FR2450884A1 - Cloche en verre quartzeux pour la technologie des semi-conducteurs - Google Patents
Cloche en verre quartzeux pour la technologie des semi-conducteursInfo
- Publication number
- FR2450884A1 FR2450884A1 FR8004231A FR8004231A FR2450884A1 FR 2450884 A1 FR2450884 A1 FR 2450884A1 FR 8004231 A FR8004231 A FR 8004231A FR 8004231 A FR8004231 A FR 8004231A FR 2450884 A1 FR2450884 A1 FR 2450884A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- quartzeux
- semiconductor technology
- glass bell
- glass
- bell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/08—Reaction chambers; Selection of materials therefor
Abstract
CLOCHE POUR EPITAXIE EN VERRE QUARTZEUX. UNE PARTIE TUBULAIRE 6 A COLLET BATTU ET PAROI EPAISSE EST DISPOSEE SUR LE COTE DE SORTIE DU GAZ DE PROCESSUS. L'EPAISSEUR DE PAROI DE LA PARTIE RETRECIE 3 DE LA CLOCHE AUGMENTE EN DIRECTION DE LA BRIDE EN VERRE QUARTZEUX.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2908288A DE2908288B1 (de) | 1979-03-03 | 1979-03-03 | Glocke aus Quarzglas fuer halbleitertechnologische Zwecke |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2450884A1 true FR2450884A1 (fr) | 1980-10-03 |
FR2450884B1 FR2450884B1 (fr) | 1982-12-10 |
Family
ID=6064354
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR8004231A Granted FR2450884A1 (fr) | 1979-03-03 | 1980-02-26 | Cloche en verre quartzeux pour la technologie des semi-conducteurs |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4530818A (fr) |
JP (1) | JPS55118630A (fr) |
CH (1) | CH644409A5 (fr) |
DE (1) | DE2908288B1 (fr) |
FR (1) | FR2450884A1 (fr) |
GB (1) | GB2047226B (fr) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3107421C2 (de) * | 1981-02-27 | 1985-02-14 | Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Glocke aus Quarzgut für die Abscheidung von Poly-Silizium |
US6784033B1 (en) | 1984-02-15 | 2004-08-31 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for the manufacture of an insulated gate field effect semiconductor device |
US6786997B1 (en) | 1984-11-26 | 2004-09-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Plasma processing apparatus |
JPH0752718B2 (ja) | 1984-11-26 | 1995-06-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 薄膜形成方法 |
US6673722B1 (en) | 1985-10-14 | 2004-01-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Microwave enhanced CVD system under magnetic field |
US6230650B1 (en) | 1985-10-14 | 2001-05-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Microwave enhanced CVD system under magnetic field |
JP2601355B2 (ja) * | 1989-10-26 | 1997-04-16 | 東芝セラミックス株式会社 | ウェハボート用の搬送治具 |
DE19930817C1 (de) * | 1999-07-01 | 2001-05-03 | Sico Jena Gmbh Quarzschmelze | Verfahren zur Herstellung von Verbundkörpern aus Quarzmaterial |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR342018A (fr) * | 1904-04-08 | 1904-08-25 | Leon Appert | Procédé de fabrication mécanique du verre plan dit "verre à vitres" |
FR1297582A (fr) * | 1960-11-22 | 1962-06-29 | Hughes Aircraft Co | Procédé et appareil pour diffuser des impuretés dans les semi-conducteurs |
FR2117961A1 (fr) * | 1970-12-10 | 1972-07-28 | Bendix Corp | |
FR2314150A1 (fr) * | 1975-06-13 | 1977-01-07 | Heraeus Schott Quarzschmelze | Tube en materiau vitreux de section non circulaire, comportant au moins une extremite conique, et procede pour sa production |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1262244B (de) * | 1964-12-23 | 1968-03-07 | Siemens Ag | Verfahren zum epitaktischen Abscheiden einer kristallinen Schicht, insbesondere aus Halbleitermaterial |
JPS4423937Y1 (fr) * | 1966-08-17 | 1969-10-09 | ||
DE1917016B2 (de) * | 1969-04-02 | 1972-01-05 | Siemens AG, 1000 Berlin u. 8000 München | Verfahren zur herstellung von hohlkoerpern aus halbleiter material |
US3853974A (en) * | 1970-04-06 | 1974-12-10 | Siemens Ag | Method of producing a hollow body of semiconductor material |
JPS4942351B1 (fr) * | 1970-08-12 | 1974-11-14 | ||
