FR2482296A1

FR2482296A1 - Transducteur de pression

Info

Publication number: FR2482296A1
Application number: FR8105330A
Authority: FR
Inventors: Takeshi Yoshida; Hiroshi Miyata; Hiroyasu Takahashi
Original assignee: Hokushin Electric Works Ltd
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1980-03-17
Filing date: 1981-03-17
Publication date: 1981-11-13
Also published as: FR2482296B1; DE3110295A1

Abstract

DANS LE TRANSDUCTEUR DE PRESSION DE L'INVENTION, UNE CHAMBRE DE DETECTION 2 EST PLACEE AU CENTRE DU CORPS 1 D'UN CAPTEUR DE PRESSION ET EST REMPLIE D'UN LIQUIDE. UNE ELECTRODE MOBILE 12 A STRUCTURE EN PORTE A FAUX EST DISPOSEE DANS LA CHAMBRE, TANDIS QU'UN TROU PASSANT 7, 8 S'ETEND DE LA CHAMBRE A AU MOINS UN COTE DU CORPS. UN ELEMENT 5, 6 DE RECEPTION DE PRESSION SE TROUVE AU MOINS D'UN COTE DU CORPS, ET UNE TIGE 16, 17 COUPLE L'ELEMENT DE RECEPTION DE PRESSION ET L'ELECTRODE MOBILE PAR L'INTERMEDIAIRE DU TROU PASSANT. LES ELECTRODES FIXES 13, 14 A STRUCTURE EN PORTE A FAUX SONT DISPOSEES DE PART ET D'AUTRE DE L'ELECTRODE MOBILE AFIN DE FORMER AVEC CELLE-CI UN PREMIER ET UN DEUXIEME ELEMENT A CAPACITE VARIABLE C, C. LE TRANSDUCTEUR DE L'INVENTION PRODUIT UN SIGNAL DE SORTIE EN FONCTION DES CAPACITES ET N'EST PAS AFFECTE PAR LES VARIATIONS DE TEMPERATURE OU LES DEFORMATIONS MECANIQUES.

Description

La présente invention concerne un transducteur de pression permettant d'obtenir un signal électrique correspondant à une pression au moyen d'éléments à capacité variable dont les impédances varient en fonction d'un déplacement correspondant à la pression.

Un transducteur de pression différentiel du type à capacité selon la technique antérieure est par exemple décrit dans le brevet japonais n0 23 916/74. Dans le capteur de pression qui y est décrit une cellule se divise en deux pièces métalliques sur chacune desquelles est formée une pellicule métallique par l'intermédiaire d'un isolant, tandis qu'un diaphragme capteur formant une plaque de condensateur est maintenu par les deux pièces métalliques en méme temps que les pellicules métalliques Lorsque des pressions sont appliquées aux diaphragenes de réception de pres sion placés des deux cotes du corps du capteur de pression le diaphragme capteur se déplace et provoqua des variations des capa cites d'un premier et d'un deuxième élément à capacité variable formés entre le diaphragme capteur et les pellicules métalliques.

A partir de ces variations de capacité il est obtenu un signal électrique correspondant à la pression.

Un exemple de circuit convertisseur de la technique anterieure utilisé avec un tel capteur de pression est par exemple décrit dans le Modèle d'Utilite japonais n" 21 643/72. Le circuit convertisseur qui y est proposé utilise un oscillateur produisant un signal de courant alternatif dont l'amplitude est commandée par une unité de commande, ce signal de courant alternatif etant appliqué aux premier et deuxième éléments a capacité variable d'un capteur de pression tel que celui décrit ci-dessus.Une tension de sortie proportionnelle à la différence entre les courants passant dans les elements à capacité variable est obtenue au moyen de deux éléments redresseurs respectivement connectés aux éléments à capacité variable suivant des polarités inverses et d'un circuit de filtrage, Dans le même temps, une tension proportionnelle à la somme des courants est produite et est comparee à une tension de référence. La tension de différence résultante est renvoyee à l'unité de commande. Par une sélection appropriee des valeurs des el8ments de circuit, il est obtenu un signal correspondant au rapport entre la différence et la somme des capacités des premier et deuxième éléments.

Les capteurs de pression du type a capacite de la technique antérieure mentionnés ci-dessus utilisent un diaphragme plat comme diaphragme capteur et le maintiennent entre les deux pièces métalliques. Toutefois, ce capteur de pression est susceptible de se déformer thermiquement en raison de l'existence d'une différence entre les coefficients de dilatation du corps du capteur et du diaphragme capteur. De plus, il est soumis à une deformation mécanique. lorsqu'on le serre dans son ensemble. au moyen d'éléments d'ajustement De plus, le corps du capteur est composé de deux pièces métalliques distinctes qui doivent être soudées ensemble alors que le diaphragme capteur est maintenu entre elles, et ceci entrasse un coat de fabrication élevé.

Le circuit convertisseur de la technique antérieure est insuffisant en ce que son signal de sortie est modifié par les variations de la temperaturé ambiante. Ainsi, les éléments redres saurs utilisés dans le circuit convertisseur peuvent avoir des caractéristiques de temperature differentes, de sorte que le signal de sortie est affecté par ces différences de caractéristiques. De plus, dans le circuit convertisseur classique décrit ci-dessus, les courants qui passent dans les éléments a capacité variable peuvent être regulés une valeur constante, ce qui rend le montage du circuit fort complexe.

C'est pourquoi l'invention a pour objet de proposer un transducteur de pression comportant un capteur de pression exempt des défauts mentionnés ci-dessus de la technique anterieure, simple a construire et non sensible aux influences de déformations thermiques et mécaniques.

Un autre but de l'invention est de proposer un transducteur de pression dont le circuit convertisseur peut amplifier de manière stable un signal électrique mesure par le capteur de pression et transmettre le signal amplifié a un instrument recepteur.

Un autre but de l'invention est de proposer un transducteur de pression comportant un capteur de pression dans lequel les éléments a capacité variable sont montés de manière simple et leurs électrodes sont conduites à l'extérieur du corps du capteur tout en étant électriquement isolées de celui cil
Une première particularité structurelle de l'invention réside en l'utilisation d'un capteur de pression de type a capacité dans lequel un premier élément en porte à faux formant une plaque de condensateur est disposé dans une chambre de détection du corps du capteur, un trou passant est formé dans le corps du capteur et s'étend de la chambre de détection jusqu'S un coté, ou les deux cotes, du corps, un diaphragme de réception réception de pression monté sur l'une des surfaces latérales ou les deux, du corps du capteur est couplé à l'élément en porte à faux pâr l'intermédiaire d'une tige, et une deuxième et une troisième plaque de condensateur fixes à structure an porte à faux sont disposées des deux côtés du premier élément en porte à faux.

