FR2477709A1 - Capsule manometrique - Google Patents

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Abstract

A.CAPSULE MANOMETRIQUE DESTINEE EN PARTICULIER A DETECTER LA PRESSION DE L'AIR ASPIRE D'UN MOTEUR A COMBUSTION INTERNE, COMPORTANT UNE MEMBRANE DEFORMABLE EN FONCTION DE LA PRESSION. B.CARACTERISEE EN CE QUE LA MEMBRANE 2 EST FABRIQUEE, PAR LA TECHNIQUE DES FEUILLES EPAISSES, SUR UN SUBSTRAT 1 ET EST RELIEE SOLIDAIREMENT AVEC CE SUBSTRAT. C.CAPSULE APPLICABLE NOTAMMENT A UN VEHICULE AUTOMOBILE.

Description

L'invention concerne une capsule manométrique, des-
tinée en particulier à détecter la pression d'aspiration d'air
d'un moteur à combustion interne d'automobile, capsule compor-
tant une membrane, déformable en fonction de la pression.
On utilise, en particulier pour les véhicules auto- mobiles, des capsules manométriques qui, tout en étant de petites dimensions, transforment, pendant une longue durée de fonctionnement, les valeurs de pression constatées, surtout la pression négative d'aspiration d'air, en signaux électriques, qui puissent être exploités facilement pour commander et/ou
régler les moteurs à combustion interne.
A cet effet, l'invention a pour objet une capsule manométrique de ce type caractérisée en ce que la membrane est fabriquée par la technique des feuilles épaisses, posée sur un
substrat, et reliée solidairement avec le substrat.
D'autres améliorations de la configuration de l'invention ressortiront des exemples de réalisation décrits
plus loin et illustrés par les dessins.
Il est prévu par exemple que a) la membrane est faite de céramique de verre et a une épaisseur d'environ 20 à 300 /u, de préférence d'environ 100 /u; b) le bombage de la membrane est convexe dans la partie centrale de la capsule mais
est concave sur la périphérie.
L'invention sera mieux comprise en regard de la
description ci-.après et des dessins annexés représentant des
modes de réalisation, donnés à titre d'exemple, de l'invention, dessins dans lesquels:
- la figure 1 illustre un premier exemple de réali-
sation, vu en coupe transversale,
- la figure 2 illustre un second exemple de réali-
sation, également en coupe transversale, - la figure 3 représente schématiquement un montage en pont, - la figure 4 est une vue de dessus de la capsule manométrique, - la figure 5 montre une capsule permettant de mesurer la différence de pression existant entre deux chambres
contenant des gaz.
Dans le premier exemple de réalisation illustré en coupe dans la figure 1, on a appliqué, sur une plaquette 1
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formant substrat d'une épaisseur d'environ 1 cm, qui est faite
de céramique, de verre ou de métal émaillé sur sa surface supé-
rieure, une couche métallique 4 fabriquée de préférence dans une opération d'impression et de cuisson de la technique des couches épaisses, ou déposée par vaporisation, qui est recou- verte d'une membrane 2 disposée à une certaine distance, La membrane 2 a une épaisseur d'environ 60 microns et un diamètre d'environ 0,5 cm et elle est faite d'une matière céramique, de préférence de céramique de verre, qui a été apportée sous forme
de pate par une opération d'impression au pochoir.
Afin que, dans la zone de la capsule manométrique, il subsiste, entre la membrane 2 et la couche métallique 4, un
espace vide, on applique sous pression une matière de remplis-
sage 3, faite par exemple de noir de fumée et d'additifs orga-
niques. Au cours de l'opération de frittage qui suit, qui est exécutée à des températures d'environ 9500C sous atmosphère gazeuse protectrice, cette matière de remplissage empêche que la matière céramique de la membrane 2 déposée par impression dans la zone de la capsule manométrique puisse se lier avec le substrat 1, la matière céramique de la membrane 2 se frittant
en même temps en une masse solide mais cependant déformable.
On brûle ensuite, dans une seconde opération de cuisson, en atmosphère oxydante, la matière de remplissage 2 sans qu'il reste de résidu, une condition importante étant ici que la membrane 2 en céramique de verre soit suffisamment mince et présente une porosité qui ne soit pas trop faible. Au cours
des opérations d'impression et de cuisson successives, la mem-
brane auto-porteuse est renforcée à l'épaisseur voulue, et l'espace vide qui s'est formé est fermé hermétiquement au gaz par application d'une couche supplémentaire 6, de verre amorphe
par exemple.
Si l'on choisit pour la membrane 2 une matière dont le coefficient de dilatation thermique est plus petit que celui du substrat 1, on peut obtenir que la membrane 2 forme, après l'opération de cuisson, une surface portante bombée, convexe en s'écartant du substrat 1, et que la capsule manométrique puisse être utilisée en raison de sa tension préalable pour mesurer
aussi une dépression. En outre, on est ainsi assuré que la mem-
