FR2653874A1 - Test bench for curved holes - Google Patents
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- G01B5/20—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures
Abstract
Description
La présente invention concerne un banc de contrôle de trous curvilignes. The present invention relates to a curvilinear hole control bench.
Elle vise notamment un banc approprié au contrôle de trous curvilignes de prélèvement d'air centripète dans un disque de compresseur axial de turbomachine, comme celui qui fait l'objet de la demande FR 2 614 654. It relates in particular to a bench suitable for controlling curvilinear holes for taking centripetal air in a disc of an axial compressor of a turbomachine, such as that which is the subject of application FR 2 614 654.
Dans un tel disque sont ménagés un certain nombre de trous curvilignes généralement centripètes régulièrement répartis autour de l'axe du disque. In such a disc are formed a number of generally centripetal curvilinear holes regularly distributed around the axis of the disc.
Il convient de contrôler rapidement et avec des moyens simples les divers paramètres de ces trous
- inclinaison du plan du profil curviligne du trou par rapport au rayon,
- position du centre du profil curviligne par rapport à l'axe du disque.The various parameters of these holes should be checked quickly and with simple means
- inclination of the plane of the curvilinear profile of the hole relative to the radius,
- position of the center of the curvilinear profile in relation to the axis of the disc.
Il est également nécessaire de contrôler le profil de la section transversale du trou lui-même qui peut être circulaire, ovale, elliptique, ou encore de tout autre profil choisi. It is also necessary to check the profile of the cross section of the hole itself which can be circular, oval, elliptical, or any other chosen profile.
A cet effet, l'invention concerne un banc de contrôle de trous curvilignes dans une pièce, caractérisé en ce qu'il comprend
- une .table porte-pièce,
- des organes dtindexation de la pièce par rapport à la table autour d'un axe vertical.To this end, the invention relates to a test bench for curvilinear holes in a room, characterized in that it comprises
- a workpiece table,
- bodies for indexing the part with respect to the table around a vertical axis.
- un arbre vertical solidaire de ladite table,
- une poutre amovible fixée de manière coulissante horizontalement dudit arbre dans une orientation ptédéterminée par rapport audit arbre,
- un étrier support pour un axe horizontal de balancement monté sur ladite poutre, avec faculté de rotation autour d'un axe vertical,
- un bras de balancement autour de l'axe horizontal de balancement et suspendu sous ce dernier,
- un bras palpeur courbe monté pivotant autour d'un axe horizontal à l'extrémité du bras oscillant, et
- des dispositifs de mesure du coulissement de la poutre, de l'orientation angulaire de l'étrier support et de l'angle entre le bras palpeur et le bras oscillant.- a vertical shaft integral with said table,
a removable beam horizontally slidingly fixed to said shaft in a predetermined orientation with respect to said shaft,
- a support bracket for a horizontal axis of rocking mounted on said beam, with the possibility of rotation about a vertical axis,
- a swing arm around the horizontal swing axis and suspended under the latter,
- a curved feeler arm mounted to pivot about a horizontal axis at the end of the swinging arm, and
- devices for measuring the sliding of the beam, the angular orientation of the support bracket and the angle between the feeler arm and the swinging arm.
Ce banc de contrôle permet ainsi un contrôle simple et rapide des trous curvilignes de la pièce. This test bench thus allows a simple and rapid control of the curvilinear holes of the part.
I1 sera maintenant décrit en se référant à la figure unique annexée qui le représente en perspective. I1 will now be described with reference to the single appended figure which represents it in perspective.
Le banc de contrôle-illustré en perspective d'ensemble à la figure 1 est destiné au contôle de perçages curvilignes dans une pièce 10, notamment un disque de turbomachine à prélèvement d'ir centripète tel que décrit et illustré dans le document FR-A-2 614 654. The control bench-illustrated in overall perspective in FIG. 1 is intended for the control of curvilinear bores in a part 10, in particular a turbomachine disc with centripetal air sampling as described and illustrated in the document FR-A- 2,614,654.
Le disque 10 est représenté schématiquement à la figure en traits fins. The disc 10 is shown schematically in the figure in thin lines.