Une deuxième particularité structurelle de l'invar tion réside an l'utilisation combinée du capteur de pression du type capacité décrit ci-dessus et d'un circuit convertisseur dans lequel un premier et un deuxième élément à capacité variable formés par lesdites plaques de condensateur indiquées ci-dessus sont alternativement connectes, par l'intermédiaire d'un dispositif de commuta- tion, à un circuit oscillant qui produit des signaux variables dans le temps correspondant aux dépendances des premier et deuxième éléments à capacité variable3 tandis qu'un signal correspondant au rapport entre la différence et la somme des signaux de fréquence en est déduit.

Une troisième particularité structurelle de l'invention réside en ce que le premier, le deuxième et le troisième élément en porte à faux indiqués ci-dessus sont fixés par une garniture de verre d'un capuchon de fermeture destiné à retenir de manière étanche un liquide dans la chambre de detection du corps du capteur, de telle manière que les éléments en porte à faux soient électriquement isolés les uns des autres.

De plus, salon l'invention, les diverses erreurs propres aux mesures sont bien compensées à l'aide de légères modifications.

La description suivante, conçue à titre d'illustration de l'invention, vise donner une meilleure comprehension de ses caractéristiques et avantages ; elle s'appuie sur les dessins annexés, parmi lesquels
- la figure 1 est une vue en perspective montrant un capteur de pression du type a capacité selon l'invention
- la figure 2 est une vue en coupe prise suivant la ligne A-A de la figure 1
- les figures 3(a) et 3(b) sont des vues de face d'une électrode mobile et d'une electrode fixe, telles qu'on peut les observer depuis les côtés des diaphragmes de réception de pression
- la figure 4 est une vue agrandie partielle montrant la relation existant entre l'électrode mobile et chaque dlectrode fixe
- les figures 5 et 6 sont des schémas simplifies montrant un exemple particulier d'une technique de compensation des variations des signaux de sortie qui sont dues a une différence entre les aires effectives des diaphragmes de réception de pression
- la figure 7 est un schema de principe illustrant un citcuit convertisseur pouvant commodément être utilise avec le capteur de pression du type 9 capacité de l'invention ;;
- la figure 8 est un schéma de circuit montrant un exemple particulier de circuit convertisseur
- la figure 9 est un schéma temporel explicatif du fonctionnement du circuit convertisseur de la figure 8
- les figures 10(a) et 10(b) sont des vues en coupe montrant des parties principales d'autres modes de réalisation de l'invention ;
- les figures li et 12 sont des vues en coupe montrant des parties principales d'autres modes de réalisation selon l'invention ; et
- les figures 13(a) et 13(b) sont respectivement une vue latérale et une vue de face d'une électrode fixe modifiée selon l'invention
Sur la figure 1, est présentee une vue en perspective montrant un capteur de pression du type à capacité destine à être utilisé dans le transducteur de pression de 19invention, tan dis que la figure 2 est une vue en coupe prise suivant la ligne A-A de la figure 1.

Comme on peut le voir sur les figures 1 et 2, le numéro de référence 1 designe un corps cylindrique fait en métal.

Le corps 1 comporte un trou 2 s'étendant de sa surface périphérique jusqu'à son centre et formant une chambre de détection, ainsi qu'un trou 3 s'étendant au travers du trou 2 à angle droit de celui-ci et permettant le montage de divers éléments dans le corps 1 On ferme hermétiquement le trou 3 par un obturateur 4 du même métal que le corps l après assemblage (voir figure 1). Sur les deux surfaces laterales du corps 1, il existe des ondulations ayant la même confit guration que des diaphragmes 5 et 6 de réception de pression qui sont montés sur les surfaces latérales Des trous 7 et 8 sont formés dans le corps 1 et s'étendent des centres des ondulations jusqu'a la chambre de détection.

Le numéro de référence 9 désigne un boiter cylin- dorique en métal dans lequel sont montés des éléments de mesure tels que des plaques de condensateur ou des éléments analogues. Le bottier 9 comporte un trou passant 10 qui communique avec la chambre de détection 2 existant dans le corps l. Un tube 11 ayant sensiblement la forme d'une cuvette s'ajuste dans l'ouverture supérieure du trou passant 10 a la manière d'un capuchon de flanc.Le tube 11 contient une plaque de condensateur 12 faisant fonction d'électrode mobile et un couple de plaques de condensateur opposees 13 et 14 faisant fonction d'électrodes fixes qui sont disposées des deux cotés de la plaque de condensateur 12 a égales distances. Ces plaques de condensateur sont maintenues par du verre 15 remplissant le tube ll et sont isoles les unes des autres. Les électrodes peuvent être faites en métal ou être réalises par évaporation d'un métal sur la surface d'un element en verre, en ceramique ou en un matériau analogue.

On va maintenant décrire de façon plus détaillée la relation existant entre l'électrode mobile 12 et les electrodes fixes 13 et 14. Les figures 3(a) et 3(b) sont des vues de face de l'électrode mobile 12 et des electrodes fixes 13 et 14, considérées respectivement depuis les côtes des diaphragmes 5 et 6 de reception de pression.Par exemple, comme cela est montré de manière quelque peu exageree sur le schéma agrandi de la figure 4, l'électrode fixe 13 (ou 14) est disposée relativement a l'électrode mobile 12 de telle manière que l'espace qui les sépare augmente en direction de l'extré- mite inférieure de l'électrode fixe si bien que le rapport de l'intervalle initial les séparant à l'écartement pris par l'électrode mobile 12 est maintenu constant sur toute la longueur de ltelec- trode fixe. Ceci assure que l'écartement de l'électrode mobile 12 sous l'effet d'une difference de pression et le signal de sortie résultant sont dans une relation linéaire.Aux bases de l'électrode mobile 12 et des electrodes fixes 13 et 14 sont respectivement connectés des fils 12a, 13a et 14a qui sont isolés vis-à-vis du corps 1 du capteur et conduisent a l'extérieur de celui-ci.

