FR2677424A1

FR2677424A1 - Base for a valve, the shutter of which consists of a metal diaphragm (membrane)

Info

Publication number: FR2677424A1
Application number: FR9107191A
Authority: FR
Inventors: Beauvir Jacques
Original assignee: Transfluid
Current assignee: Transfluid
Priority date: 1991-06-07
Filing date: 1991-06-07
Publication date: 1992-12-11

Abstract

In this base, the face, opposite which the diaphragm (7) is mounted, comprises in combination: - an outer surface in the form of a flat ring (8) intended for the bearing and fastening of the outer part (9) of the diaphragm (7) which has an overall disc shape, - a recess (10) of overall conical shape extending from the flat ring (8) towards the inside of the latter, and at the centre of which the fluid supply pipe emerges, and - a seat for the diaphragm (7), the seat being made up of a rib (12) surrounding the end of the fluid supply pipe (5a), and projecting from the bottom of the conical recess (10). Application to the production of valves intended for the passage of fluids with a high degree of purity.

Description

EMBASE POUR VANNE DONT L'OBTURATEUR EST CONSTITUE
PAR UNE MEMBRANE METALLIQUE
La présente invention a pour objet une embase pour vanne dont l'obturateur est constitué par une membrane métallique.BASE FOR VALVE OF WHICH THE SHUTTER IS CONSTITUTED
BY A METALLIC MEMBRANE
The present invention relates to a valve base, the shutter consists of a metal membrane.

De façon connue, une telle vanne comprend un corps dans lequel sont ménagés des conduits d'amenée et d'évacuation du fluide, le conduit d'amenée débouchant dans une face en regard de laquelle est montée la membrane qui est susceptible d'isoler les conduits d'amenée et d'évacuation de fluide, en obturant ou non l'extrémité du conduit d'amenée du fluide qui forme un siège pour la membrane. In known manner, such a valve comprises a body in which are provided supply and fluid discharge conduits, the supply conduit opening into a face opposite which is mounted the membrane which is capable of isolating the fluid supply and discharge conduits, with or without sealing the end of the fluid supply conduit which forms a seat for the membrane.

L'invention vise plus spécialement une vanne qui est destinée à permettre ou non le passage de fluides, notamment utlisés en microélectronique, qui sont souvent des fluides agressifs, mais ne devant pas être pollués, et nécessitant une vanne possèdant une parfaite étanchéité. The invention relates more specifically to a valve which is intended to allow or not the passage of fluids, in particular used in microelectronics, which are often aggressive fluids, but which must not be polluted, and requiring a valve having a perfect seal.

Afin de fournir une bonne étanchéité, certaines vannes connues comportent, soit au centre de la membrane, soit au niveau du siège, une zone de matériau plastique. Cette technique fournit plusieurs inconvénients elle procure tout d'abord des zones d'interstices, qui sont incompatibles avec l'utilisation de fluides purs. En effet, il existe des cavités, même de très faible volume où les particules peuvent s'accumuler, et d'où elles peuvent se détacher à tout moment, provoquant une pollution dommageable pour l'utilisation finale. En outre, dans ces zones d'interstices peuvent demeurer des quantités même faibles de fluides résiduelles, qui ne peuvent être éliminées par rinçage. Dans la mesure où les fluides possèdent des propriétés chimiques agressives, ces zones de rétention augmentent les risques de corrosion.Enfin, l'insertion de matières synthétiques, même nobles, risque de se traduire par la génération de micro-particules susceptibles de polluer le fluide devant traverser la vanne. In order to provide a good seal, certain known valves include, either in the center of the membrane, or at the level of the seat, a zone of plastic material. This technique provides several drawbacks; it firstly provides interstitial zones, which are incompatible with the use of pure fluids. Indeed, there are cavities, even of very small volume where the particles can accumulate, and from where they can detach at any time, causing a pollution damaging for the end use. In addition, even small amounts of residual fluids may remain in these interstitial areas, which cannot be removed by rinsing. Insofar as fluids have aggressive chemical properties, these retention zones increase the risk of corrosion. Finally, the insertion of synthetic materials, even noble ones, may result in the generation of micro-particles capable of polluting the fluid. through the valve.

