FR2338509A1 - Procede et appareillage pour le positionnement a plans paralleles d'une plaque de semi-conducteur pour un cliche photographique - Google Patents

Procede et appareillage pour le positionnement a plans paralleles d'une plaque de semi-conducteur pour un cliche photographique

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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
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