FR2477709A1 - Capsule manometrique - Google Patents
Capsule manometrique Download PDFInfo
- Publication number
- FR2477709A1 FR2477709A1 FR8104040A FR8104040A FR2477709A1 FR 2477709 A1 FR2477709 A1 FR 2477709A1 FR 8104040 A FR8104040 A FR 8104040A FR 8104040 A FR8104040 A FR 8104040A FR 2477709 A1 FR2477709 A1 FR 2477709A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- membrane
- substrate
- capsule according
- manometric capsule
- manometric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
- G01L9/0055—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
- G01L9/0044—Constructional details of non-semiconductive diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
- G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
A.CAPSULE MANOMETRIQUE DESTINEE EN PARTICULIER A DETECTER LA PRESSION DE L'AIR ASPIRE D'UN MOTEUR A COMBUSTION INTERNE, COMPORTANT UNE MEMBRANE DEFORMABLE EN FONCTION DE LA PRESSION. B.CARACTERISEE EN CE QUE LA MEMBRANE 2 EST FABRIQUEE, PAR LA TECHNIQUE DES FEUILLES EPAISSES, SUR UN SUBSTRAT 1 ET EST RELIEE SOLIDAIREMENT AVEC CE SUBSTRAT. C.CAPSULE APPLICABLE NOTAMMENT A UN VEHICULE AUTOMOBILE.
Description
L'invention concerne une capsule manométrique, des-
tinée en particulier à détecter la pression d'aspiration d'air
d'un moteur à combustion interne d'automobile, capsule compor-
tant une membrane, déformable en fonction de la pression.
On utilise, en particulier pour les véhicules auto- mobiles, des capsules manométriques qui, tout en étant de petites dimensions, transforment, pendant une longue durée de fonctionnement, les valeurs de pression constatées, surtout la pression négative d'aspiration d'air, en signaux électriques, qui puissent être exploités facilement pour commander et/ou
régler les moteurs à combustion interne.
A cet effet, l'invention a pour objet une capsule manométrique de ce type caractérisée en ce que la membrane est fabriquée par la technique des feuilles épaisses, posée sur un
substrat, et reliée solidairement avec le substrat.
D'autres améliorations de la configuration de l'invention ressortiront des exemples de réalisation décrits
plus loin et illustrés par les dessins.
Il est prévu par exemple que a) la membrane est faite de céramique de verre et a une épaisseur d'environ 20 à 300 /u, de préférence d'environ 100 /u; b) le bombage de la membrane est convexe dans la partie centrale de la capsule mais
est concave sur la périphérie.
L'invention sera mieux comprise en regard de la
description ci-.après et des dessins annexés représentant des
modes de réalisation, donnés à titre d'exemple, de l'invention, dessins dans lesquels:
- la figure 1 illustre un premier exemple de réali-
sation, vu en coupe transversale,
- la figure 2 illustre un second exemple de réali-
sation, également en coupe transversale, - la figure 3 représente schématiquement un montage en pont, - la figure 4 est une vue de dessus de la capsule manométrique, - la figure 5 montre une capsule permettant de mesurer la différence de pression existant entre deux chambres
contenant des gaz.
Dans le premier exemple de réalisation illustré en coupe dans la figure 1, on a appliqué, sur une plaquette 1
2 2477709
formant substrat d'une épaisseur d'environ 1 cm, qui est faite
de céramique, de verre ou de métal émaillé sur sa surface supé-
rieure, une couche métallique 4 fabriquée de préférence dans une opération d'impression et de cuisson de la technique des couches épaisses, ou déposée par vaporisation, qui est recou- verte d'une membrane 2 disposée à une certaine distance, La membrane 2 a une épaisseur d'environ 60 microns et un diamètre d'environ 0,5 cm et elle est faite d'une matière céramique, de préférence de céramique de verre, qui a été apportée sous forme
de pate par une opération d'impression au pochoir.
Afin que, dans la zone de la capsule manométrique, il subsiste, entre la membrane 2 et la couche métallique 4, un
espace vide, on applique sous pression une matière de remplis-
sage 3, faite par exemple de noir de fumée et d'additifs orga-
niques. Au cours de l'opération de frittage qui suit, qui est exécutée à des températures d'environ 9500C sous atmosphère gazeuse protectrice, cette matière de remplissage empêche que la matière céramique de la membrane 2 déposée par impression dans la zone de la capsule manométrique puisse se lier avec le substrat 1, la matière céramique de la membrane 2 se frittant
en même temps en une masse solide mais cependant déformable.
