FR2722878A1 - Capteur de pression differentielle de type capacitif - Google Patents

Abstract

L'invention concerne un capteur de pression différentielle de type capacitif, caractérisé en ce qu'il comprend :- une membrane partiellement déformable comportant deux faces opposées, chacune des faces opposées comportant une première électrode respectivement d'un premier et d'un deuxième condensateur,- une plaque supérieure et une plaque inférieure reliées respectivement auxdites faces opposées de la membrane par l'intermédiaire de moyens d'entretoise,- lesdites plaques supérieure et inférieure comportant chacune, d'une part, au moins une ouverture d'amenée de pression débouchant en regard de ladite membrane, et d'autre part, sur leur face en regard desdites premières électrodes de la membrane, des deuxièmes électrodes formant respectivement avec lesdites premières électrodes lesdits premier et deuxième condensateurs dont la capacité peut varier sous l'action de la différence de pression à laquelle est soumise ladite membrane.

Description

CAPTEUR DE PRESSION DIFFERENTIELLE DE TYPE CAPACITIF
L'invention concerne le domaine des capteurs de grandeurs physiques et plus particulièrement des capteurs de pression différentielle de type capacitif dans lesquels une électrode d'un condensateur est associée à une membrane mobile et disposée en regard d'une autre électrode associée à une partie fixe du capteur, ce capteur étant notamment destiné à être réalisé selon les techniques de micro-usinage de matériaux tels les matériaux semi-conducteur.

On connaît déjà du document US 4'879'627 un capteur de pression différentielle du type susmentionné. Ce capteur, de forme générale cylindrique, comprend deux membranes opposées en silicium, conductrices, déformables et reliées ensemble au niveau de leur bord périphérique par un anneau espaceur en verre. Les membranes sont donc espacées l'une de l'autre et délimitent un volume de référence fermé et dans lequel règne une pression nulle.

Les deux membranes sont respectivement associées à deux flasques en silicium par l'intermédiaire de deux autres anneaux espaceurs en verre. Chaque flasque comporte une base conductrice munie en son centre d'une conduite comportant une première extrémité qui débouche en regard de la membrane à laquelle elle est associée et une deuxième extrémité sur laquelle peut être branché un tuyau si bien que les bases des flasques forment respectivement avec les membranes les armatures de deux condensateurs sensibles à la pression.

Un inconvénient de ce capteur réside dans le fait que sa fabrication est complexe et coûteuse, d'une part en raison de la nature différente des matériaux mis en oeuvre pour la réalisation des anneaux espaceurs, des membranes et des flasques, et d'autre part en raisons des nombreux paramètres géométriques à respecter en vue de l'ajustement et de l'assemblage des différents éléments entre eux et notamment des anneaux espaceurs qui déterminent l'épaisseur de l'entrefer des condensateurs de mesure.

De plus, la différence entre les valeurs des coefficients de dilatation thermique du silicium et du verre, matériaux respectivement utilisés pour les flasques, les membranes et les anneaux de liaison, conduit, dans le cas d'importantes variations de température, à la création de tensions internes dans le capteur, qui peuvent entraîner des déformations du capteur et ainsi modifier sa réponse de façon non désirée.

Un autre inconvénient réside dans la présence d'une chambre de référence dont la pression est réglée de manière fixe au moment de la fabrication, la pression de référence étant choisie, une fois pour toute, en fonction de la pression moyenne que l'on souhaite mesurer. On comprendra donc que le champ d'application de tels capteurs est considérablement limité après le choix de la pression de référence.

Par ailleurs, la fabrication de tels capteurs nécessite l'utilisation de quatre plaquettes semiconductrices de sorte que le prix de ce type de capteur est relativement élevé, compte tenu des prix de revient généralement élevés de chacune des plaquettes terminées.

L'invention a donc pour but principal de remédier aux inconvénients de l'art antérieur susmentionné en fournissant un capteur de pression différentielle de type capacitif qui soit facile et économique à fabriquer, qui puisse être utilisé dans une très large gamme de pressions, tout en présentant à la fois une bonne résolution et une bonne sensibilité quelles que soient les conditions de température dans lesquelles il est utilisé.

