FI860120A - FOERFARANDE FOER FRAMSTAELLNING AV ETT PIEZORESISTIVT MOTSTAONDSELEMENT SAMT EN ANORDNING SOM TILLAEMPAR FOERFARANDET OCH EN MED FOERFARANDET FRAMSTAELLD GIVARE SPECIELLT EN TRYCKGIVARE ELLER MOTSVARANDE. - Google Patents
FOERFARANDE FOER FRAMSTAELLNING AV ETT PIEZORESISTIVT MOTSTAONDSELEMENT SAMT EN ANORDNING SOM TILLAEMPAR FOERFARANDET OCH EN MED FOERFARANDET FRAMSTAELLD GIVARE SPECIELLT EN TRYCKGIVARE ELLER MOTSVARANDE. Download PDFInfo
- Publication number
- FI860120A FI860120A FI860120A FI860120A FI860120A FI 860120 A FI860120 A FI 860120A FI 860120 A FI860120 A FI 860120A FI 860120 A FI860120 A FI 860120A FI 860120 A FI860120 A FI 860120A
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- foerfarandet
- tryckgivare
- tillaempar
- piezoresistivt
- motstaondselement
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C10/00—Adjustable resistors
- H01C10/10—Adjustable resistors adjustable by mechanical pressure or force
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
- G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
- G01L1/2287—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges constructional details of the strain gauges
- G01L1/2293—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges constructional details of the strain gauges of the semi-conductor type
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/06—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base
- H01C17/075—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by thin film techniques
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI860120A FI78782C (en) | 1986-01-10 | 1986-01-10 | A method for producing a piezoresistive resistance element with a device applying the method and a sensor produced by the method, in particular a pressure sensor or equivalent. |
JP50072287A JPS63502710A (en) | 1986-01-10 | 1987-01-09 | A method for producing a piezoresistive resistance element, an apparatus for carrying out said method, and a pick-up, in particular a pressure pick-up or equivalent, produced by said method. |
EP19870900813 EP0253860A1 (en) | 1986-01-10 | 1987-01-09 | Procedure for manufacturing a piezoresistive resistance element and apparatus applying said procedure, and pick-up manufactured by the procedure, in particular a pressure pick-up or equivalent |
PCT/FI1987/000003 WO1987004300A1 (en) | 1986-01-10 | 1987-01-09 | Procedure for manufacturing a piezoresistive resistance element and apparatus applying said procedure, and pick-up manufactured by the procedure, in particular a pressure pick-up or equivalent |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI860120A FI78782C (en) | 1986-01-10 | 1986-01-10 | A method for producing a piezoresistive resistance element with a device applying the method and a sensor produced by the method, in particular a pressure sensor or equivalent. |
FI860120 | 1986-01-10 |
Publications (4)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI860120A0 FI860120A0 (en) | 1986-01-10 |
FI860120A true FI860120A (en) | 1987-07-11 |
FI78782B FI78782B (en) | 1989-05-31 |
FI78782C FI78782C (en) | 1989-09-11 |
Family