On brûle ensuite, dans une seconde opération de cuisson, en atmosphère oxydante, la matière de remplissage 2 sans qu'il reste de résidu, une condition importante étant ici que la membrane 2 en céramique de verre soit suffisamment mince et présente une porosité qui ne soit pas trop faible. Au cours
des opérations d'impression et de cuisson successives, la mem-
brane auto-porteuse est renforcée à l'épaisseur voulue, et l'espace vide qui s'est formé est fermé hermétiquement au gaz par application d'une couche supplémentaire 6, de verre amorphe
par exemple.
Si l'on choisit pour la membrane 2 une matière dont le coefficient de dilatation thermique est plus petit que celui du substrat 1, on peut obtenir que la membrane 2 forme, après l'opération de cuisson, une surface portante bombée, convexe en s'écartant du substrat 1, et que la capsule manométrique puisse être utilisée en raison de sa tension préalable pour mesurer
aussi une dépression. En outre, on est ainsi assuré que la mem-
brane se trouve toujours sous une tension de compression et on évite ainsi les tensions de traction auxquelles il est bien v
connu que les masses céramiques ou vitreuses résistent peu.
En rendant plus épaisse la zone marginale annulaire 7 de la membrane 2, on obtient que cette membrane 2 soit bombée sur sa périphérie sur un angle très faible, ce qui augmente sensiblement la résistance à la rupture lors des mouvements de
la membrane 2 qui se produisent pendant le fonctionnement.
On peut faire le vide dans la capsule manométrique ainsi formée ou la remplir de gaz sous une pression définie, en prévoyant, dans la capsule reproduite en plan dans la figure 4, quand on presse la matière de remplissage 3,une protubérance 3a, de sorte que quand on imprime la membrane 2, la zone 9 reste réservée. Après combustion de la matière de remplissage 3, il se forme par suite, dans la zone 3a, un tunnel que l'on ferme ensuite dans la zone 9, après avoir terminé la mise en place de tous les éléments, dans un four o régne une pression de gaz
définie, en faisant fondre une pâte contenant du verre.
Dans l'exemple de réalisation de la figure 1, la
membrane 2 déformable, soumise à une pression négative ou posi-
tive, forme une partie d'un condensateur à air variable. A cet effet, il est prévu sur la membrane une surface conductrice 5
en forme de bande, qui forme, en commun avec-la couche métal-
lique 4, le condensateur. La capacité de ce condensateur est d'autant plus grande que la pression qui agit sur la membrane 2 est plus importante, cette pression diminuant la distance qui
sépare la surface de la bande conductrice 5 de la couche métal-
lique 4.
Dans l'exemple de réalisation de la figure 2, on applique, par des procédés d'impression et de cuisson de la technique des couches épaisses, sur la membrane 2 auto-portante en céramique de verre, successivement, des couches formant des bandes conductrices ou formant résistance, des couches de verre
ou de céramique de verre. Dans l'exemple de réalisation repré-
senté, il est prévu sur la membrane 2, au moyen de la technique
des couches épaisses, deux résistances Rl et R2 qui sont cou-
vertes par la couche de verre 6.
Ces deux résistances Rl et R2 se dilatent ou se rétractent sous l'effet des changements de la pression d'air agissant sur la membrane 2. Dans ces conditions, les valeurs de résistance électrique de résistances en couche épaisse appropriées se modifient très fortement et peuvent en conséquent être utilisées très avantageusement dans un montage en pont représenté dans la figure 3 dans lesquelles ces résistances
sont disposées dans des branches du pont diamétralement oppo-
sées, toujours en série avec une de deux résistances fixes R3 ou R4.
Le montage en pont illustré offre l'important avan-
tage que les deux résistances du pont R3 ou R4 qui ne sont pas placées sur la membrane peuvent être équilibrées, par des
méthodes connues, à l'aide de rayons laser en particulier, pen-
dant que la capsule manométrique se trouve dans une atmosphère o la pression est bien définie. Au point de vue de la technique de fabrication, c'est là un important avantage car on peut étalonner d'une façon simple et rapide la tension de sortie Ua,
indépendamment de la pression existant dans la capsule manomé-
trique et de l'état de tension de la membrane 2.
On peut aussi utiliser la capsule manométrique que l'on vient de décrire pour mesurer la différence de pression de deux chambres I et II suivant la figure 5, quand le substrat 1 présente en-dessous de la membrane 2, une petite perforation 10 qui fait communiquer la chambre intérieure de la capsule manométrique avec la chambre à gaz II. On peut par exemple appliquer une autre métallisation annulaire sur la face arrière du substrat 1, et relier cette couche métallique d'une façon
étanche au gaz, par une soudure 12 avec le raccord 13.
