FR1461909A - Procédé et appareil pour déterminer par les rayons x la vitesse de dépôt d'un revêtement à partir d'une vapeur - Google Patents

Procédé et appareil pour déterminer par les rayons x la vitesse de dépôt d'un revêtement à partir d'une vapeur

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FR43769A 1965-01-06 1965-12-27 Procédé et appareil pour déterminer par les rayons x la vitesse de dépôt d'un revêtement à partir d'une vapeur Expired FR1461909A (fr)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020104744A1 (fr) * 2018-11-20 2020-05-28 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Methode d'analyse de fumees d'evaporation, produit programme d'ordinateur, systeme d'analyse et installation de fabrication additive associes
FR3089299A1 (fr) * 2018-11-29 2020-06-05 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Methode d’analyse de fumees d’evaporation, produit programme d’ordinateur, systeme d’analyse et installation de fabrication additive associes

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3612859A (en) * 1968-01-31 1971-10-12 Westinghouse Electric Corp Method for measuring and controlling the density of a metallic vapor
US3590777A (en) * 1969-03-13 1971-07-06 United Aircarft Corp Ingot feed drive
US3667421A (en) * 1970-09-17 1972-06-06 United Aircraft Corp Mechanism for controlling the thickness of a coating in a vapor deposition apparatus
US3984581A (en) * 1973-02-28 1976-10-05 Carl Zeiss-Stiftung Method for the production of anti-reflection coatings on optical elements made of transparent organic polymers
JPS5435920B2 (fr) * 1974-06-10 1979-11-06
US4036167A (en) * 1976-01-30 1977-07-19 Inficon Leybold-Heraeus Inc. Apparatus for monitoring vacuum deposition processes
US4292341A (en) * 1980-02-26 1981-09-29 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Method of controlling the index profile of optical fiber preforms
GB2125541B (en) * 1982-08-13 1986-02-12 Inst Tzvetna Metalurgia Method and device for determination of dust content in dust gas flow
DE4336682C1 (de) * 1993-10-27 1994-10-27 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zum Elektronenstrahlbedampfen mit mehrkomponentigem Verdampfungsmaterial
EP0665577A1 (fr) * 1994-01-28 1995-08-02 Applied Materials, Inc. Procédé et appareil pour surveiller la vitesse de déposition d'un film pendant la déposition en phase gazeuse par procédé physique

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3230110A (en) * 1962-01-22 1966-01-18 Temescal Metallurgical Corp Method of forming carbon vapor barrier
US3246146A (en) * 1963-07-11 1966-04-12 Ass Elect Ind Apparatus for the X-ray analysis of a liquid suspension of specimen material

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020104744A1 (fr) * 2018-11-20 2020-05-28 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Methode d'analyse de fumees d'evaporation, produit programme d'ordinateur, systeme d'analyse et installation de fabrication additive associes
FR3089299A1 (fr) * 2018-11-29 2020-06-05 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Methode d’analyse de fumees d’evaporation, produit programme d’ordinateur, systeme d’analyse et installation de fabrication additive associes

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