FR2717911A1 - Integrated optical circuit. - Google Patents

Integrated optical circuit. Download PDF

Info

Publication number
FR2717911A1
FR2717911A1 FR9502876A FR9502876A FR2717911A1 FR 2717911 A1 FR2717911 A1 FR 2717911A1 FR 9502876 A FR9502876 A FR 9502876A FR 9502876 A FR9502876 A FR 9502876A FR 2717911 A1 FR2717911 A1 FR 2717911A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
detector
optical circuit
integrated optical
integrated
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR9502876A
Other languages
French (fr)
Other versions
FR2717911B1 (en
Inventor
Kragl Hans
Rech Wolf-Henning
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of FR2717911A1 publication Critical patent/FR2717911A1/en
Application granted granted Critical
Publication of FR2717911B1 publication Critical patent/FR2717911B1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/13Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
    • G02B6/138Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by using polymerisation
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G02B6/124Geodesic lenses or integrated gratings
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/4228Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements
    • G02B6/423Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements using guiding surfaces for the alignment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)

Abstract

Circuit optique intégré comprenant un détecteur (30) avec une zone photosensible (32) sensiblement parallèle à la face frontale de l'extrémité d'une fibre optique (24) du côté du détecteur. Le détecteur (30) et la fibre optique (24) sont maintenus tous deux dans un substrat (45).Integrated optical circuit comprising a detector (30) with a photosensitive area (32) substantially parallel to the front face of the end of an optical fiber (24) on the detector side. Both the detector (30) and the optical fiber (24) are held in a substrate (45).

Description

" Circuit optique intégré ""Integrated optical circuit"

Etat de la technique.State of the art.

L'invention concerne un circuit optique intégré comprenant un détecteur pour recevoir un signal optique, ayant une zone photosensible et une fibre optique condui- sant le signal optique sur le détecteur, cette fibre étant  The invention relates to an integrated optical circuit comprising a detector for receiving an optical signal, having a photosensitive zone and an optical fiber conducting the optical signal to the detector, this fiber being

maintenue dans un substrat par son extrémité du côté du dé-  held in a substrate by its end on the side of the

tecteur, par l'intermédiaire d'au moins une rainure d'ajustage.  guardian, by means of at least one adjustment groove.

Le document P 42 40 950.0, non publié préala-  Document P 42 40 950.0, not previously published

blement, décrit un circuit optique intégré avec un chip ou  clearly describes an integrated optical circuit with a chip or

plaquette de détecteur noyé dans un couvercle en polymère.  detector plate embedded in a polymer cover.

Une partie inférieure de circuit en un polymère comporte un guide d'onde et, en parallèle à son axe longitudinal, se  A lower part of a polymer circuit has a waveguide and, parallel to its longitudinal axis,

trouve le chip du détecteur lorsque le couvercle en poly-  finds the detector chip when the poly-

mère est rapporté sur la partie inférieure. La détection de la lumière dans le guide d'onde se fait par un couplage évanescent. Pour cela il faut que le détecteur possède une grande longueur et une faible largeur. Cela nécessite de  mother is reported on the bottom. The light in the waveguide is detected by evanescent coupling. For this it is necessary that the detector has a large length and a small width. This requires

nouveau une grande précision d'ajustage du couvercle en po-  again great precision in adjusting the cover in

lymère sur la partie inférieure. Le rendement du découplage  lymer on the lower part. The efficiency of decoupling

dans le cas d'un couplage évanescent est relativement fai-  in the case of an evanescent coupling is relatively weak

ble.corn.

Avantages de l'invention.Advantages of the invention.

La présente invention concerne un circuit opti-  The present invention relates to an optical circuit

que intégré correspondant au type défini ci-dessus, carac-  that integrated corresponding to the type defined above, charac-

térisé en ce que la zone photosensible du détecteur est sensiblement parallèle à la face frontale de l'extrémité de la fibre optique du côté du détecteur et le détecteur est  terized in that the photosensitive zone of the detector is substantially parallel to the front face of the end of the optical fiber on the side of the detector and the detector is

maintenu par le substrat.held by the substrate.

Le circuit optique intégré selon l'invention  The integrated optical circuit according to the invention

offre l'avantage de permettre un rendement de couplage éle-  has the advantage of allowing high coupling efficiency

vé. De plus, on a des tolérances plus élevées pour ajuster  vé. In addition, we have higher tolerances for adjusting

le détecteur par rapport au guide d'onde.  the detector relative to the waveguide.