L' électrode mobile 12 est couplée aux diaphragmes 5 et 6 de réception de pression par l'intermédiaire respectif de tiges 16 et 17, ainsi que cela va être expliqué ci-après. On soude respectivement les tiges 16 et 17 en avant des centres des diaphragmes 5 et 6 de reception de pression, et on les insère dans la chambre de détection 2 par les trous 7 et 8 lors du montage sur le corps 1 des diaphragmes 5 et 6 de réception de pression. L'extrémité de l'électrode mobile 12 porte, par l'intermédiaire d'un isolant, un bossage métallique 18 destiné a la fixation des tiges 16 et 17. On guide les extrémites libres des tiges 16 et 17 jusque dans le bossage 18, grille au trou 3 forme dans le corps 1, et on les soude au bossage 18 à l'aide d'un moyen de soudage insdré par le trou 3.

Ensuite, on applique l'obturateur 4 dans le trou 3 de manière à le fermer hermetiquement.

On remplit la chambre de detection 2, le trou 10 et les autres espaces au moyen d'un liquide incompressible, et on fixe des deux cotés du corps 1 des éléments d'ajustement 19 et 20, ainsi que cela est indiqué sur la figure 2 par les lignes en trait interrompu.

Quant au verre 15 qui est utilise pour remplir le tube 11, on peut faire usage dlun verre au plomb à bas point de fusion qui présente une température d'application étanche de 500 C par exemple et un coefficient de dilatation d'environ 7 x 10-6 ( C) D
On utilise un tel verre pour empêcher que la souplesse de l'électrode mobile 12 et des électrodes fixes 13 et 14 ne soit detruite par la chaleur produite pendant l'application de fermeture étanche. Le tube ll est par exemple constitué en un matériau du type fer-nickel dont le coefficient de dilatation est un peu supérieur à celui du verre 15.Ceci assure que, aux températures inférieures à la tempe rature d'application d'étanchéité du verre 15, une force de compression est toujours appliquée du tube ll au verre 15 de manière à sta- biliser la fixation des électrodes et à accroître l'étanchéité de la chambre de détection vis-à-vis du liquide d'étanchéité.

Puisqu'on maintient les deux électrodes fixes et l'électrode mobile disposee entre elles en remplissant de verre la capuchon d'étanchéité, les électrodes sont retenues aisément. En particulier, lorsqu'on utilise un verre à bas point de fusion, il est possible de mettra en place les électrodes sans détruire leur élasticité. En choisissant le coefficient de température du capuchon dQe.ancheite de façon qu'il soit un peu supérieur au coefficient de température du verre, on peut accroRtre la résistance de fixation des électrodes et l'étanchéité de la chambre de détection vis-à- vls du liquide qu'elle enferme.

On va maintenant donner une description du fonction nement du capteur de pression du type à capacité selon l'invention présentant un agencement tel que celui décrit ci-dessus. Lorsqu'on applique des pressions P1 et P2 aux diaphragmes de réception de pression 5 et 6 de manière que l'électrode mobile 12 se déplace sous l'effet d'une différence de pression, les distances entre l'électrode mobile 12 et les électrodes fixes 13 et 14 varient, si bien que les capacités C1 et C2 qui leur sont associees varient differentiellement.

De façon générale, un circuit convertisseur se trouvant dans l'appareil en aval du capteur de pression produit, comme signal de sortie correspondant à la différence de pression, un signal électrique qui est proportionnel à (C1 - C2)/(C1 + C2).

Pour obtenir un signal de sortie présentant une relation linéaire vis- -vis de la difference de pression, il est toutefois necessaire de placer les électrodes de manière que les capacites C1 et C2 respectivement associées à l'électrode mobile 12 et a chacune des électrodes fixes 13 et 14 puissent soutenir une telle relation, ainsi que cela a été indique ci-dessus.

On appelle Do la distance séparant l'électrode mobile 12 de l'électrode fixe 13 au niveau de la pointe de cette dernière dans le cas où aucune pression n'est appliquée, on appelle E le déplacement de l'électrode mobile au niveau de la pointe de l'électrode 13, on appelle do l'espace existant entre l'électrode 12 et l'électrode 13 en une position donnée dans le cas où aucune pression n'est appliquez, et on appelle e le depla- cement de l'électrode mobile au niveau de la position donnée, ainsi que cela est représente sur la figure 4.En disposant l'électrode fixe 13 relativement à l'électrode mobile 12 de telle manière que le rapport de l'intervalle les separant au déplacement de l'élec- trode mobile en l'absence de pression appliquée est toujours constant en toute position de toute la longueur de l'électrode fixe 13, on obtient la relation suivante
e(s) E v Do D (1) < 1) où S est l'aire de l'électrode.

La capacite C1 relative a l'électrode mobile 12 et à l'électrode fixe 13 peut être obtenue à partir de l'expression suivante

où S est l'aire de l'electrode, 60 est la constance diélectrique du vide et & est la capacité inductive specifique du liquide enfermé.

L'expression (2) peut être réécrite a l'aide de l'expression (1) de la manière suivante

où K est une constante.

De la même manière, la ca pacité C2 relative à l'électrode mobile 12 et à l'électrode fixe 14 peut être obtenue à partir de l'expression suivante

Si l'on remplace C1 et C2 par les expressions (3) et (4) dans la formule (C1 - C2)/(C1 + C2), on obvient

Puisque D est une constante et que E est une valeur proportionnelle h une différence de pression, le signal de sortie est proportionnel à la différence de pression. Par conséquent, il n'est pas nécessaire dans ce cas d'effectuer une compensation à l'aide d'non circuit électrique pour obtenir une linéarité du signal de sortie.

Dans la but de miniaturiser un tel capteur de pression du type à différence de pression, on note que de légères dif férences entre les airas effectives et les constantes d'élasticité des diaphragmes 5 et 6 produisent des variations non négligeables du signal de sortie. Ainsi, la pression interne est modifiée par une variation du volume du liquide enfermé résultant d'une variation de température > si bien que ltelectrode mobile 12 couplée aux dia- phragmes 5 et 6 par l'intermédiaire des tiges 16 et 17 se déplace dans un sens et produit une variation du signal de sortie.

Une technique permettant de compenser ces variations du signal de sortie resultant des différences des aires affectives et d'autres facteurs analogues des diaphragmes de réception de pression consiste à réduira l'épaisseur des diaphragmes. Toutefois, ceci limite l'application du dispositif. Une-technique connue, qui ne présente pas ce défaut, consiste par exemple, comme le montre la figure 5, a compenser la différence des forces appliquées aux deux diaphragmes 21 et 22 en décalant le point d'application de la force sur une barre 23.Avec cette technique, on prévoit un element de serrage 26 permettant de fixer les tiges 24 et 25 des diaphragmes 21 et 22 à la barre de manière à pouvoir tourner dans le sens des flèches. I1 y a donc ajustement du point d'application par suite de la rotation progressive de l'clament de serrage 26.

