FI86225C - Anpassningselement foer sammankoppling av olika ljusvaogsledare och framstaellningsfoerfarande foer detsamma. - Google Patents

Anpassningselement foer sammankoppling av olika ljusvaogsledare och framstaellningsfoerfarande foer detsamma. Download PDF

Info

Publication number
FI86225C
FI86225C FI904186A FI904186A FI86225C FI 86225 C FI86225 C FI 86225C FI 904186 A FI904186 A FI 904186A FI 904186 A FI904186 A FI 904186A FI 86225 C FI86225 C FI 86225C
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
ion exchange
light
light path
ion
mask
Prior art date
Application number
FI904186A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI86225B (fi
FI904186A0 (fi
FI904186A (fi
Inventor
Seppo Honkanen
Original Assignee
Nokia Oy Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nokia Oy Ab filed Critical Nokia Oy Ab
Priority to FI904186A priority Critical patent/FI86225C/fi
Publication of FI904186A0 publication Critical patent/FI904186A0/fi
Priority to US07/736,514 priority patent/US5151958A/en
Priority to EP91307645A priority patent/EP0474392A1/en
Priority to CA002049608A priority patent/CA2049608A1/en
Priority to JP3210637A priority patent/JPH04245205A/ja
Publication of FI904186A publication Critical patent/FI904186A/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI86225B publication Critical patent/FI86225B/fi
Publication of FI86225C publication Critical patent/FI86225C/fi

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C21/00—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface
    • C03C21/001—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions
    • C03C21/002—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions to perform ion-exchange between alkali ions
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C21/00—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface
    • C03C21/001—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions
    • C03C21/005—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions to introduce in the glass such metals or metallic ions as Ag, Cu
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
    • G02B6/134—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by substitution by dopant atoms
    • G02B6/1345—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by substitution by dopant atoms using ion exchange

