FR2565949A1 - Method and apparatus for adhesively bonding an adhesive tape to a thin article - Google Patents
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Abstract
Description
PROCEDE ET APPAREIL POUR LE COLLAGE D'UN RUBAN ADHESIF
SUR UN OBJET MINCE
La présente invention se rapporte à un procedé pour le collage d'un film adhésif sur la surface d'un objet mince et fragile de forme ronde ou autre, par exemple une pastille de silicium utilisée comme substrat d'un circuit intégré.METHOD AND APPARATUS FOR BONDING AN ADHESIVE TAPE
ON A THIN OBJECT
The present invention relates to a method for bonding an adhesive film to the surface of a thin and fragile object of round or other shape, for example a silicon wafer used as substrate of an integrated circuit.
Sur les figures 8 et 9, une pastille de silicium 1 est représentée comme exemple dsobjet sur lequel un film adhésif 2 est collé au moyen d'une couche adhésive 3 prévue sur sa surface inférieure. Bien que la pastille de silicium 1 représentée sur la figure 8 ait la forme d'un cercle partiellement coupé, elle peut avoir une forme triangulaire, carrée ou polygonale autre. In FIGS. 8 and 9, a silicon wafer 1 is shown as an example of an object on which an adhesive film 2 is bonded by means of an adhesive layer 3 provided on its lower surface. Although the silicon wafer 1 shown in FIG. 8 has the shape of a partially cut circle, it can have a triangular, square or other polygonal shape.
Pour coller un film adhésif sur un objet tel qu'une pastille de silicium, il est de pratique courante de coller un film adhésif large sur l'objet et de déplacer un outil tranchant le long de la périphérie de l'objet, de façon à couper une partie en excès du film adhésif, suivant cette périphérie. Ce procédé connu peut facilement être automatisé si l'objet est circulaire, car il suffit de déplacer l'outil tranchant, concentriquement à l'objet. Toutefois, il est difficile d'automatiser l'opération de coupe si l'objet a la forme d'un cercle partiellement coupé, comme représenté sur la figure 8, ou une forme triangulaire, carrée ou polygonale autre. To stick an adhesive film on an object such as a silicon wafer, it is common practice to stick a wide adhesive film on the object and move a sharp tool along the periphery of the object, so as to cut an excess part of the adhesive film, along this periphery. This known process can easily be automated if the object is circular, since it suffices to move the cutting tool concentrically with the object. However, it is difficult to automate the cutting operation if the object has the shape of a partially cut circle, as shown in Figure 8, or another triangular, square or polygonal shape.
Dans le cas d'une pastille de silicium, son revers doit parfois être revêtu, après collage du film adhésif sur sa face avant. Cette cpération de revetement est accompagnée d'un jet d'eau, par lequel une partie du film adhésif dépassant à la périphérie de la pastille de silicium risque d'etre soulevée et de gener l'opération de revetement. Par contre, si le film adhésif est plus petit que la pastille de silicium et se trouve à l'intérieur de la périphérie de la pastille de silicium, une partie de celle-ci qui dépasse à la périphérie du film adhésif est soulevée par le jet d'eau. La pastille de silicium arriverait à présenter une épaisseur irrégulière si elle était traitée dans de telles conditions. In the case of a silicon wafer, its reverse side must sometimes be coated, after bonding of the adhesive film on its front face. This coating operation is accompanied by a water jet, by which a part of the adhesive film protruding at the periphery of the silicon wafer risks being lifted and generating the coating operation. On the other hand, if the adhesive film is smaller than the silicon wafer and is located inside the periphery of the silicon wafer, part of it which protrudes at the periphery of the adhesive film is lifted by the jet of water. The silicon wafer would happen to have an irregular thickness if it was treated under such conditions.