Dans l'ensemble, le mode de réalisation suivant l'invention de la capsule manométrique donne les avantages suivants:
- Les éléments détecteurs (résistances ou électrodes du conden-
sateur) sont intégrés solidement sur la membrane de la capsule.
Les risques de pannes qui feraient courir des éléments de
transmission sont supprimés.
- La capsule manométrique avec les éléments détecteurs est intégrée sur un substrat sur lequel on peut disposer d'autres éléments électriques du montage au moyen des procédés connus
de la technique hybride en oDuche épaisse.
- La forme de construction de la capsule manométrique est minia-
turisée. - Toutes les étapes du procédé de fabrication du détecteur se passent à des températures élevées (500 à 950C). Par suite, la mise en service du détecteur à des températures élevées
2477709
- apparaît possible.
- On utilise des méthodes de fabrication de la technique des couches épaisses que l'on peut automatiser et dont les coûts
sont avantageux, avec des dépenses en matières très faibles.
Claims (2)
- R E V E N D I C A T I 0 N S) Capsule manométrique destinée en particulier à détecter la pression de l'air aspiré d'un moteur à combustion interne, comportant une membrane déformable en fonction de la pression, caractérisée en ce que la membrane (1> est fabriquée, par la technique des feuilles épaisses, sur un substrat (1) etest reliée solidairement avec ce substrat.
- 2 ) Capsule manojmétrique suivant la revendication 1,caractérisée en ce que le substrat (1) a la forme d'une pla-quette.) Capsule manométrique suivant l'une des revendi-cations 1 et 2, caractérisée en ce que le substrat (1) est faitde céramique, de verre, ou de métal émaillé.) Capsule manométrique suivant l'une quelconquedes revendications 1 à 3, caractérisée en ce que la membrane(2) est faite de céramique de verre et a une épaisseur d'envi-ron 20 à 300 Z, de préférence d'environ 100 ya.) Capsule manométrique suivant l'une quelconquedes revendications 1 à 4, caractérisée en ce que le bombage dela membrane(2) est convexe dans la partie centrale de la cap-sule niais est concave sur la périphérie.) Capsule manométrique suivant l'une quelconquedes revendications 1 à 5, caractérisée en ce que dans la zone(3a), il est formé un espace creux en forme de tunnel, par o on peut faire le vide dans la capsule ou la remplir avec une pression gazeuse définie, et que l'on ferme ensuite dans lazone (9) par fusion d'une masse vitreuse.) Capsule manométrique suivant l'une quelconquedes revendications 1 à 6, caractérisée en ce que la membraneporte sur sa face intérieure une électrode métallique (5) qui fait face à une certaine distance à une couche métallique (4),laquelle est déposée directement sur le substrat.) Capsule manométrique suivant l'une quelconquedes revendications 1 à 6, caractérisée en ce que l'on dispose,sur la face extérieure de la membrane (2), au moins une résis-tance (Rl, R2) déposée par la technique des couches minces ou épaisses, la valeur de la résistance se modifiant en fonctionde la pression.) Capsule manométrique suivant l'une des revendi-cations 7 et 8, caractérisée en ce que le substrat (1) présente,7 2477709en-dessous de la membrane (2), une perforation (10).) Capsule manométrique suivant l'une quelconquedes revendications 7 à 9, caractérisée en ce que la membrane(2) est recouverte d'un revêtement (6), de verre en particulier, qui inclut les résistances (Rl, R2) ou les électrodes métalli-ques (5).
