FR2655180A1 - Materiau magnetique composite en feuilles et son procede de fabrication. - Google Patents

Materiau magnetique composite en feuilles et son procede de fabrication. Download PDF

Info

Publication number
FR2655180A1
FR2655180A1 FR8915616A FR8915616A FR2655180A1 FR 2655180 A1 FR2655180 A1 FR 2655180A1 FR 8915616 A FR8915616 A FR 8915616A FR 8915616 A FR8915616 A FR 8915616A FR 2655180 A1 FR2655180 A1 FR 2655180A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
ferromagnetic
material according
support film
magnetic
deposition
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR8915616A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2655180B1 (fr
Inventor
Fontaine Jean-Marie
Varoquaux Arnaud
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority to FR8915616A priority Critical patent/FR2655180B1/fr
Priority to US07/853,735 priority patent/US5328523A/en
Priority to DE69006368T priority patent/DE69006368T2/de
Priority to PCT/FR1990/000855 priority patent/WO1991008577A1/fr
Publication of FR2655180A1 publication Critical patent/FR2655180A1/fr
Priority to EP91900269A priority patent/EP0502940B1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2655180B1 publication Critical patent/FR2655180B1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
    • H01F41/20—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates by evaporation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
    • H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
    • H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
    • H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
    • H01F10/13—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
    • H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
    • H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
    • H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
    • H01F10/13—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
    • H01F10/132—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals containing cobalt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
    • H01F10/26—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by the substrate or intermediate layers
    • H01F10/28—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by the substrate or intermediate layers characterised by the composition of the substrate
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
    • H01F10/26—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by the substrate or intermediate layers
    • H01F10/30—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by the substrate or intermediate layers characterised by the composition of the intermediate layers, e.g. seed, buffer, template, diffusion preventing, cap layers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Thin Magnetic Films (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

L'invention se rapporte à un matériau magnétique composite en feuilles comportant au moins un film support mince de polymère, résistant mécaniquement et thermiquement, revêtu sur au moins une de ses faces d'un dépôt mince d'un composé amorphe ferromagnétique ayant une perméabilité magnétique supérieure à 30, la densité d et la perméabilité du matériau magnétique composite étant telles que 5<=mu /d<=100.