A cet effet, l'invention a pour objet un capteur de pression différentielle de type capacitif, caractérisé en ce qu'il comprend
- une membrane partiellement déformable comportant deux faces opposées, chacune des faces opposées comportant une première électrode respectivement d'un premier et d'un deuxième condensateur, et
- une plaque supérieure et une plaque inférieure reliées respectivement auxdites faces opposées de la membrane par l'intermédiaire de moyens d'entretoise,
- lesdites plaques supérieure et inférieure comportant chacune, d'une part, au moins une ouverture d'amenée de pression débouchant en regard de ladite membrane, et d'autre part, sur leur face en regard desdites premières électrodes de la membrane, des deuxièmes électrodes formant respectivement avec lesdites premières électrodes lesdits premier et deuxième condensateurs dont la capacité peut varier sous l'action de la différence de pression à laquelle est soumise ladite membrane.

Grâce à ces caractéristiques, on réduit le nombre d'éléments qui forment le capteur à trois plaques et à des moyens d'entretoise de ces plaques entre elles. En outre, chacune de ces plaques peut être aisément réalisée en lot, et ce d'autant plus que les deux plaques supérieure et inférieure ont une structure identique. Une telle structure permet donc de diminuer de façon considérable le prix de revient de ce type de capteur.

A noter par ailleurs que l'absence de volume de référence et l'utilisation d'une seule membrane sur les côtés opposés de laquelle agit la pression permet au capteur d'être utilisé aussi bien pour la mesure de très faibles pressions différentielles, par exemple inférieures à 1 Pa, que pour la mesure de pressions différentielles élevées supérieures à 0,1 GPa en adaptant les dimensions du capteur de façon appropriée. On notera également que grâce à cette structure on mesure toujours la pression différentielle car la pression est directement appliquée de part et d'autre de la membrane ce qui permet aussi avec un capteur de dimensions déterminées de mesurer des pressions comprises dans une gamme relativement large.

Selon un mode de réalisation avantageux de l'invention, la membrane et les plaques supérieure et inférieure sont formées en silicium conducteur et les moyens d'entretoise sont formés en oxyde de silicium.

Selon ce mode de réalisation, les électrodes des deux condensateurs peuvent être réalisées facilement par dopage des plaques de silicium tandis que la fixation et l'isolation des plaques entre elles peuvent être réalisées de façon économique par exemple en faisant croître une couche d'oxyde sur une partie des faces opposées de la plaque centrale.

On notera en outre que l'utilisation de matériaux tels que le silicium et l'oxyde de silicium forme un ensemble homogène diminuant la sensibilité du capteur à la température.

Selon une caractéristique préférée de l'invention, la membrane comporte une masse centrale suspendue, par l'intermédiaire d'une zone périphérique amincie, à un cadre extérieur.

Grâce à cette caractéristique, les électrodes des deux condensateurs restent sensiblement parallèles deux à deux au cours de la déformation de la membrane, ce qui maintient une linéarité satisfaisante de la réponse du capteur.

Selon une autre caractéristique avantageuse de l'invention, les plaques supérieure et inférieure comportent une pluralité d'ouvertures d'amenée de pression débouchant sensiblement en regard de ladite zone amincie de la membrane.

Cette disposition des ouvertures d'amenée de pression permet d'une part d'améliorer le remplissage du capteur par un fluide et d'autre part de ne pas réduire la surface des électrodes des condensateurs de mesure du capteur.