Description

1 86225
Sovituselementti erityyppisten valoaalto johteiden yhdistämiseksi sekä tällaisen sovituselementin valmistusmenetelmä
Keksinnön kohteena on sovituselementti K-Na-ioni-5 vaihdolla valmistettujen valoaalto johteiden ja Ag-Na-ioni-vaihdolla valmistettujen valoaaltojohteiden liittämiseksi toisiinsa.
Ionivaihtotekniikalla voidaan lasin pintaan valmistaa optisia valoaaltojohteita korvaamalla lasissa alunpe-10 rin olevia ioneja (tyypillisesti natrium- eli Nationeja) paikallisesti taitekerrointa kasvattavilla ioneilla (kuten K*-, Ag*-, Cs+-, Rb*-, Li*- tai Tl*-ionit). Valoaalto johde-rakenteet kuvioidaan ohutkalvotekniikkaa ja valolitogra-fiaa käyttäen johonkin eriste- tai metallikalvoon, joka 15 muodostaa ns. ionivaihtomaskin lasisubstraatin ja jonkin ionilähteen väliselle ionivaihdolle. Ionilähteinä käytetään usein suolasulatteita, mutta Ag-Na-ionivaihdon tapauksessa voidaan käyttää myös ohutta hopeakalvoa ioni-lähteenä. Eri ioneja käytettäessä voidaan valmistaa omi-20 naisuuksiltaan hyvin erilaisia valoaaltojohteita. Ioni-vaihtomenetelmän perusteiden osalta viitataan artikkeliin [1] "Ion-exchanged glass Waveguides: A review", R.V.
Ramaswamy, Journal Of Lightware Technology, Vol. 6., No. 6, June 1988.
25 Seuraavassa rajoitutaan ensisijaisesti prosessei hin, joissa Nationeja korvataan joko Ag*- tai K+-ioneilla (Ag-Na-ionivaihto tai K-Na-ionivaihto). K-Na-ionivaihde-tuissa kanavissa suurin mahdollinen taitekertoimen kasvu on melko pieni (n. 0,01), joten K-Na-ionivaihto sopii hy-30 vin yksimuotoisen optisen kuidun kanssa yhteensopivien : : : valoaaltojohteiden valmistukseen. Toisaalta valoaaltojoh- teen ja ympäröivän lasisubstraatin pienestä taitekerroin-: erosta johtuen valon kenttäjakauma K-Na-ionivaihdetuissa valoaalto johteissa on aina melko leveä. Tästä on seurauk-35 sena huono kytkettävyys esim. laser-diodiin, jossa valon 2 86225 kenttäjakauma on hyvin kapea (n. 2 pm). Optisen yksimuoto-kuidun kenttäjakauman leveys on puolestaan n. 10 pm. K-Na-ionivaihto aiheuttaa lasiin jännityksiä, mistä on seurauksena kahtaistaittavuutta näin valmistetuissa valoaal-5 tojohteissa. Tätä voidaan käyttää hyväksi polarisaatioita erottavissa optisissa komponenteissa, mutta kahtaistaitta-vuus on toisaalta haitaksi esimerkiksi aallonpituusselek-tiivisissä optisissa komponenteissa.
Ag-Na-ionivaihdolla voidaan puolestaan saavuttaa 10 huomattavasti suurempi taitekertoimen kasvu (n. 0,1), jolloin on mahdollista valmistaa huomattavasti paremmin laser-diodien kanssa yhteensopivia valoaaltojohteita. Lisäksi suuremman taitekertoimen ansiosta voidaan valoaaltojoh-derakenteissa käyttää pienempiä kaarevuussäteitä ilman 15 että valo karkaa valoaaltojohteen mutkissa ulos valoaalto-johteesta. Toisaalta jos valoaaltojohteissa käytetään suurta taitekerroineroa, on kytkentähyötysuhde optiseen kuituun huono. Toisin kuin K-Na-ionivaihdetut valoaalto-johteet, Ag-Na-ionivaihdetut valoaaltojohteet eivät yleen-20 sä ole kahtaistaittavia. Monissa integroidun optiikan sovellutuksissa olisi hyödyllistä, jos voitaisiin yhdistää samaan komponenttirakenteeseen ominaisuuksiltaan hyvin erilaisia valoaaltojohteita. Esimerkiksi olisi edullista aikaansaada komponentti, jonka toisessa päässä on hyvä 25 kytkentä optiseen kuituun ja toisessa päässä hyvä kytkentä I". laser-diodiin. Ionivaihtotekniikan tapauksessa tämä toteu- • \ tuisi yhdistämällä K-Na-ionivaihdettuja ja Ag-Na-ionivaih- dettuja valoaaltojohteita samalle lasisubstraatille. Yhdistämiseen tarvitaan kuitenkin jonkinlainen sovite-ele-·...· 30 mentti, joka yhdistää komponentin sisällä kaksi erilaista valoaaltojohdetta toisiinsa mahdollisimman pienin häviöin.
Esillä olevan keksinnön päämääränä on aikaansaada tällainen sovituselementti sekä menetelmä sen valmistami-seksi.
^ 35 Tämä saavutetaan keksinnön mukaisella sovitusele- li 3 86225 mentillä, jolle on tunnusomaista, että sovituselementti käsittää lasisubstraatille ionivaihtotekniikalla valmistetun valoaaltojohteen, jonka perusmuodon valon kenttäjakau-ma muuttuu adiabaattisesti valoaaltojohteen pituussuunnas-5 sa K-Na-ionivaihdolla valmistetun valoaaltojohteen perusmuodon valon kenttäjakaumasta Ag-Na-ionivaihdolla valmistetun valoaaltojohteen perusmuodon valon kenttä jakaumaksi.