Description

La présente invention a pour objet un matériau magnétique composite en feuilles ayant une forte perméabilité magnétique en haute fréquence et une faible densité, ainsi que son procédé de fabrication.
Ce matériau peut être utilisé dans des têtes magnétiques pour enregistrement magnétique haute fréquence du fait de sa grande stabilité magnétique ; comme noyau pour bobinage et transformateur à très haute fréquence ; comme filtre électromagnétique ou comme blindage électromagnétique utilisé notamment dans les domaines des télécommunications et de l'informatique (blindage de circuits complexes, d'ordinateurs, etc.) ; comme absorbeur des micro-ondes dans une chambre anéchojquc (chambre sans écho) destinée à des études expérimentales ou encore comme matériau absorbant dans les fours à micro-ondes. Dans cette dernière application, le matériau de l'invention est destiné à être placé sur la face interne de la porte du four.
Les matériaux composites permettent d'obtenir des matériaux à perméabilité magnétique et à permittivité électrique adaptées pour chaque type d'application.
Plus spécifiquement, le matériau magnétique de l'invention est destiné à équiper des chambres anéchojques.
Les matériaux connus, actuellement utilisés pour cette application, sont constitués de motifs pyramidaux ou de structures alvéolaires présentant une épaisseur de plusieurs dizaine de centimètres et une
densité surfacique faible, allant de 1 à 5 kg/m
Malheureusement, ce type de matériau est limité à une gamme de faibles longueurs d'onde.
Par ailleurs, il est connu des matériaux absorbant les micro-ondes se présentant sous forme de couches minces, d'épaisseur inférieure à quelques centimètres, réalisées avec des matériaux denses tels que la ferrite ou à partir de la dispersion de ces matériaux denses dans un liant organique approprié. Ce type de matériau présente l'inconvénient d'être lourd ( > 10 kg/m ) ; ces matériaux présentent une faible perméabilité magnétique entraînant les fortes épaisseurs et les masses associées.
Pour remédier à ces inconvénients, le demandeur a envisagé de fabriquer un matériau magnétique composite constitué d'une alternance de couches ferromagnétiques amorphes et de couches électriquement isolantes, chaque couche de matériau ferromagnétique étant formée de plusieurs pavés séparés les uns des autres par des joints électriquement isolants. Ce principe est décrit dans le document
FR-A-2 620 853. Malheureusement, le matériau magnétique décrit dans ce document est actuellement pratiquement irréalisable et son procédé de fabrication extrêmement difficile à mettre en oeuvre.
En particulier, ce document enseigne la réalisation de traits de gravure de 10 oeicromètres pour un empilement de couches d'une épaisseur de 70 à 600 micromètres. Or, actuellement, même avec un procédé de gravure par laser, la largeur du trait de gravure est au minimum égale à une à deux fois l'épaisseur de l'empilement (ou couches) à graver.
L'invention a justement pour objet un nouveau matériau magnétique composite en feuilles permettant de remédier aux différents inconvénients donnés ci-dessus.
En particulier, ce matériau présente une densité faible ainsi qu'une forte perméabilité magnétique. En outre, son procédé de fabrication est réalisable industriellement et sa mise en oeuvre relativement aisée.
Le matériau de L'invention allie simultanément des performances magnétiques et des cadences de fabrication élevées.
De façon plus précise, l'invention a pour objet un matériau magnétique composite en feuilles comportant au moins un film support mince de polymère, résistant mécaniquement et thermiquement, revêtu sur au moins une de ses faces d'un dépôt mince d'un composé amorphe ferromagnétique, la densité b et la perméabilité p du matériau magnétique composite étant telles que 5 < #u/d < #100.
Selon L'invention un dépôt ferromagnétique peut être prévu sur chaque face du film support. En outre, suivant l'application envisagée plusieurs films supports revêtus chacun de leur(s) dépôt(s) ferromagnétique(s), rendus soLidaires par un film de colle, peuvent être utilisés.
Dans cet empilement, Les dépôts ferromagnétiques peuvent être réalisés en un même matériau ou en des matériaux différents de façon à modifier le spectre de perméabilité magnétique.
Ce matériau en feuilles, contrairement à celui de l'art antérieur FR-A-2 620 853 ne se défeuille pas.
Selon l'invention le pourcentage en volume de métal par rapport au volume total du matériau composite est inférieur à 50%, ce qui correspond à un rapport
Vm/Vi < 10 et est en général choisi dans l'intervalle allant de 10 à 20X, ce qui correspond à un rapport 2 < Vm/Vi < 4.