JPS568105B2 (fr) * | 1972-04-12 | 1981-02-21 | ||
JPS49387A (fr) * | 1972-04-17 | 1974-01-05 | ||
DE2259353C3 (de) * | 1972-12-04 | 1975-07-10 | Heraeus-Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Tiegel aus Quarzglas oder Quarzgut zur Verwendung beim Züchten von Einkristallen |
US4173944A (en) * | 1977-05-20 | 1979-11-13 | Wacker-Chemitronic Gesellschaft Fur Elektronik-Grundstoffe Mbh | Silverplated vapor deposition chamber |
-
1979
- 1979-03-03 DE DE2908288A patent/DE2908288B1/de active Granted
-
1980
- 1980-01-17 GB GB8001583A patent/GB2047226B/en not_active Expired
- 1980-01-24 CH CH57880A patent/CH644409A5/de not_active IP Right Cessation
- 1980-02-26 FR FR8004231A patent/FR2450884A1/fr active Granted
- 1980-03-03 JP JP2535280A patent/JPS55118630A/ja active Pending
-
1982
- 1982-02-04 US US06/345,513 patent/US4530818A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR342018A (fr) * | 1904-04-08 | 1904-08-25 | Leon Appert | Procédé de fabrication mécanique du verre plan dit "verre à vitres" |
FR1297582A (fr) * | 1960-11-22 | 1962-06-29 | Hughes Aircraft Co | Procédé et appareil pour diffuser des impuretés dans les semi-conducteurs |
FR2117961A1 (fr) * | 1970-12-10 | 1972-07-28 | Bendix Corp | |
FR2314150A1 (fr) * | 1975-06-13 | 1977-01-07 | Heraeus Schott Quarzschmelze | Tube en materiau vitreux de section non circulaire, comportant au moins une extremite conique, et procede pour sa production |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CH644409A5 (de) | 1984-07-31 |
GB2047226B (en) | 1982-12-15 |
FR2450884B1 (fr) | 1982-12-10 |
GB2047226A (en) | 1980-11-26 |
JPS55118630A (en) | 1980-09-11 |
DE2908288C2 (fr) | 1980-09-25 |
US4530818A (en) | 1985-07-23 |
DE2908288B1 (de) | 1980-01-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ES2010357A6 (es) | Metodo y aparato para enfriar una fibra optica. | |
ES8707593A1 (es) | Procedimiento de fabricacion por moldeo de un empalme de derivacion para tubos flexibles, armados o no y provistos o no de vaina | |
FR2669711B1 (fr) | Accouplement multiple pour la solidarisation de conduits. | |
FR2450884A1 (fr) | Cloche en verre quartzeux pour la technologie des semi-conducteurs | |
FR2365746A1 (fr) | Tubes en feuilles, procede et appareil pour la fabrication de ces tubes | |
DE3661594D1 (en) | Gas-treating device | |
SE8800742D0 (sv) | Flanged joint | |
NO174564C (no) | Fremgangsmåte ved avgrening av rör | |
FR2332354A1 (fr) | Accouplement pour l'admission et l'evacuation de fluide de chauffage, par exemple pour dispositifs d'etirage | |
NO154485C (no) | Anordning for utskillelse av vaeske fra vaeskeblandet komprimert gass. | |
FR2452626A1 (fr) | Collier pour tubes et tuyaux | |
BE843700A (fr) | Valve de reglage du debit d'eau et diffuseur pour tours de refroidissement a ecoulement transversal | |
JPS57151014A (en) | Vibration-preventive flexible tube for exhaust pipe | |
JPS5236842A (en) | Special drain pipes | |
DE59207788D1 (de) | Rohrverbindung | |
ATE215207T1 (de) | Ausdehnungsgefäss | |
FR2548336B1 (fr) | Procede perfectionne de rechauffage d'un fluide gazeux pour le chauffage et le renouvellement d'air de locaux, du type comportant un couplage de l'energie solaire et de l'energie thermodynamique. dispositifs de mise en oeuvre du procede et installations en comportant application | |
JPS57113701A (en) | Manufacture and manufacturing device of duct type trolley | |
GB930323A (en) | Process for strengthening pipes | |
JPS564436A (en) | Stretching method of thermoplastic film or sheet | |
SE9301514D0 (sv) | Roermjoelkningsanlaeggning | |
JPS6438541A (en) | Artificial spout generating device | |
JPS54126840A (en) | Device for introducing blow-by gas | |
JPS572815A (en) | Supporting structure for contact heat transfer part of converter waste gas treating device | |
SU1762454A3 (ru) | Установка для обработки газожидкостного потока |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
ST | Notification of lapse |