Kun keksinnön mukaisessa sovituselementissä valon kenttäjakauma muuttuu adiabaattisesti eli riittävän hi-10 taasti valoaaltojohteen pituussuunnassa K-Na-ionivaihdetun valoaaltojohteen kenttäjakaumasta Ag-Na-ionivaihdetun valoaaltojohteen kenttäjakaumaksi optinen teho ei juurikaan säteile ulos sovituselementistä. Tällöin Ag-Na-ionivaihde-tulla valoaaltojohteen perusmuodolla on oltava korkeampi 15 valon tenemiskerroin kuin K-Na-ionivaihdetulla valojoh- teella. Kun kysymyksessä on yksimuotoinen valoaaltojohde, perusmuoto on ainoa etenevä muoto.
Keksinnön kohteena on myös menetelmä keksinnön mukaisen sovituselementin valmistamiseksi, jolle menetelmäl-20 le on tunnusomaista, että se käsittää vaiheina ensimmäisen valoaaltojohteen valmistamisen K-Na-ionivaihdolla lasisubstraatille, ionivaihtomaskin muodostamisen lasisubstraatille siten, että ionivaihtomaskissa oleva pitkänomainen maski-. 25 aukko on toisesta päästään ensimmäisen valoaaltojohteen - päällä päällekkäisyyden muuttuessa vähitellen maskiaukon pituusakselin suunnassa, ja toisen valoaaltojohteen valmistamisen lasisubstraatille Ag-Na-ionivaihdolla mainittua ionivaihtomaskia käyt-30 täen.
Keksinnön mukaisessa menetelmässä käytetään hyväksi sitä, että kaliumin diffuusiovakio lasissa tietyssä lämpö-tilassa on K-Na-ionivaihdon aikana paljon pienempi kuin hopean dif fuusiovakio Ag-Na-ionivaihdon aikana. Täten jos 35 samalle lasisubstraatille tehdään ensin K-Na-ionivaihto ja 4 86225 tämän jälkeen toisessa vaiheessa Ag-Na-ionivaihto huomattavasti alhaisemmassa lämpötilassa, ei Ag-Na-ionivaih-tovaiheen aikana käytännössä tapahdu kaliumin diffuusiota. Tämän seurauksena K-Na- ja Ag-Na-ionivaihdettuja valoaal-5 tojohteita voidaan valmistaa samalle lasisubstraatille lähes toisistaan riippumattomasti. Lisäksi K-Na-vaiheen aikana lasiin diffusoituneet K+-ionit estävät lähes täysin Ag+-ionien diffuusion lasiin Ag-Na-ionivaihtovaiheen aikana. Voidaankin sanoa, että K-Na-ionivaihdettua valoaal-10 tojohdetta käytetään ionivaihtomaskina Ag-Na-ionivaihdon aikana, niin että Ag-Na-ionivaihdetun valoaaltojohteen leveys saadaan kasvamaan vähitellen K-Na-ionivaihdetun valoaaltojohteen rinnalla elementin pituussuunnassa ja edellä mainittu adiabaattisuusehto toteutuu riittävän hy-15 vin lopullisessa elementissä.
Keksinnön mukaisessa menetelmässä Ag-Na-ionivaih-dossa käytettävän ionivaihtomaskin ikkuna on osittain K-Na-ionivaihdetun valoaaltojohteen päällä ja päällekkäisyys muuttuu hitaasti valoaaltojohteen pituusakselin suun-20 nassa. Kohdissa, joissa ionivaihtomaskin ikkuna on K-Na-ionivaihdetun valoaaltojohteen päällä, ei Ag-ionivaihtoa tapahdu. Niissä maski-ikkunan kohdissa, joissa K-Na-ionivaihdettua valoaaltojohdetta ei ole, Ag-Na-ionivaihto pääsee tapahtumaan täysin vapaasti. Tämän seurauksena syntyy . 25 keksinnön mukainen sovituselementti, jossa K-Na-ionivaih- dettu valoaaltojohde vaihtuu valoaaltojohteen pituussuunnassa adiabaattisesti Ag-Na-ionivaihdetuksi valoaaltojoh-teeksi.
Keksintöä selitetään nyt yksityiskohtaisemmin suo-30 ritusesimerkin avulla viitaten oheiseen piirrokseen, jossa kuviot 1-7 esittävät keksinnön mukaisen sovitusele-mentin valmistusmenetelmän eri vaiheita, ja kuvio 8 havainnollistaa päältä nähtynä kuvioiden 1-7 mukaisella menetelmällä aikaansaatua sovituselementtiä. 35 Keksinnön mukaisessa menetelmässä lasisubstraatin l! 5 86225 1, joka on edullisesti levymäinen, toiselle tasopinnalle kasvatetaan, esim. sputteroimalla, metalliohutkalvo 2, johon kuvioidaan litografiatekniikalla aukot 3, kuten kuvioissa 1 ja 2 on havainnollistettu. Keksinnössä käytetty 5 ohutkalvomaski muodostaa ns. positiivisen maskikuvion, jossa aukot 3 vastaavat haluttuja valojohteita ja metalli-kalvo-osuudet 2 vastaavat alueita, joilla ionivaihdon ja sitä kautta valojohteiden muodostumisen ei haluta tapahtuvan. Kuvio 2 esittää linjaa A-A pitkin otetun sivuleik-10 kauskuvan kuvion 1 mukaisesta lasisubstraatista. Kuviossa 1 esitetyssä keksinnön ensisijaisessa suoritusmuodossa maskiaukko 3 käsittää lasisubstraatin 1 toisessa päässä lyhyen oleellisesti lasisubstraatin pituussuuntaisen osuuden 3a ja pidemmän osuuden 3b, joka lasisubstraatin toista 15 päätä kohti siirrettäessä kaartuu tai etääntyy hitaasti pienessä kulmassa, esim. noin 1 asteen tai pienemmässä, tyypillisesti 0,1-0,2 asteen kulmassa poispäin lyhyen osan 3a pituusakselin suunnasta. Maskiaukon 3 lyhyt osuus 3a voi vaihtoehtoisesti myös haarautua kahdeksi osuuden 3b 20 kaltaiseksi osuudeksi, jotka kaartuvat hitaasti eri suuntiin.