Or, une membrane métallique présente, par rapport à un soufflet, une limitation dans la génération des particules. En effet, les ondulations d'un soufflet générent, lors des actions d'ouverture et de fermeture, des particules susceptibles d'être dommageables et de polluer le fluide traversant la vanne. However, a metal membrane has, compared to a bellows, a limitation in the generation of particles. Indeed, the undulations of a bellows generate, during the opening and closing actions, particles liable to be damaging and to pollute the fluid passing through the valve.

Le but de l'invention est de fournir une embase pour vanne dont ltobturateur est constitué par une membrane métallique, qui possède une excellente étanchéité, et notamment qui puisse subir un test d'étanchéité à l'hélium de 2.10 9 cm3/seconde, qui possède un coefficient de débit au moins aussi important qu'une vanne de même type utilisant un soufflet, qui possède une haute résistance à la corrosion envers des fluides agressifs du type de ceux utilisés en micro-électronique, dont la durée de vie soit importante, dont le volume mort soit aussi réduit que possible, dont la rugosité du circuit de fluide soit faible, voisin ou inférieur à 0,10 microns, et qui possède une excellente sécurité mécanique à la pression. The object of the invention is to provide a valve base the shutter of which is constituted by a metal membrane, which has an excellent seal, and in particular which can undergo a helium seal test of 2.10 9 cm3 / second, which has a flow coefficient at least as great as a valve of the same type using a bellows, which has a high resistance to corrosion towards aggressive fluids of the type of those used in microelectronics, which have a long service life, whose dead volume is as small as possible, whose roughness of the fluid circuit is low, close to or less than 0.10 microns, and which has excellent mechanical safety under pressure.

Un autre but de l'invention est de fournir une embase de vanne réagissant à une pression de fermeture faible pour un encombrement minimum, dans laquelle les zones d'interstices soient réduites au maximum, permettant un montage de membrane par serrage, en vue d'une éventuelle interchangeabilité, ou par soudure intégrale, permettant une interchangeabilité des actionneurs de la membrane, ceux-ci pouvant être manuels, pneumatiques ou hydrauliques, et enfin se présentant sous un encombrement réduit. Another object of the invention is to provide a valve base reacting to a low closing pressure for a minimum space requirement, in which the interstice zones are reduced to the maximum, allowing a membrane assembly by tightening, in order to a possible interchangeability, or by integral welding, allowing the membrane actuators to be interchangeable, these being able to be manual, pneumatic or hydraulic, and finally having a reduced overall size.

A cet effet, l'embase pour vanne qu'elle concerne, du type comportant un corps dans lequel sont ménagés des conduits d'amenée et d'évacuation du fluide, le conduit d'amenée débouchant dans une face en regard de laquelle est montée la membrane qui est susceptible d'isoler les conduits d'amenée et d'évacuation de fluide en obturant l'extrémité du conduit d'amenée de fluide qui forme un siège pour la membrane, est caractérisée en ce que la face de l'embase en regard de laquelle est montée la membrane comprend en combinaison
- une surface extérieure en forme de couronne plane destinée à l'appui et à la fixation de la partie extérieure de la membrane, qui possède pour sa part une forme générale de disque,
- un évidement de forme générale conique s'étendant depuis la couronne plane vers l'intérieur de celle-ci, et au centre duquel débouche le conduit d'amenée de fluide, et
- un siège pour la membrane, constitué par une nervure entourant l'extrémité du conduit d'amenée de fluide, et faisant saillie du fond de l'évidement conique.To this end, the valve base it relates to, of the type comprising a body in which are provided supply and fluid discharge conduits, the supply conduit opening into a face facing which is mounted the membrane which is capable of isolating the fluid supply and discharge conduits by sealing off the end of the fluid supply conduit which forms a seat for the membrane, is characterized in that the face of the base next to which the membrane is mounted comprises in combination
an outer surface in the form of a flat crown intended to support and fix the outer part of the membrane, which for its part has a general shape of a disc,
a recess of generally conical shape extending from the flat crown towards the inside thereof, and at the center of which opens the fluid supply duct, and
- A seat for the membrane, consisting of a rib surrounding the end of the fluid supply duct, and projecting from the bottom of the conical recess.

