique
choisie 30, positionnée à la distance voulue. Il est
possible par exemple de réaliser un boîtier dans
lequel peuvent s'incorporer, d'une part l'ensemble
obtenu par l'étape 9 ci-dessus, et d'autre part la
fibre optique positionnée à la distance voulue par
rapport à la face de sortie du microlaser.
Comme on l'a déjà mentionné ci-dessus, des variantes permettent d'insérer dans la cavité microlaser des moyens de déclenchement (actifs ou passifs) et/ou un matériau non-linéaire. Ces éléments peuvent être insérés au cours d'étapes supplémentaires, par exemple entre les étapes 2 et 3 décrites ci-dessus.
De plus, un matériau non linéaire peut être inséré entre la cavité microlaser et la microlentille, par exemple avant l'étape 6.
Il est possible de remplacer les étapes 4, 5, 6 ci-dessus, en déposant une couche de matériau transparent, par exemple de la silice, sur la face de sortie du microlaser, et en gravant les microlentilles directement sur cette couche. L'alignement est alors réalisé directement lors de la fabrication des microlentilles dans le matériau transparent.
Deux exemples de couplage, réalisés selon l'invention, vont maintenant être décrits. Ces exemples concernent une fibre monomode de rayon de coeur 3,6 um (d=7,2 pm).
Le premier exemple décrit des calculs pour dimensionner un microlaser et une microlentille. La simulation du couplage est faite en étudiant la propagation d'un faisceau gaussien dans le microlaser, puis dans la lentille en silice. La méthode utilisée est la méthode des matrices A, B, C, D, qui est utilisable parce que des faisceaux non diaphragmés sont utilisés, avec des ouvertures numériques suffisamment faibles pour négliger les aberrations.
Le dimensionnement du système a été choisi pour être peu sensible aux fluctuations des dimensions géométriques des composants dues à leur fabrication. Le rayon de courbure du miroir d'entrée 22 a été pris égal à trois fois la longueur L de la cavité. Cette configuration permet d'avoir une bonne stabilité de cavité. Une variation de quelques pour-cent sur le rayon de courbure du miroir 22 modifie assez peu le diamètre d'une section du faisceau laser au niveau du miroir de sortie 24. L'épaisseur du microlaser a été prise égale à 500 um, le rayon de courbure du miroir 22 à 1500 pm, et les calculs ont été faits avec un microlaser en YLF. Pour des raisons de commodité, on a pris e=750 pm, les microlentilles étant souvent réalisées sur des substrats de silice d'épaisseur 750 um (épaisseur standard disponible commercialement).
La figure 4 montre l'évolution, en fonction du rayon R de courbure de la lentille (exprimé en micromètre), d'une part du rayon wf d'une section du faisceau dans la région où il est focalisé, à l'entrée de la fibre (courbe I, échelle de gauche) et d'autre part de la distance D1 entre la face de sortie 28 de la microlentille et la face d'entrée 32 de la fibre (courbe II, échelle de droite) . Lorsque R varie, wf varie également ainsi que, pour une fibre de diamètre d de face d'entrée 32, la distance D1 à laquelle la face d'entrée doit être située par rapport à la face de sortie 28 de la microlentille, pour que Wf soit inférieur à d.