brane se trouve toujours sous une tension de compression et on évite ainsi les tensions de traction auxquelles il est bien v
connu que les masses céramiques ou vitreuses résistent peu.
En rendant plus épaisse la zone marginale annulaire 7 de la membrane 2, on obtient que cette membrane 2 soit bombée sur sa périphérie sur un angle très faible, ce qui augmente sensiblement la résistance à la rupture lors des mouvements de
la membrane 2 qui se produisent pendant le fonctionnement.
On peut faire le vide dans la capsule manométrique ainsi formée ou la remplir de gaz sous une pression définie, en prévoyant, dans la capsule reproduite en plan dans la figure 4, quand on presse la matière de remplissage 3,une protubérance 3a, de sorte que quand on imprime la membrane 2, la zone 9 reste réservée. Après combustion de la matière de remplissage 3, il se forme par suite, dans la zone 3a, un tunnel que l'on ferme ensuite dans la zone 9, après avoir terminé la mise en place de tous les éléments, dans un four o régne une pression de gaz
définie, en faisant fondre une pâte contenant du verre.
Dans l'exemple de réalisation de la figure 1, la
membrane 2 déformable, soumise à une pression négative ou posi-
tive, forme une partie d'un condensateur à air variable. A cet effet, il est prévu sur la membrane une surface conductrice 5
en forme de bande, qui forme, en commun avec-la couche métal-
lique 4, le condensateur. La capacité de ce condensateur est d'autant plus grande que la pression qui agit sur la membrane 2 est plus importante, cette pression diminuant la distance qui
sépare la surface de la bande conductrice 5 de la couche métal-
lique 4.
Dans l'exemple de réalisation de la figure 2, on applique, par des procédés d'impression et de cuisson de la technique des couches épaisses, sur la membrane 2 auto-portante en céramique de verre, successivement, des couches formant des bandes conductrices ou formant résistance, des couches de verre
ou de céramique de verre. Dans l'exemple de réalisation repré-
senté, il est prévu sur la membrane 2, au moyen de la technique
des couches épaisses, deux résistances Rl et R2 qui sont cou-
vertes par la couche de verre 6.
Ces deux résistances Rl et R2 se dilatent ou se rétractent sous l'effet des changements de la pression d'air agissant sur la membrane 2. Dans ces conditions, les valeurs de résistance électrique de résistances en couche épaisse appropriées se modifient très fortement et peuvent en conséquent être utilisées très avantageusement dans un montage en pont représenté dans la figure 3 dans lesquelles ces résistances
sont disposées dans des branches du pont diamétralement oppo-
sées, toujours en série avec une de deux résistances fixes R3 ou R4.
Le montage en pont illustré offre l'important avan-
tage que les deux résistances du pont R3 ou R4 qui ne sont pas placées sur la membrane peuvent être équilibrées, par des
méthodes connues, à l'aide de rayons laser en particulier, pen-
dant que la capsule manométrique se trouve dans une atmosphère o la pression est bien définie. Au point de vue de la technique de fabrication, c'est là un important avantage car on peut étalonner d'une façon simple et rapide la tension de sortie Ua,
indépendamment de la pression existant dans la capsule manomé-
trique et de l'état de tension de la membrane 2.
On peut aussi utiliser la capsule manométrique que l'on vient de décrire pour mesurer la différence de pression de deux chambres I et II suivant la figure 5, quand le substrat 1 présente en-dessous de la membrane 2, une petite perforation 10 qui fait communiquer la chambre intérieure de la capsule manométrique avec la chambre à gaz II. On peut par exemple appliquer une autre métallisation annulaire sur la face arrière du substrat 1, et relier cette couche métallique d'une façon
étanche au gaz, par une soudure 12 avec le raccord 13.
Dans l'ensemble, le mode de réalisation suivant l'invention de la capsule manométrique donne les avantages suivants:
- Les éléments détecteurs (résistances ou électrodes du conden-
sateur) sont intégrés solidement sur la membrane de la capsule.
Les risques de pannes qui feraient courir des éléments de
transmission sont supprimés.
- La capsule manométrique avec les éléments détecteurs est intégrée sur un substrat sur lequel on peut disposer d'autres éléments électriques du montage au moyen des procédés connus
de la technique hybride en oDuche épaisse.
- La forme de construction de la capsule manométrique est minia-
turisée. - Toutes les étapes du procédé de fabrication du détecteur se passent à des températures élevées (500 à 950C). Par suite, la mise en service du détecteur à des températures élevées
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- apparaît possible.
- On utilise des méthodes de fabrication de la technique des couches épaisses que l'on peut automatiser et dont les coûts
sont avantageux, avec des dépenses en matières très faibles.