Il est particulièrement avantageux de prévoir un guide d'onde entre les fibres optiques et le détecteur,  It is particularly advantageous to provide a waveguide between the optical fibers and the detector,

ce guide étant intégré dans le substrat car dans le subs-  this guide being integrated in the substrate because in the subs-

trat il peut avoir n'importe quelle forme et même une forme courbe, ce qui donne des possibilités de conception plus importantes pour le montage du détecteur. En particulier, le guide d'onde permet de conduire le signal optique dans un autre circuit optique intégré entre les fibres guides de  trat it can have any shape and even a curved shape, which gives more possibilities of design for the mounting of the detector. In particular, the waveguide makes it possible to conduct the optical signal in another optical circuit integrated between the guide fibers of

lumière et le détecteur.light and detector.

La réalisation du guide d'onde sous la forme d'une rainure remplie de colle offre l'avantage de pouvoir fabriquer le guide d'onde, dans le substrat, en même temps que l'on fixe les fibres optiques. Cela supprime une étape  The realization of the waveguide in the form of a groove filled with glue offers the advantage of being able to manufacture the waveguide, in the substrate, at the same time as the optical fibers are fixed. This removes a step

de travail dans la fabrication du circuit optique intégré.  of work in the manufacture of the integrated optical circuit.

Suivant une autre caractéristique avantageuse,  According to another advantageous characteristic,

si, dans le parcours du signal optique entre les fibres op-  if in the path of the optical signal between the fibers op-

tiques et le détecteur, il est prévu au moins un composant optique, cela permet de traiter le signal optique avant le détecteur. Suivant une autre caractéristique avantageuse, le détecteur est intégré dans le substrat, ce qui donne une  ticks and the detector, at least one optical component is provided, this makes it possible to process the optical signal before the detector. According to another advantageous characteristic, the detector is integrated into the substrate, which gives a

forme compacte au circuit optique intégré et permet de pro-  compact shape with integrated optical circuit and allows

téger en même temps le détecteur contre les influences ex-  at the same time protect the detector against ex-

térieures nocives.noxious legs.

Il en résulte également l'avantage de pouvoir  This also results in the advantage of being able to

monter le détecteur dans sa position souhaitée sans néces-  mount the detector in its desired position without requiring

siter de moyens d'ajustage supplémentaires et en particu-  use additional means of adjustment and in particular

lier de moyens actifs, si le détecteur peut être ajusté  link active means, if the detector can be adjusted

dans le substrat à l'aide d'un dispositif d'ajustage pas-  into the substrate using a step adjustment device

sif. La fixation du détecteur dans le substrat par de la colle constitue une réalisation particulièrement sim- ple et nécessitant peu de moyens pour fixer le détecteur  sif. The fixing of the detector in the substrate by glue constitutes a particularly simple realization and requiring few means to fix the detector

dans le substrat.in the substrate.

Le déplacement des contacts de raccordement du  The displacement of the connection contacts of the

détecteur à l'extérieur du substrat assure une accessibili-  detector outside the substrate ensures accessibility

té simple de ces contacts de raccordement, ce qui permet de réduire avantageusement les moyens électriques à mettre en  simple tee of these connection contacts, which advantageously reduces the electrical means to be used

oeuvre pour le circuit optique intégré.  work for the integrated optical circuit.

Le fait de compléter le circuit optique intégré avec un circuit semiconducteur au niveau du substrat offre  Completing the integrated optical circuit with a semiconductor circuit at the substrate provides

l'avantage de permettre de poursuivre le traitement des si-  the advantage of allowing further processing of

gnaux électriques du détecteur, directement au niveau du circuit optique intégré; cela réduit également de manière avantageuse l'encombrement du circuit optique intégré. En outre, la réunion du circuit optique intégré et du circuit semi-conducteur améliore la compatibilité du dispositif pour les hautes fréquences car il n'y a que de très courtes  electrical signals of the detector, directly at the integrated optical circuit; this also advantageously reduces the size of the integrated optical circuit. In addition, the combination of the integrated optical circuit and the semiconductor circuit improves the compatibility of the device for high frequencies because there are only very short

liaisons entre les deux circuits.links between the two circuits.