Sur cette courbe, on voit que, par exemple, une valeur wf de 3,6 pm correspond sensiblement à un rayon de courbure de la lentille de 75 um, et à une distance
D1 de 200 um.
Sur la figure 4, il est également possible de représenter l'évolution de la hauteur h de la microlentille en fonction du rayon R, à partir de la relation (2) ci-dessus. Le rayon de courbure R=75 um obtenu ci-dessus correspond à une hauteur h d'environ 4,1 um, pour une microlentille de diamètre 50 um.
On pourrait également représenter l'évolution de Wf en fonction de O ou h.
Les calculs donnés ci-dessus concernent un microlaser YLF, de caractéristiques données. Pour d'autres matériaux lasers, d'autres types de lentilles et de fibres, les résultats sont différents. Toutefois, d'une manière générale - un microlaser a une épaisseur comprise sensiblement
entre quelques centaines de micromètres et quelques
millimètres (ce qui correspond à un diamètre de
section du faisceau, en sortie du microlaser,
comprise entre environ quelques micromètres et
quelques dizaines de micromètres), - en raison des contraintes technologiques, la hauteur
des microlentille se situe en général entre quelques
micromètres et quelques dizaines de micromètres, et
leur diamètre entre quelques dizaines et quelques
centaines de micromètres, - le coeur d'une fibre monomode mesure entre quelques
micromètres et quelques dizaines de micromètres, et, par conséquent, la distance entre la face de sortie 28 de la microlentille 26 et la face d'entrée 32 de la fibre optique 30 varie en général entre quelques dizaines et quelques centaines de micromètres de manière à ce que le faisceau soit bien focalisé sur la face d'entrée.
La figure 4 donne des résultats pour les fibres monomodes. Pour les fibres multimodes (de diamètre de coeur d plus important), le rayon de courbure R de la microlentille et la distance D1 peuvent être plus importants (jusqu'à quelques mm pour R et D1).
Selon un autre exemple, des essais de couplage d'un microlaser à cavité stable, dans une fibre monomode, par l'intermédiaire d'une microlentille en silice, ont été réalisés pour un microlaser YAG, d'épaisseur 790 um, avec des miroirs concaves de diamètre 150 um, et de rayon de courbure de 2,8 mm, les caractéristiques des microlentilles étant les suivantes - diamètre : O=100 um, - rayon de courbure R=80 um, - hauteur h=17 pm.
Le pompage du microlaser est assuré par un laser saphir-titane focalisé dans le microlaser, avec un faisceau de rayon 5 um.
La puissance microlaser est mesurée en entrée et en sortie de fibre, en prenant soin de filtrer la longueur d'onde de faisceau.de pompage. Le rendement de couplage mesuré (énergie injectée dans la fibre/ énergie disponible en sortie du microlaser) est de 70%.
Ce rendement de couplage est donc très bon.