Le banc comporte une table horizontale 12 et un arbre vertical 14 fixé à celle-ci, de telle sorte que le disque puisse être enfilé sur l'arbre jusqu'à reposer sur la table. La table et l'arbre sont usinés et rectifiés avec précision afin d'obtenir un positionnement précis du disque. The bench has a horizontal table 12 and a vertical shaft 14 fixed to it, so that the disc can be threaded on the tree until it rests on the table. The table and the shaft are precisely machined and ground to obtain precise positioning of the disc.
Dans la mesure où le disque comporte une pluralité de perçages curvilignes 16 à espacement angulaire régulier, la table et le disque comportent des moyens coopérants afin d'indexer le disque en rotation autour de l'arbre selon autant de positions angulaires de référence correspondantes. Insofar as the disc comprises a plurality of curvilinear holes 16 with regular angular spacing, the table and the disc comprise cooperating means in order to index the disc in rotation around the shaft according to as many corresponding angular reference positions.
A titre d'exemple, le disque comporte une encoche externe 18 parallèle à son axe ZZ et la table comporte un certain nombre de trous d'indexage 20, au nombre de 24 dans l'exemple illustré, répartis régulièrement et avec précision autour de l'arbre 14. Une tige de blocage 22 amovible est introduite dans l'encoche externe 18 du disque et dans un trou d'indexage 20 respectif afin d'immobiliser le disque 10 dans une position angulaire de référence prédéterminée autour de l'arbre 14. For example, the disc has an external notch 18 parallel to its axis ZZ and the table has a certain number of indexing holes 20, 24 in number in the example illustrated, distributed regularly and precisely around the 'shaft 14. A removable locking rod 22 is introduced into the external notch 18 of the disc and into a respective indexing hole 20 in order to immobilize the disc 10 in a predetermined reference angular position around the shaft 14.
Lorsque le disque est indexé dans l'une des 24 positions, le trou curviligne 16 à contrôler décrit un arc de cercle autour d'un centre A, disposé à des coordonnées prédéterminées par rapport à un trièdre de référence OXYZ dont les deux axes horizontaux OX, OY sont contenus dans le plan de la table, l'un d'eux OX passant par le centre du trou d'indexage 20, et dont l'axe vertical 07 coïncide avec l'axe ZZ de l'arbre vertical et du disque. Cet arc de cercle de rayon r est en outre contenu dans un plan vertical incliné suivant un angle prédéterminé a par rapport au plan vertical du trièdre de référence, passant par l'axe de l'arbre et par l'axe du trou d'indexage. When the disc is indexed in one of the 24 positions, the curvilinear hole 16 to be checked describes an arc of a circle around a center A, arranged at predetermined coordinates with respect to a reference trihedron OXYZ whose two horizontal axes OX , OY are contained in the plane of the table, one of them OX passing through the center of the indexing hole 20, and whose vertical axis 07 coincides with the axis ZZ of the vertical shaft and of the disc . This arc of radius r is also contained in a vertical plane inclined at a predetermined angle a with respect to the vertical plane of the reference trihedron, passing through the axis of the shaft and through the axis of the indexing hole. .
Enfin, le trou curviligne 16 présente en section transversale divers profils, notamment circulaire ou elliptique. Finally, the curvilinear hole 16 has in cross section various profiles, in particular circular or elliptical.
Afin de permettre une vérification rapide de la correspondance, ou de l'écart, des diverses coordonnées du trou curviligne réel par rapport aux coordonnées théoriques, l'invention prévoit de monter au sommet de l'arbre une poutre horizontale 24 amovible s'étendant suivant le même angle prédéterminé par rapport au plan vertical de référence OXZ. La poutre 24 est montée coulissante en direction horizontale par rapport à l'arbre 14 et il est prévu des moyens permettant une mesure précise du coulissement de la poutre par rapport à une position origine.Dans l'exemple illustré, ces moyens comportent un bloc 26 porte-instrument, faisant partie intégrante ou fixée à l'arbre 14 , et une butée de mesure 28 faisant partie intégrante ou fixée à la poutre 24, la butée présentant une surface de mesure contre laquelle vient porter un palpeur de l'instrument de mesure, constitué dans cet exemple par un comparateur 30. In order to allow a rapid verification of the correspondence, or the deviation, of the various coordinates of the real curvilinear hole with respect to the theoretical coordinates, the invention provides for mounting a removable horizontal beam 24 extending at the top of the tree following the same predetermined angle with respect to the vertical reference plane OXZ. The beam 24 is slidably mounted in a horizontal direction relative to the shaft 14 and means are provided allowing a precise measurement of the sliding of the beam relative to an original position. In the example illustrated, these means comprise a block 26 instrument holder, forming an integral part or fixed to the shaft 14, and a measuring stop 28 forming an integral part or fixed to the beam 24, the stop having a measuring surface against which a probe of the measuring instrument comes to bear , constituted in this example by a comparator 30.