La couronne plane permet une fixation étanche de la membrane par sa partie périphérique en forme de couronne. I1 est ainsi possible d'obtenir un contact métal sur métal avec une étanchéité qui répond parfaitement aux critères évoqués précédemment. The flat crown allows a tight fixing of the membrane by its peripheral part in the shape of a crown. It is thus possible to obtain a metal-to-metal contact with a seal which perfectly meets the criteria mentioned above.

La forme conique qui descend sous le siège permet de parfaitement dégager ledit siège, de favoriser le coefficient de débit, lorsque la membrane est en position d'ouverture de la vanne, et de réduire au maximum le volume mort compte tenu de la forme que prend la membrane en position de fermeture. Du fait que le siège comporte une nervure, il est obtenu une excellente étanchéité lors de la fermeture par appui de la membrane contre cette nervure. The conical shape which descends under the seat makes it possible to perfectly release said seat, to favor the flow coefficient, when the diaphragm is in the valve opening position, and to minimize the dead volume taking into account the shape that takes the membrane in the closed position. Because the seat has a rib, it is obtained an excellent seal during closing by pressing the membrane against this rib.

Avantageusement, la nervure formant siège pour la membrane possède un profil arrondi, présentant une section sensiblement semi-circulaire. Advantageously, the rib forming the seat for the membrane has a rounded profile, having a substantially semi-circular section.

Cette forme de la nervure a la particularité de réduire au maximum l'effet d"'emporte-pièce" vis-à-vis de la membrane. Elle permet au contraire, grâce au profil arrondi laissé sur la partie en contact, de supporter une certaine déformation de la membrane sous l'effet de la pression du dispositif d'actionnement de celle-ci. I1 est possible de considérer que le siège se comporte comme une partie de rotule face à une cupule, dont le plan de joint est mobile. This shape of the rib has the distinction of minimizing the effect of "cookie cutter" vis-à-vis the membrane. On the contrary, it allows, thanks to the rounded profile left on the part in contact, to withstand a certain deformation of the membrane under the effect of the pressure of the actuating device thereof. It is possible to consider that the seat behaves like a part of a ball joint facing a cup, the joint plane of which is movable.

Selon une autre caractéristique de l'invention, l'épaisseur de la nervure est inférieure à la profondeur de l'évidement conique. According to another characteristic of the invention, the thickness of the rib is less than the depth of the conical recess.

Avantageusement, le tronçon du conduit d'évacuation de fluide débouchant dans l'évidement conique forme un angle avec l'axe de la vanne, l'axe de ce tronçon de conduit étant incliné de l'intérieur vers l'extérieur et depuis l'évidement conique vers le fond de l'embase. Advantageously, the section of the fluid discharge duct opening into the conical recess forms an angle with the axis of the valve, the axis of this section of duct being inclined from the inside towards the outside and from the tapered recess towards the bottom of the base.

Cette disposition oblique du conduit d'évacuation favorise le coefficient de débit, facilite l'usinage, et réduit le volume mort au niveau de ce conduit. This oblique arrangement of the exhaust duct promotes the flow coefficient, facilitates machining, and reduces the dead volume at this duct.

Conformément à une autre caractéristique de l'invention, la partie en forme de couronne plane servant à l'appui de la membrane est entourée par un rebord périphérique tubulaire. According to another characteristic of the invention, the part in the form of a flat crown serving to support the membrane is surrounded by a tubular peripheral rim.

Le rebord périphérique assure un auto-centrage de la membrane lors de la mise en place de celle-ci. En outre, dans la mesure où la membrane est soudée sur l'embase, par une soudure orbitale, ce rebord périphérique protège la membrane tout en permettant sa soudure, en évitant le phénomène connu sous le terme de pointe de feu. The peripheral rim ensures self-centering of the membrane when it is put in place. In addition, insofar as the membrane is welded to the base, by an orbital weld, this peripheral rim protects the membrane while allowing it to be welded, avoiding the phenomenon known as the tip of fire.

Selon une autre caractéristique de llinvention, particulièrement avantageuse dans le cas où la membrane est fixée sur l'embase par soudage, la partie en forme de couronne plane est décalée axialement vers l'extérieur, vis-à-vis du bord périphérique de l'évidement conique. According to another characteristic of the invention, particularly advantageous in the case where the membrane is fixed to the base by welding, the part in the form of a flat crown is offset axially towards the outside, with respect to the peripheral edge of the obviously conical.

