FR1515916A - Procédé de fabrication de cristaux semi-conducteurs en forme de tiges de diamètre uniforme - Google Patents
Procédé de fabrication de cristaux semi-conducteurs en forme de tiges de diamètre uniformeInfo
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
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Family Applications (1)
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US6117230A (en) * | 1996-12-17 | 2000-09-12 | Wacker Siltronic Gesellschaft Fur Halbleitermaterialien Ag | Process for producing a silicon single crystal, and heater for carrying out the process |
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