Ce pourcentage en volume de métal est inférieur à celui du matériau objet du document
FR-A-2 620 853, contenant de 50 à 90% en volume de métal.
La perméabilité du matériau composite dépend de celle du métal ferromagnétique utilisé et de sa concentration. Des valeurs de quelques centaines, à 100
MHz, peuvent être atteintes avec un matériau composite de 3,5 de densité.
L'utilisation de matériau ferromagnétique de forte perméabilité magnétique assure une bonne stabilité des matériaux jusqu'à des fréquences de quelques centaines de MHz, voire même jusqu'à 1 GHz.
De façon générale, les matériaux ferromagnétiques utilisables dans l'invention sont ceux qui présentent une perméabilité magnétique supérieure à 300, un 4nMs > 0,5T, avec Ms représentant l'aimantation à saturation du matériau ferromagnétique, ainsi qu'un champ d'anisotropie magnétique Ha allant de O à 2500
A/m.
Les matériaux ferromagnétiques utilisables en particulier dans L'invention sont des composés amorphes contenant une quantité élevée de cobalt, c'est-à-dire contenant au moins 75X d'atomes de cobalt. Comme matériaux ferromagnétiques utilisables dans l'invention, on peut citer Le Co Nb Zr le
87 11,5
Co Nb Zr Le Co Zr111 Co Zr7, ou le
89 6,5 4,5 89 11 93
Co Zr Mo Ni 2
79 10 9
L'épaisseur des dépôts ferromagnétiques est fonction de l'application envisagée. En particulier, en tant que matériau absorbant les micro-ondes (cas des chambres anécholques ou des fours à micro-ondes), plus les fréquences à absorber sont élevées, plus l'épaisseur de chaque dépôt ferromagnétique est faible.
En général, L'épaisseur de chaque dépôt ferromagnétique est inférieure à l'épaisseur de peau des fréquences d'utilisation. Par exemple pour 100 MHz on utilise des dépôts ferromagnétiques inférieurs à 2 micromètres. En revanche, pour des fréquences de 10
MHz, quelques micromètres (5-6 environ) peuvent être utilisés pour le dépôt ferromagnétiques.
De façon générale, les couches ferromagnétiques ont une épaisseur allant de 10 nm à 10 micromètres.
Selon l'invention le film support doit être stable thermiquement et en particulier être stable entre 150 et 3000C. En particulier, ce film ne doit pas être un thermoplastique. En outre, ce film doit être mince, c'est-à-dire inférieur à 10 micromètres. Des films de 0,8 à 1,5 micromètre peuvent être utilisés.
Par ailleurs, le film support doit être résistant mécaniquement et en particulier résistant au déchirement. Des films support ayant une résistance au
2 déchirement allant de 18 à 50 kg/mm peuvent être utilisés.
Comme film polymérique utilisable dans
l'invention, on peut citer les polyimides tels que le (R)
Kapton , les polycarbonates, les polyesters, les
(R) polytéréphtalates d'éthylène glycol tel que le Mylar (R) ou encore les polyétheréthercétone comme le Peek
D'excellents résultats sont obtenus avec des
(R) films de Mylar ayant une épaisseur de 1,5 micromètre environ.
Si la forte conductivité des dépôts ferromagnétiques est gênante pour l'application envisagée, celle-ci peut être annulée dans le matériau composite par gravure de bandes ou de pavés dans chaque dépôt ferromagnétique.
En outre, le ou Les dépôts ferromagnétiques peuvent être revêtus chacun d'une couche mince d'isolant électrique. Comme matériaux électriquement isolants utilisables dans l'invention, on peut citer le quartz, le verre, la silice, le silicium amorphe, l'aluminium, le nitrure de silicium, le sulfure de zinc. Ces couches d'isolant électrique peuvent avoir une épaisseur allant de 10 à 100 nm.
L'invention a aussi pour objet un procédé de fabrication du matériau magnétique composite tel que décrit précédemment. Ce procédé consiste à faire défiler le film support dans une enceinte de dépôt dans -5 laquelle règne un vide résiduel < 10 Pa et à déposer en continu sur L'une au moins des faces du film en défilement une couche d'un composé ferromagnétique.
Le dépôt sous vide de couches ferromagnétiques sur le film support en défilement est relativement simple à réaliser et est compatible avec une grande cadence de fabrication.
Par ailleurs, lorsque le matériau magnétique comporte un dépôt ferromagnétique équipé de traits de gravure, ces traits de gravure sont effectués en continu à L'aide d'un faisceau laser sur le dépôt ferromagnétique en défilement.
Cette technique de gravure présente un faible coût et est compatible avec une grande cadence de fabrication. En outre, elle assure une grande dynamique de largeur de gravure réglable entre 5 et 500 micromètres, suivant L'épaisseur des couches à graver.
La gravure par laser, en défilement, nécessite d'utiliser un laser dont la Longueur d'onde n'est pas absorbée par le film support. Autrement dit, le film support doit être parfaitement transparent à la longueur d'onde du laser choisi. Par exemple, un Laser à infra-rouge convient parfaitement bien pour un film