Vers son extrémité distale, la poutre est traversée par un perçage 32 circulaire vertical, dont l'axe est situé à une abscisse et une ordonnée identiques à celles du centre A, par réglage de la poutre 24 en coulissement. Towards its distal end, the beam is crossed by a vertical circular bore 32, the axis of which is located at an abscissa and an ordinate identical to those of the center A, by adjusting the beam 24 in sliding.
Un support étrier 34 est monté dans le perçage 32 de la poutre 24 et porte un axe de balancement horizontal BB situé sous la poutre 24, à une cote identique à celle du centre A. A stirrup support 34 is mounted in the bore 32 of the beam 24 and carries a horizontal rocking axis BB located under the beam 24, at a dimension identical to that of the center A.
L'étrier 34 est réglable en rotation par rapport à la poutre 24 et il est prévu des moyens pour détecter avec précision la rotation de l'étrier 34 par raport à une position origine dans laquelle l'axe de balancement BB est perpendiculaire à l'axe de la poutre. Dans cet exemple, ces moyens sont constitués par un bloc 36 porte-instrument, par exemple un comparateur 38, faisant partie intégrante ou fixé à la poutre 24, et une butée 40 de mesure faisant partie intégrante ou fixée à l'étrier 34, contre laquelle vient porter le palpeur de l'instrument de mesure 38. The stirrup 34 is adjustable in rotation relative to the beam 24 and means are provided for detecting with precision the rotation of the stirrup 34 relative to an original position in which the rocking axis BB is perpendicular to the axis of the beam. In this example, these means consist of an instrument holder block 36, for example a comparator 38, forming an integral part or fixed to the beam 24, and a measurement stop 40 forming an integral part or fixed to the stirrup 34, against which carries the probe of the measuring instrument 38.
Sous l'étrier 34 est suspendu un bras de pendule 42, en libre balancement autour de l'axe de balancement BB de l'étrier 34. Under the stirrup 34 is suspended a pendulum arm 42, in free swing around the rocking axis BB of the stirrup 34.
Le bras de pendule 42 porte à son extrémité opposée un axe de pivotement CC situé à une distance de l'axe de balancement BB identique au rayon r de la ligne médiane du perçage curviligne 16 et sur cet axe CC est monté en rotation un bras palpeur 44 courbe qui se termine par un doigt palpeur 46, par exemple sous la forme d'un galet. De l'autre côté de l'axe de pivotement CC, le bras de pendule 42 porte un prolongement 48 sensiblement perpendiculaire au bras de pendule 42, qui porte à son extrémité un instrument de mesure 50, par exemple un comparateur.The pendulum arm 42 carries at its opposite end a pivot axis CC located at a distance from the rocking axis BB identical to the radius r of the center line of the curvilinear bore 16 and on this axis CC is mounted in rotation a feeler arm 44 curve which ends with a feeler finger 46, for example in the form of a roller. On the other side of the pivot axis CC, the pendulum arm 42 carries an extension 48 substantially perpendicular to the pendulum arm 42, which carries at its end a measuring instrument 50, for example a comparator.
De même, le bras palpeur courbe 44 comporte du même côté un prolongement 52 qui s'étend généralement parallélement au prolongement 48 du bras de pendule 42 et au dessous de ce dernier, et se termine en regard de l'instrument de mesure 50 correspondant. Likewise, the curved feeler arm 44 has on the same side an extension 52 which generally extends parallel to the extension 48 of the pendulum arm 42 and below the latter, and ends opposite the corresponding measuring instrument 50.