La présente invention a pour objet un procédé de collage d'un film adhésif sur un objet mince, la périphérie du film adhésif étant alignée avec celle de l'objet
Le procédé pour le collage d'un film adhésif sur la surface d'un objet mince, suivant la présente invention, est caractérisé en ce que des films adhésifs ayant une forme prédéterminée sont collés sur une feuille revêtue d'un agent de décollement, un film adhésif après l'autre étant décollé de la feuille et pressé contre la surface des objets, l'un après l'autre, pour y être collé.The subject of the present invention is a method of bonding an adhesive film to a thin object, the periphery of the adhesive film being aligned with that of the object.
The method for bonding an adhesive film to the surface of a thin object, according to the present invention, is characterized in that adhesive films having a predetermined shape are bonded to a sheet coated with a release agent, a adhesive film after the other being peeled off the sheet and pressed against the surface of the objects, one after the other, to be stuck there.
Comme les films adhésifs sont préalablement découpés à une forme exacte et collés sur la feuille à intervalles réguliers et comme, par pliage de la feuille ou aspiration de chaque film adhésif, un film adhésif après l'autre est décollé de la feuille, le procédé conforme à la présente invention évite d'avoir à couper une partie en excès des films adhésifs après leur collage sur les objets et supprime les inconvénients qui accompagnent habituellement l'opération de revetement. Afin d'obtenir que la périphérie du film adhésif coïncide exactement avec celle de l'objet, il suffit de découper chaque film adhésif à une forme exacte et de le mettre en place exactement, lorsqu'on le colle sur l'objet
L'invention vise également un appareil pour la mise en oeuvre du procédé défini ci-dessus.As the adhesive films are previously cut to an exact shape and glued to the sheet at regular intervals and as, by folding the sheet or suctioning each adhesive film, one adhesive film after the other is peeled off from the sheet, the process conforms to the present invention avoids having to cut an excess part of the adhesive films after they have been bonded to the objects and eliminates the drawbacks which usually accompany the coating operation. In order to obtain that the periphery of the adhesive film exactly coincides with that of the object, it suffices to cut each adhesive film to an exact shape and to put it in place exactly, when glued on the object.
The invention also relates to an apparatus for implementing the method defined above.
La présente invention sera mieux comprise à la lumière de la description de ses modes de réalisation, non limitatifs, représentés sur les dessins annexés, dans lesquels
- la figure 1 est une vue en perspective, partiellement coupée, d'une feuille portant une pluralité de films adhésifs à coller suivant la présente invention;
- la figure 2 est une vue de face, en coupe verticale, d'un mode de réalisation de l'appareil pour la mise en oeuvre du procédé conforme à l'invention;
- la figure 3 est une vue en plan de cet appareil;
- les figures 4 et 5 sont des vues de face, en coupe partielle, à plus grande échelle, d'une partie de l'appareil;
- la figure 6 est une vue de face, à plus grande échelle, d'un autre mode de réalisation de l'appareil pour la mise en oeuvre du procédé conforme à l'invention;;
- la figure 7 est une vue de côté, avec coupe verticale, à plus grande échelle, d'une partie de cet appareil;
la figure 8 est une vue en plan illustrant un exemple d'objet auquel un film adhésif a été appliqué; et
- la figure 9 est une coupe verticale, à plus grande échelle, d'une partie de cet objet.The present invention will be better understood in the light of the description of its non-limiting embodiments, shown in the accompanying drawings, in which
- Figure 1 is a perspective view, partially cut, of a sheet carrying a plurality of adhesive films to be bonded according to the present invention;
- Figure 2 is a front view, in vertical section, of an embodiment of the apparatus for implementing the method according to the invention;
- Figure 3 is a plan view of this apparatus;
- Figures 4 and 5 are front views, in partial section, on a larger scale, of a part of the apparatus;
- Figure 6 is a front view, on a larger scale, of another embodiment of the apparatus for implementing the method according to the invention;
- Figure 7 is a side view, with vertical section, on a larger scale, of a part of this device;
FIG. 8 is a plan view illustrating an example of an object to which an adhesive film has been applied; and
- Figure 9 is a vertical section, on a larger scale, of a part of this object.
