FR2465007A1 - Dispositif a plusieurs sas pour revetir sous vide des charges successives de substrats - Google Patents

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    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1229225A (fr) * 1958-07-02 1960-09-05 Libbey Owens Ford Glass Co Procédé et appareil pour déposer sous vide une pellicule sur des objets ou articles divers
US3656454A (en) * 1970-11-23 1972-04-18 Air Reduction Vacuum coating apparatus
DE2420430A1 (de) * 1973-04-28 1974-11-14 Canon Kk Apparat zum aufdampfen duenner schichten
FR2260632A1 (en) * 1974-02-11 1975-09-05 Uk I Sp Vapour deposition of coatings on metal strip - two loading chambers with separate vacuum seals permit continuous operation

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