Seuraavassa vaiheessa suoritetaan maskiaukon 3 kautta lasisubstraattiin 1 K-Na-ionivaihdolla yksimuotoi-nen valoaaltojohde 5 antamalla sopivan ionilähteen 4, ku-25 ten suolasulatteen, vaikuttaa maskiaukon 3 paljastaman lasisubstraatin 1 pinnan kanssa, kuten kuviossa 3 on esitetty. Kuvion 3 vaiheen jälkeen ionivaihtomaski 2 poistetaan lasisubstraatin 1 pinnalta, jolloin lasisubstraattiin 1 jää kuvion 4 mukainen K-Na-ionivaihdolla muodostet-30 tu valoaaltojohde 5.
Tämän jälkeen lasisubstraatin 1 samalle tasopinnalle muodostetaan metalliohutkalvo 6, jossa on lasisubstraatin 1 poikki ulottuva suora maskiaukko 7, joka on oleelli-: sesti samansuuntainen K-Na-ionivaihdetun valoaaltojohteen 35 5 sen osuuden pituusakselin kanssa, joka muodostui kuvion 6 86225 3 vaiheessa maskiaukon 3 lyhyen osuuden 3a kohdalle. Tällöin maskiaukko 7 on toisesta päästään valoaaltojohteen 5 mainitun osuuden päällä ja päällekkäisyys muuttuu hitaasti maskiaukon 7 pituussuunnassa kunnes maskiaukko 7 on toi-5 sessa päässään täysin pois valoaaltojohteen 5 päältä. Kuviot 6A, 6B ja 6C ovat vastaavasti kuvion 5 lasisubstraatista pitkin linjoja B-B, C-C ja D-D pitkin otettuja poikkileikkauksia, jotka havainnollistavat maskiaukon 7 ja valoaaltojohteen 5 päällekkäisyyttä maskiaukon 7 pituus-10 suunnassa.
Seuraavassa vaiheessa suoritetaan Ag-Na-ionivaihto edullisesti oleellisesti kuviossa 3 suoritettua K-Na-ioni-vaihtoa alhaisemmassa lämpötilassa antamalla sopivan ioni-lähteen 8, kuten suolasulatteen, vaikuttaa lasisubstraatin 15 pintaan ionivaihtomaskiaukon 7 kautta. Kuviot 7A, 7B ja 7C havainnollistavat tällaista ionivaihtoa kuvion 5 lasisubstraatin 1 linjoja B-B, C-C ja D-D pitkin otetuissa poikkileikkauskohdissa. Kun ionivaihtomaskin 6 maskiaukko 7 on K-Na-ionivaihdetun valoaaltojohteen 5 päällä, ei Ag-20 ionivaihtoa lasisubstraatin 1 ja ionilähteen 8 välillä tapahdu, koska lähes paikallaan pysyvät K-ionit estävät Ag-ionien diffuusion lasisubstraattiin 1 lähes täydellisesti, kuten kuviossa 7A on esitetty. Toisaalta kun maski-aukko 7 on toisesta päästään täysin poissa K-Na-ionivaih-25 detun valoaaltojohteen 5 päältä, pääsee Ag-Na-ionivaihto tapahtumaan täysin vapaasti ja näin muodostuvan yksimuo-toisen valoaaltojohteen 9 ominaisuudet määräytyvät täysin Ag-Na-ionivaihdon prosessiparametreistä, kuten kuviossa 7C on esitetty. Maskiaukon 7 päiden välisellä alueella maski-30 aukko 7 on osittain K-Na-ionivaihdetun valoaaltojohteen 5 päällä ja päällekkäisyys muuttuu hitaasti maskiaukon 7 pituusakselin suunnassa, jolloin Ag-Na-ionivaihto tapahtuu vain osalla maskiaukon 7 leveydestä, kuten kuviossa 7B on : : : esitetty. Ag-Na-ionivaihdon jälkeen ionivaihtomaski 6 35 poistetaan, jolloin lopputuloksena on maskiaukon 7 suun- • · tl 7 86225 täinen valoaaltojohde, jonka valon kenttäjakauma muuttuu hitaasti eli adiabaattisesti valoaaltojohteen pituusakselin suunnassa K-Na-ionivaihdetun valoaaltojohteen 5 kenttäjakautumasta Ag-Na-ionivaihdetun valoaaltojohteen 9 5 kenttäjakautumaksi, kuten kuviossa 8 on esitetty. Kuvi oissa 7B ja 8 on valoaalto johteiden 5 ja 9 välistä adiabaattisesti muuttuvaa rajapintaa merkitty viitenumerolla 10. On huomattava, että valoaaltojohteen 9 perusmuodon tenemiskertoimen tulee olla korkeampi kuin valoaaltojoh-10 teen 5.
Oheiset kuviot ja niihin liittyvä selitys on tarkoitettu vain havainnollistamaan esillä olevaa keksintöä. Yksityiskohdiltaan keksinnön mukainen menetelmä ja sovi-tuselementti voivat vaihdella oheisten patenttivaatimusten 15 puitteissa.
» · ·