Dans le capteur de pression du type à capacité selon l'invention, les diaphragmes 5 et 6 et l'électrode mobile 12 sont interconnectés par les tiges 16 et 17 et, dans ce cas, il est possible d'effectuer la compensation décrite ci-dessus au moyen d'un élément de serrage rotatif 26 tel que celui présenté sur la figure 5.

Néanmoins, on obtiendra des resultats identiques à ceux du montage de la figure 5 d'une manière plus aisée en incurvant les tiges 16 et 17 de la manière schématiquement presentée sur la figure 6.

On va maintenant donner une description, en relation avec la figure 7, d'un circuit convertisseur pouvant commodément être utilise avec le capteur de pression de l'invention. Le bloc 27, defini par une ligne en trait mixte correspond au capteur de pression du type capacité décrit sur les figures 1 et 2. Le numéro de référence 27a indique un premier élément à capacité variable formé par llalectrode fixe 13 et l'électrode mobile 12, tandis que le numéro de référence 27b désigne un deuxième élément à capacité variable formé par l'électrode fixe 14 et l'électrode mobile 12.

Le bloc 28 en trait mixte est un dispositif de commutation constitue de deux commutateurs 28a. et 28b s'ouvrant et se fermant alternativement de manière complémentaire. Le numéro de référence 29 désigne un oscillateur du type à fréquence variable qui est connecté alter- nativement aux éléments 27a et 27b à capacité variable par l'inter radiaire du dispositif de commutation 28 et de façon a produire un premier et un deuxième signal de fréquence fl et f2 correspondant aux variations d' impédance des éléments 27a et 27b à capacite variable en fonction de l'action de commutation du dispositif 28.Le numéro de référence 30 désigne une unité arithmetique qui compte un certain nombre d'impulsions et de cycles pour chacun des premier et deuxième signaux de fréquence fl et f2 de l'oscillateur 29 a fréquence variable et produit en réponse un signal représentant le rapport entre la difference et la somme de ces signaux de fréquence. Le numéro de référence 31 représente une unité de sortie qui délivre le signal de l'unité arithmétique 30 après amplification.

Avec ce type de montage, les premier et deuxième éléments à capacité variable 27a et 27b sont alternativement connectés, via les commutateurs 28c et 28b, à lloscillateur 29 à fréquence variable selon les périodes de marche des commutateurs 28a et 28b. Les périodes de fermeture des commutateurs 28a et 28b seront ci-après appelées respectiment la première et la deuxième période.Au cours de la première peiode, l'oscillateur à fréquence variable 29 produit le premier signal de fréquence fl correspondant à la. capacité C1 du premier élément à capacité variable 27a, tandis que, dans la deuxième période, l'oscilateur 29 produit le deuxième signal de fréquence f2 correspondant à la capacité C2 du deuxième élément à capacité variable 27b.Si l'on fait appel; comme oscillateur à fréquence variable 29, à un oscillateur qui produit des signaux dont les fréquences sont inversement proportionnelles aux capacités C1 et C2 des premier et deuxième éléments à capacité variable 27a et 27b, las fréquences fl et 2 des premier et deuxième signaux de fréquence sont données par f1 = k/Cl et f2 = k/C2 respecvivement. L'unité arithmétique 30 délivre à l'unité de sortie 31 des signaux de coefficient d'utilisation respectivement associés aux fréquences f1 et f2 de la première et de la deuxième période.

L'unité de sortie 31 reçoit les signaux de l'unité arithmétique 30 de manière à produire un signal analogique D dont le valeur est proportionnelle à (f1 = f2)/(fl f2)
La figura 8 illustre un montage particulier du circuit convertisseur selon l'invention décrit schématiquement sur le figure 7. Sur le figure 8, les éléments qui correspondent à des éléments de la figure 7 sont désignes par les mêmes numéros de référence et ne seront donc pas une nouvelle fois décrits.Les symboles de référence Q1 et Q2 désignent des commutateurs à transistors à effet de champ du type MOS complémentaires appartenant au dispositif de commutation 28. Les électrodes fixes 13 et 14 sont connectées à une borne d'entrée 29a de 1'oscillateur 29 à fréquence variable par l'intermédiaire des commutateurs Q1 et Q2 respectivement tandis que l'électrode mobile 12 est connectée à l'autre entrée 29b de l'oscillateur 29.

L'oscillateur 29 à fréquence variable est forme par exemple d'un oscillateur à resistance et capacité qui comporte un amplificateur d'inversion à transistors à effet de champ de type
NOS complémentaires comprenant les transistors a effet de champ Q3 et Q4 et un amplificateur d'inversion à transistors à effet de champ de type MOS complementaire comprenant les transistors à effet de champ Q5 et Q6.Dans l'exemple de la figure 8, le borne d'entrée 29a est connectée à une source et un drain des transistors à effet de champ Q5 et Q6, tandis que la borne d'entrée 29b est connectée aux premières grilles des transistors à effet de champ Q3 et Q4 et est connectée via une résistance R à une source et un drain des transistors à effet de champ Q3 et Q4 et aux premières grilles des transistors à effet de champ Q5 et Q6. Les sources et les deuxièmes grilles des transistors Q3 et Q5 sont connectées à une source d'alimentation électrique positive +E, et les drains et les deuxièmes grilles des transistors à effet de champ Q4 et Q6 sont connectés à une source d'alimentation électrique négative -E.Le point de connexion entre les transistors à effet de champ Q5 et est connecte å une borne de sortie 29c à laquelle sont produits le premier et le deuxième signal de fréquence à destination de l'unité arittmétique 30 en synchronisation avec l'ouverture et la fermeture des commutateurs-Ql et Q2. La fréquence d'oscillation de l'oscillateur à fréquence variable 29 depend des valeurs des capacités electrostatiques C1 et C2 des premier et deuxième éléments a capacité variable 27a et 27b connectés entre les bornes d'entree 29a et 29b.

L'oscillateur 29 produit le premier et le deuxième signal de fre- quence en correspondance avec les inverses des constantes de temps qui sont déterminées par les capacités électrostatiques C1 et C2 et la valeur de la résistance R.

L'unité arithmétique 30 comporte un compteur Q7 d n bits (n étant un entier positif) et des portes de commutation à transistors à effet de champ du type MOS complémentaires Q8 et 99.

Le signal de sortie relatif au bit le plus significatif du compteur Q7 est fourni à la grille de chacun des commutateurs à transistors à effet de champ Q1 et Q2 du dispositif de commutation 28 et est délivré à une première grille de chacun des commutateurs à transistors à effet de champ de type MOS complémentaires Q8 et Q98.

