FR1534762A - Procédé et dispositif de palpage optique - Google Patents

Procédé et dispositif de palpage optique

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optical
probing
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Francois Marie Tessier
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    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces

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