Claims (2)

  1. R E V E N D I C A T I 0 N S
    ) Capsule manométrique destinée en particulier à détecter la pression de l'air aspiré d'un moteur à combustion interne, comportant une membrane déformable en fonction de la pression, caractérisée en ce que la membrane (1> est fabriquée, par la technique des feuilles épaisses, sur un substrat (1) et
    est reliée solidairement avec ce substrat.
  2. 2 ) Capsule manojmétrique suivant la revendication 1,
    caractérisée en ce que le substrat (1) a la forme d'une pla-
    quette.
    ) Capsule manométrique suivant l'une des revendi-
    cations 1 et 2, caractérisée en ce que le substrat (1) est fait
    de céramique, de verre, ou de métal émaillé.
    ) Capsule manométrique suivant l'une quelconque
    des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que la membrane
    (2) est faite de céramique de verre et a une épaisseur d'envi-
    ron 20 à 300 Z, de préférence d'environ 100 ya.
    ) Capsule manométrique suivant l'une quelconque
    des revendications 1 à 4, caractérisée en ce que le bombage de
    la membrane(2) est convexe dans la partie centrale de la cap-
    sule niais est concave sur la périphérie.
    ) Capsule manométrique suivant l'une quelconque
    des revendications 1 à 5, caractérisée en ce que dans la zone
    (3a), il est formé un espace creux en forme de tunnel, par o on peut faire le vide dans la capsule ou la remplir avec une pression gazeuse définie, et que l'on ferme ensuite dans la
    zone (9) par fusion d'une masse vitreuse.
    ) Capsule manométrique suivant l'une quelconque
    des revendications 1 à 6, caractérisée en ce que la membrane
    porte sur sa face intérieure une électrode métallique (5) qui fait face à une certaine distance à une couche métallique (4),
    laquelle est déposée directement sur le substrat.
    ) Capsule manométrique suivant l'une quelconque
    des revendications 1 à 6, caractérisée en ce que l'on dispose,
    sur la face extérieure de la membrane (2), au moins une résis-
    tance (Rl, R2) déposée par la technique des couches minces ou épaisses, la valeur de la résistance se modifiant en fonction
    de la pression.
    ) Capsule manométrique suivant l'une des revendi-
    cations 7 et 8, caractérisée en ce que le substrat (1) présente,
    7 2477709
    en-dessous de la membrane (2), une perforation (10).
    ) Capsule manométrique suivant l'une quelconque
    des revendications 7 à 9, caractérisée en ce que la membrane
    (2) est recouverte d'un revêtement (6), de verre en particulier, qui inclut les résistances (Rl, R2) ou les électrodes métalli-
    ques (5).
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FR2477709A1 true FR2477709A1 (fr) 1981-09-11
FR2477709B1 FR2477709B1 (fr) 1984-05-25