La subdivision du substrat en un couvercle et un fond avec des éléments d'ajustage qui se correspondent, offre l'avantage de simplifier l'ajustage lors du montage  Subdividing the substrate into a cover and a bottom with matching adjustment elements offers the advantage of simplifying adjustment during mounting

du circuit optique intégré.of the integrated optical circuit.

Dessins. Des exemples de réalisation sont représentés dans les dessins annexés et seront décrits de manière plus  Drawings. Examples of embodiments are shown in the accompanying drawings and will be described in more detail

détaillée dans la description suivante qui se réfère à ces  detailed in the following description which refers to these

dessins dans lesquels: - la figure 1 montre une matrice de moulage et la pièce de fond ainsi formée; - la figure 2 est une vue de côté, coupée, du circuit optique intégré; - la figure 3 montre, en coupe, un premier mode de réalisation du circuit optique intégré; - la figure 4 est une vue en coupe d'un second mode de réalisation du circuit optique intégré; - la figure 5 montre la partie inférieure du circuit optique intégré, avec les fibres optiques et le  drawings in which: - Figure 1 shows a molding die and the bottom part thus formed; - Figure 2 is a side view, cut away, of the integrated optical circuit; - Figure 3 shows, in section, a first embodiment of the integrated optical circuit; - Figure 4 is a sectional view of a second embodiment of the integrated optical circuit; - Figure 5 shows the lower part of the integrated optical circuit, with the optical fibers and the

détecteur, en vue de dessus.detector, seen from above.

Description des exemples de réalisation.  Description of the exemplary embodiments.

La figure 1 montre une matrice 18 servant de  Figure 1 shows a matrix 18 serving as

moule négatif pour la fabrication d'une partie de fond 10.  negative mold for the manufacture of a bottom part 10.

La matrice rectangulaire 18 présente un bord de sa face su-  The rectangular matrix 18 has an edge of its suface

périeure, un bossage 15 en forme de toit, ainsi qu'un bos-  a roof-shaped boss 15 as well as a bos-

sage rectangulaire 16 dont l'axe longitudinal est aligné sur le faîtage du bossage en forme de toit 15. Le bossage 16 rectangulaire est relié directement au bossage en forme de toit 15. A l'autre extrémité du bossage rectangulaire  rectangular sage 16 whose longitudinal axis is aligned with the ridge of the roof-shaped boss 15. The rectangular boss 16 is connected directly to the roof-shaped boss 15. At the other end of the rectangular boss

16, il y a un bossage 17 en forme de tronc de pyramide éga-  16, there is a boss 17 in the form of a pyramid trunk also

lement relié directement au bossage rectangulaire 16. Le fond 10 a également une forme rectangulaire et présente une cavité 11 en forme de toit correspondant au bossage 15 en  Lement directly connected to the rectangular boss 16. The bottom 10 also has a rectangular shape and has a roof-shaped cavity 11 corresponding to the boss 15 in

forme de toit; il comporte également une cavité 12 rectan-  roof shape; it also includes a cavity 12 rectan-

gulaire correspondant au bossage rectangulaire 16 ainsi  gular corresponding to rectangular boss 16 as well

qu'une cavité en tronc de pyramide 13 correspondant au bos-  that a pyramid trunk cavity 13 corresponding to the bos-

sage en tronc de pyramide 17.sage in trunk of pyramid 17.

Pour fabriquer le fond 10, on réalise la ma-  To manufacture the bottom 10, the ma-

trice 18 de préférence en nickel, ce qui permet d'utiliser  18 preferably nickel, which allows to use

cette matrice comme négatif pour former plusieurs fonds 10.  this matrix as negative to form several funds 10.

Pour fabriquer le fond 10, on coule un monomère liquide,  To make the bottom 10, a liquid monomer is poured,

par exemple du MMA, sur la matrice 18 est l'on fait polymé-  for example MMA, on the matrix 18 is made polymer

riser. Après dégagement et enlèvement des barbes, on a un fond 10 terminé. La suite des opérations concernant le fond  laugh. After clearing and removing the barbs, there is a finished bottom 10. The continuation of the operations concerning the bottom

sera décrite en liaison avec la figure 2.  will be described in connection with FIG. 2.