Claims (4)

8 86225
1. Sovituselementti K-Na-ionivaihdolla valmistettujen valoaaltojohteiden (5) ja Ag-Na-ionivaihdolla valmis- 5 tettujen valoaaltojohteiden (9) liittämiseksi toisiinsa, tunnettu siitä, että sovituselementti käsittää lasisubstraatille (1) ionivaihtotekniikalla valmistetun valoaaltojohteen (5, 9), jonka perusmuodon valon kenttäjakauma muuttuu adiabaattisesti valoaaltojohteen pituussuun-10 nassa K-Na-ionivaihdolla valmistetun valoaaltojohteen (5) perusmuodon valonkenttäjakaumasta Ag-Na-ionivaihdolla valmistetun valoaaltojohteen (9) perusmuodon valon kenttäja-kaumaksi.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen sovituselementti, 15 tunnettu siitä, että kenttäjakauma muuttuu n. 1° tai pienemmässä kulmassa valoaaltojohteen (5, 9) pituusakseliin nähden.
3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen sovituselementti, tunnettu siitä, että K-Na-ionivaihdolla 20 valmistettu valoaaltojohteen osuus (5) jän leveämpi kuin Ag-Na-ionivaihdolla valmistettu valoaaltojohteen (9) osuus.
4. Menetelmä patenttivaatimuksen 1 mukaisen sovi-tuselementin valmistamiseksi, tunnettu siitä, et- : : 25 tä menetelmä käsittää ensimmäisen valoaaltojohteen (5) valmistamisen K-—: Na-ionivaihdolla lasisubstraatille (1), ionivaihtomaskin (6) muodostamisen lasisubstraatille (1) siten, että ionivaihtomaskissa (6) oleva pit-30 känomainen maskiaukko (7) on toisesta päästään ensimmäisen valoaaltojohteen (5) päällä päällekkäisyyden muuttuessa adiabaattisesti maskiaukon (7) pituusakselin suunnassa, ja - toisen valoaaltojohteen (9) valmistamisen lasi substraatille (1) Ag-Na-ionivaihdolla mainittua ionivaih-35 tomaskia (6) käyttäen. Il 9 86225
FI904186A 1990-08-23 1990-08-23 Anpassningselement foer sammankoppling av olika ljusvaogsledare och framstaellningsfoerfarande foer detsamma. FI86225C (fi)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI904186A FI86225C (fi) 1990-08-23 1990-08-23 Anpassningselement foer sammankoppling av olika ljusvaogsledare och framstaellningsfoerfarande foer detsamma.
US07/736,514 US5151958A (en) 1990-08-23 1991-07-26 Adaptor device for coupling together optical waveguides produced by k-na ion exchange with optical waveguides produced by ag-na ion exchange
EP91307645A EP0474392A1 (en) 1990-08-23 1991-08-20 An adaptor device for coupling together optical waveguides of different types and a process for the production of such an adaptor device
CA002049608A CA2049608A1 (en) 1990-08-23 1991-08-21 Adaptor device for coupling optical waveguides
JP3210637A JPH04245205A (ja) 1990-08-23 1991-08-22 光導波路結合アダプタデバイス及び製造工程

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI904186 1990-08-23
FI904186A FI86225C (fi) 1990-08-23 1990-08-23 Anpassningselement foer sammankoppling av olika ljusvaogsledare och framstaellningsfoerfarande foer detsamma.