Dans ce cas, il n'existe pas de zones mortes susceptibles de former des zones de rétention du fluide, puisque le soudage de la membrane est réalisé sur la totalité de la largeur de la partie en forme de couronne, et que celle-ci est située sensiblement au-dessus du bord délimitant l'évidement conique. In this case, there are no dead zones capable of forming fluid retention zones, since the welding of the membrane is carried out over the entire width of the part in the form of a crown, and that this is located substantially above the edge delimiting the conical recess.

Avantageusement, la face au contact de laquelle est montée la membrane est disposée en bout d'une partie cylindrique filetée extérieurement et servant au vissage d'une bague comportant un retour annulaire au-dessus de la membrane. Selon une possibilité, la bague comporte un filetage extérieur servant au montage du dispositif d'actionnement de la membrane. Advantageously, the face in contact with which the membrane is mounted is arranged at the end of a cylindrical part externally threaded and serving for the screwing of a ring comprising an annular return above the membrane. According to one possibility, the ring has an external thread used for mounting the actuating device for the membrane.

Dans la mesure où la membrane est fixée par soudage, cette bague sert seulement au montage du dispositif d'actionnement de la membrane. Au contraire, lorsque la membrane est fixée mécaniquement sur l'embase, entre la membrane et le retour annulaire de la bague, est interposée une rondelle comportant un épaulement annulaire destinée à venir plaquer le bord de la membrane contre la partie de l'embase en forme de couronne plane. Insofar as the membrane is fixed by welding, this ring is only used for mounting the actuating device for the membrane. On the contrary, when the membrane is mechanically fixed on the base, between the membrane and the annular return of the ring, a washer is interposed comprising an annular shoulder intended to press the edge of the membrane against the part of the base in flat crown shape.

De toute façon, l'invention sera bien comprise à l'aide de la description qui suit, en référence au dessin schématique annexé représentant, à titre d'exemple non limitatif, plusieurs formes d'exécution de cette vanne
Figure 1 en est une vue en coupe longitudinale, le bouton de commande étant vu de l'extérieur
Figure 2 est une vue en perspective de l'embase
Figure 3 est une vue en coupe longitudinale d'une embase dans laquelle la fixation de la membrane est réalisée par serrage
Figure 4 est une vue en demi-coupe longitudinale d'une embase dans laquelle la fixation de la membrane est réalisée par soudage.In any case, the invention will be clearly understood with the aid of the description which follows, with reference to the appended schematic drawing representing, by way of nonlimiting example, several embodiments of this valve
Figure 1 is a longitudinal sectional view, the control button being seen from the outside
Figure 2 is a perspective view of the base
Figure 3 is a longitudinal sectional view of a base in which the membrane is fixed by clamping
Figure 4 is a longitudinal half-sectional view of a base in which the membrane is fixed by welding.

Figure 5 est une vue de dessus d'une variante d'exécution de cette embase. Figure 5 is a top view of an alternative embodiment of this base.

La vanne représentée au dessin comprend une embase 2, surmontée par un bouton de manoeuvre 3. Cette embase 2 comprend un corps 4 dans lequel sont ménagés des conduits 5 et 6, respectivement d'amenée et d'évacuation du fluide. Les tronçons 5a et 6a des conduits 5 et 6 débouchent dans une même face de l'embase, en regard de laquelle est montée une membrane métallique 7 qui est susceptible d'isoler les conduits 5 et 6, en obturant ou non l'extrémité du conduit 5a d'amenée de fluide qui forme un siège. The valve shown in the drawing comprises a base 2, surmounted by an operating button 3. This base 2 comprises a body 4 in which are ducts 5 and 6, respectively for supplying and discharging the fluid. The sections 5a and 6a of the conduits 5 and 6 open into the same face of the base, opposite which is mounted a metal membrane 7 which is capable of isolating the conduits 5 and 6, by closing off or not the end of the fluid supply duct 5a which forms a seat.