On se reporte maintenant à la figure 1. Un agent de décollement est appliqué sur une face d'une feuille 11, sur laquelle des films adhésifs 12 sont collés à intervalles réguliers. Des trous de repérage de position peuvent être poinçonnés dans la feuille 11. Les films adhésifs 12 sont coupés à une forme exacte, dans une bande de film dont une face comporte une couche adhésive. Ils sont collés sur la feuille 11, par l'intermédiaire de la couche adhésive. En variante, une bande de film collée sur la feuille 11 peut être découpée de façon à conserver seulement les parties nécessaires, sous la forme de films adhésifs 12, toutes les parties inutiles étant enlevées. Referring now to Figure 1. A release agent is applied to one side of a sheet 11, on which adhesive films 12 are bonded at regular intervals. Position marking holes can be punched in the sheet 11. The adhesive films 12 are cut to an exact shape, in a film strip, one face of which has an adhesive layer. They are glued to the sheet 11, by means of the adhesive layer. Alternatively, a strip of film glued to the sheet 11 can be cut so as to keep only the necessary parts, in the form of adhesive films 12, all the unnecessary parts being removed.
On se reporte maintenant aux figures 2 et 3. We now refer to Figures 2 and 3.
Un appareil pour la mise en oeuvre du procédé conforme à la présente invention comprend un corps 15, un magasin 17 prévu sur le corps 15 de la machine pour recevoir une pluralité d'objets 16, tels que des pastilles de silicium, empilés de façon à laisser des intervalles réguliers entre les objets adjacents, un mécanisme 19 d'extraction comportant un transporteur 18 à bande sans fin, une poulie 20 entraînée par un moteur (non représenté) pour mettre en mouvement la bande sans fin 18, un berceau 21 placé sous le magasin 17 et prévu pour être abaissé régulièrement pas à pas au moyen d'un élévapeur 22, de manière à distribuer un objet 16, l'un après l'autre, sur le transporteur 18 à bande sans fin, une boite 25 placée sur le côté du corps 15 de la machine, et deux broches 26 et 27 montées sur le côté de la boîte 25.An apparatus for implementing the method according to the present invention comprises a body 15, a magazine 17 provided on the body 15 of the machine for receiving a plurality of objects 16, such as silicon wafers, stacked so as to leave regular intervals between the adjacent objects, an extraction mechanism 19 comprising a conveyor 18 with an endless belt, a pulley 20 driven by a motor (not shown) to set in motion the endless belt 18, a cradle 21 placed under the magazine 17 and intended to be lowered regularly step by step by means of a lifter 22, so as to distribute an object 16, one after the other, on the conveyor 18 with endless belt, a box 25 placed on the side of the body 15 of the machine, and two pins 26 and 27 mounted on the side of the box 25.
La feuille 11 portant les films adhésifs 12 est déroulée de la broche 26, tandis que la feuille 11 d'où les films adhésifs 12 ont été décollés est enroulée autour de la broche 27. The sheet 11 carrying the adhesive films 12 is unwound from the pin 26, while the sheet 11 from which the adhesive films 12 have been peeled is wound around the pin 27.
Un galet de guidage 28 est prévu sur la boite 25 et une pièce de guidage 29 est prévue sous le galet de guidage 28. La feuille 11, déroulée de la broche 26, passe autour du galet de guidage 28 et elle est pliée à angle aigu autour du bord 30 à arête vive de la pièce de guidage 29. Ensuite, la feuille 11 passe entre deux rouleaux de reprise 31 et elle s'enroule autour de la broche 27. A guide roller 28 is provided on the box 25 and a guide piece 29 is provided under the guide roller 28. The sheet 11, unwound from the pin 26, passes around the guide roller 28 and it is folded at an acute angle around the sharp edge 30 of the guide piece 29. Next, the sheet 11 passes between two take-up rollers 31 and it is wound around the spindle 27.