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19803008572 DE3008572C2 (de) | 1980-03-06 | 1980-03-06 | Druckmeßdose |
DE19803009811 DE3009811A1 (de) | 1980-03-14 | 1980-03-14 | Druckmessdose |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2477709A1 true FR2477709A1 (fr) | 1981-09-11 |
FR2477709B1 FR2477709B1 (fr) | 1984-05-25 |
Family
ID=25784117
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR8104040A Granted FR2477709A1 (fr) | 1980-03-06 | 1981-02-27 | Capsule manometrique |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4382247A (fr) |
FR (1) | FR2477709A1 (fr) |
GB (1) | GB2071853B (fr) |
IT (1) | IT1135557B (fr) |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS597234A (ja) * | 1982-07-05 | 1984-01-14 | Aisin Seiki Co Ltd | 圧力センサ |
USRE33518E (en) * | 1983-04-29 | 1991-01-15 | Baxter International, Inc. | Pressure transducer assembly |
NO157119C (no) * | 1985-07-12 | 1988-01-20 | Warren M Brodey | Hndbetjent organ tilknyttet et kybernetisk system, samt anvendelse av organet. |
DE8525588U1 (de) * | 1985-09-07 | 1987-01-08 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Drucksensor |
IT1187900B (it) * | 1986-02-10 | 1987-12-23 | Marelli Autronica | Dispositivo sensore di pressione |
DE68903235T2 (de) * | 1988-03-15 | 1993-05-27 | Pfister Gmbh | Elektrischer druck-, schwingungs- und/oder beschleunigungswandler. |
DE3829195A1 (de) * | 1988-08-29 | 1990-03-08 | Bosch Gmbh Robert | Temperaturfuehler |
DE3829194A1 (de) * | 1988-08-29 | 1990-03-08 | Bosch Gmbh Robert | Einrichtung zur messung einer stroemenden luftmenge |
US5099738A (en) * | 1989-01-03 | 1992-03-31 | Hotz Instruments Technology, Inc. | MIDI musical translator |
DE3912217A1 (de) * | 1989-04-13 | 1990-10-18 | Endress Hauser Gmbh Co | Drucksensor |
US5279040A (en) * | 1990-05-18 | 1994-01-18 | Robert Bosch Gmbh | Fluid-based acceleration and tilt sensor |
US5189916A (en) * | 1990-08-24 | 1993-03-02 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Pressure sensor |
DE4121390C2 (de) * | 1991-06-28 | 1994-10-20 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zum Herstellen einer freitragenden Dickschichtstruktur |
US6484585B1 (en) | 1995-02-28 | 2002-11-26 | Rosemount Inc. | Pressure sensor for a pressure transmitter |
US5637802A (en) | 1995-02-28 | 1997-06-10 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates |
GB2308447A (en) * | 1995-12-22 | 1997-06-25 | Ultra Hydraulics Ltd | Pressure sensing device |
US5945605A (en) * | 1997-11-19 | 1999-08-31 | Sensym, Inc. | Sensor assembly with sensor boss mounted on substrate |
DE59803948D1 (de) | 1997-12-23 | 2002-05-29 | Unaxis Balzers Ag | Kapazitive vakuummesszelle |
EP1040333B1 (fr) | 1997-12-23 | 2002-07-03 | Unaxis Balzers Aktiengesellschaft | Membrane pour cellule de mesure sous vide a capacite |
US6536258B1 (en) * | 1998-11-04 | 2003-03-25 | The University Of Toledo | Blast load simulation system |
GB2344179A (en) * | 1998-11-28 | 2000-05-31 | Ford Global Tech Inc | Spark plug with combustion pressure sensor |
US6505516B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-01-14 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure sensing with moving dielectric |
US6520020B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-02-18 | Rosemount Inc. | Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor |
US6561038B2 (en) | 2000-01-06 | 2003-05-13 | Rosemount Inc. | Sensor with fluid isolation barrier |
CN1151367C (zh) | 2000-01-06 | 2004-05-26 | 罗斯蒙德公司 | 微机电系统(mems)用的电互联的晶粒生长 |
US6508129B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-01-21 | Rosemount Inc. | Pressure sensor capsule with improved isolation |
DE10203024B4 (de) * | 2002-01-26 | 2009-11-26 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Keramiksubstrats |
DE502004001604D1 (de) * | 2004-05-05 | 2006-11-09 | Schreiner Group Gmbh & Co Kg | Verfahren zum Abdecken und Belüften eines Funktionsbereichs und Folienanordnung zur Durchführung des Verfahrens |
US7615834B2 (en) * | 2006-02-28 | 2009-11-10 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Capacitive micromachined ultrasonic transducer(CMUT) with varying thickness membrane |
US8042401B2 (en) * | 2008-06-12 | 2011-10-25 | Rosemount, Inc. | Isolation system for process pressure measurement |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2021479A1 (de) * | 1970-05-02 | 1971-11-11 | Kleinwaechter Hans | Druckmessgeraet zur Messung von Drucken in Gasen und Fluessigkeiten |