La figure 2 montre une vue de côté, en coupe, éclatée, du circuit optique intégré. Le fond 10 comporte la  Figure 2 shows a side view, in exploded section, of the integrated optical circuit. The bottom 10 includes the

cavité 11 en forme de toit, la cavité 12 de forme rectangu-  cavity 11 in the shape of a roof, the cavity 12 of rectangular shape

laire ainsi que la cavité 13 en forme de tronc de pyramide.  laire as well as the cavity 13 in the shape of a pyramid trunk.

Il est en outre prévu un couvercle 12 ayant les mêmes di-  There is further provided a cover 12 having the same dimensions.

mensions que le fond 10 et une rainure d'ajustage 22 supé-  Mensions that the bottom 10 and an adjustment groove 22 above

rieure en forme de toit correspondant à la cavité 11 en forme de toit du fond 10; le couvercle 20 rapporté sur le  roof-shaped lower part corresponding to the roof-shaped cavity 11 of the bottom 10; the cover 20 attached to the

fond 10 vient sur cette partie en forme de toit. Le couver-  bottom 10 comes on this roof-shaped part. The cover

cle 20 comporte en outre un passage 21 arrivant par-dessus la cavité en tronc de pyramide 13. Lors du montage, on  key 20 further comprises a passage 21 arriving over the cavity in the trunk of a pyramid 13. During assembly,

place l'extrémité d'une fibre optique 24 dans les deux ca-  places the end of an optical fiber 24 in the two ca-

vités en forme de toit 11, 22. Au passage 21, on associe un chip de détecteur 30, rectangulaire, plat muni d'une zone photosensible 32 sur son côté tourné vers la fibre optique  vites in the shape of a roof 11, 22. In passage 21, a detector chip 30, rectangular, flat is provided, provided with a photosensitive zone 32 on its side facing the optical fiber

24. Du même côté, le chip de détecteur 30 comporte un con-  24. On the same side, the detector chip 30 includes a connector.

tact de chip 31. Dans l'intervalle entre le couvercle 20 et le fond 10, on a une colle 23. Sur le côté supérieur du couvercle 20 se trouvent en outre le circuit intégré 40 et  tact de chip 31. In the interval between the cover 20 and the bottom 10, there is an adhesive 23. On the upper side of the cover 20 there are also the integrated circuit 40 and

ses contacts de commutation 41.its switching contacts 41.

La colle 23 est de préférence un polymère  The glue 23 is preferably a polymer

transparent durcissant dont l'indice de réfraction est su-  hardening transparent with a high refractive index

périeur à celui du polymère du couvercle 20 et du fond 10.  lower than that of the polymer of the cover 20 and of the bottom 10.

Lorsqu'on réunit le couvercle 20 et le fond 10, la colle 23 est refoulée dans les cavités 11, 22, 12, 13 et dans le  When the cover 20 and the bottom 10 are joined together, the glue 23 is pushed back into the cavities 11, 22, 12, 13 and into the

passage 21. On obtient ainsi en même temps une liaison mé-  passage 21. At the same time, a metallic link is thus obtained

caniquement solide et durable entre le couvercle 20, le fond 10, la fibre optique 24 et le chip de détecteur 30. De plus, la colle 23 dans la cavité rectangulaire 12 forme un  canonically strong and durable between the cover 20, the bottom 10, the optical fiber 24 and the detector chip 30. In addition, the glue 23 in the rectangular cavity 12 forms a

guide de lumière 46 (voir figure 3).  light guide 46 (see figure 3).

La figure 3 montre le circuit optique intégré dont le montage est terminé. La fibre optique 24 débouche coaxialement dans le guide de lumière 46 dont l'extrémité opposée se situe exactement devant la zone photosensible 32 du chip de détecteur 30. De plus, le circuit intégré 40 est fixé sur la face supérieure du couvercle 20 et les contacts de commutation 41 sont reliés par des liaisons électriques 42 aux contacts 31 du chip de détecteur 30. Le fond 10 et  Figure 3 shows the integrated optical circuit whose assembly is complete. The optical fiber 24 opens coaxially into the light guide 46 whose opposite end is located exactly in front of the photosensitive zone 32 of the detector chip 30. In addition, the integrated circuit 40 is fixed on the upper face of the cover 20 and the contacts 41 are connected by electrical connections 42 to the contacts 31 of the detector chip 30. The bottom 10 and

le couvercle 20 forment ainsi un substrat 45.  the cover 20 thus forms a substrate 45.