Pour les objets 16 dont le bord comporte une corde 14 pour l'orientation, des moyens de mise en position (non représentés), comprenant une pluralité de tiges tournantes verticales, sont prévus à l'avant du magasin 17. Grace à ces moyens, les objets sont disposes avec la corde 14 de leur bord tournée dans une direction désirée, par exemple vers l'avant. For objects 16, the edge of which includes a cord 14 for orientation, positioning means (not shown), comprising a plurality of vertical rotating rods, are provided at the front of the magazine 17. Thanks to these means, the objects are arranged with the cord 14 of their edge turned in a desired direction, for example forward.
Un dispositif 32 d'aspiration par le vide, qui est un corps creux comportant de nombreux trous d'aspiration dans sa surface supérieure, est placé sous la pièce de guidage 29 et logé dans un châssis 50 (figure 7) présentant une ouverture à son extrémité supérieure. Le dispositif 32 d'aspiration par le vide est relié à une pompe à vide, par l'intermédiaire d'une vanne. A vacuum suction device 32, which is a hollow body having numerous suction holes in its upper surface, is placed under the guide piece 29 and housed in a frame 50 (FIG. 7) having an opening at its upper end. The vacuum suction device 32 is connected to a vacuum pump, via a valve.
On se reporte maintenant aux figures 4 et 5. We now refer to Figures 4 and 5.
Une butée 33, qui peut être montée ou descendue par un vérin pneumatique ou un solénoïde, est prévue à l'avant du dispositif 32 d'aspiration par le vide. Lorsque la butée 33 est dans sa position la plus haute, la bande transporteuse sans fin 18 est mise en mouvement pour amener un objet 16 sur le dispositif d'aspiration 32.A stop 33, which can be raised or lowered by a pneumatic cylinder or a solenoid, is provided at the front of the device 32 for vacuum suction. When the stop 33 is in its highest position, the endless conveyor belt 18 is set in motion to bring an object 16 to the suction device 32.
La bande transporteuse sans fin 18 est arrêtée lorsque la corde 14 du bord de l'objet 16 rencontre la butée 33.The endless conveyor belt 18 is stopped when the cord 14 from the edge of the object 16 meets the stop 33.
Simultanément, le dispositif 32 d'aspiration par le vide commence à aspirer l'objet 16, pour le maintenir en position.Simultaneously, the vacuum suction device 32 begins to aspirate the object 16, to hold it in position.
En fonctionnement, lorsque la broche 27 et les rouleaux de reprise 31 sont entraînés, la feuille 11 est tirée par ceux-ci et elle est pliée à angle aigu par la pièce de guidage 29. A cet instant, le film adhésif 12 est partiellement décollé de la feuille 11. In operation, when the spindle 27 and the take-up rollers 31 are driven, the sheet 11 is pulled by them and it is folded at an acute angle by the guide piece 29. At this instant, the adhesive film 12 is partially peeled off from sheet 11.
Lorsque la corde 13 du bord du film adhésif 12 rencontre la butée 13, elle vient en contact avec la corde 14 du bord de l'objet 16, en alignement correct.When the cord 13 from the edge of the adhesive film 12 meets the stop 13, it comes into contact with the cord 14 from the edge of the object 16, in correct alignment.
On abaisse alors la butée 33 et le dispositif d'aspiration 32 cesse d'aspirer l'objet 16. Puisque la feuille 11 continue à être tirée, le film adhésif 12 avance avec l'objet 16. Ensuite, les bords du film adhésif 12 et de l'objet 16 passent entre deux rouleaux de reprise 35, par lesquels le film adhésif 12 et ltob- jet 16 sont pressés l'un contre l'autre et déplacés vers l'avant, le film étant collé en alignement sur l'objet. The stop 33 is then lowered and the suction device 32 stops sucking the object 16. Since the sheet 11 continues to be pulled, the adhesive film 12 advances with the object 16. Next, the edges of the adhesive film 12 and of the object 16 pass between two take-up rollers 35, by which the adhesive film 12 and the object 16 are pressed against each other and moved forward, the film being glued in alignment with the object.