FR2139401A5 (fr) * | 1971-05-10 | 1973-01-05 | Bendix Corp | |
FR2297485A1 (fr) * | 1975-01-07 | 1976-08-06 | Bendix Corp | Condensateur sensible a la pression |
FR2344006A1 (fr) * | 1976-03-12 | 1977-10-07 | Kavlico Corp | Transducteur de pression capacitif et procede de fabrication d'un tel transducteur |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3455165A (en) * | 1965-12-22 | 1969-07-15 | Pierre Huet | Pressure sensitive devices |
US4040172A (en) * | 1975-05-01 | 1977-08-09 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Method of manufacturing integral transducer assemblies employing built-in pressure limiting |
US4079508A (en) * | 1975-08-13 | 1978-03-21 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Miniature absolute pressure transducer assembly and method |
US4127840A (en) * | 1977-02-22 | 1978-11-28 | Conrac Corporation | Solid state force transducer |
-
1980
- 1980-08-27 US US06/181,839 patent/US4382247A/en not_active Expired - Lifetime
-
1981
- 1981-02-20 IT IT19877/81A patent/IT1135557B/it active
- 1981-02-27 FR FR8104040A patent/FR2477709A1/fr active Granted
- 1981-03-05 GB GB8106878A patent/GB2071853B/en not_active Expired
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2021479A1 (de) * | 1970-05-02 | 1971-11-11 | Kleinwaechter Hans | Druckmessgeraet zur Messung von Drucken in Gasen und Fluessigkeiten |
FR2139401A5 (fr) * | 1971-05-10 | 1973-01-05 | Bendix Corp | |
FR2297485A1 (fr) * | 1975-01-07 | 1976-08-06 | Bendix Corp | Condensateur sensible a la pression |
FR2344006A1 (fr) * | 1976-03-12 | 1977-10-07 | Kavlico Corp | Transducteur de pression capacitif et procede de fabrication d'un tel transducteur |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2071853A (en) | 1981-09-23 |
GB2071853B (en) | 1984-05-10 |
IT8119877A0 (it) | 1981-02-20 |
FR2477709B1 (fr) | 1984-05-25 |
US4382247A (en) | 1983-05-03 |
IT1135557B (it) | 1986-08-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR2477709A1 (fr) | Capsule manometrique | |
FR2472749A1 (fr) | Procede de production d'un element detectant l'oxygene en electrolyte solide de structure feuilletee du type a cellule de concentration | |
EP1878693B1 (fr) | Microcomposant encapsule equipe d'au moins un getter | |
EP0072288B1 (fr) | Transducteur électroacoustique à polymère piézoélectrique | |
FR2462707A1 (fr) | Dispositif de production d'un signal pour le reglage par reaction du rapport d'un melange air/carburant | |
EP2450949B1 (fr) | Structure d'encapsulation d'un micro-dispositif comportant un matériau getter | |
EP1694597A1 (fr) | Microcomposant comportant une microcavite hermetique et procede de fabrication d un tel microcomposant | |
FR2887629A1 (fr) | Capteur de pression | |
FR2869600A1 (fr) | Capteur combine de pressions relative et absolue | |
EP0798548B1 (fr) | Capteur à jauge de contrainte utilisant l'effet piézorésistif et son procédé de fabrication | |
FR2459971A1 (fr) | Capteur d'oxygene du type en pellicule mince et plate | |
WO2000033044A1 (fr) | Capteur de pression a membrane comportant du carbure de silicium et procede de fabrication | |
FR2561712A1 (fr) | Blindage thermique composite pour composants de moteur et procede de formation | |
FR2815953A1 (fr) | Composant micromecanique et procede de fabrication d'un tel composant | |
FR2462706A1 (fr) | Dispositif de production d'un signal pour le reglage par reaction du rapport d'un melange air/carburant | |
FR2852151A1 (fr) | Structure de contact glissante possedant une durabilite elevee | |
FR2744218A1 (fr) | Detecteur de rapport air-carburant | |
EP0951617B1 (fr) | Micropompe avec piece intermediaire integree | |
FR2504519A1 (fr) | Pate contenant une poudre electriquement conductrice pour former une charge solide conductrice dans une cavite d'un substrat en ceramique et procede pour remplir la cavite d'un substrat | |
FR2740217A1 (fr) | Capteur de pression | |
FR2575289A1 (fr) | Indicateur electrique de pression pouvant etre utilise pour la mesure absolue d'un liquide ou d'un gaz, notamment pour la surveillance de la pression de pneus de vehicules automobiles | |
GB2298924A (en) | Method for producing a pressure sensor | |
EP1144873B1 (fr) | Pompe a vide | |
FR2926760A1 (fr) | Agencement pour l'evacuation d'eau sur une surface optique de vehicule automobile. | |
FR2876089A1 (fr) | Composant micromecanique et procede de fabrication d'un tel composant |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
ST | Notification of lapse |