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI904186A0 FI904186A0 (fi) 1990-08-23
FI904186A FI904186A (fi) 1992-02-24
FI86225B FI86225B (fi) 1992-04-15
FI86225C true FI86225C (fi) 1992-07-27

Family

ID=8530971

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI904186A FI86225C (fi) 1990-08-23 1990-08-23 Anpassningselement foer sammankoppling av olika ljusvaogsledare och framstaellningsfoerfarande foer detsamma.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5151958A (fi)
EP (1) EP0474392A1 (fi)
JP (1) JPH04245205A (fi)
CA (1) CA2049608A1 (fi)
FI (1) FI86225C (fi)

Families Citing this family (62)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69637984D1 (de) * 1995-12-28 2009-09-17 Panasonic Corp Optischer Wellenleiter, Vorrichtung zur Umwandlung optischer Wellenlängen und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE19609289A1 (de) * 1996-03-09 1997-09-11 Iot Integrierte Optik Gmbh Verfahren zur Herstellung integriert optischer Bauteile durch Ionenaustausch mit Gittermaske für Schichtwellenleiter
US6881530B1 (en) 2000-05-19 2005-04-19 Optinetrics, Inc. Thin film sol-gel derived glass
US7016589B2 (en) * 2000-05-19 2006-03-21 Optinetrics, Inc. Thermally-assisted photo-lithographic process using sol-gel derived glass and products made thereby
US7039289B1 (en) 2000-05-19 2006-05-02 Optinetrics, Inc. Integrated optic devices and processes for the fabrication of integrated optic devices
GB0718706D0 (en) 2007-09-25 2007-11-07 Creative Physics Ltd Method and apparatus for reducing laser speckle
US11726332B2 (en) 2009-04-27 2023-08-15 Digilens Inc. Diffractive projection apparatus
US9335604B2 (en) 2013-12-11 2016-05-10 Milan Momcilo Popovich Holographic waveguide display
US11300795B1 (en) 2009-09-30 2022-04-12 Digilens Inc. Systems for and methods of using fold gratings coordinated with output couplers for dual axis expansion
US8233204B1 (en) 2009-09-30 2012-07-31 Rockwell Collins, Inc. Optical displays
US10795160B1 (en) 2014-09-25 2020-10-06 Rockwell Collins, Inc. Systems for and methods of using fold gratings for dual axis expansion
US11320571B2 (en) 2012-11-16 2022-05-03 Rockwell Collins, Inc. Transparent waveguide display providing upper and lower fields of view with uniform light extraction
US8659826B1 (en) 2010-02-04 2014-02-25 Rockwell Collins, Inc. Worn display system and method without requiring real time tracking for boresight precision
US8973401B2 (en) 2010-08-06 2015-03-10 Corning Incorporated Coated, antimicrobial, chemically strengthened glass and method of making
US9274349B2 (en) 2011-04-07 2016-03-01 Digilens Inc. Laser despeckler based on angular diversity
US10670876B2 (en) 2011-08-24 2020-06-02 Digilens Inc. Waveguide laser illuminator incorporating a despeckler
EP2748670B1 (en) 2011-08-24 2015-11-18 Rockwell Collins, Inc. Wearable data display
WO2016020630A2 (en) 2014-08-08 2016-02-11 Milan Momcilo Popovich Waveguide laser illuminator incorporating a despeckler
US9599813B1 (en) 2011-09-30 2017-03-21 Rockwell Collins, Inc. Waveguide combiner system and method with less susceptibility to glare
US9366864B1 (en) 2011-09-30 2016-06-14 Rockwell Collins, Inc. System for and method of displaying information without need for a combiner alignment detector
US9715067B1 (en) 2011-09-30 2017-07-25 Rockwell Collins, Inc. Ultra-compact HUD utilizing waveguide pupil expander with surface relief gratings in high refractive index materials
US8634139B1 (en) 2011-09-30 2014-01-21 Rockwell Collins, Inc. System for and method of catadioptric collimation in a compact head up display (HUD)
US20150010265A1 (en) 2012-01-06 2015-01-08 Milan, Momcilo POPOVICH Contact image sensor using switchable bragg gratings
US9523852B1 (en) 2012-03-28 2016-12-20 Rockwell Collins, Inc. Micro collimator system and method for a head up display (HUD)
CN106125308B (zh) 2012-04-25 2019-10-25 罗克韦尔柯林斯公司 用于显示图像的装置和方法
US9933684B2 (en) * 2012-11-16 2018-04-03 Rockwell Collins, Inc. Transparent waveguide display providing upper and lower fields of view having a specific light output aperture configuration