L'invention a également pour objet un dispositif de mesure d'une pression différentielle, caractérisé
- en ce qu'il comprend un boîtier étanche dans lequel est disposé un capteur de pression différentielle comprenant notamment
- une membrane partiellement déformable comportant deux faces opposées, chacune des faces opposées comportant une première électrode respectivement d'un premier et d'un deuxième condensateur,
- une plaque supérieure et une plaque inférieure reliées respectivement auxdites faces opposées de la membrane par l'intermédiaire de moyens d'entretoise,
- lesdites plaques supérieure et inférieure comportant chacune, d'une part, au moins une ouverture d'amenée de pression débouchant en regard de ladite membrane, et d'autre part, sur leur face en regard desdites premières électrodes de la membrane, des deuxièmes électrodes formant respectivement avec lesdites premières électrodes lesdits premier et deuxième condensateurs dont la capacité peut varier sous l'action de la différence de pression à laquelle est soumise ladite membrane,
- en ce que ledit boîtier comprend deux chambres délimitées par des parois extérieures et une paroi intérieure, lesdites parois extérieures ayant des parties sensiblement parallèles à ladite membrane,
- en ce que ladite paroi intérieure comporte un passage assurant la communication entre les deux chambres,
- en ce que ledit capteur est fixé sur ladite paroi intérieure en regard dudit passage pour obturer ledit passage, et
- en ce que les deux parties de parois extérieures sensiblement parallèles à la membrane du capteur et de part et d'autre de celle-ci forment chacune une membrane déformable, ledit boîtier comprenant en outre des moyens de contact établissant un contact électrique entre ledit capteur et l'extérieur du boîtier.

Un tel dispositif isole et protège le capteur de toute influence extérieure telle que des chocs et permet notamment d'effectuer des mesures de pression différentielle dans le cas où le fluide dont on mesure la pression est agressif.

Ce dispositif permet en outre, selon les applications, soit de maintenir les deux chambres sous vide pour obtenir la plus grande largeur de bande possible, soit de remplir les deux chambres d'un gaz pour obtenir un effet d'amortissement, soit encore de remplir les deux chambres d'un liquide afin d'obtenir une tolérance aux fortes variations de pression en mode commun.

D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront plus clairement à la lecture de la description qui suit de formes particulières de réalisation de l'invention, cette description étant faite en liaison avec les figures des planches annexées dans lesquelles:
- la figure 1 est une vue éclatée en perspective d'un capteur de pression différentielle de type capacitif selon l'invention;
- la figure 2 est une coupe schématique selon la ligne II-II de la figure 1;
- les figures 3 à 5 sont des coupes selon la ligne
II-II du capteur de pression de la figure 1, représenté à différentes étapes de son procédé de fabrication; et
- la figure 6 est une coupe d'un dispositif de mesure selon l'invention reliant deux portions de tuyau.

En se référant tout d'abord à la figure 1, on voit une vue éclatée d'un capteur de pression différentielle de type capacitif selon l'invention, que l'on désignera ciaprès par capteur, et qui est repéré par la référence générale 1. La figure 1 sera mieux comprise en se référant simultanément à la figure 2.

On notera également que le dessin ne représente pas les dimensions relatives exactes des éléments les uns par rapport aux autres et que les dimensions ont été fortement exagérées pour plus de clarté. A titre indicatif, les dimensions générales d'un tel capteur sont de l'ordre de 2,8 x 2,5 x 1,2 mm3.

Le capteur 1 comprend une plaque intermédiaire 2 disposée entre une plaque supérieure 4 et une plaque inférieure 6, ces dernières étant reliées de part et d'autre de la plaque intermédiaire 2 respectivement par des moyens d'entretoise 8 et 10 ayant sensiblement la forme d'un cadre.

Dans l'exemple représenté, les plaques intermédiaire, supérieure et inférieure 2, 4 et 6 sont réalisées en silicium conducteur et les moyens d'entretoise 8 et 10 sont réalisés en dioxyde de silicium (SiO2). Le silicium est de préférence un silicium monocristallin qui est fortement dopé par exemple avec une impureté telle que du bore.

La plaque intermédiaire 2 forme une membrane 14 partiellement déformable qui comprend un cadre 12 et une masse centrale 16 entourée par une zone amincie 18 qui relie la masse centrale 16 au cadre 12.

On notera à ce propos que l'épaisseur de la zone amincie 18 détermine la sensibilité du capteur. Pour fixer les idées, une épaisseur de la zone 14 comprise entre 1 et 1,5m correspond généralement à un capteur dit sensible tandis qu'une épaisseur de la zone 18 supérieure à 10ym correspond généralement à un capteur dit peu sensible.