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Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS597234A (ja) * 1982-07-05 1984-01-14 Aisin Seiki Co Ltd 圧力センサ
USRE33518E (en) * 1983-04-29 1991-01-15 Baxter International, Inc. Pressure transducer assembly
NO157119C (no) * 1985-07-12 1988-01-20 Warren M Brodey HŸndbetjent organ tilknyttet et kybernetisk system, samt anvendelse av organet.
DE8525588U1 (de) * 1985-09-07 1987-01-08 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Drucksensor
IT1187900B (it) * 1986-02-10 1987-12-23 Marelli Autronica Dispositivo sensore di pressione
DE68903235T2 (de) * 1988-03-15 1993-05-27 Pfister Gmbh Elektrischer druck-, schwingungs- und/oder beschleunigungswandler.
DE3829195A1 (de) * 1988-08-29 1990-03-08 Bosch Gmbh Robert Temperaturfuehler
DE3829194A1 (de) * 1988-08-29 1990-03-08 Bosch Gmbh Robert Einrichtung zur messung einer stroemenden luftmenge
US5099738A (en) * 1989-01-03 1992-03-31 Hotz Instruments Technology, Inc. MIDI musical translator
DE3912217A1 (de) * 1989-04-13 1990-10-18 Endress Hauser Gmbh Co Drucksensor
US5279040A (en) * 1990-05-18 1994-01-18 Robert Bosch Gmbh Fluid-based acceleration and tilt sensor
US5189916A (en) * 1990-08-24 1993-03-02 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Pressure sensor
DE4121390C2 (de) * 1991-06-28 1994-10-20 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum Herstellen einer freitragenden Dickschichtstruktur
US6484585B1 (en) 1995-02-28 2002-11-26 Rosemount Inc. Pressure sensor for a pressure transmitter
US5637802A (en) 1995-02-28 1997-06-10 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates
GB2308447A (en) * 1995-12-22 1997-06-25 Ultra Hydraulics Ltd Pressure sensing device
US5945605A (en) * 1997-11-19 1999-08-31 Sensym, Inc. Sensor assembly with sensor boss mounted on substrate
DE59803948D1 (de) 1997-12-23 2002-05-29 Unaxis Balzers Ag Kapazitive vakuummesszelle
EP1040333B1 (fr) 1997-12-23 2002-07-03 Unaxis Balzers Aktiengesellschaft Membrane pour cellule de mesure sous vide a capacite
US6536258B1 (en) * 1998-11-04 2003-03-25 The University Of Toledo Blast load simulation system
GB2344179A (en) * 1998-11-28 2000-05-31 Ford Global Tech Inc Spark plug with combustion pressure sensor
US6505516B1 (en) 2000-01-06 2003-01-14 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensing with moving dielectric
US6520020B1 (en) 2000-01-06 2003-02-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor
US6561038B2 (en) 2000-01-06 2003-05-13 Rosemount Inc. Sensor with fluid isolation barrier
CN1151367C (zh) 2000-01-06 2004-05-26 罗斯蒙德公司 微机电系统(mems)用的电互联的晶粒生长
US6508129B1 (en) 2000-01-06 2003-01-21 Rosemount Inc. Pressure sensor capsule with improved isolation
DE10203024B4 (de) * 2002-01-26 2009-11-26 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Keramiksubstrats
DE502004001604D1 (de) * 2004-05-05 2006-11-09 Schreiner Group Gmbh & Co Kg Verfahren zum Abdecken und Belüften eines Funktionsbereichs und Folienanordnung zur Durchführung des Verfahrens
US7615834B2 (en) * 2006-02-28 2009-11-10 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Capacitive micromachined ultrasonic transducer(CMUT) with varying thickness membrane
US8042401B2 (en) * 2008-06-12 2011-10-25 Rosemount, Inc. Isolation system for process pressure measurement

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2021479A1 (de) * 1970-05-02 1971-11-11 Kleinwaechter Hans Druckmessgeraet zur Messung von Drucken in Gasen und Fluessigkeiten
FR2139401A5 (fr) * 1971-05-10 1973-01-05 Bendix Corp
FR2297485A1 (fr) * 1975-01-07 1976-08-06 Bendix Corp Condensateur sensible a la pression
FR2344006A1 (fr) * 1976-03-12 1977-10-07 Kavlico Corp Transducteur de pression capacitif et procede de fabrication d'un tel transducteur

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3455165A (en) * 1965-12-22 1969-07-15 Pierre Huet Pressure sensitive devices
US4040172A (en) * 1975-05-01 1977-08-09 Kulite Semiconductor Products, Inc. Method of manufacturing integral transducer assemblies employing built-in pressure limiting
US4079508A (en) * 1975-08-13 1978-03-21 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Miniature absolute pressure transducer assembly and method
US4127840A (en) * 1977-02-22 1978-11-28 Conrac Corporation Solid state force transducer

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2021479A1 (de) * 1970-05-02 1971-11-11 Kleinwaechter Hans Druckmessgeraet zur Messung von Drucken in Gasen und Fluessigkeiten
FR2139401A5 (fr) * 1971-05-10 1973-01-05 Bendix Corp
FR2297485A1 (fr) * 1975-01-07 1976-08-06 Bendix Corp Condensateur sensible a la pression
FR2344006A1 (fr) * 1976-03-12 1977-10-07 Kavlico Corp Transducteur de pression capacitif et procede de fabrication d'un tel transducteur

Also Published As

Publication number Publication date
GB2071853A (en) 1981-09-23
GB2071853B (en) 1984-05-10
IT8119877A0 (it) 1981-02-20
FR2477709B1 (fr) 1984-05-25
US4382247A (en) 1983-05-03
IT1135557B (it) 1986-08-27

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