US9674413B1 (en) 2013-04-17 2017-06-06 Rockwell Collins, Inc. Vision system and method having improved performance and solar mitigation
US9512035B2 (en) 2013-06-17 2016-12-06 Corning Incorporated Antimicrobial glass articles with improved strength and methods of making and using same
WO2015015138A1 (en) 2013-07-31 2015-02-05 Milan Momcilo Popovich Method and apparatus for contact image sensing
US9244281B1 (en) 2013-09-26 2016-01-26 Rockwell Collins, Inc. Display system and method using a detached combiner
US10732407B1 (en) 2014-01-10 2020-08-04 Rockwell Collins, Inc. Near eye head up display system and method with fixed combiner
US9519089B1 (en) 2014-01-30 2016-12-13 Rockwell Collins, Inc. High performance volume phase gratings
JP2017511785A (ja) 2014-02-13 2017-04-27 コーニング インコーポレイテッド 強度および抗菌性を高めたガラス、およびそれを製造する方法
US9244280B1 (en) 2014-03-25 2016-01-26 Rockwell Collins, Inc. Near eye display system and method for display enhancement or redundancy
US9840438B2 (en) 2014-04-25 2017-12-12 Corning Incorporated Antimicrobial article with functional coating and methods for making the antimicrobial article
US10359736B2 (en) 2014-08-08 2019-07-23 Digilens Inc. Method for holographic mastering and replication
US10241330B2 (en) 2014-09-19 2019-03-26 Digilens, Inc. Method and apparatus for generating input images for holographic waveguide displays
US9715110B1 (en) 2014-09-25 2017-07-25 Rockwell Collins, Inc. Automotive head up display (HUD)
US10088675B1 (en) 2015-05-18 2018-10-02 Rockwell Collins, Inc. Turning light pipe for a pupil expansion system and method
EP3245444B1 (en) 2015-01-12 2021-09-08 DigiLens Inc. Environmentally isolated waveguide display
US9632226B2 (en) 2015-02-12 2017-04-25 Digilens Inc. Waveguide grating device
CN106291814A (zh) * 2015-05-12 2017-01-04 中兴通讯股份有限公司 一种光波导制造方法及光波导
US10247943B1 (en) 2015-05-18 2019-04-02 Rockwell Collins, Inc. Head up display (HUD) using a light pipe
US10126552B2 (en) 2015-05-18 2018-11-13 Rockwell Collins, Inc. Micro collimator system and method for a head up display (HUD)
US11366316B2 (en) 2015-05-18 2022-06-21 Rockwell Collins, Inc. Head up display (HUD) using a light pipe
US10108010B2 (en) 2015-06-29 2018-10-23 Rockwell Collins, Inc. System for and method of integrating head up displays and head down displays
EP3359999A1 (en) 2015-10-05 2018-08-15 Popovich, Milan Momcilo Waveguide display
US10598932B1 (en) 2016-01-06 2020-03-24 Rockwell Collins, Inc. Head up display for integrating views of conformally mapped symbols and a fixed image source
EP3433659A1 (en) 2016-03-24 2019-01-30 DigiLens, Inc. Method and apparatus for providing a polarization selective holographic waveguide device
JP6734933B2 (ja) 2016-04-11 2020-08-05 ディジレンズ インコーポレイテッド 構造化光投影のためのホログラフィック導波管装置
WO2018102834A2 (en) 2016-12-02 2018-06-07 Digilens, Inc. Waveguide device with uniform output illumination
US10545346B2 (en) 2017-01-05 2020-01-28 Digilens Inc. Wearable heads up displays
US10295824B2 (en) 2017-01-26 2019-05-21 Rockwell Collins, Inc. Head up display with an angled light pipe
CN111386495B (zh) 2017-10-16 2022-12-09 迪吉伦斯公司 用于倍增像素化显示器的图像分辨率的系统和方法
WO2019136476A1 (en) 2018-01-08 2019-07-11 Digilens, Inc. Waveguide architectures and related methods of manufacturing
US10732569B2 (en) 2018-01-08 2020-08-04 Digilens Inc. Systems and methods for high-throughput recording of holographic gratings in waveguide cells
US11402801B2 (en) 2018-07-25 2022-08-02 Digilens Inc. Systems and methods for fabricating a multilayer optical structure
CN113692544A (zh) 2019-02-15 2021-11-23 迪吉伦斯公司 使用集成光栅提供全息波导显示的方法和装置
KR20210134763A (ko) 2019-03-12 2021-11-10 디지렌즈 인코포레이티드. 홀로그래픽 도파관 백라이트 및 관련된 제조 방법
KR20220016990A (ko) 2019-06-07 2022-02-10 디지렌즈 인코포레이티드. 투과 및 반사 격자를 통합하는 도파관 및 관련 제조 방법
EP4004646A4 (en) 2019-07-29 2023-09-06 Digilens Inc. METHODS AND APPARATUS FOR MULTIPLYING THE IMAGE RESOLUTION AND FIELD OF VIEW OF A PIXELATED DISPLAY SCREEN
EP4022370A4 (en) 2019-08-29 2023-08-30 Digilens Inc. VACUUM BRAGG GRATINGS AND METHODS OF MANUFACTURING