Claims (24)

REVENDICATIONS
1. Dispositif optique comportant un microlaser (20), une fibre optique (30), et une microlentille (26), pour focaliser le faisceau microlaser sur une face d'entrée (32) de la fibre optique (30), la microlentille (26) et la distance (D1) entre la microlentille et la face d'entrée de la fibre optique étant telles que le faisceau du microlaser, focalisé sur la face d'entrée de la fibre optique, présente un rayon (wf) inférieur ou égal au rayon (d) du coeur de la fibre.
2. Dispositif optique comportant un microlaser (20), une fibre optique (30), et une microlentille (26), les caractéristiques de la microlentille et le diamètre (d) du coeur de la fibre optique (30) étant tels qu'il existe une distance de positionnement (D1) de la face d'entrée (32) de la fibre optique (30), par rapport à la microlentille, pour laquelle le faisceau du microlaser peut être focalisé sur la face d'entrée (32) de la fibre optique, avec un rayon inférieur au rayon du coeur de la fibre optique.
3. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, la fibre optique étant une fibre multimode.
4. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, la fibre optique étant une fibre monomode.
5. Dispositif selon la revendication 4, le faisceau du microlaser étant TEMoo.
6. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, le rayon de courbure R de la microlentille étant compris entre 25 et 150 um.
7. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, le rayon de courbure de la lentille étant compris entre 45 et 120 pm.
8. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, le rayon de courbure de la lentille étant compris entre 60 et 100 um.
9. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 8, la distance entre la microlentille et la face d'entrée de la fibre étant comprise entre 10 um et 400 pm.
10. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 8, la distance entre la microlentille et la face d'entrée de la fibre étant comprise entre 50 um et 300 um.
11. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 8, la distance entre la microlentille et la face d'entrée de la fibre étant comprise entre 100 pm et 200 um.
12. Procédé de réalisation d'un dispositif optique, ce dispositif optique comportant un microlaser (20), une fibre optique (30) dont le coeur (32) présente un diamètre (d), une microlentille (26) de focalisation du faisceau du microlaser, ledit procédé comportant une étape de sélection de la microlentille de manière à ce qu'il existe une distance (D1) de positionnement de la face d'entrée (32) de la fibre optique, par rapport à la microlentille, pour laquelle le faisceau du microlaser puisse être focalisé sur la face d'entrée de la fibre optique tout en présentant un rayon inférieur au rayon du coeur de la fibre optique.
13. Procédé de réalisation d'un dispositif optique comportant un microlaser (20), une fibre optique (30) dont le coeur présente un diamètre d, et une microlentille (26) de focalisation du faisceau du microlaser, ce procédé comportant une étape de sélection de la microlentille, et de positionnement de la face d'entrée (32) de la fibre optique à une distance (D1) de la microlentille, de telle sorte que le faisceau du microlaser soit focalisé sur la face d'entrée (32) de la fibre optique, et présente rayon inférieur au rayon du coeur de la fibre optique.
14. Procédé selon la revendication 12 ou 13, la fibre optique étant une fibre multimode.
15. Procédé selon la revendication 12 ou 13, la fibre optique étant une fibre monomode.
16. Procédé selon la revendication 15, le faisceau du microlaser étant un faisceau TEMoo.
17. Procédé selon l'une des revendications 13 à 16, le rayon de courbure de la microlentille étant compris entre 25 et 150 um.
18. Procédé selon l'une des revendications 13 à 16, le rayon de courbure de la lentille étant compris entre 45 et 120 um.
19. Procédé selon l'une des revendications 13 à 16, le rayon de courbure de la lentille étant compris entre 60 et 100 um.
20. Procédé selon llune des revendications 13 à 19, la distance entre la microlentille et la face d'entrée de la fibre étant comprise entre 10 um et 400 pm.
21. Procédé selon l'une des revendications 13 à 19, la distance entre la microlentille et la face d'entrée de la fibre étant comprise entre 50 pm et 300 um.
22. Procédé selon l'une des revendications 13 à 19, la distance entre la microlentille et la face d'entrée de la fibre étant comprise entre 100 um et 200 um.
23. Procédé selon l'une des revendications 12 à 22, le microlaser et la microlentille étant réalisés à partir, respectivement, d'une lame de matériau laser et d'une lame de matériau transparent, qui sont alignées et assemblées.
24. Procédé selon la revendication 23, l'assemblage des lames étant fait par collage.
FR9612180A 1996-10-07 1996-10-07 Microlaser solide couple dans une fibre et procede de realisation Pending FR2754400A1 (fr)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9612180A FR2754400A1 (fr) 1996-10-07 1996-10-07 Microlaser solide couple dans une fibre et procede de realisation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9612180A FR2754400A1 (fr) 1996-10-07 1996-10-07 Microlaser solide couple dans une fibre et procede de realisation

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FR2754400A1 true FR2754400A1 (fr) 1998-04-10

Family

ID=9496409

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR9612180A Pending FR2754400A1 (fr) 1996-10-07 1996-10-07 Microlaser solide couple dans une fibre et procede de realisation

Country Status (1)

Country Link
FR (1) FR2754400A1 (fr)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0192164A2 (fr) * 1985-02-16 1986-08-27 Nippon Hoso Kyokai Dispositif de couplage optique
US4726645A (en) * 1983-08-12 1988-02-23 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Optical coupler
EP0653824A1 (fr) * 1993-11-15 1995-05-17 Commissariat A L'energie Atomique Microlaser solide, monolithique, autoaligné, à déclenchement passif par absorbant saturable et son procédé de fabrication
EP0690533A1 (fr) * 1994-06-30 1996-01-03 AT&T Corp. Laser à semi-conducteur avec lentille de guidage d'onde intégré