(R) support en Mylar
Ainsi, la gravure peut être obtenue par sublimation de la couche ferromagnétique, sans détérioration du film support.
il est toutefois possible d'effectuer une gravure chimique du dépôt ferromagnétique en utilisant un masque photolithographique.
Conformément à l'invention, il est aussi possible de former directement, lors du dépôt du matériau ferromagnétique, les bandes ou les pavés ferromagnétiques, par dépôts sélectifs à l'aide d'un masque. Par exemple on peut utiliser la technique connue sous Le nom de "lift off".
Cette technique consiste à former un masque de résine photolithographique sur le film support, la résine masquant les régions du film destinées à être dépourvues de matériau ferromagnétique, à déposer sous vide sur l'ensemble de la structure une couche ferromagnétique puis à éliminer le masque de résine, le matériau ferromagnétique surmontant la résine étant éliminé en même temps que cette dernière.
Afin de fixer l'orientation magnétique des dépôts ferromagnétiques ainsi que d'améliorer la reproductibilité du matériau composite, on applique un champ magnétique faible (quelques centaines d'A/m) parallèlement au plan du film support.
Enfin, afin d'améliorer la perméabilité magnétique du matériau composite, un recuit sous champ magnétique tournant ou fixe peut être utilisé. Les températures de recuit sont comprises entre 100 et 3000C et l'amplitude du champ magnétique varie de 10 à 100 kA/m.
Pour un champ tournant, La vitesse de rotation est comprise entre 2r et 20r rad/m.
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux de la description qui va suivre, donnés à titre illustratif et non limitatif, en référence aux dessins annexés :
- les figures 1 à 4, représentant schématiquement différents modes de réalisation du matériau composite conforme à l'invention, et
- les figures 5 et 6 sont des courbes donnant les variations de la perméabilité magnétique de deux matériaux composites selon l'invention en fonction de la fréquence de L'onde électromagnétique incidente, exprimée en MHz.
Le matériau composite représenté sur la figure 1 est un matériau monofeuille. il comporte un film polymérique 2 résistant thermiquement entre 150 et 3000C et ayant une résistance au déchirement allant de 2 18 à 50 kg/mm . Ce film polymérique 4 a une épaisseur de 1 à 4 micromètres et est pourvu sur sa face supérieure 4 d'une couche 6 en un matériau ferromagnétique ayant une perméabilité magnétique supérieure à 300 et en particulier supérieure à 600 et une épaisseur de 300 à 800 nm. Cette couche 4 est constituée de pavés carrés 8 ayant une surface de 2 à
2 10 mm , séparés par des traits de gravure 10 de 400 à 2000 nm de large suivant l'épaisseur de la couche ferromagnétique.
Selon l'invention, la densité b du matériau composite et sa perméabilité magnétique u sont liées par l'équation 5 < #u/d < 100 et en particulier par l'équation 10 < > j/d < #100.
Selon L'invention, on dépose en continu par évaporation ou pulvérisation sous vide La couche 6 ferromagnétique sur te film support 2 en défilement. Le dépôt de la couche ferromagnétique 6 se fait sous un
-5 vide résiduel < à 10 Pa. La vitesse de défilement du film est liée à la technique de dépôt utilisée.
Avec une pulvérisation, on utilise un défilement de 10 à 20 cm par minute alors qu'avec une évaporation on peut atteindre des vitesses de l'ordre du mètre par seconde.
Le dépôt 6 de matériau ferromagnétique se fait en appliquant simultanément un champ magnétique de quelques centaines d'A/m (10 kA/m environ) parallèlement au plan du film 2.
A l'aide d'un faisceau laser on découpe ensuite des premières bandes ferromagnétiques dans la couche 6, parallèles à la direction x. Puis on effectue une seconde découpe du dépôt ferromagnétique 6, selon la direction y perpendiculaire à la direction x.
Ce laser est un laser à infra-rouge ayant une longueur d'onde de 1060 nm pour un film support 2 en (R)
Mylar
Après la réalisation des traits de gravure 10, on effectue un recuit entre 150 et 3000C, en présence d'un champ magnétique t tournant ou fixe de quelques centaines d'A/m (80 kA/m) contenu dans le plan du film support 2.
Le dépôt ferromagnétique 6a, peut aussi, selon L'invention, être constitué de bandes ferromagnétiques 12 comme représentée sur la figure 2.
On peut aussi déposer, comme décrit cidessus, une seconde couche ferromagnétique 14 sur La face 16, opposée à la face 4, du film support. Cette couche 14 peut être constituée de bandes parallèles 18 ou de pavés. Les traits de gravures 20, 22 (figure 2) des dépôts ferromagnétiques supérieur 6a et inférieur 14 peuvent être décalés.