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2533714A1 (fr) * 1982-09-28 1984-03-30 Thomson Csf Dispositif coupleur optique integre non lineaire et oscillateur parametrique comprenant un tel dispositif
JPS62291604A (ja) * 1986-06-11 1987-12-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 光分岐結合器
US4897671A (en) * 1989-01-23 1990-01-30 Polaroid Corporation Integrated optic print head

Also Published As

Publication number Publication date
FI86225B (fi) 1992-04-15
CA2049608A1 (en) 1992-02-24
US5151958A (en) 1992-09-29
EP0474392A1 (en) 1992-03-11
FI904186A0 (fi) 1990-08-23
JPH04245205A (ja) 1992-09-01
FI904186A (fi) 1992-02-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI86225C (fi) Anpassningselement foer sammankoppling av olika ljusvaogsledare och framstaellningsfoerfarande foer detsamma.
FI86226C (fi) Foerfarande foer framstaellning av ljusvaogsledare medelst jonbytesteknik pao ett glassubstrat.
AU696531B2 (en) Monolithic optical waveguide filters based on fourier expansion
US5499308A (en) Guided-wave optical multi/demultiplexer
KR100928408B1 (ko) 광 회로 제조 방법 및 디바이스
CA1248385A (en) Optical waveguide device
US5091986A (en) Optical divider for multimode optical fiber systems
US6055349A (en) Optical waveguide device and manufacturing method therefor
US6731828B2 (en) Waveguide-type optical signal processing circuit
SE429902B (sv) Sett att framstella ett kopplingselement
KR20070062602A (ko) 가로방향 폐순환 공진기
CN101960346A (zh) 基板型光波导元件、波长色散补偿元件、光滤波器、光谐振器、及它们的设计方法
FI92885C (fi) Optinen kuiturakenne
EP1148357A2 (en) Optical transmission module and optical communication system using the same
CN107407776A (zh) 高折射率对比度光子器件及其应用
CA2362653C (en) Array waveguide grating and method of manufacture thereof
EP0683410A1 (en) Optical fiber light coupling interface with an enlarged incident surface
WO2020166459A1 (ja) リング共振器フィルタ素子
US7664353B2 (en) Optical waveguide structure including at least first, second and third waveguides and coupling waveguide
CA2172448A1 (en) Optical branch
KR20050097923A (ko) 어레이 도파로 격자형 광 합/분파 회로
JP2015001626A (ja) 光波長合分波回路
US20030026544A1 (en) Optical component having a light distribution component with a functional region
FI79910C (fi) Foerfarande foer tillverkning av en vaogledarkomponent foer formfaeltstransformerande integrerad optik.
KR19990016749A (ko) 사이드로브가 제어된 격자도움 수직결합형 광필터 및 그의제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
MM Patent lapsed

Owner name: OY NOKIA AB