FR1457464A - Dispositif à symétrie axiale de production d'un faisceau électronique - Google Patents

Dispositif à symétrie axiale de production d'un faisceau électronique

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axially symmetrical
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axially
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Siegfried Schiller
Peter Lenk
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LOKOMOTIVBAU ELEKTROTECH
Lokomotivbau Elektrotechnische Werke Hans Beimler VEB
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LOKOMOTIVBAU ELEKTROTECH
Lokomotivbau Elektrotechnische Werke Hans Beimler VEB
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/06—Electron sources; Electron guns
    • H01J37/075—Electron guns using thermionic emission from cathodes heated by particle bombardment or by irradiation, e.g. by laser

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