ID=8521945
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI860120A FI78782C (en) | 1986-01-10 | 1986-01-10 | A method for producing a piezoresistive resistance element with a device applying the method and a sensor produced by the method, in particular a pressure sensor or equivalent. |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0253860A1 (en) |
JP (1) | JPS63502710A (en) |
FI (1) | FI78782C (en) |
WO (1) | WO1987004300A1 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2827041B1 (en) | 2001-07-03 | 2003-12-12 | Commissariat Energie Atomique | PIEZORESISTIVE DEVICE AND METHODS OF MAKING THE DEVICE |
FI127245B (en) * | 2016-07-11 | 2018-02-15 | Forciot Oy | Force and / or pressure sensor |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3699649A (en) * | 1969-11-05 | 1972-10-24 | Donald A Mcwilliams | Method of and apparatus for regulating the resistance of film resistors |
US4042006A (en) * | 1973-01-05 | 1977-08-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Pyrolytic process for producing a band-shaped metal layer on a substrate |
US4021898A (en) * | 1976-05-20 | 1977-05-10 | Timex Corporation | Method of adjusting the frequency of vibration of piezoelectric resonators |
US4127840A (en) * | 1977-02-22 | 1978-11-28 | Conrac Corporation | Solid state force transducer |
US4340617A (en) * | 1980-05-19 | 1982-07-20 | Massachusetts Institute Of Technology | Method and apparatus for depositing a material on a surface |
US4373399A (en) * | 1981-02-05 | 1983-02-15 | Beloglazov Alexei V | Semiconductor strain gauge transducer |
EP0111482A4 (en) * | 1982-06-14 | 1986-12-01 | Gte Prod Corp | Apparatus for trimming of piezoelectric components. |
-
1986
- 1986-01-10 FI FI860120A patent/FI78782C/en not_active IP Right Cessation
-
1987
- 1987-01-09 EP EP19870900813 patent/EP0253860A1/en not_active Withdrawn
- 1987-01-09 WO PCT/FI1987/000003 patent/WO1987004300A1/en not_active Application Discontinuation
- 1987-01-09 JP JP50072287A patent/JPS63502710A/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FI78782B (en) | 1989-05-31 |
JPS63502710A (en) | 1988-10-06 |
EP0253860A1 (en) | 1988-01-27 |
FI78782C (en) | 1989-09-11 |
FI860120A0 (en) | 1986-01-10 |
WO1987004300A1 (en) | 1987-07-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FI844693A0 (en) | FOERFARANDE I PRESSPARTIET AV EN PAPPERSMASKIN FOER UTBYTE AV VAEVNADERNA OCH / ELLER VALSARNA SAMT EN STOMKONSTRUKTION FOER PRESSPARTIET FOER GENOMFOERANDE AV FOERFARANDET. | |
FI853995A0 (en) | ANORDING OCH FOERFARANDE FOER UPPFOEDNING OCH / ELLER HAOLLNING AV DJUR SAMT UNDERHAOLLS- OCH BURSYSTEM FOER ANVAENDNING I ANORDNINGEN. | |
FI874361A0 (en) | ANVAENDNING AV GARVMEDEL OCH / ELLER KLOROGENSYRA SAMT NAERINGS-, NJUTNINGS- OCH / ELLER LAEKEMEDEL MED GARVMEDELS- OCH / ELLER KLOROGENSYRATILLSATS. | |
FI861807A (en) | BELAGT PAPPER, KARTONG ELLER DYLIKT SAMT FOERFARANDE OCH ANLAEGGNING FOER TILLVERKNING AV DETSAMMA. | |
FI844310A0 (en) | SVAORANTAENDBARA STRAENGSPRUTADE KROPPAR, I SYNNERHET STRAENGSPRUTADE SKIVOR SAMT SVAORANTAENDBARA FANERADE ELLER BELAGDA STRAENGSPRUTADE SKIVOR, FOERFARANDE FOER DERAS FRAMSTAELLNING OCH DERAS ANVAENDNING. | |