La face de l'embase 2 en regard de laquelle est montée la membrane comprend une surface extérieure 8 en forme de couronne plane, destinée à l'appui et à la fixation de la partie extérieure 9 également en forme de couronne, de la membrane 7. Cette face de l'embase comprend également, à l'intérieur de la couronne 8, un évidement de forme générale conique 10, s 'étendant depuis la couronne 8, jusqu'au centre de l'embase, où débouche le tronçon 5a du conduit 5 d'amenée du fluide. L'extrémité de ce tronçon 5a forme un siège pour la membrane, qui est constitué par une nervure 12 faisant saillie du fond de l'évidement conique 10. Cette nervure possède un profil arrondi présentant une section sensiblement semi-circulaire. The face of the base 2 opposite which the membrane is mounted comprises an outer surface 8 in the form of a flat crown, intended for supporting and fixing the outer part 9 also in the form of a crown, of the membrane 7 This face of the base also comprises, inside the ring 8, a generally conical recess 10, extending from the ring 8, to the center of the base, where the section 5a of the conduit 5 for supplying the fluid. The end of this section 5a forms a seat for the membrane, which is constituted by a rib 12 projecting from the bottom of the conical recess 10. This rib has a rounded profile having a substantially semi-circular section.

Selon une autre caractéristique de l'invention, l'épaisseur de la nervure 12 est inférieure à la profondeur de l'évidement conique 10. According to another characteristic of the invention, the thickness of the rib 12 is less than the depth of the conical recess 10.

Toutefois, la nervure 12 est suffisamment proéminente par rapport au fond de l'évidement conique pour former un siège pour la membrane 7, lorsque celle-ci est déformée sous 'action d'un piston 13, actionnable par le bouton de manoeuvre 3. I1 est à noter que la forme arrondie de la nervure, tout en permettant une excellente étanchéité, évite tout effet de cisaillement de la membrane qui pourrait être dommageable notamment quant à la durée de vie de celle-ci.However, the rib 12 is sufficiently prominent relative to the bottom of the conical recess to form a seat for the membrane 7, when the latter is deformed under the action of a piston 13, actuable by the operating button 3. I1 it should be noted that the rounded shape of the rib, while allowing excellent sealing, avoids any shearing effect of the membrane which could be damaging in particular as regards the lifetime of the latter.

Comme montré notamment aux figures 1 et 3, le tronçon 6a du conduit d'évacuation 6, débouchant dans l'évidement conique 10 est oblique, l'opération d'usinage de ce tronçon étant facilitée compte tenu de la conicité de l'évidement 10. Cet agencement améliore le coefficient de débit du fluide, en position ouverte de la vanne, et réduit le volume mort de fluide tant au niveau de la chambre délimitée par la membrane, qu'à l'intérieur du tronçon 6a du conduit de sortie. As shown in particular in FIGS. 1 and 3, the section 6a of the evacuation duct 6, opening into the conical recess 10 is oblique, the operation of machining this section being facilitated taking into account the conicity of the recess 10 This arrangement improves the coefficient of flow of the fluid, in the open position of the valve, and reduces the dead volume of fluid both at the level of the chamber delimited by the membrane, and inside the section 6a of the outlet conduit.

La partie 8 de l'embase en forme de couronne plane servant à l'appui de la membrane 9, est entourée par un rebord tubulaire 14. Ce rebord assure un auto-centrage de la membrane 7, ainsi qu'un auto-centrage d'une rondelle 15 destinée à assurer le serrage mécanique de la membrane. A cet effet, cette rondelle 15 présente un épaulement annulaire 16 destiné à venir prendre appui contre la partie 9 en forme de couronne de la membrane 7. The part 8 of the base in the form of a flat crown serving to support the membrane 9, is surrounded by a tubular rim 14. This rim ensures self-centering of the membrane 7, as well as a self-centering d 'A washer 15 intended to ensure the mechanical tightening of the membrane. To this end, this washer 15 has an annular shoulder 16 intended to come to bear against the part 9 in the form of a crown of the membrane 7.

L'ouverture centrale de la rondelle 15 laisse passage au piston 13 d'actionnement de la membrane.The central opening of the washer 15 allows passage to the piston 13 for actuating the membrane.