Le chip de détecteur 30 est ainsi maintenu dans le substrat 45 et la lumière transmise par la fibre optique 24 arrive sous la forme d'un signal optique à travers le guide d'onde 46 dans la zone photosensible 32; les signaux électriques de cette zone sont transmis par les contacts 31 du chip au circuit intégré 40. De manière idéale, pour le montage, après avoir placé la colle 23 sur le fond 10, on introduit le chip de détecteur 30 dans la cavité 13 en  The detector chip 30 is thus held in the substrate 45 and the light transmitted by the optical fiber 24 arrives in the form of an optical signal through the waveguide 46 in the photosensitive zone 32; the electrical signals of this zone are transmitted by the contacts 31 of the chip to the integrated circuit 40. Ideally, for mounting, after having placed the glue 23 on the bottom 10, the detector chip 30 is introduced into the cavity 13 in

forme de tronc de pyramide; cette forme de tronc de pyra-  shape of pyramid trunk; this form of pyra trunk

mide réalise un ajustage passif automatique du chip de dé-  mide performs an automatic passive adjustment of the de-

tecteur 30. La viscosité de la colle 23 donne au chip de détecteur 30 une légère stabilisation de position. Cette stabilisation suffit pour permettre au chip de détecteur 30  guard 30. The viscosity of the adhesive 23 gives the detector chip 30 a slight stabilization of position. This stabilization is sufficient to allow the detector chip 30

de traverser le passage 21 lorsqu'on met en place le cou-  to cross the passage 21 when the cover is fitted

vercle 20. Le refoulement de la colle 23 remplit également  circle 20. The discharge of the glue 23 also fills

le passage 21 avec de la colle, ce qui complète la stabili-  passage 21 with glue, which completes the stabilization

sation de la position du chip de détecteur 30. Le chip de détecteur 30 est stabilisé définitivement après la prise de la colle 23. Il est également prévu de relier tout d'abord le couvercle 20 et le fond 10 à la fibre optique 24 puis de  sation of the position of the detector chip 30. The detector chip 30 is stabilized definitively after the setting of the glue 23. It is also planned to first connect the cover 20 and the base 10 to the optical fiber 24 and then

placer le chip de détecteur 30 dans le passage 21. Usuelle-  place the detector chip 30 in passage 21. Usual-

ment, on utilise comme colle 23 un polymère qui durcit sous l'effet de la lumière ultraviolette. Ainsi, ce n'est qu'après introduction du chip de détecteur 30 que, par une insolation appropriée, on réalise une liaison mécaniquement  A polymer which hardens under the effect of ultraviolet light is used as the adhesive 23. Thus, it is only after introduction of the detector chip 30 that, by appropriate insolation, a connection is made mechanically.

stable de tous les composants.stable of all components.

La figure 4 montre une autre réalisation du  Figure 4 shows another embodiment of the

circuit optique intégré. Dans cette figure les mêmes réfé-  integrated optical circuit. In this figure the same references

rences désignent les mêmes éléments que ceux ci-dessus. Le montage représenté se distingue de celui de la figure 2 par la suppression de la cavité rectangulaire 12. Dans ce cas,  References denote the same elements as those above. The assembly shown differs from that of FIG. 2 by the elimination of the rectangular cavity 12. In this case,

la zone photosensible 32 du chip de détecteur 30 est cou-  the photosensitive zone 32 of the detector chip 30 is covered

plée directement à la fibre optique 24. Cela permet une réalisation particulièrement simple, peu encombrante et avec un couplage particulièrement efficace, entre le chip  plied directly to the optical fiber 24. This allows a particularly simple realization, compact and with a particularly effective coupling, between the chip

de détecteur 30 et la fibre optique 24.  detector 30 and the optical fiber 24.

La figure 5 montre, en vue de dessus, un autre mode de réalisation du circuit intégré. Dans un but de sim- plification, le couvercle 20 ainsi que la colle 23 n'ont pas été représentés. La fibre optique 24 est, dans ce cas, également placée dans la cavité en forme de toit 11 du fond 10. Dans le tracé de la cavité rectangulaire 12, la surface  Figure 5 shows, in top view, another embodiment of the integrated circuit. For simplicity, the cover 20 and the glue 23 have not been shown. The optical fiber 24 is, in this case, also placed in the roof-shaped cavity 11 of the bottom 10. In the course of the rectangular cavity 12, the surface

supérieure du fond 10 est munie d'une structure correspon-  top of bottom 10 is provided with a corresponding structure

dant à un résonateur optique de Bragg 47. Le résonateur de  to a Bragg 47 optical resonator.