Suivant l'application envisagée, on peut empiler et assembler plusieurs structures ou feuilles telles que représentées sur les figures 1 ou 2.
il est aussi possible, comme représenté sur la figure 3, de déposer des matériaux isolants électriques 24 et 26 sur respectivement les dépôts ferromagnétiques 6 et 14a revêtant les deux faces 4 et 16 du support 2. Sur cette figure, les dépôts 6 et 14a ont la forme de pavés carrés. il en est de même pour les matériaux isolants 24 et 26. La structure complète porte la référence 25.
Ces couches isolantes ont une épaisseur de 10 à 100 nm. Leurs traits de gravure sont réalises en même temps que ceux des dépôts ferromagnétiques, avec un faisceau laser et sont donc en coincidence.
Sur la figure 4, on a représenté un empilement de plusieurs structures 25, ou feuilles. Le nombre de feuilles 25 peut aller de 1 à 500.
L'assemblage de ces feuilles est obtenu à l'aide d'un joint de colle. La colle utilisée est un polyester fluide résistant à la température.
L'empilement de ces différentes feuilles peut être réalisé par bobinage, drapage ou toute autre technique connue.
Par ailleurs, le film de colle est obtenu par pulvérisation, ce qui permet de déposer des épaisseurs de colle largement submicroniques, typiquement de 0,2 micromètre.
A titre illustratif, on donne ci-après plusieurs exemples de réalisation de matériaux composites conformes à l'invention.
EXEMPLE 1
On effectue par pulvérisation cathodique un dépôt de 400 nm d'épaisseur de Co Zr Mo Ni sur les (R) 79 10 9 2 deux faces d'un film de Mylar de 3,5 micromètres se déplaçant à 20 cm/min. Ce dépôt est effectué, sous un champ magnétique plan de 800 A/m, dans un bâti BVT de pulvérisation cathodique dans lequel un vide résiduel
-5 inférieur à 10 Pa a été effectué.
On effectue ensuite un dépôt de SiO de 50 nm
2 d'épaisseur sur chaque dépôt ferromagnétique par PECVD (dépôt chimique en phase vapeur assisté par un plasma).
Après un recuit à 2300C, en présence d'un champ magnétique plan de 70 kA/m, de la structure obtenue, on effectue alors à l'aide d'un laser YAG de 1060 nm des traits de gravure de 100 micromètres de
Large, pour les couches de SiO formées des pavés de 3
2 mm de côté. Cette gravure est effectuée avec un défilement de la feuille de 0,15 m/s.
300 feuilles obtenues comme ci-dessus sont assemblées, L'adhésion étant assurée par un film de colle polyester de 0,2 micromètre.
Le matériau composite obtenu présente une perméabilité magnétique de 90 et une densité de 2, soit un rapport u/dde 45.
EXEMPLE 2
Cet exemple 2 se différencie de l'exemple 1 par l'utilisation de 50 feuilles collées, constituées chacune d'un seul dépôt de Co Nb Zr 5 de 400 nm
87 îi,5 1,5 sur le film de Mylar, recouvert d'une couche mince de 20 nm de SiO . Les traits de gravure sont les mêmes que
2 dans l'exemple 1.
Ce matériau composite présente une densité de 2 et un rapport u/d de 7 à 300 MHz.
Les variations de la perméabilité magnétique de l'ensemble en fonction de la fréquence de L'onde incidente sont données sur la figure 5 ; les fréquences sont mentionnées en échelLe logarithmique.
EXEMPLE 3
Dans cet exempLe, le matériau composite est formé de 50 feuilles collées, constituées chacune d'un dépôt de 400 nm de Co87Nb11 5Zr1,5 sur les deux faces d'un film de Mylar(R) de 3,5 micromètres d'épaisseur, ce dépôt étant recouvert d'une couche mince de 20 nm de
SiO . Les traits de gravure sont les mêmes que dans l'exemple 1.
Ce matériau composite présente une densité de 2,5 et un rapport u/d de 10 à 300 MHz.
Les variations de la perméabilité de l'ensemble en fonction de la fréquence de l'onde incidente sont données sur la figure 6 ; les fréquences sont illustrées sous forme logarithmique.
Les figures 5 et 6 montrent clairement que la perméabilité magnétique des matériaux composites de l'invention reste stable sur de grands domaines de longueur d'onde.
Dans le tableau ci-après, on a indiqué le rapport Ju/d des matériaux composites des exemples 1, 2 et 3 pour différentes fréquences d'onde électromagnétique incidente ainsi que celui d'un matériau traditionnel en ferrite.
il ressort clairement de ce tableau que les matériaux composites de L'invention présentent un rapport u/d plus élevé que celui de la ferrite et que ce rapport reste constant même aux fréquences élevées.
TABLEAU
Figure img00120001
<tb> <SEP> VALEUR <SEP> DE <SEP> /d <SEP> EN <SEP> FONCTION <SEP> DE <SEP> LA <SEP> FREQUENCE
<tb> <SEP> 100 <SEP> MHz <SEP> 200 <SEP> MHz <SEP> 600 <SEP> MHz
<tb> FERRITE <SEP> 4 <SEP> 1 <SEP> 0,2
<tb> EX. <SEP> 1 <SEP> 45 <SEP> 45 <SEP> 45
<tb> EX. <SEP> 2 <SEP> 7 <SEP> 7 <SEP> 7
<tb> EX. <SEP> 3 <SEP> 10 <SEP> 10 <SEP> 10
<tb>