L'objet portant le film collé est transféré dans un magasin 37, par une bande transporteuse 36.The object carrying the glued film is transferred to a magazine 37, by a conveyor belt 36.
Le magasin 37, qui est semblable au magasin 17, est disposé au-dessus d'un berceau 39 qui peut être monté et descendu au moyen d'un élévateur 38. Le berceau 39 monte d'un pas chaque fois qu'un objet 16, sur lequel un film adhésif 12 a été collé, est transféré dans le magasin 37. The magazine 37, which is similar to the magazine 17, is arranged above a cradle 39 which can be raised and lowered by means of an elevator 38. The cradle 39 rises one step each time an object 16 , on which an adhesive film 12 has been stuck, is transferred to the magazine 37.
Dans un autre mode de réalisation représenté sur les figures 6 et 7, la pièce de guidage 29 comporte une surface supérieure rectiligne et le film adhésif 12 est aspiré et décollé de la feuille 11 au moyen d'un tampon d'aspiration 40 logé dans un châssis 51 qui présente une ouverture à l'extrémité inférieure et qui peut être placé en opposition au châssis 50. Le tampon d'aspiration 40 peut être monté et descendu au moyen d'un élévateur 42, par exemple un vérin pneumatique ou un solénolde monté sous un coulisseau 41. Le coulisseau peut être déplacé vers l'avant et l'arrière le long d'un rail de guidage 43, au moyen d'un vérin pneumatique ou d'une vis d'entraînement. Le tampon d'aspiration 40 est un corps creux qui comporte de nombreux trous d'aspiration dans sa surface inférieure et qui communique avec une pompe à vide, par l'inter médiaire d'une vanne. In another embodiment shown in Figures 6 and 7, the guide piece 29 has a rectilinear upper surface and the adhesive film 12 is sucked and peeled from the sheet 11 by means of a suction pad 40 housed in a chassis 51 which has an opening at the lower end and which can be placed in opposition to the chassis 50. The suction pad 40 can be raised and lowered by means of an elevator 42, for example a pneumatic cylinder or a mounted solenoid under a slide 41. The slide can be moved forwards and backwards along a guide rail 43, by means of a pneumatic cylinder or a drive screw. The suction pad 40 is a hollow body which has numerous suction holes in its lower surface and which communicates with a vacuum pump, via a valve.
En fonctionnement, le tampon d'aspiration 40 est descendu jusqu'à ce qu'il touche le film adhésif 12 collé sur la feuille 11 en déplacement sur la pièce de guidage 29. Ensuite, le film adhésif 12 est aspiré et décollé par le tampon d'aspiration 40. Lorsque la feuille 11 se déplace, le coulisseau 41 se déplace.éga- lement, dans la direction d'une flèche, avec le film adhésif 12 aspiré par le tampon 40. La feuille 11 se déplace dans la direction de la flèche, tandis qu'elle s'enroule autour de la broche 27. In operation, the suction pad 40 is lowered until it touches the adhesive film 12 glued to the sheet 11 moving on the guide piece 29. Then, the adhesive film 12 is sucked and peeled off by the pad suction 40. When the sheet 11 moves, the slide 41 also moves in the direction of an arrow, with the adhesive film 12 sucked by the pad 40. The sheet 11 moves in the direction of the arrow, while it wraps around the pin 27.