La face de l'embase au contact de laquelle est montée la membrane est disposée en bout d'une partie cylindrique 17 comportant un filetage extérieur 18 servant à la fixation par vissage d'une bague 19 comportant un retour annulaire 20 au-dessus de la membrane et au-dessus de la rondelle 15, tout en ménageant un passage central pour le piston 13. Le retour annulaire 20 de la bague 19 prend appui sur la rondelle 15 pour assurer un serrage de la membrane sur l'embase. The face of the base in contact with which the membrane is mounted is disposed at the end of a cylindrical part 17 comprising an external thread 18 used for fixing by screwing a ring 19 comprising an annular return 20 above the membrane and above the washer 15, while providing a central passage for the piston 13. The annular return 20 of the ring 19 is supported on the washer 15 to ensure a tightening of the membrane on the base.

La bague 19 comporte également un filetage extérieur 22 servant au montage du corps de l'actionneur 23 qui intègre, comme indiqué précédemment, un bouton de manoeuvre 3 et un piston 13. The ring 19 also includes an external thread 22 used for mounting the body of the actuator 23 which incorporates, as indicated above, an operating button 3 and a piston 13.

I1 est avantageux de noter que, en mettant en oeuvre la même structure, embase et bague, il est possible de réaliser le montage de la membrane 7 soit par un serrage mécanique, comme décrit en référence à la figure 3, soit par soudage. Dans la mesure où l'on réalise le soudage, le rebord 14 est avantageux car évitant, lors de l'attaque du soudage, tous risques de détérioration de la zone de contact entre la membrane 9 et la couronne plane 8 appartenant à l'embase. It is advantageous to note that, by using the same structure, base and ring, it is possible to mount the membrane 7 either by mechanical tightening, as described with reference to FIG. 3, or by welding. Insofar as the welding is carried out, the rim 14 is advantageous since it avoids, during the welding attack, any risk of deterioration of the contact zone between the membrane 9 and the flat crown 8 belonging to the base .

Selon une forme avantageuse de réalisation, dans le cas où la membrane est fixée par soudage, la partie 8a en forme de couronne plane destinée à servir à l'appui de la membrane 7 est décalée axialement vers l'extérieur, comme montré à la figure 4, vis-à-vis du bord 24 de l'évidement conique 10. Dans ces conditions, la fixation par soudage orbital est réalisée sur toute la surface de contact entre la couronne 8a et la partie de la membrane en appui contre celle-ci, de telle sorte qu'il ne subsiste pas de zone d'interstice étroite dans laquelle risquerait de s'accumuler du fluide, de façon dommageable, notamment si ce fluide est corrosif. En effet, comme montré à la figure 4, le bord de la membrane 7 est largement dégagé du bord 24 délimitant l'évidement conique 10. According to an advantageous embodiment, in the case where the membrane is fixed by welding, the part 8a in the form of a flat crown intended to serve to support the membrane 7 is offset axially towards the outside, as shown in the figure. 4, opposite the edge 24 of the conical recess 10. Under these conditions, the attachment by orbital welding is carried out over the entire contact surface between the ring 8a and the part of the membrane bearing against it. , so that there does not remain a narrow interstice zone in which there is a risk of accumulating fluid, in a damaging manner, in particular if this fluid is corrosive. Indeed, as shown in FIG. 4, the edge of the membrane 7 is largely released from the edge 24 delimiting the conical recess 10.

Dans la forme d'exécution représentée à la figure 5, l'extrémité du conduit 6a d'évacuation du fluide possède une forme oblonge incurvée selon une ligne circulaire centrée sur l'axe de l'embase. Depuis cette extrémité oblongue, le conduit 6a change progressivement de forme pour prendre une forme circulaire, tout en conservant sensiblement la même section de passage. Cette forme oblongue permet de réduire le diamètre extérieur de l'embase tout en conservant le même coefficient de débit. In the embodiment shown in Figure 5, the end of the conduit 6a for discharging the fluid has an oblong shape curved along a circular line centered on the axis of the base. From this oblong end, the conduit 6a gradually changes shape to take a circular shape, while retaining substantially the same passage section. This oblong shape makes it possible to reduce the outside diameter of the base while maintaining the same flow coefficient.