Le bras palpeur courbe 44 s'étend sur une longueur au moins égale à celle du perçage curviligne 16 à contrôleur. Il présente une ligne médiane formant un secteur semi-circulaire de rayon r identique à celui de la ligne médiane du secteur curviligne. The curved feeler arm 44 extends over a length at least equal to that of the curvilinear bore 16 with a controller. It has a median line forming a semi-circular sector of radius r identical to that of the median line of the curvilinear sector.
Les différentes pièces décrites sont usinées et rectifiées avec précision, de telle sorte que la poutre 24 soit perfaitement horizontale et qu'elle s'étende exactement dans l'orientation angulaire "a" théorique voulue par rapport au plan vertical de référence OXZ. The various parts described are machined and rectified with precision, so that the beam 24 is perfectly horizontal and that it extends exactly in the desired angular orientation "a" relative to the vertical reference plane OXZ.
Par des moyens appropriés, on règle la poutre 24 en coulissement afin que l'axe du perçage circulaire vertical 32 soit situé exactement à l'abscisse et l'ordonnée théoriques du centre A. By appropriate means, the beam 24 is slidably adjusted so that the axis of the vertical circular bore 32 is located exactly at the abscissa and the theoretical ordinate of the center A.
Dans la position obtenue, dite position origine, on ramène le premier comparateur 30 à zéro et ce zéro constituera la référence pour les mesures ultérieures concernant la position réelle en abscisse et en ordonnée du centre A.In the position obtained, called the home position, the first comparator 30 is brought back to zero and this zero will constitute the reference for the subsequent measurements concerning the real position on the abscissa and on the ordinate of the center A.
De même, par des moyens appropriés, on règle le support étrier 34 en rotation dans le perçage 32 de la poutre 24, afin que le plan de balancement du bras de pendule soit exactement dans l'orientation angulaire théorique "a."
Dans la position obtenue, on ramène le second comparateur 38 à zéro, et ce zéro constituera la référence pour les mesures ultérieures relatives aux écarts angulaires des trous curvilignes 16 du disque 10 par rapport à l'angle théorique a. Likewise, by appropriate means, the stirrup support 34 is adjusted in rotation in the bore 32 of the beam 24, so that the plane of swing of the pendulum arm is exactly in the theoretical angular orientation "a."
In the position obtained, the second comparator 38 is brought back to zero, and this zero will constitute the reference for the subsequent measurements relating to the angular deviations of the curvilinear holes 16 of the disc 10 relative to the theoretical angle a.
Enfin, on utilise une cale étalon, non représentée, posée directement sur la table 12 en l'absence du disque 10, dont l'épaisseur est telle que sa surface supérieure soit située à la cote théorique du point le plus bas des perçages survilignes 16, afin de procéder à la remise à zéro du troisième comparateur 50. Finally, a standard block is used, not shown, placed directly on the table 12 in the absence of the disc 10, the thickness of which is such that its upper surface is located at the theoretical dimension of the lowest point of the over-line holes 16 , in order to reset the third comparator 50.
A cet effet, on vient poser sur cette cale le doigt 46 palpeur à l'extrémité du bras palpeur 44 courbe, en relevant manuellement le bras de pendule 42. To this end, the feeler finger 46 is placed on this wedge at the end of the curved feeler arm 44, by manually raising the pendulum arm 42.
Dans cette position, on ramène à zéro le troisième comparateur 50, et ce zéro constituera la référence pour les mesures ultérieures relatives aux cotes des trous curvilignes 16. In this position, the third comparator 50 is brought back to zero, and this zero will constitute the reference for the subsequent measurements relating to the dimensions of the curvilinear holes 16.
Une fois ces réglages et remises à zéro effectuées, on peut utiliser le dispositif et procéder au contrôle des trous curvilignes d'un disque. Once these adjustments and resets have been made, the device can be used and the curvilinear holes in a disc checked.