Bragg 47 sert à filtrer en ne laissant passer que la compo-  Bragg 47 is used to filter, leaving only the compound

sante lumineuse du signal optique qui correspond à la fré-  luminous health of the optical signal which corresponds to the

quence de résonance de ce résonateur de Bragg 47. Cela  resonance quence of this Bragg 47 resonator.

permet une détection sélective en fréquence des signaux op-  allows selective frequency detection of op-

tiques. De plus, le fond 10 comporte deux bossages pyrami-  ticks. In addition, the bottom 10 has two pyramid bosses.

daux 14 avec des cavités pyramidales de forme équivalente dans le couvercle 20. Cela facilite l'ajustage du couvercle sur le fond 10 au moment du montage. Il est également  daux 14 with pyramidal cavities of equivalent shape in the cover 20. This facilitates the adjustment of the cover on the bottom 10 during assembly. he is also

prévu un autre circuit optique intégré entre la fibre opti-  provided another integrated optical circuit between the optic fiber

que 24 et le chip de détecteur 30 dans le tracé du guide d'onde 46. Comme autre circuit optique intégré, on peut par exemple utiliser des circuits de portes d'optiques ou des  as 24 and the detector chip 30 in the path of the waveguide 46. As another integrated optical circuit, it is possible, for example, to use optical gate circuits or

circuits de filtres.filter circuits.

R E V E N D I CATIONSR E V E N D I CATIONS

1 ) Circuit optique intégré comprenant un dé-  1) Integrated optical circuit comprising a

tecteur pour recevoir un signal optique, ayant une zone  guard for receiving an optical signal, having an area

photosensible et une fibre optique conduisant le signal op-  photosensitive and an optical fiber conducting the op-

tique sur le détecteur, cette fibre étant maintenue dans un substrat par son extrémité du côté du détecteur, par l'intermédiaire d'au moins une rainure d'ajustage, circuit  tick on the detector, this fiber being held in a substrate by its end on the detector side, by means of at least one adjustment groove, circuit

caractérisé en ce que la zone photosensible (32) du détec-  characterized in that the photosensitive area (32) of the detector

teur (30) est sensiblement parallèle à la face frontale de l'extrémité de la fibre optique (24) du côté du détecteur  tor (30) is substantially parallel to the front face of the end of the optical fiber (24) on the detector side

et le détecteur (30) est maintenu par le substrat (45).  and the detector (30) is held by the substrate (45).

) Circuit optique intégré selon la revendica-  ) Integrated optical circuit according to the claim

tion 1, caractérisé en ce qu'entre la face frontale de l'extrémité de la fibre optique (24) du côté du détecteur et la zone photosensible (32), il est prévu un guide d'onde  tion 1, characterized in that a waveguide is provided between the front face of the end of the optical fiber (24) on the detector side and the photosensitive zone (32)

(46) intégré dans le substrat (45) et dont l'axe longitudi-  (46) integrated into the substrate (45) and whose axis is longitudinal

nal est aligné sur l'axe longitudinal de la fibre optique (24).  nal is aligned with the longitudinal axis of the optical fiber (24).

) Circuit optique intégré selon la revendica-  ) Integrated optical circuit according to the claim

tion 2, caractérisé en ce que le guide d'onde (46) est une  tion 2, characterized in that the waveguide (46) is a

rainure (12) remplie d'une colle transparente (23) durcis-  groove (12) filled with a transparent adhesive (23) hardened

sable.sand.

) Circuit optique intégré selon l'une des re-  ) Integrated optical circuit according to one of the

vendications 1 à 3, caractérisé en ce que, dans le tracé compris entre la face frontale de l'extrémité de la fibre optique (24) du côté du détecteur et la zone photosensible (32), sur le chemin du signal optique il y a au moins un composant optique (47), de préférence un filtre sélectif de  vendications 1 to 3, characterized in that, in the line between the front face of the end of the optical fiber (24) on the side of the detector and the photosensitive zone (32), on the path of the optical signal there is at least one optical component (47), preferably a selective filter of

longueur d'onde ou un autre circuit optique intégré.  wavelength or other integrated optical circuit.