Claims (16)

REVENDICATIONS
1. Matériau magnétique composite en feuilles (25) comportant au moins un film support (2) mince de polymère, résistant mécaniquement et thermiquement, revêtu sur au moins une de ses faces (4, 16) d'un dépôt mince (6, 6a, 14, 14a) d'un composé amorphe ferromagnétique, La densité d et la perméabilié magnétique u du matériau magnétique composite étant telles que 5 < u/d(100.
2. Matériau selon la revendication 1, caractérisé en ce que le film support (2) est stabLe thermiquement entre 150 et 3000C.
3. Matériau selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le film support (2) est un matériau choisi parmi les polyimides, Les polycarbonates, Les polyesters, les polytéréphtalates d'éthylène glycol.
4. Matériau selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le film support (2) a une épaisseur inférieure à 10 micromètres.
5. Matériau selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le fiLm support (2) a une résistance au déchirement au moins
2 égale à 18 kg/mm
6. Matériau selon L'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le dépôt ferromagnétique a une épaisseur de 10 à 100 nm.
7. Matériau selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le composé ferromagnétique est un composé à base de cobalt ayant une perméabilité magnétique supérieure à 300.
8. Matériau selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le composé ferromagnétique est choisi parmi Co Nb Zr 5 ou 87 11,5 1,5
Co Zr Mo Ni 2
79 10 9
9. Matériau selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que le dépôt ferromagnétique comporte des traits de gravure (10, 20, 22), définissant des bandes parallèles (18) ou des pavés (8).
10. Matériau selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que le dépôt ferromagnétique est revêtu d'une couche mince d'isolant électrique (24, 26).
11. Matériau selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce qu'il comprend plusieurs films supports revêtus chacun de leur(s) dépot(s) ferromagnétique(s), rendus solidaires par un film de colle.
12. Procédé de fabrication d'un matériau magnétique composite selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, consistant à faire défiler le film support (2) dans une enceinte de dépôt dans
-5 laquelle règne un vide résiduel < 10 Pa et à déposer en continu sur l'une au moins des faces (4, 16) du film en défilement une couche mince (6, 6a, 14, 14a) d'un composé ferromagnétique.
13. Procédé de fabrication selon la revendication 12, d'un matériau magnétique dont le dépôt ferromagnétique comporte des traits de gravure (10, 20, 22), caractérisé en ce que ces traits de gravure sont effectués en continu sur le matériau en défilement à l'aide d'un faisceau laser.
14. Procédé selon la revendication 12 ou 13, caractérisé en ce que l'on applique un champ magnétique parallèlement au plan du film support lors du dépôt du composé ferromagnétique.
15. Procédé selon la revendication 13 ou 14, caractérisé en ce que le laser a une longueur d'onde essentiellement transmise par le film support (2).
16. Procédé selon l'une quelconque des revendications 12 à 15, caractérisé en ce que l'on effectue un recuit sous champ magnétique (#)du matériau composite.
FR8915616A 1989-11-28 1989-11-28 Materiau magnetique composite en feuilles et son procede de fabrication. Expired - Lifetime FR2655180B1 (fr)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8915616A FR2655180B1 (fr) 1989-11-28 1989-11-28 Materiau magnetique composite en feuilles et son procede de fabrication.
US07/853,735 US5328523A (en) 1989-11-28 1990-11-27 Composite multilayer magnetic material and its production process
DE69006368T DE69006368T2 (de) 1989-11-28 1990-11-27 Magnetisches kompositmaterial aus blättern und herstellungsverfahren.
PCT/FR1990/000855 WO1991008577A1 (fr) 1989-11-28 1990-11-27 Materiau magnetique composite en feuilles et son procede de fabrication
EP91900269A EP0502940B1 (fr) 1989-11-28 1991-06-28 Materiau magnetique composite en feuilles et son procede de fabrication