Une source et une deuxième grille du commutateur Q8 sont connectées à la source d'alimentation électrique positive +E, et un drain et une deuxième grille du commutateur Q9 sont connectés à la source d'alimentation electrique négative -E. Les drains et les sources des commutateurs Qd et Qg sont respectivement interconnectes, et le point de connexion est connecte a un circuit de filtrage qui est constitué de résistances R1 et R2 et de condensateurs C3 et C4.

Avec un tel montage, lorsque le signal de sortie du compteur Q7 de l'unité arithmétique 30 se trouve au niveau zéro, le commutateur Q8 et la commutateur Q1 du dispositif de commutation 28 restant dans l'état conducteur. Dans cet état, le premier signal de fréquence f1' qui est associé à l'inverse de la constante de temps déterminée par le condensateur C1 du capteur 27 et la résistance R de l'oscillateur 293 est applique à une psrte de cadencement CL du compteur Q7.Ensuite, lorsque le comptage effectué dans le compteur Q7 a progresse de manière que le signal de sortie est passé sur un niveau "1", le commutateur Q8 est rendu non conductueur, le commutateur Qg est rendu conducteur, et les commutateurs Q1 et Q2 du dispositif de commutation 28 sont respectivement placés dans l'état non conducteur et l'etat conducteur.Dans ces conditions, le deuxième signal de fréquence f qui est détermine en fonction de l'inverse de la constante de temps forme par la capacite C2 du capteur 27 et la résistance R de l'oscillateur 29, est fourni à la porte de cadencemcnt CL du compteur Q7. Lorsque le comptage effectué par le compteur Q7 a de nouveau progressé de façon que son signal de sortie soit revenu sur le niveau zero, le comptage du premier signal de fréquence reprend. De cette manière, les première et deuxième fréquences sont comptées alternativement l'une après l'autre par le compteur Q7.

La figura 9 est un schema temporel explicatif du fonctionnement du circuit convertisseur de la figure 8. Sur la figure 9, A represente les signaux de frequence qui sont produits à la borne de sortie 29c de l'oscillateur 29 à fréquence variable, et B représente les formes d'onde de sortie qui sont délivrées via les commutateurs Q8 et Q9 de l'unité arithmétique 30. Ainsi, le compteur Q7 compte le premier et le deuxième signal de frequence fl et f2 par tranches de N (qui est le nombre compté complet du compteur Q7), puis change l'état du bit le plus significatif.Par conséquent, le temps T1 pendant lequel le premier signal de fréquence est produit est donné par T1= N/fl et le temps T2 pendant lequel le deuxième signal de fréquence est produit est donné par T2 = N/f2.

I1 s'ensuit que le premier et le deuxième signal de fréquence sont alternativement obtenus de l'oscillateur à frequence variable 29, comme cela est indiqué par A sur la figure 9.

Dans l'unité arithmetique 30, les commutateurs Q8 et
Q9 sont respectivement rendus conducteurs pendant les périodes de temps T1 et T2, ce qui produit un signal de coefficient d'utilisaton qui prend alternativement les tensions +E et -E pendant les périodes
T1 et T2, comme cela est montré par B sur la figure 9.Le signal de sortie est filtré par le circuit de filtrage constitue des résis- tances R1 et R2 et des condensateurs C3 et C4, ce qui produit la sortie de l'unité arithmetique 30 le signal D proportionnel à (f1 - f2)/(fl + f2). Ainsi, puisque le potentiel filtre VB du circuit de filtrage a la valeur moyenne de la forme d'onde de sortie B de la figure 9, il s'ensuit que

A l'aide des relations T1 = N/fl et T2 = N/f2, on peut obtenir la tension suivante

Cette tension est appliquée à un transmetteur à deux fils, indique par le bloc 3Ia en trait mixte de l'unité de sortie 31, lequel transmetteur délivre un signal de courant. Ce montage est connu en lui-même et, dans ce montage, les bornes de sortie 31b et 31c servent de bornes de source d'alimentation électrique et de bornes de sortie de signal en commun. Le symbole de référence Q10 designe un transducteur à effet de champ formant un dispositif à courant constant, et ZD désigne une diode qui produit les tensions constantes E et -E à destination de l'unité de sortie 31, du dispositif de commutation 28, de l'oscillateur à fréquence variable 29, et de l'unité arithmétique 30.A une borne de non-inversion d'un amplificateur opérationnel Q11 > est appliquée la tension filtrée VB mentionnée ci-dessus, et a une borne d'inversion, est appliquée la tension que l'on obtient en divisant les tensions constantes +E et E par les résistances R3, R4 et R5. Le signal de sortie de l'amplificateur opérationnel Qll est utilise comme signal d'attaque pour un transistor de sortie Q12 afin de commander le courant de sortie present sur les bornes de sortie 31b et 31c. Une résistance R6 fait fonction de résistance de réaction et est connectée entre la transistor de sortie Q12 et la borne de sortie 3lc.La tension.de reaction produite par le résistance de réaction R6 est négativement renvoyée de telle manière à être soustraite de la tension filtrée VB, ce qui permet de commander le courant de sortie. De cette manière, un signal de courant ayant une valeur proportionnelle a la tension filtrée est produit entre les bordas de sortie 31b et 31c.

Le transducteur de pression décrit ci-dessus selon l'invention fonctionne bien. Toutefois, dans le cas où une pression statique à mesurer dépassant 100 kg/cm (soit 9,81 x 10-2 Pa), par exemple est appliquée au liquide incompressible, par exemple une huile de silicone, qui remplit la chambre de détection 2, il est prG érable de compenser les erreurs qui sont dues à une légère comprend sion de la chambre de détection 2. Si l'huile de silicone est comprimée jusqu'au point de réduire son volume, les diaphragmes de réception de pression 6 se déforment, ce qui altère la précision de mesure et la gamme de mesure. Pour permettre cette compensation, d'autres modes de réalisation ont été conçus et ils vont être décrits en relation avec les figures 10(a) et 10(b), qui presentent respectivement les parties principales des transducteurs de pression.

Pour des capacités C1 et C2 mesurées en l'absence de
2 pression, lorsqu on applique une pression statique d'environ 100 kg/cm au liquide enfermé dans la chambre de detection 2, les capacités C1 et C2 diminuent respectivement de #C1 et AC2, c'est-à-dire que les distances entre électrodes augmentent. Dans un tel cas, il est préfé- rable d'effectuer une compensation des différentes t C1 et ig C2.