Le coulisseau 41 s'arrête lorsque le tampon d'aspiration 40, qui aspire le film adhésif 12, arrive au-dessus du dispositif d'aspiration 32. Pendant ce temps, l'objet 16 a déjà été amené par le transporteur à bande sans fin 18 sur le dispositif d'aspiration 32 et il est maintenu sur celui-ci par sa force d'aspiration. Ensuite, le tampon d'aspiration 40 descend à la position représentée en trait mixte sur la figure 6, de sorte que le film adhésif 12 aspiré par le tampon d'aspiration 40 est collé sur l'objet 16, pa l'intermédiaire de sa couche adhésive. Si cette operation est effectuée avec enlèvement de l'air de la cavité définie par les châssis 50 et 51 superposés, on peut plus sûrement éviter que les bulles d'air et la poussière interferent entre le film adhésif 12 et l'objet 16. The slide 41 stops when the suction pad 40, which sucks the adhesive film 12, arrives above the suction device 32. During this time, the object 16 has already been brought in by the conveyor belt without end 18 on the suction device 32 and it is held thereon by its suction force. Then, the suction pad 40 descends to the position shown in phantom in Figure 6, so that the adhesive film 12 sucked by the suction pad 40 is glued to the object 16, pa through its adhesive layer. If this operation is carried out with removal of the air from the cavity defined by the superimposed frames 50 and 51, it is more surely possible to prevent air bubbles and dust from interfering between the adhesive film 12 and the object 16.
Ensuite, la cavité définie par les châssis 50 et 51 superposés est ramenée du vide à la pression atmosphérique. Le dispositif d'aspiration 32 interrompt également l'application d'une force d'aspiration sur l'objet 16. Puis le tampon d'aspiration 40 est monté d'une certaine distance, tout en maintenant le film adhésif 12 collé sur l'objet 16. Après déplacement du coulisseau 41 jusqu'a ce qu'il arrive au-dessus du transporteur à bande 36, le tampon d'aspiration 40 est descendu pour placer l'objet 16 sur la bande 36. Le tampon d'aspiration cesse alors d'exercer une force d'aspiration sur l'objet 16, ii l'abandonne sur la bande transporteuse 36, monte et revient à sa position initiale, en même temps que le coulisseau 41. Ce mode de réalisation est semblable au premier mode de réalisation, à l'exception de la construction représentée sur les figures 6 et 7. Then, the cavity defined by the superimposed chassis 50 and 51 is brought back from vacuum to atmospheric pressure. The suction device 32 also interrupts the application of a suction force on the object 16. Then the suction pad 40 is mounted a certain distance, while keeping the adhesive film 12 stuck on the object 16. After moving the slide 41 until it arrives above the conveyor belt 36, the suction pad 40 is lowered to place the object 16 on the strip 36. The suction pad stops then to exert a suction force on the object 16, ii leaves it on the conveyor belt 36, rises and returns to its initial position, at the same time as the slide 41. This embodiment is similar to the first mode of construction, with the exception of the construction shown in Figures 6 and 7.
Bien que le film adhésif 12 soit représenté à une dimension plus petite que l'objet 16, il est pré férable que la dimension effective du film adhésif 12 coïncide sensiblement avec celle d'une pastille de si licium. Although the adhesive film 12 is shown in a smaller dimension than the object 16, it is preferable that the effective dimension of the adhesive film 12 substantially coincides with that of a silicon wafer.
Il est entendu que des modifications de détail peuvent être apportées dans la forme et la mise en oeuvre du procédé suivant-l'invention, sans sortir du cadre de celle-ci. It is understood that modifications of detail can be made in the form and the implementation of the process according to the invention, without departing from the scope thereof.
Claims (6)
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| FR8409374A FR2565949B1 (en) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | METHOD AND APPARATUS FOR BONDING AN ADHESIVE TAPE ON A THIN OBJECT |
Applications Claiming Priority (1)
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| FR8409374A FR2565949B1 (en) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | METHOD AND APPARATUS FOR BONDING AN ADHESIVE TAPE ON A THIN OBJECT |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2565949A1 true FR2565949A1 (en) | 1985-12-20 |
| FR2565949B1 FR2565949B1 (en) | 1986-11-21 |
Family
ID=9305049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR8409374A Expired FR2565949B1 (en) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | METHOD AND APPARATUS FOR BONDING AN ADHESIVE TAPE ON A THIN OBJECT |
Country Status (1)
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