Il est bien entendu que selon une variante de réalisation (non représentée) du capteur de l'invention, la membrane 14 peut ne pas présenter de zone amincie et avoir une épaisseur sensiblement constante sur toute sa surface.

Dans l'exemple représenté, les plaques supérieure 4 et inférieure 6 présentent la même configuration et comprennent chacune à leur périphérie une pluralité d'ouvertures d'amenée de pression 20 et respectivement 21 qui débouchent sensiblement en regard de la zone amincie 18 de la membrane 14. Ainsi des pressions à mesurer respectivement P1 et P2 (figure 2) sont transmises à la membrane 14 par l'intermédiaire des ouvertures 20, 21 prévues dans les plaques supérieure 4 et inférieure 6. Les parties centrales 24 et respectivement 26 des plaques supérieure 4 et inférieure 6 qui sont entourées par les ouvertures d'amenée de pression 20 et 21 sont rigides et comprennent chacune une face 28, 30, disposée en regard de faces 32, 34 opposées de la masse centrale. Ainsi, les faces 28, 30 les moyens d'entretoise 8, 10, les faces 32, 34 forment respectivement des premières électrodes, deux espaceurs définissant les épaisseurs de deux entrefers et des deuxièmes électrodes de deux condensateurs dont les capacités peuvent varier sous l'action des pressions P1 et
P2. Les électrodes formées par les faces 28, 30, 32 et 34 seront désignées par les mêmes références numériques dans la suite de la description.

Dans l'exemple décrit, les cadres 8 et 10 formant les moyens d'entretoise réalisés en dioxyde de silicium assurent d'une part l'isolation électrique entre les trois plaques 2, 4 et 6 et d'autre part la liaison mécanique entre celles-ci comme cela apparaîtra plus clairement dans la suite de la description. On précisera à titre d'exemple que l'épaisseur de l'entrefer formé par les cadres 8 et 10 est de l'ordre de 2ym et que la surface de la masse centrale 16 est de l'ordre de 1 mm2.

Selon une variante non représentée, on pourra prévoir des butées isolantes disposées de préférence sur la masse centrale 16 pour maintenir un entrefer minimun entre les faces 28, 32 respectivement 30, 34 et éviter tout phénomène de claquage électrique et/ou l'apparition d'un effet de collage des faces associées des condensateur C1 et C2 entre elles.

Le nombre d'ouvertures d'amenée de pression 20 et 21 a une certaine importance pour le fonctionnement du capteur. En effet, le nombre d'ouvertures 20 et 21 a une influence sur la constante de temps du capteur 1, celle-ci étant inversement proportionnelle au nombre d'ouvertures 20 et 21.

On notera que selon une variante de réalisation du capteur de l'invention, la répartition des ouvertures 20 et 21 peut varier et qu'elles peuvent se réduire à une seule ouverture, par exemple, prévue sensiblement dans la partie centrale des plaques supérieure et inférieure.

Comme cela ressort particulièrement de la figure 1, la plaque intermédiaire 2, la plaque supérieure 4 et la plaque inférieure 6 comprennent respectivement des zones de contact 36, 38 et 40 destinées à établir un contact électrique entre, d'une part les électrodes des condensateurs C1 et C2 formées respectivement par des zones des plaques 2, 4 et 6 et d'autre part, les entrées d'un circuit de traitement ou de mesure extérieur (non représenté)
Dans l'exemple décrit, les zones de contact 36, 38 et 40 ont chacune la forme d'une languette qui s'étend dans le même plan que la plaque à laquelle elle est associée et à partir d'un bord de celle-ci. Pour des raisons évidentes de commodité, les zones de contact 36, 38 et 40 sont ménagées d'un même côté du capteur et sont décalées les unes par rapport aux autres le long de ce côté. On remarquera que chacune des zones comprend une métallisation 42, 44, et 46, par exemple en aluminium, permettant le soudage des moyens de contact (non représentés) du circuit de traitement ou de mesure extérieur.