Par conséquent, selon l'invention, ainsi que cela est montre sur la figure 10(a), l'épaisseur d'une partie terminale interne lla du tube 11 est plus petite que l'épaisseur de la partie terminale externe llb du tube de façon que la pression statique puisse être appliquée à la partie lla, ainsi que cela est indique par les flèches A. Ainsi, d'une manière correspondant aux différences et ,SC2, les électrodes 13 et 14 écartées sont correctement rapprochées ainsi que cela est indiqué par la ligne en trait interrompu de la figure 10(a).

Inversement, si l'écartement entre les électrodes diminue du fait de la haute pression statique indiquee ci-dessus, c'est-à-dlre si les capacités C1 et C2 augmentent de AC1 et il est préférable que l'épaisseur d'une partie intermediaire llc du tube soit plus petite que l'épaisseur de la partie terminale interne lla et que la partie terminale externe llb, comme le montre la figure 10(b). Ainsi, la pression statique élavée est appliquée à la partie intermédiaire llc, comme cela est indiqué par les flèches B de la figure 10(b). On peut déterminer l'épaisseur du tube (11) en estimant les différences de capacite qui sont dues à la pression statique élevée pour laquelle le transducteur est utilisé.

En relation avec les figures lli et 12, on va maintenant décrire un autre mode de réalisation. Sur les figures 11 et 12, est présenté un dispositif de détection de deplacement destine à être utilisé dans le transducteur de pression selon l'invention.

Dans le transducteur de pression, il est préférable de compenser les erreurs qui sont dues aux variations de temperature, lesquelles affectent principalement la constante d'élasticité de l'électrode mobile 12 et la constante d'élasticité des diaphragmes de réception de pression 5 et 6. Ces facteurs conduisant directement à une variation de l'écartement, c'est-à-dire à des erreurs de mesure.

Sur la figure 11, de la même manière que dans le mode de réalisation précédent, le tube 11 est rempli de verre 15, mais le tube 11, comportant substantiellement un manchon annulaire, est fait d'un métal tel que le "Kovar", qui a le même coefficient de dilatation que le verre. Une partie saillante en forme d'anneau lia est prevue à la partie terminale extérieure du tube 11, la partie saillante île entourant des parties des électrodes 12, 13 et 14.

Dans ce mode de réalisation particulier, les électrodes 12, 13 et 14 sont implantées au voisinage immédiat de la partie terminale du tube il.

Le tube 11 est inséré dans le boîtier 9 de façon à le fermer hermétiquement, ou bien celui est soudé. On choisit de pré- régence le matériau destiné à former le bottier 9 de façon que son coefficient de dilatation thermique soit inférieur à celui du tube métallique il et du verre 15. A cet effet, on choisira par exemple l"'Invar" comme materiau-pour le bottier 9.

Dans le dispositif de détection de déplacement ainsi conçu, plus la partie est élavée, plus la partie saillante en forme d'anneau lia se dilate vers l'extérieur. Dans ces conditions, en raison du choix effectué pour les coefficients de dilatation thermique des éléments respectifs, la force de compression appliquée a la partie supérieure du verre 15 augmente lorsque la température s'elève. Par consGquent, puisque la force de compression n'est ap plique qu'à le partie supérieure du verre 15, les électrodes fixes 13 et 14 s'écartent vers l'extérieur au niveau de leurs extrémités internes. La distance de l'électrode mobile 12 à l'électrode fixe 13 ou 14 augmente tandis que l'écartement diminue.Ainsi, la structura décrite ci-dessus peut être efficacement utilisée comme dispositif de détection de deplacement, dans lequel l'augmentation de température permet un accroissement de l'écartement. Dans ce cas, la variation d'écartement est effectivement corrigee par élimination.

Au contraire du cas précédent, si l'on choisit le coefficient de dilatation thermique du boîtier 9 de manière qu'il soit supérieur à celui du tube il et du verre 15, par exemple si l'on choisit l'acier inoxydable pour former le boîtier 9, la force de compression appliquée à la partie saillante en anneau île diminue graduellement lorsque la température augmente. En d'autres termes, le force de tension appliquée à la partie saillante lla augmente,
Dans ce cas, la force de compression appliquée à la partie supêrieure du verre 15 s'affaiblit lorsque la temperature augmente (la force de tension augmente).Pour cette raison, la distance entre les extremites libres des électrodes s'accrot. Ainsi, cette structure peut être efficacement utilisée comme dispositif de detection de deplacement dans lequel une augmentation de la température entraîne une diminution de l'écartement. De plus, dans ce cas, la valeur de cet ecartement est bien corrigee par élimination.

Dans le mode de réalisation décrit ci-dessus, par un choix approprié des coefficients de dilatation thermique des materiaux, on peut déterminer le sens de déplacement des extrémités libres des électrodes fixes 13 et 14. Toutefois, il est possible de compenser les erreurs dues à une variation de la température en choisissant de manière appropriée la position et la configuration de la partie saillante lia. Par exemple, une structure modifiée est présentée sur la figure 12. Le sens de compensation relatif à cette structure est opposé à celui du mode de réalisation precé- dent.Sur la figure 12, une partie saillante en forme d'anneau lîb est formee à la partie inferieure du tube il. Si le coefficient de dilatation thermique du boîtier 9 est plus petit que celui du verre 15 et du tube 11, la force de compression appliquée à la partie du verre 15 correspondant à la partie saillante llb augmente ae sorte que la distance entre les electrodes 12 et 13 (ou 14) diminue afin de réaliser une compensation.

Au contraire du cas precedent, si le coefficient thermique du boîtier 9 est supérieur à celui du verre 15 ét du tube 11, la partie du verre 15 qui correspond à la partie saillante llb diminue de manière que la distance entre les électrodes 12 et 13 (ou 14) augmente afin d'effectuer une compensation.

Dans le modes de réalisation décrit ci-dessus, la partie saillante annulaire lia ou llb es-t formée sur le c8te du tube, mais il est également possible de former la partie saillante sur le côte interne du bottier.