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8915616A FR2655180B1 (fr) 1989-11-28 1989-11-28 Materiau magnetique composite en feuilles et son procede de fabrication.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2655180A1 true FR2655180A1 (fr) 1991-05-31
FR2655180B1 FR2655180B1 (fr) 1992-02-07

Family

ID=9387846

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR8915616A Expired - Lifetime FR2655180B1 (fr) 1989-11-28 1989-11-28 Materiau magnetique composite en feuilles et son procede de fabrication.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5328523A (fr)
EP (1) EP0502940B1 (fr)
DE (1) DE69006368T2 (fr)
FR (1) FR2655180B1 (fr)
WO (1) WO1991008577A1 (fr)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2698479B1 (fr) * 1992-11-25 1994-12-23 Commissariat Energie Atomique Composite hyperfréquence anisotrope.
JPH09232141A (ja) * 1996-02-28 1997-09-05 Unitika Ltd 磁気素子
DE10114021B4 (de) * 2001-03-22 2005-09-08 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Wärmestrahleinrichtung zur zusätzlichen gezielten thermischen Prozessierung eines Objekts in einem Mikrowellenofen
EP1426982A4 (fr) * 2001-08-31 2004-11-17 Tdk Corp Element stratifie constitue d'un materiau magnetique doux, feuille constituee d'un materiau magnetique doux et procede de production dudit element stratifie
US7989095B2 (en) * 2004-12-28 2011-08-02 General Electric Company Magnetic layer with nanodispersoids having a bimodal distribution
JP5766277B2 (ja) * 2010-04-19 2015-08-19 ピールブルグ パンプ テクノロジー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＰｉｅｒｂｕｒｇ Ｐｕｍｐ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ＧｍｂＨ 自動車に用いられる電動式の冷媒ポンプ
CN108022751B (zh) * 2016-10-31 2022-01-11 北京北方华创微电子装备有限公司 磁性薄膜叠层的沉积方法、磁性薄膜叠层及微电感器件
CN108022714B (zh) * 2016-10-31 2021-06-08 北京北方华创微电子装备有限公司 一种软磁薄膜及其制备方法
CN107394414B (zh) * 2017-07-18 2020-07-31 东南大学 基于双层磁介质实现低频段带宽展宽的吸波器