En se référant aux figures 3 à 5 on va maintenant décrire un procédé de réalisation du capteur 1 de l'invention qui vient d'être décrit. Bien que ce procédé permette la réalisation simultanée d'une pluralité de capteurs à partir de trois plaquettes en silicium conducteur, la description et le dessin ne porteront, par simplification que, sur un seul capteur.

A titre d'exemple, les plaquettes (non représentées) à partir desquelles est réalisé le capteur sont en silicium monocristallin fortement dopé avec du bore et présentent une orientation cristallographique < 100 > .

A la figure 3 on a représenté la plaque intermédiaire 2 à partir de laquelle seront formés la membrane 14 comprenant notamment le cadre 12, la masse centrale 16 et ses électrodes 32, 34, les moyens d'entretoise 8 et 10 et la zone de contact 36 du capteur 1 décrit aux figures 1 et 2, la plaque 2 étant représentée au cours d'une étape de sa fabrication. On a également représenté les plaques supérieure 4 et inférieure 6 à partir desquelles seront formées respectivement les ouvertures d'amenée de pression 20 et 21, les parties centrales 22, 24 et leur électrode 28, 30 et les zones de contact 38, 40 du capteur 1.

La plaque intermédiaire 2 comprend sur chacune de ses faces opposées 50, 52 une couche d'oxyde de silicium 54, 56 (Si02) formée, par exemple, par oxydation thermique de la plaque 2 dans un four sous une atmosphère oxydante.

I1 est bien entendu que selon une variante, la formation des couches 54, 56 peut être réalisée par dépôt chimique ou physique en phase vapeur (CVD ou PVD).

Les plaques supérieure 4 et inférieure 6 sont quant à elles structurées pour définir les ouvertures d'amenée de pression 20, 21. Pour ce faire, on dépose une couche de résine photosensible (non représentée) sur chacune des faces opposées des plaques supérieure 4 et inférieure 6, on insole cette couche de résine à travers un masque (également non représenté) pour n'exposer qu'une partie de la couche de résine délimitant les ouvertures d'amenée 20, 21, on élimine la partie insolée, on grave les parties découvertes des plaques supérieure 4 et inférieure 6 pour former les ouvertures d'amenée 20, 21 puis on élimine les parties restantes de la couche de résine.

L'élimination de la résine est réalisée de façon classique, par exemple, par voie humide à l'aide d'un solvant approprié. L'opération de gravage des ouvertures d'amenée 20, 21 est réalisée, par exemple, dans un bain de
KOH (Hydroxyde de Potassium). Selon une variante, l'opération de gravage peut se faire par plasma.

Les plaques supérieure 4 et inférieure 6 sont alors terminées.

A la figure 4, on a illustré l'étape de structuration des couches 54 et 56 en vue de former et configurer les moyens d'entretoise 8 et 10 qui comme cela est visible à la figure 1 ont la forme de cadres.

Pour la structuration des couches 54 et 56, le processus est identique à celui décrit en liaison avec la structuration des plaques inférieure 4 et supérieure 6 de la figure 3 à la différence des masques utilisés et de l'agent de gravure qui doit graver le SiO2.

On notera que, pour des raisons pratiques, des portions centrales 60, 62 du SiO2 des couches 54, 56 sont conservées au cours de cette étape, en plus de moyens d'entretoise 8, 10.

L'opération de gravure des couches 54 et 56 à travers les masques est par exemple réalisée par attaque chimique à l'aide d'une solution d'acide fluorhydrique (HF).

Comme cela est illustré à la figure 4, les portions centrales 60, 62 et les moyens d'entretoise 8, 10 servent ainsi de masques pour la structuration de la membrane 14 qui est réalisée, dans le cas où l'on désire obtenir une zone amincie 18 de très faible épaisseur (1 à 1,5pu), à l'aide d'une technique de gravage connue comportant un arrêt d'attaque et basée sur une implantation ionique sur une profondeur déterminée sur un des côtés de la zone amincie 18.