Selon un autre aspect de l'invention, il est possible de compenser les erreurs dues à la force de pesanteur, c'est-à-dire les erreurs de position du transductelrde pression. Le transducteur n'est pas toujours utilise en position verticale. Dans les transducteurs de la technique antérieure, il est impossible de compenser les erreurs qui sont dues au poids du liquide enfermé dans la chambre de détection. Dans le cas extrême > lorsque le transducteur est orienté horizontalement, tout le poids du liquide enferme, par exemple de llhuile de silicone, s'applique à un seul des diaphragmes de réception de pression 5 et 6. Il est évident que cette force de pesanteur non voulue agit directement sur la mesure.

il est possible de compenser de telles erreurs par une légère modification selon l'invention. Relativement aux figures 13 (a) et 13(b), qui sont respectivement une vue de côte et une vue de face d'une électrode fixe 13 (ou 14) on va décrire ce nouveau mode de réalisation.Les électrodes 13 et 14 présentées sur les figures 13(a) et 1:3(b) sont chacune dotes de parties découpées 13(a) et 14(a). Ainsi les parties les plus minces 13(a) et 14(a) sont formées respectivement dans les électrodes 13 et 14, de manière que ces dernières 9 'in1echissent dans le même sens au niveau de leurs parties amincies 13(a) et 14(a) sous l'effet de leurs forces de pesanteur.

Puisque les poids spécifiques des éléments structurels respectifs et du liquide incompressible, par exemple de l'huile de silicone ainsi que la distance entre les diaphragmes de réception 5 et 6, sont connus à l'avance; on peut donner aux parties amincies 13n et 14e une forme appropriée pour que le déplacement de l'élec- trode mobile 12 soit identique aux déplacements des Slectrodes fixas.

Ainsi, les erreurs dues à la force de gravitation sont bien compen suées
Ainsi que cela vient être décrit ci-dessus, dans le capteur de pression du type à capacite selon l'invention, puisque les deux electrodes fixes et l'électrode mobile disposée entre elles sont disposées suivant une structure dite en porte à faux, le capteur de pression est difficilement affecte par les déformations ther briques des électrodes, et il présente donc une excellente caracte rustique de température.De plus, même si le corps de capteur est deforme par le serrage des éléments de raccordernent, les variations de la distance entre l'électrode mobile et les électrodes fixes sous l'effet de la déformation sont petites, puisque les électrodes ont une structure an porte à feux et puisque leurs parties fixes sont proches les unes des autres. De plus, le corps de capteur est forme d'une seule pièce, eta donc un coût de fabrication faible par comparaison-avec les capteurs de pression de la technique antérieure du même type general, pour lesquels le corps est divisé en deux parties.

Le circuit convertisseur de l'invention est stable par rapport aux variations de la temperature ambiante et il est par conséquent en mesure d'amplifier et de délivrer de manière stable un signal electrique correspondant à un déplacement mica- nique. De plus, puisque le circuit convertisseur ne comporte pas un premier et un deuxième élément d'impédance suivant un circuit de pont utilisant des éléments redresseurs, il n'est besoin d'aucun processus permettant d'adapter les caractéristiques des éléments du circuit. De plus, le montage du circuit convertisseur est simple de sorte que sa fiabilite est accrue.

Alors que, dans la description précédente le capteur de pression du type à capaciteselon lginvention a été decrit comme du type d difference de pression dans lequel les diaphragmes de réception de pression sont disposes des deux cotés du capteur, on comprendra que l'invention s'applique également à un transmetteur de pression dans lequel un diaphragme de reception de pression ne se trouve que d'un seul côté du capteur. De plus, dans l'exemple particulier du capteur. de pression a capacite décrit précédemment les électrodes sont presentées isoles par rapport au corps de capteur.

On comprendra toutefois que l'invention peut être mise en oeuvre avec un circuit électrique dans lequel ltelectrode mobile et le corps de capteur ne sont pas isoles l'un par rapport à l'autre.

Bien entendu, l'homme de l'art sera en mesure d'imaginer, a partir des transducteurs de pression dont la description vient d'être donnée a titre simplement illustratif et nullement limitatif, diverses autres variantes et modifications ne sortant pas du cadre de l'invention.

Claims

REVENDICATION S

1. Transducteur de pression caractérisé en ce qu'il comprend un capteur de pression du type à capacite comportant une chambre de détection (2) placée au centre d'un élément formant un corps (1) du capteur de pression, ladite chambre étant remplie dgun liquide qui est enfermé de façon étanche, une électrode mobile (12) à structure en porte à faux montée dans ladite chambre de détection, un trou passent (7, 8) s'étendant de ladite chambre jusqu'à au moins un côté du corps du capteur de pression, un élément (5, 6) de réception de pression disposé sur au moins un côté du corps du capteur de pression, une tige (16, 17) couplant ledit élément de reception de pression et l'électrode mobile par l'inter radiaire dudit trou passant, et deux electrodes fixes (13, 14) à structure en porte à faux disposées de part et d'autre de l'élec- trode mobile dans la chambre de détection afin de former un premier et un deuxième élément à capacité variable (C1, C2) avec l'électrode mobile, de sorte qu'un signal électrique correspondant à une pres- sion est produit en fonction des variations des capacités- des premier et deuxième éléments à capacité variable.

2. Transducteur de pression selon la revendication lS caractérisé en ce qu'il comprend un circuit convertisseur comportant un dispositif de commutation (28) qui sélectionne irun des premier et deuxième éléments à capacite variable (C1, C2), un oscil- lateur (29) du type à frequence variable qui produit un premier et un deuxième signal de fréquence (fl, f2) dont les frequences correspondent respectivement aux impedances des premier et deuxième éléments a capacite variable, lesdits éléments à capacité variable étant connectés par l'intermédiaire du dispositif de commutation audit oscillateur et une unite arithmetique (30) produisant un signal qui correspond au rapport entre la différence et la somme desdits premier et deuxième signaux de fréquence.

3. Transducteur de pression selon la revendication 1, caractérisé en ce que le circuit de convertisseur comporte un dispositif de commutation (28) qui sélectionne l'un des premier et deuxième éléments à capacité variable (C1, C2) > un oscillateur (29) du type à fréquence variable qui produit un premier et un deuxième signal de fréquence (fl, f2) dont les frequences correspondent respectivement aux impédances des premier et deuxième éléments à capacite variable, lesdits éléments a capacité variable étant connectés par l'intermédiaire du dispositif de commutation audit oscillateur, et une unité arithmetique (30) comportant un compteur (Q7) qui, après comptage d'un nombre prédéterminé de cycles de l'un desdits premier et deuxième signaux de fréquence venant de ltoscillateur, inverse son signal de sortie de manière à faire commuter ledit dispositif de commutation, et un moyen de circuit qui produit, å partir d'un signal de coefficient d'utilisation dudit compteur, un signal correspondant au rapport entre la différence et la somme desdits premier et deuxième signaux de fréquence.

4. Transducteur de pression selon la revendication 2, caractérisé en ce que le dispositif de commutation du circuit convertisseur comprend un premier et un deuxième commutateur à transistors à effet de champ du type MOS complementaires (Q1, Q2) dont les première et deuxième entres sont respectivement couples auxdites electrodes fixes.