Pour ce faire, on démonte la poutre horizontale 24, ensemble avec le support étrier 34, le bras de pendule 42 et le bras palpeur 44, ce qui permet d'engager un disque 10 autour de l'arbre 14, de le poser sur la table 12 et de l'indexer angulairement à l'aide de la tige de blocage 22 et des trous d'indexage 20. To do this, the horizontal beam 24 is dismantled, together with the stirrup support 34, the pendulum arm 42 and the feeler arm 44, which makes it possible to engage a disc 10 around the shaft 14, to place it on the table 12 and angularly index it using the locking rod 22 and the indexing holes 20.
On remonte la poutre horizontale 24 au sommet de l'arbre 14 et on la règle en coulissement jusqu'à ce que le premier compartateur 30 indique zéro. The horizontal beam 24 is raised to the top of the shaft 14 and it is slidably adjusted until the first compartment 30 indicates zero.
On fait alors parcourir au doigt de palpeur 46 toute la longueur des trous curvilignes 16, en faisant pivoter manuellement le bras de pendule 42 autour de son axe de balancement BB. The probe finger 46 is then made to traverse the entire length of the curvilinear holes 16, by manually pivoting the pendulum arm 42 about its rocking axis BB.
On contrôle tout d'abord la verticale du centre A en maintenant le doigt palpeur 46 en contact avec la paroi inférieure du trou curviligne 16 d'une extrémité à l'autre de celui-ci et en relevant les indications du troisième comparateur 50. First of all, the vertical of the center A is checked by keeping the feeler finger 46 in contact with the bottom wall of the curvilinear hole 16 from one end to the other thereof and noting the indications of the third comparator 50.
Si des indications sont différentes à l'entrée et à la sortie, on déplace la poutre 24 par coulissement jusqu'à obtenir sur le troisième comparateur 50 des indications identiques à l'entrée et à la sortie du trou 16. On relève alors sur le premier comparateur 30 l'écart éventuel par rapport au réglage du zéro initial. If the indications are different at the entry and at the exit, the beam 24 is moved by sliding until obtaining on the third comparator 50 identical indications at the entry and at the exit of the hole 16. It is then noted on the first comparator 30 the possible deviation from the initial zero setting.
On contrôle ensuite le déport angulaire du trou 16 par rapport à l'angle théorique a, en maintenant le doigt palpeur 46 en contact avec l'une des parois latérales du trou curviligne 16 d'une extrémité à l'autre de celui-ci et en relevant les indications du deuxième comparateur 38. The angular offset of the hole 16 is then checked relative to the theoretical angle a, by keeping the feeler finger 46 in contact with one of the side walls of the curvilinear hole 16 from one end to the other thereof and by reading the indications of the second comparator 38.
Si les indications sont différentes à l'entrée et à la sortie, elles résultent d'un pivotement de l'étrier support et sont alors représentatives de l'écart angulaire éventuel par rapport à l'angle théorique"a"
On contôle également les dimensions transversale du trou
- d'une part, la distance entre sa paroi inférieure et sa paroi supérieure, en amenant le doigt de palpeur 46 en contact successivement avec l'une et avec 11 autre pour différentes positions angulaires du bras de pendule 42 et en notant les indications du troisième comparateur 50.If the indications are different at the entry and exit, they result from a pivoting of the support bracket and are then representative of the possible angular deviation from the theoretical angle "a"
We also control the transverse dimensions of the hole
- On the one hand, the distance between its lower wall and its upper wall, bringing the feeler finger 46 in contact successively with one and with another 11 for different angular positions of the pendulum arm 42 and noting the indications of the third comparator 50.
Si la différence entre ces indications varie sensiblement selon la position angulaire du bras de pendule 42, il y a rétrécissement ou élargissement du trou 16 dans le sens radial. If the difference between these indications varies significantly depending on the angular position of the pendulum arm 42, there is narrowing or widening of the hole 16 in the radial direction.
- d'autre part, la distance entre ses parois latérales opposées, en amenant le doigt de palpeur 46 en contact successivement avec l'une et avec l'autre pour différentes positions angulaires du bras de pendule 42, et en notant les indications du deuxième comparateur 38. - on the other hand, the distance between its opposite side walls, bringing the feeler finger 46 in contact successively with one and with the other for different angular positions of the pendulum arm 42, and noting the indications of the second comparator 38.