Les portions centrales 60 et 62 sont alors éliminées par gravage après que les moyens d'entretoise 8 et 10 et les deux côtés de la zone amincie 18 ont été protégés de façon classique pour obtenir la plaque intermédiaire 2 telle que représentée à la figure 5. L'agent de gravage utilisé pour cette opération peut être le même que celui utilisé pour le gravage des couches 54 et 56.

Les plaques intermédiaire 2, supérieure 4 et inférieure 6 étant ainsi structurées, on procède, après une préparation appropriée des surfaces à assembler, à la mise en place des trois plaques de manière que les moyens d'entretoise 8, 10 soient respectivement situés en regard du bord des plaques supérieure 4 et inférieure 6.

La préparation des surfaces à assembler consiste par exemple en un nettoyage tel que décrit dans la publication intitulée "RCA" No 31 page 187, 1970.

Les trois plaques 2, 4 et 6 étant préparées, on procède à l'assemblage (symbolisé par des flèches F à la figure 5) de ces dernières par une soudure autogène à environ 10000C.

Les métallisations 42, 44 et 46 sont alors déposées respectivement sur les zones de contact 36, 38 et 40 par exemple par évaporation sous vide d'un métal tel que l'aluminium à travers un masque métallique.

Les capteurs peuvent alors être séparés les uns des autres au cours d'une dernière opération de découpage des plaquettes assemblées.

En se référant enfin à la figure 6, on voit un dispositif de mesure de pression différentielle utilisant le capteur 1 décrit en liaison avec les figures 1 à 5. Le dispositif est placé sur les entrées respectives de deux conduites 70, 72 qui peuvent être, par exemple, des conduites de mesure de pression d'un oscillateur fluidique.

Le dispositif comprend un boîtier étanche 74 dans lequel est installé un capteur 1 selon l'invention. Le boîtier 74 comprend deux chambres intérieures 76, 78 délimitées par des parois extérieures 80 et séparées par une paroi intérieure 82 formant un support pour le capteur 1 (symbolisé au dessin par un rectangle marqué d'une croix). Le capteur 1 est fixé en regard d'un passage 84 débouchant ménagé dans l'épaisseur de la paroi 82. La membrane mobile 14 du capteur 1 obture le passage 84 et assure ainsi la séparation entre les deux chambres 76, 78.

Bien entendu, lors de la fixation du capteur 1 sur le support 82 on veillera, pour le fonctionnement du dispositif, à ce que les conduits 20 ou 21 d'amenée de pression soient en communication avec le passage 84. A titre indicatif, la fixation du capteur 1 sur le support peut être réalisée par collage.

Les parois extérieures 80 comprennent des parties de parois 86, 88 qui s'étendent sensiblement parallèlement à la membrane mobile 14 et de part et d'autre de celle-ci et forment chacune une membrane déformable.

Les membranes déformables 86, 88 du boîtier 74 sont plus flexibles que la membrane 14 du capteur 1 auquel elles sont associées.

Le dispositif comprend en outre des moyens de contact 90 destinés à établir un contact électrique entre le capteur et l'extérieur du boîtier 74. Dans l'exemple illustré, les moyens de contact 90 s'étendent, d'une part, dans la chambre 76 entre les zones de contact 36, 38 et 40 du capteur 1 et une partie métallisée 92 du support 82 sous la forme d'un fil conducteur 94 et, d'autre part, vers l'extérieur du boîtier via un chemin conducteur 96 ménagé dans l'épaisseur du support 82.

Selon les applications dans lesquelles on désire utiliser le capteur 1, on peut, comme cela a déjà été mentionné plus haut remplir les chambres 76, 78 d'un fluide, et de préférence d'un fluide ayant une constante diélectrique élevée tel que par exemple une huile silicone ou hydrocarbure.

L'utilisation d'un liquide dans les chambres 76 et 78 permet notamment de limiter une déformation excessive des membranes 86 et 88 lorsqu'elles sont soumises à des variations de pression importantes.

Dans l'exemple représenté, les éléments du boîtier 74, à savoir les parois extérieures 80 et la paroi intérieure 82, sont réalisées en un matériau synthétique injecté tel qu'un polypropylène, les parois extérieures 80 étant fixé de façon étanche, par collage ou analogue, sur des ailes 98, 100 ménagées aux extrémités du support 82.