5. Transducteur de pression selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'oscillateur à fréquence variable comprend un premier amplifigateur d'inversion à transistors à effet de champ de type MOS complementaires comportant un troisième et un quatrième transistor à effet de champ de type MOS complementaires (Q3, Q4) et un deuxième amplificateur d'inversion à transistors à effet de champ de type MOS complementaires comportant un cinquième et un sixième transistor à effet de champ de type MOS complemen taies une première borne de sortie (29a) du dispositif de commutation etant connectee aux sources et drains des cinquième et sixième transistors et une deuxième borne de sortie (29b) du dispositif de commutation etant couplée aux premières grilles des troisième et quatrième transistors et étant couplée via une resistance (R) aux sources et drains des troisième et quatrième transistors et aux premières grilles des cinquième et sixième transistors, les sources et les deuxièmes grilles desdits troisième et cinquième transistors etant couples à une source d'alimentation électrique positive (+E), et les drains et les deuxièmes grilles des quatrième et sixième transistors étant couplés à une source d'alimentation électrique negative (-E), un point de connexion entre le cinquième et le sixième transistor étant couplé à une borne de sortie (29c) de 11oscillateur.

6. Transducteur de pression selon le revendication 5, caractérisé en ce que ladite unité arithmétique (30) comprend un moyen de comptage (Q7) dont une entrée d'horloge est couplée à ladite borne de sortie de lloscillateur et dont une sortie de bit le plus significatif (n) est couplée aux grilles des premier et deuxième transistors du dispositif de commutation un huitième et un neuvième transistor à effet de champ de type MOS complémentaires (Qt3g Q) dont: les premières grilles sont couplées à ladite sortie de bit la plus significatif du compteur, une source et une deuxième grille du huitième transistor étant couples à une source d'alimentation électrique positive (+E) et un drain et une deuxième grille du deuxième transistor étant couplés à une source d'alimentation élec- trique négative (-E), les drains et les sources des huitième et neuvième transistors étant couplés à un point de connexion, et un circuit de filtrage dont une entrée est connectée audit point de connexion et qui comprend une première et une deuxième résistance (R13 R2) connectées en série, une première borne de la première résistance étant connectée audit point de connexion, et un premier et un deuxième condensateur (G3, c4) connectes en série l'un avec l'autre et connectés aux bornes de la deuxième résistance de façon qu'une première borne du premier condensateur soit: connectée à un point de jonction entre la première et la deuxième résistance, la première et la deuxième borne du deuxième condensateur étant connectées aux bornes de sortie de unité arithmétique.

7. Transducteur de pression selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une unité de sortie (31) connectée auxdites bornes de sortie de l'unité arithmétique, ladite unité de sortie comprenant un transmetteur de signaux a deux fils qui délivre un signal de courant en réponse aux signaux présents sur lesdites bornes de sortie de l'unité arithmétique, le transmet- teur de signaux comprenant un amplificateur opérationnel (Qll) dont une borne d'entrée de non-inversion est couplé à une première borne de sortie de l'unité arithmetique, une diode Zener (ZD1) qui détermine l'amplitude des tensions des sources d'alimentation electriques positive et négative, l'anode de la diode Zener étant connectée à la source d'alimentation électrique négative, et la cathode de la diode Zener étant connectée à la source d'alimentation électrique positive, une deuxième sortie de l'unité arithmetique, pré levée au point de jonction des premier et deuxième condensateurs, étant connectee-à ladite source d'alimentation négative, un diviseur.de tenion (R3, R4, R5) connecté entre l'anode et la cathode de la diode Zener aria d'appliquer une tension d'une amplitude pre- determinée à une borne d'inversion dudit amplificateur opérationnel, un transistor de sortie (Q12) dont une entre est connectée à une sortie de l'amplificateur operationnel, et un transistor (Q10) connecte suivant une configuration à courant constant afin de fournir du courant à la diode Zener.

8. Transducteur de pression selon la revendication 1, caractérise en ce qu'il comprend un capuchon d'étanchéité (11) enfermant de façon étanche ledit liquide dans la chambre de detection, le capuchon étant au moins partiellement rempli de verre (15) afin de maintenir l'électrode mobile et les électrodes fixes tout en les isolant electriquement entre elles, dé sorte qu'un signal électrique correspondant à une pression est obtenu à partir de variations des capacités desdits. premier et deuxième éléments a capacite variable.

9. Transducteur de pression selon la revendication 8, caractérise enoe que le verre est un verre à bas point de fusion.

10. Transducteur de pression selon la revendication 8, caractérisé en ce que le capuchon d'étanchéité est fait en un matériau dont le coefficient de dilatation est égal ou Légèrement supérieur à celui du verre.

11. Transducteur de pression selon la revendication 8, caractérisé en ce que le capuchon d'étanchéité a sensiblement la forme d'une cuvette comportant une paroi latérale, ladite paroi latérale possedant au moins une partie amincie de manière à former au moins un espace libre défini par ladite paroi plus mince et une partie du corps du capteur de pression, ledit espace libre communiquant avec la chambre de détection.

12. Transducteur de pression selon la revendication 8, caractérisé en ce que le capuchon d'étanchéité a sensiblement la forme d'une cuvette comportant une paroi latérale, la paroilaté- rale ayant une partie saillante annulaire (lla, llb) de manière à former au moins un espace libre defini par ladite paroi amincie et une partie du corps du capteur de pression.

13. Transducteur de pression selon la revendication 12, caractérisé en ce que ledit espace libre communique avec la chambre de détection.

14. Transducteur de pression selon la revendication 12, caractérisé en ce que ledit espace libre cornmunique avec 1'at:mos phère ambiante.

15. Transducteur selon l'une quelconque des revendications 12 13 et 14, caractérisé en ce que les coefficients de dilatation thermique du capuchon d'étanchéité, du verre -et de ladite partie du corps de capteur de pression sont choisis de manière appropriée pour compenser les erreurs dues aux variations de température, le coefficient thermique de ladite partie du corps de'capteur de pres sion étant: different-de ceux du verre et du capuchon d'étanchéité.

16. Transducteur selon le revendication 1 caractérisé en ce que chacune desdites deux électrodes fixes comporte une partie amincie (13e, 14e) et en ce que leurs extrémités libres sont princi palement mobiles en relation avec la force de pesanteur du liquide enferme dans la chambre, ladite force de pesanteur (tant celle qui ré- sulte d'une inclinaison par rapport à l'axe central de la chambre de détection.