FI882636A0 (en) | FOERFARANDE FOER FRAMSTAELLNING AV ETT AROMATKONCENTRAT ANVAENDBART SOM SKYDDSKOMPONENT I FOERGASARBRAENSLE. | |
FI860120A0 (en) | FOERFARANDE FOER FRAMSTAELLNING AV ETT PIEZORESISTIVT MOTSTAONDSELEMENT SAMT EN ANORDNING SOM TILLAEMPAR FOERFARANDET OCH EN MED FOERFARANDET FRAMSTAELLD GIVARE SPECIELLT EN TRYCKGIVARE ELLER MOTSVARANDE. | |
FI872565A (en) | FOERFARANDE OCH ANORDNING FOER UPPLYFTNING ELLER DOCKSAETTNING AV TILL HAELFTEN SAENKBARA BORRPLATTFORMER. | |
FI880039A0 (en) | BETONGVIKT MED INBAEDDADE ELLER FAESTADE ANODER FOER KATODISKT SKYDD AV BULTAR OCH BULTFOERBINDNINGAR. | |
FI861747A (en) | FOERFARANDE FOER FOERHINDRANDE AV OLJESKADOR ELLER ELDSVAODOR OCH EN BEHAOLLARE FOER TILLAEMPNING AV FOERFARANDET. | |
FI883058A (en) | FOERFARANDE OCH ANORDNING FOER MOTTAGNING AV FREKVENSMODULERADE ANALOGSIGNALER MED DERAS DIGITALBEARBETNING SAMT ANORDNING FOER GENOMFOERANDE AV DETTA FOERFARANDE. | |
FI874951A0 (en) | FOERFARANDE VID STYRNING OCH / ELLER KONTROLL AV EN TORKNINGSPROCESS SOM SKER MED EN YANKEE-CYLINDER. | |
FI862197A (en) | FOERFARANDE FOER ELIMINERING AV JUSTERBEHOVET SOM FOERORSAKAS AV FUKTIGHETSFOERAENDRINGAR I ETT PIANOMASKINERI OCH EN-KEAVIATUR SAMT ETT PIANOMASKINERI OCH EN-KEAVIATUR. | |
FI882749A0 (en) | FOERFARANDE FOER FRAMSTAELLNING AV ETT RECEPTORPREPARAT FOER RADIORECEPTORANALYS OCH SOM TESTFOERPACKNING LAEMPLIG RADIORECEPTORANALYS ENLIGT FOERFARANDET. | |
FI884564A (en) | FOERFARANDE OCH MOEBLERINGSSYSTEM FOER UTRUSTNING AV ETT RUMUTRYMME MED MOEBELELEMENTER SAMT ANVAENDANDET AV AVLOPPSROER, SPIRALSOEMROER ELLER MOTSVARANDE. | |
FI872823A (en) | FOERFARANDE OCH ANVAENDNING AV ENSIDIGT BEHANDLAT PAPPER ELLER KARTONG. | |
FI861283A0 (en) | CELLVAERMEAGGREGAT FOER SAMTIDIG VAERMNING AV BILMOTOR OCH BILENS INNERUTRYMME MED NAETSTROEM SAMT FOER ANVAENDNING SOM PAUSVAERMARE. | |
FI883176A0 (en) | RAMSTRUKTUR AV ETT LJUSTAK ELLER DYLIKT SAMT ETT FOERFARANDE FOER MONTERING AV RAMSTRUKTUREN. | |
FI900395A0 (en) | FOERFARANDE OCH ANORDNING FOER FRAMSTAELLNING AV MINERALISERAD KABEL SAMT MINERALISERAD KABEL SOM FRAMSTAELLTS MED ETT DYLIKT FOERFARANDE ELLER EN DYLIK ANORDNING. | |
FI872617A (en) | FOERFARANDE OCH ANLAEGGNING FOER REGLERING AV EN MINIMILUFTSTROEM TILL ETT UTRYMME OCH / ELLER FRAON ETT UTRYMME SOM SKALL VENTILERAS. | |
FI852529A0 (en) | FODRINGSKONSTRUKTION FOER EN VAEGGYTA SOM AER FOERSEDD MED TEGELVAEGG ELLER STOEDSTYCKEN OCH FOERFARANDE FOER TILLVERKNING AV MOTSVARANDE | |
FI862786A0 (en) | FOERFARANDE FOER LOKALISERING OCH / ELLER IDENTIFIERING AV ETT FOEREMAOL. | |
FI865331A0 (en) | FOERFARANDE FOER MAETNING AV FORDONSHASTIGHETER OCH HASTIGHETERNA MOTSVARANDE KLOCKSLAG SAMT APPARATUR FOER GENOMFOERANDE AV FOERFARANDET. | |
FI854959A0 (en) | FOERFARANDE OCH EN STOMKONSTRUKTION SOM TILLAEMPAR DETTA TILL PRESSPARTIET AV EN PAPPERSMASKIN FOER UTBYTE AV VAEVNADER OCH / ELLER VALSAR. | |
FI864250A0 (en) | FOERFARANDE OCH ANORDNING FOER TOEMNING AV EN SAECK ELLER LIKNANDE. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM | Patent lapsed |
Owner name: VALMET OY |