50 ) Circuit optique intégré selon l'une des re-  50) Integrated optical circuit according to one of the

vendications 1 à 4, caractérisé en ce que le détecteur (30)  vendications 1 to 4, characterized in that the detector (30)

est noyé dans le substrat (45).is embedded in the substrate (45).

) Circuit optique intégré selon l'une des re-  ) Integrated optical circuit according to one of the

vendications 1 à 5, caractérisé en ce que le détecteur (30) est ajustable en position à l'aide d'un dispositif  vendications 1 to 5, characterized in that the detector (30) is adjustable in position using a device

d'ajustage passif (13) prévu dans le substrat.  passive adjustment (13) provided in the substrate.

7 ) Circuit optique intégré selon l'une des re-  7) Integrated optical circuit according to one of the re-

vendications 1 à 6, caractérisé en ce que le détecteur (30) est fixé au substrat (45) avec de la colle (23).  vendications 1 to 6, characterized in that the detector (30) is fixed to the substrate (45) with glue (23).

8 ) Circuit optique intégré selon l'une des re-  8) Integrated optical circuit according to one of the re-

vendications 1 à 7, caractérisé en ce que le détecteur (30) comporte des contacts de branchement (31) situés à  vendications 1 to 7, characterized in that the detector (30) comprises connection contacts (31) located at

l'extérieur du substrat (45).the exterior of the substrate (45).

9 ) Circuit optique intégré selon la revendica-  9) Integrated optical circuit according to the claim

tion 8, caractérisé par un circuit électronique (40) prévu  tion 8, characterized by an electronic circuit (40) provided

sur le substrat (45), de préférence un circuit semi-  on the substrate (45), preferably a semi-circuit

conducteur muni de contacts de commutation (41) reliés aux  conductor provided with switching contacts (41) connected to the

contacts de raccordement (31).connection contacts (31).

10 ) Circuit optique intégré selon l'une des  10) Integrated optical circuit according to one of

revendications 1 à 9, caractérisé en ce que le substrat  claims 1 to 9, characterized in that the substrate

(45) comporte un couvercle (20) et un fond (10) ayant cha-  (45) has a cover (20) and a bottom (10) having

cun des éléments d'ajustage (14) correspondants facilitant  one of the corresponding adjustment elements (14) facilitating

une réunion exacte du couvercle (20) et du fond (10).  an exact union of the cover (20) and the bottom (10).

FR9502876A 1994-03-28 1995-03-13 Integrated optical circuit. Expired - Fee Related FR2717911B1 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19944410740 DE4410740A1 (en) 1994-03-28 1994-03-28 Integrated optical circuit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2717911A1 true FR2717911A1 (en) 1995-09-29
FR2717911B1 FR2717911B1 (en) 1997-06-13

Family

ID=6514067

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR9502876A Expired - Fee Related FR2717911B1 (en) 1994-03-28 1995-03-13 Integrated optical circuit.

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPH07281063A (en)
DE (1) DE4410740A1 (en)
FR (1) FR2717911B1 (en)
GB (1) GB2288035B (en)
NL (1) NL9500587A (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19644758A1 (en) * 1996-10-29 1998-04-30 Sel Alcatel Ag Centering arrangement for positioning micro-structured bodies
DE19736056A1 (en) * 1997-08-20 1999-02-25 Harting Elektrooptische Bauteile Gmbh & Co Kg Integrated optical waveguide component manufacturing method
DE19842694A1 (en) * 1998-09-17 2000-04-20 Harting Elektrooptische Bauteile Gmbh & Co Kg Microstructured body and process for its production
DE19861162A1 (en) * 1998-11-06 2000-06-29 Harting Elektrooptische Bauteile Gmbh & Co Kg Process for producing a printed circuit board and printed circuit board

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0171615A2 (en) * 1984-08-10 1986-02-19 Nippon Telegraph and Telephone Corporation Hybrid optical integrated circuit and fabrication method thereof
JPH04349674A (en) * 1991-05-27 1992-12-04 Fujitsu Ltd Optical semiconductor element and mounting method therefor
DE4217553A1 (en) * 1992-05-27 1993-12-02 Quante Ag Coupling optical fibres to optical component for communications system - arranging bare fibre ends in unit over grooves then lowering into grooves for connection with component terminals
DE4301236C1 (en) * 1993-01-19 1994-03-17 Ant Nachrichtentech Optical fibre coupling to opto-electrical transducer, e.g. photodiode - supports transducer parallel to angled end face of optical fibre at end of V-shaped reception groove for latter