Bien entendu, le capteur de l'invention peut, selon d'autres variantes, être utilisé sans le boîtier 74 qui vient d'être décrit, et par exemple être directement disposé et fixés dans un conduit de dimensions appropriées. En ménageant une surface de réserve suffisante à la périphérie du capteur, on peut aussi fixer directement de part et d'autre de cette surface de réserve les extrémités d'une conduite ou analogue. Le capteur de l'invention peut encore être fixé à l'extrémité d'une poutre s'étendant en travers d'un conduit ou sur une face d'un élément faisant obstacle à l'écoulement d'un fluide.

Claims (11)

REVENDICATIONS

1. Capteur de pression différentielle de type capacitif, caractérisé en ce qu'il comprend:

- une membrane partiellement déformable comportant deux faces opposées, chacune des faces opposées comportant une première électrode respectivement d'un premier et d'un deuxième condensateur,

- une plaque supérieure et une plaque inférieure reliées respectivement auxdites faces opposées de la membrane par l'intermédiaire de moyens d'entretoise,

- lesdites plaques supérieure et inférieure comportant chacune, d'une part, au moins une ouverture d'amenée de pression débouchant en regard de ladite membrane, et d'autre part, sur leur face en regard desdites premières électrodes de la membrane, des deuxièmes électrodes formant respectivement avec lesdites premières électrodes lesdits premier et deuxième condensateurs dont la capacité peut varier sous l'action de la différence pression à laquelle est soumise ladite membrane

2. Capteur de pression différentielle selon la revendication 1, caractérisé en ce que la membrane, et les plaques supérieure et inférieure sont formées en silicium conducteur et en ce que les moyens d'entretoise sont formés en un oxyde de silicium.

3. Capteur de pression différentielle selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que ladite membrane comporte une masse centrale, un cadre extérieur et une zone périphérique amincie reliant la masse centrale audit cadre.

4. Capteur de pression différentielle selon la revendication 3, caractérisé en ce que les plaques supérieure et inférieure comportent une pluralité d'ouvertures d'amenée de pression.

5. Capteur de pression différentielle selon l'une des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce que lesdits moyens d'entretoise s' étendent entre le cadre extérieur et le bord des plaques supérieure et inférieure et en ce que l'épaisseur desdits moyens d'entretoisement détermine l'entrefer desdits premier et deuxième condensateur.

6. Capteur de pression différentielle selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite membrane et les plaques supérieure et inférieure comprennent respectivement des zones de contact destinées à relier le capteur avec des moyens de mesure.

7. Dispositif de mesure d'une pression différentielle, caractérisé en ce qu'il comprend un boîtier étanche dans lequel est disposé un capteur de pression différentielle selon l'une quelconque des revendications précédentes, en ce que ledit boîtier comprend deux chambres délimitées par des parois extérieures et une paroi intérieure, lesdites parois extérieures ayant des parties sensiblement parallèles à ladite membrane, en ce que ladite paroi intérieure comporte un passage assurant la communication entre les deux chambres, en ce que ledit capteur est fixé sur ladite paroi intérieure en regard dudit passage pour obturer ledit passage, en ce que les deux parties de parois extérieures sensiblement parallèles à la membrane du capteur et de part et d'autre de celle-ci forment chacune une membrane déformable, ledit boîtier comprenant en outre des moyens de contact établissant un contact électrique entre ledit capteur et l'extérieur du boîtier.

8. Dispositif de mesure selon la revendication 7, caractérisé en ce que les membranes du boîtier sont plus flexibles que la membrane dudit capteur.

9. Dispositif de mesure selon la revendication 7 ou 8, caractérisé en ce que lesdites chambres sont remplies d'un fluide.

10. Dispositif de mesure selon la revendication 9, caractérisé en ce que ledit fluide présente une constante diélectrique élevée.

11. Dispositif de mesure selon l'une des revendications 7 à 10, caractérisé en ce que le boîtier est réalisé par injection d'un matériau synthétique.