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0308334A1 (fr) * 1987-09-18 1989-03-22 Commissariat A L'energie Atomique Matériau magnétique composite et son procédé de fabrication

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0308334A1 (fr) * 1987-09-18 1989-03-22 Commissariat A L'energie Atomique Matériau magnétique composite et son procédé de fabrication

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
I.E.E.E. TRANSACTIONS ON MAGNETICS, vol. MAG-22, no. 2, mars 1986, pages 89-92, IEEE, New York, NY, US; Y. SHIMADA: "Initial permeability of amorphous single and multilayered films" *
IEEE TRANSLATION JOURNAL ON MAGNETICS IN JAPAN, vol. 3, no. 2, février 1988, pages 166-172, IEEE, New York, US; M. TAKAHASHI et al.: "Effect of local anisotropy fluctuation on the permeability of multilayered Co-Zr-Mo-Ni amorphous films" *

Also Published As

Publication number Publication date
FR2655180B1 (fr) 1992-02-07
DE69006368D1 (de) 1994-03-10
EP0502940A1 (fr) 1992-09-16
EP0502940B1 (fr) 1994-01-26
DE69006368T2 (de) 1994-08-04
WO1991008577A1 (fr) 1991-06-13
US5328523A (en) 1994-07-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0308334B1 (fr) Matériau magnétique composite et son procédé de fabrication
KR101916316B1 (ko) 플라즈모닉 도파관용 적층체 및 그의 제조방법
EP0191661B1 (fr) Procédé de dépôt et de cristallisation d&#39;une couche mince de matériau organique au moyen d&#39;un faisceau d&#39;énergie
FR2655997A1 (fr) Enduit absorbant, son procede de fabrication et revetement obtenu a l&#39;aide de cet enduit.
EP0502940B1 (fr) Materiau magnetique composite en feuilles et son procede de fabrication
Bubenzer et al. Optical properties of hydrogenated hard carbon thin films
BE1010420A3 (fr) Procede pour la formation d&#39;un revetement sur un substrat et installation pour la mise en oeuvre de ce procede.
EP0448426A1 (fr) Enduit absorbant, son procédé de fabrication et revêtement obtenu à l&#39;aide de cet enduit
WO2016120302A1 (fr) Dispositif chauffant, en particulier semi-transparent
EP1165855B1 (fr) Procede de traitement de surface des polymeres
EP0973049B1 (fr) Matériau composite contenant des particules métalliques dispersées dans le polysilylèneméthylène et procédé de préparation
EP0413617A1 (fr) ProcÀ©dé de dépôt de couches minces
EP0304373A2 (fr) Procédé d&#39;obtention d&#39;un motif notamment en matériau ferromagnétique ayant des flancs de pente différente et tête magnétique comportant un tel motif
EP0671049B1 (fr) Composite hyperfrequence anisotrope
EP0140746B1 (fr) Procédé de traitement thermique, par application d&#39;énergie microonde, de revêtements sur supports diélectriques, en particulier de revêtements électriquement conducteurs
RU2724229C1 (ru) Способ изготовления оптического фильтра на основе графена
WO2020099729A1 (fr) Procede de gravure selective d&#39;une couche ou d&#39;un empilement de couches sur substrat verrier
CN115236776B (zh) 具有亚波长结构的超宽带吸波器及其制备方法和应用
Tossell et al. Diamond layers for the protection of infrared windows
FR2678470A1 (fr) Ecran polariseur et absorbant presentant des motifs chiraux plans.
JP3051240B2 (ja) 硬質カラー薄膜の製造法
Takamori et al. Optical properties and crystallinity of ZnO films for application in super-resolution optical discs
Gao et al. Effect of Ag and Cu overlayers on the surface‐enhanced Raman scattering at Cu and Ag cold films
Mkrtchyan Optical properties of the pulsed-laser deposited amorphous films of germanium
Lopez-Rios Surface enhanced Raman scattering at metal/vacuum interfaces

Legal Events

Date Code Title Description
ST Notification of lapse

Effective date: 20080930