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4726645A (en) * 1983-08-12 1988-02-23 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Optical coupler
EP0192164A2 (fr) * 1985-02-16 1986-08-27 Nippon Hoso Kyokai Dispositif de couplage optique
EP0653824A1 (fr) * 1993-11-15 1995-05-17 Commissariat A L'energie Atomique Microlaser solide, monolithique, autoaligné, à déclenchement passif par absorbant saturable et son procédé de fabrication
EP0690533A1 (fr) * 1994-06-30 1996-01-03 AT&T Corp. Laser à semi-conducteur avec lentille de guidage d'onde intégré

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
KOGELNIK HERWIG: "COUPLING AND CONVERSION COEFFICIENTS FOR OPTICAL MODES", PROCEEDINGS OF THE SYMPOSIUM ON QUASI-OPTICS, vol. 14, 8 June 1964 (1964-06-08) - 10 June 1964 (1964-06-10), POLYTECHNIC INSTITUTE OF BROOKLYN, pages 333 - 347, XP002033565 *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0653824B1 (fr) Microlaser solide, monolithique, autoaligné, à déclenchement passif par absorbant saturable et son procédé de fabrication
EP0742615B1 (fr) Microlaser monolithique déclenché et matériau non linéaire intracavité
CA2922526C (fr) Dispositif et procede de marquage laser d&#39;une lentille ophtalmique avec un laser pulse de longueur d&#39;onde et energie par impulsion selectionnees
EP3610309B1 (fr) Puce photonique à structure de collimation intégrée
EP0820128B1 (fr) Procédé d&#39;assemblage de deux structures et dispositif obtenu par le procédé
EP0724315B1 (fr) Cavité pour microlaser et son procédé de fabrication
EP0742613B1 (fr) Cavité microlaser et microlaser solide impulsionnel à déclenchement passif et à commande externe
FR2729797A1 (fr) Laser et microlaser a declenchement actif
EP2147487B1 (fr) Laser a puce pulse
FR2736217A1 (fr) Cavite microlaser et microlaser solide impulsionnel a declenchement actif par micromodulateur
FR2754400A1 (fr) Microlaser solide couple dans une fibre et procede de realisation
FR2751795A1 (fr) Cavite microlaser et microlaser a selection de mode, et procedes de fabrication
EP1212814B1 (fr) Laser pompe et milieu laser optimise
EP1058857A1 (fr) Procede de fabrication collective de microreliefs, et notamment de microprismes, par micro-usinage, et outils pour la mise en oeuvre du procede
FR3071326A1 (fr) Systeme optique integre
FR2754114A1 (fr) Microlaser solide a declenchement electrooptique a electrodes independantes, et procede de realisation
EP4003635A1 (fr) Systeme et procede de traitement par laser
FR2880736A1 (fr) Procede de correction d&#39;aberrations provoques par les effets thermiques dans une cavite laser
EP3969954A1 (fr) Dispositif de creation d&#39;un champ evanescent a motifs sur une surface et procede associe
WO2003005506A1 (fr) Element de couplage optique actif
FR2756110A1 (fr) Oscillateur optique a agilite de pointage et source laser utilisant cet oscillateur optique
FR2855274A1 (fr) Circuit integre photonique equipe de moyens d&#39;interconnexion avec des composants optoelectroniques rapportes
FR2815181A1 (fr) Dispositif d&#39;amplification optique a propagation guidee, et procede de fabrication
FR3057677A1 (fr) Procede de fabrication d&#39;un guide d&#39;onde
FR3048137A1 (fr) Systeme d&#39;amplification laser et procede de correction d&#39;un profil transversal asymetrique de pression de radiation dans un milieu a activite laser d&#39;un corps solide