Comme il ressort de ce qui précède, l'invention apporte une grande amélioration à la technique existante, en fournissant une vanne dont l'obturateur est constitué par une membrane métallique, dont l'embase est conformée pour assurer une excellente étanchéité à la fermeture, pour fournir un coefficient de débit élevé, tout en limitant les volumes morts et les zones d'interstices susceptibles d'assurer une rétention dommageable du fluide transporté, se présentant sous un encombrement réduit, et permettant, avec la même embase, soit un montage de la membrane par serrage mécanique, soit un montage de la membrane par soudure orbitale intégrale. As is apparent from the above, the invention brings a great improvement to the existing technique, by providing a valve, the shutter of which is constituted by a metal membrane, the base of which is shaped to ensure excellent sealing on closing, to provide a high flow coefficient, while limiting the dead volumes and the interstice zones capable of ensuring damaging retention of the transported fluid, being in a reduced bulk, and allowing, with the same base, either a mounting of the membrane by mechanical clamping, i.e. an assembly of the membrane by integral orbital welding.

Comme il va de soi, l'invention ne se limite pas aux seules formes d'exécution de cette vanne décrites ci-dessus à titre d'exemple, elle en embrasse au contraire toutes les variantes. As it goes without saying, the invention is not limited to the sole embodiments of this valve described above by way of example, on the contrary it embraces all variants.

C'est ainsi, notamment, que la commande du piston 13 pourrait être réalisée non pas par des moyens mécaniques mais par des moyens pneumatiques, ou encore que la disposition et le nombre des conduits d'amenée de fluide et de sortie de fluide pourraient être différents sans que l'on sorte pour autant du cadre de l'invention. Thus, in particular, that the control of the piston 13 could be carried out not by mechanical means but by pneumatic means, or that the arrangement and the number of the fluid supply and fluid outlet conduits could be different without departing from the scope of the invention.

Claims

1.- Base for valve, the shutter of which is constituted by a metal membrane, of the type comprising a body (4) in which are formed conduits (5, 6) for supplying and evacuating the fluid, the conduit lead opening into a face opposite which is mounted the membrane (7) which is capable of isolating the fluid supply and discharge conduits by sealing off the end of the fluid supply conduit which forms a seat for the membrane, characterized in that the face of the base (2) opposite which the membrane (7) is mounted comprises in combination

an outer surface in the form of a flat crown (8) intended to support and fix the outer part (9) of the membrane (7) which, for its part, has the general shape of a disc,

a recess (10) of generally conical shape extending from the planar crown (8) towards the inside thereof, and at the center of which the fluid supply duct opens, and

- A seat for the membrane (7), constituted by a rib (12) surrounding the end of the fluid supply duct (5a), and projecting from the bottom of the conical recess (10).

2.- valve base according to claim 1, characterized in that the rib (12) forming a seat for the membrane has a rounded profile, having a substantially semi-circular section.

3.- valve base according to any one of claims 1 and 2, characterized in that the thickness of the rib (12) is less than the depth of the conical recess (10).

4.- valve base according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the section (6a) of the fluid discharge conduit opening into the conical recess (10) forms an angle with the axis of the valve, the axis of this section of conduit (6a) being inclined from the inside to the outside and from the conical recess (10) towards the bottom of the base.

5. A valve base according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the part (8) in the form of a flat crown serving to support the membrane is surrounded by a tubular peripheral rim (14).

6.- valve base according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the part (8a) in the form of a flat crown is offset axially towards the outside, with respect to the peripheral edge (24) of the conical recess (10).

7.- valve base according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the face in contact with which the membrane is mounted is disposed at the end of a cylindrical part (17) externally threaded and used for screwing d 'a ring (19) having an annular return (20) above the membrane (7).

8.- valve base according to claim 7, characterized in that the ring (19) has an external thread (22) for mounting the device (23) for actuating the membrane.

9.- valve base according to claim 7, characterized in that between the membrane (7) and the annular return (20) of the ring, is interposed a washer (15) having an annular shoulder (16) intended to come press the edge (9) of the membrane against the part of the base in the form of a flat crown (8).

10.- valve base according to any one of claims 1 to 9, characterized in that the end of the conduit (6a) for discharging fluid opening into one face of the seat has an oblong and rounded shape, changing from continuously inside the base until presenting a circular shape of substantially identical section.