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2574950B1 (en) * 1984-12-18 1987-09-25 Corning Glass Works GLASS INTEGRATED OPTICAL COMPONENTS AND THEIR MANUFACTURE
JP3302458B2 (en) * 1993-08-31 2002-07-15 富士通株式会社 Integrated optical device and manufacturing method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0171615A2 (en) * 1984-08-10 1986-02-19 Nippon Telegraph and Telephone Corporation Hybrid optical integrated circuit and fabrication method thereof
JPH04349674A (en) * 1991-05-27 1992-12-04 Fujitsu Ltd Optical semiconductor element and mounting method therefor
DE4217553A1 (en) * 1992-05-27 1993-12-02 Quante Ag Coupling optical fibres to optical component for communications system - arranging bare fibre ends in unit over grooves then lowering into grooves for connection with component terminals
DE4301236C1 (en) * 1993-01-19 1994-03-17 Ant Nachrichtentech Optical fibre coupling to opto-electrical transducer, e.g. photodiode - supports transducer parallel to angled end face of optical fibre at end of V-shaped reception groove for latter

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 017, no. 213 (E - 1356) 26 April 1993 (1993-04-26) *

Also Published As

Publication number Publication date
FR2717911B1 (en) 1997-06-13
GB2288035B (en) 1997-11-26
GB9504786D0 (en) 1995-04-26
GB2288035A (en) 1995-10-04
NL9500587A (en) 1995-11-01
DE4410740A1 (en) 1995-10-05
JPH07281063A (en) 1995-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3610309B1 (en) Photonic chip with integrated collimation structure
CA2139086C (en) Light-receiving structure for waveguide type optical devices
FR2748123A1 (en) OPTICAL ASSEMBLY FOR COUPLING A LIGHT GUIDE AND PROCESS FOR ITS MANUFACTURING
FR2767929A1 (en) METAL COATED OPTICAL FIBER MATRIX MODULE
FR2702313A1 (en) Semiconductor light emission device
FR2752623A1 (en) METHOD FOR MANUFACTURING A COLLECTIVE OPTICAL COUPLING DEVICE AND DEVICE OBTAINED BY SUCH A METHOD
EP3404457A1 (en) Photonic chip with reflective structure for bending an optical path
EP0682277B1 (en) Interconnection device for optical fibres and for waveguides formed in a substrate
FR2760101A1 (en) METHOD FOR ASSEMBLING AN OPTO-HYBRID DEVICE
FR2835653A1 (en) Optical semiconductor device, has IC chip casing enclosing optical sensors
FR3089310A1 (en) Electronic device comprising an electronic chip provided with an optical cable
FR2767388A1 (en) OPTICAL FIBER MATRIX MODULE USING WELDING AND ITS MANUFACTURING METHOD
FR2774478A1 (en) Multifunctional optical module
FR2717911A1 (en) Integrated optical circuit.
EP0883177A1 (en) Semiconductor device with heat sink
FR2800911A1 (en) OPTICAL SEMICONDUCTOR HOUSING AND METHOD FOR MANUFACTURING SUCH HOUSING
FR2685098A1 (en) METHOD OF MOUNTING AND OPTICAL COUPLING ON A SUBSTRATE AND SUBSTRATE PROVIDED WITH OPTICAL FIBER.
FR2819592A1 (en) METHOD AND SYSTEM FOR ALIGNING OPTICAL ASSEMBLIES
FR2699291A1 (en) Fiber optic termination device.
EP0520952A1 (en) Method for coupling an optical fibre to an optoelectronic element und connecting device thus obtained
EP1247128A1 (en) Low-stress inner structure for optoelectronic housing
FR2816768A1 (en) OPTICAL ELEMENT MODULE
US20030031426A1 (en) Fiber with ferrule, and optical module and method of manufacturing the same
EP0456026A1 (en) Optical apparatus with an integrated optical element und manufacturing method of the apparatus
EP1499916A1 (en) Improved optoelectronic coupling device

Legal Events

Date Code Title Description
TP Transmission of property
ST Notification of lapse