Si la différence entre ces indications varie sensiblement selon la position angulaire du bras de pendule 42, il y a rétrécissement ou élargissement du trou 16 dans le sens transversal. If the difference between these indications varies significantly depending on the angular position of the pendulum arm 42, there is narrowing or widening of the hole 16 in the transverse direction.
Dans les deux cas, ces différences sont comparées aux valeurs théoriques et si l'écart dépasse un seuil de tolérance prédéterminé, le disque est mis au rebut, ou doit faire l'objet d'une opération de rectification. In both cases, these differences are compared to the theoretical values and if the difference exceeds a predetermined tolerance threshold, the disc is discarded, or must be the object of a rectification operation.
Après avoir procédé au contrôle de l'un des trous, on recommence les mêmes opérations pour les trous successifs du disque, en faisant pivoter celui-ci autour de l'arbre et en bloquant grâce aux moyens d'indexation. After carrying out the control of one of the holes, the same operations are repeated for the successive holes of the disc, by pivoting the latter around the shaft and blocking by means of the indexing means.
L'appareil qui vient d'être décrit est utilisé de façon manuelle et convient à des contrôles d'un nombre limité de pièces. The apparatus which has just been described is used manually and is suitable for checking a limited number of parts.
I1 peut bien entendu être complété par des organes de contrôle et de commande automatique afin de permettre un contrôle de série des disques. I1 can of course be supplemented by automatic control and command members in order to allow serial control of the disks.
A cet effet, les trois comparateurs pourront être remplacés par des capteurs de déplacement électromagnétiques, par exemple des capteurs inductifs. De même, les déplacements des divers composants : coulissement de la poutre, rotation du support-étrier, balancement du bras de balancier, maintien du galet palpeur contre les parois du trou, pourront être assurés par des moteurs appropriés. To this end, the three comparators may be replaced by electromagnetic displacement sensors, for example inductive sensors. Similarly, the movements of the various components: sliding of the beam, rotation of the caliper support, rocking of the pendulum arm, holding the feeler roller against the walls of the hole, may be provided by suitable motors.
Une unité de commande dotée d'un microprocesseur spécifiquement programmé et reliée aux différents capteurs et moteurs, assurera une commande des différents moteurs suivant une séquence reproduisant les étapes de fonctionnement décrites ci-avant. A control unit with a microprocessor specifically programmed and connected to the different sensors and motors, will ensure control of the different motors according to a sequence reproducing the operating steps described above.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8914347A FR2653874B1 (en) | 1989-11-02 | 1989-11-02 | CONTROL BENCH OF CURVILINE HOLES. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8914347A FR2653874B1 (en) | 1989-11-02 | 1989-11-02 | CONTROL BENCH OF CURVILINE HOLES. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2653874A1 true FR2653874A1 (en) | 1991-05-03 |
| FR2653874B1 FR2653874B1 (en) | 1993-01-22 |
Family
ID=9387010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR8914347A Expired - Fee Related FR2653874B1 (en) | 1989-11-02 | 1989-11-02 | CONTROL BENCH OF CURVILINE HOLES. |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| FR (1) | FR2653874B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6170165B1 (en) * | 1998-06-04 | 2001-01-09 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd | Method and apparatus for measuring a gap |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2614654A1 (en) * | 1987-04-29 | 1988-11-04 | Snecma | Turbine engine axial compressor disc with centripetal air take-off |
-
1989
- 1989-11-02 FR FR8914347A patent/FR2653874B1/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2614654A1 (en) * | 1987-04-29 | 1988-11-04 | Snecma | Turbine engine axial compressor disc with centripetal air take-off |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| WERKSTATTSTECHNIK, ZEITSCHRIFT FUR INDUSTRIELLE FERTIGUNG. vol. 78, no. 3, mars 1988, BERLIN DE pages 165 - 170; WECKENMANN: "BEURTEILUNG DER GENAUIGKEIT VON FORMPR]FGER[TEN " * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6170165B1 (en) * | 1998-06-04 | 2001-01-09 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd | Method and apparatus for measuring a gap |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2653874B1 (en) | 1993-01-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| CD | Change of name or company name | ||
| TP | Transmission of property | ||
| CD | Change of name or company name | ||
| ST | Notification of lapse |
Effective date: 20060731 |