FR1516614A - Source d'ions à deux filaments pour spectromètre de masse - Google Patents

Source d'ions à deux filaments pour spectromètre de masse

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    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/10Ion sources; Ion guns
    • H01J49/14Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers
    • H01J49/147Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers with electrons, e.g. electron impact ionisation, electron attachment

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2010103235A1 (fr) * 2009-03-11 2010-09-16 Alcatel Lucent Cellule d'ionisation pour spectrometre de masse et detecteur de fuites correspondant
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